SU1088091A1

SU1088091A1 - Магниторазр дный насос

Info

Publication number: SU1088091A1
Application number: SU823529737A
Authority: SU
Inventors: Станислав Петрович Лукьянов; Ефим Михайлович Рудницкий
Original assignee: Предприятие П/Я А-1614
Priority date: 1982-12-29
Filing date: 1982-12-29
Publication date: 1984-04-23

Abstract

МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС, содержащий магнитную систему и герметичный корпус с размещенными в нем катодами, вьптолненными из геттерного материала, и расположенным между ними чеистым анодом, чейки которого вьтолнены в виде полых цилиндров, установленных с возможностью перемещени в направлении, перпендикул рном оси цилиндров, отличающийс тем, что, с целью повышени и стабилизации быстроты откачки , чейки анода вьшолнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при этом кра разреза расположены внахлестку, а коэффициент расширени сло биметалла со стороны внешней поверхности цилиндров превьш1ает этот коэффициент со стороны их внутренней поверхности. 00 00 о со

Description

Изобретение относитс к вакуумной технике, а именно к магниторазр дным насосам, и может найти применение при откачке электровакуумных приборов и других объемов различного назначени . Известен магниторазр дный насос, содержащий магнитную систему и герм тичный корпус с размещенными в нем катодами из геттерного материала и расположенным между ними чеистым анодом с чейками в виде полых ци/ индров lj , в таких насосах при давлении выш 10 мм рт.ст. происходит сильное распыпение катода.и в местах пересе чени осей чеек анода с катодами в последних образуютс кратеры. Сро службы магниторазр дного насоса поэтому определ етс толщиной катодны пластин, увеличение которых приводи к увеличению массы насоса и повьшен его стоимости. Известен также магниторазр дный насос, содержащий магнитную систему и герметичный корпус с размещенными .в нем катодами, вьптолненными из геттерного материала, и расположенным между ними чеистым анодом, че ки которого вьшолнены в виде полых цилиндров, установленных с возможностью перемещени в направлении, перпендикул рном оси цилиндров. Срок службы таких насосов повьщген за счет обеспечени возможности перемещени анодных чеек в направлении , перпендикул рном их оси,что позвол ет располагать под чейками новые участки катода, еще не обработанные разр дом 2 . Недостатками этого насоса вл гютс невысока скорость откачки и невозможность ее стабилизации в процессе работы насоса, когда давление откачивающего газа мен етс в широких пределах. Целью изобретени вл етс позышение и стабилизаци скорости откач ки. Указанна цель достигаетс тем, что в магниторазр дном насосе, содержащем магнитную систему и герме тичный корпус с размещенными в нем катодами, выполненными .из геттерно материала, и расположенным между ними чеистым анодом, чейки которого вьтолнены в виде полых цилинд ров, установленных с возможностью ремещени в направлении, перпендикул рном оси цилиндров, чейки анода выполнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при зтом кра разреза расположены внахлестку , а коэффициент расширени сло биметалла со стороны внешней поверхности цилиндров превьшает этот коэффициент со стороны их внутренней поверхности. На фиг.1 показан насос, общий вид на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - чейка анода. Магниторазр дный насос содержит герметичный корпус 1, катоды 2, анод 3 в виде цилиндрических чеек, выполненных из биметалла, магнитную систему 4, электрический, ввод 5 и откачной патрубок 6. При этом анод 3 установлен между катодами 2 с возможностью перемещени относительно катодов в направлении, перпендикул рном оси чеек анода. Насос работает следующим образом. При подаче на анод 3 высокого положительного потенциала в насосе возбуждаетс разр д Пеннинга в скрещенных электрическом и магнитном пол х и в результате ионной бомбардировки происходит распыление катодов , вьтолненньк из геттерного материала .Образующа с при зтом пленка геттера св зьшает остаточные газы. При запуске, насоса (работа при повьщ1енном давлении) чейки анода имеют большой диаметр. В процессе, работы насоса в режиме запуска в разр де вьщел етс мощность в виде тепла , в результате чего анод 3 разогреваетс до температуры, котора может достигать . Под вли нием этого нагрева биметаллические чейки деформируютс (фиг.З), что приводит к уменьшению их в диаметре, и быстрота действи в этой области давлени получаетс максимальной. По мере понижени давлени в насосе уменьшаетс разр дный ток и вьщел ема мощность , что приводит к понижению температуры на аноде и увеличению диаметра чеек вплоть до исходного Таким образом, и в этой области давлени достигаетс максимальна скорость откачки. В результате уменьшени и увеличени диаметра чейки центр чейки смещаетс (фиг.З), смещаетс и зона

интенсивного распылени на катодах, обеспечива тем самым увеличение срока службы насоса. Распыл емый с. катодом геттер оседает на поверхность анода, образу пленку, способную сорбировать газы.

Таким образом, предлагаема конструкци насоса позвол ет повысить и стабилизировать скорость откачки в широком диапазоне давлений без ухудшени срока службы по сравнению с известной.

Фиг. 2

Claims

МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС, содержащий магнитную систему и герметичный корпус с размещенными в нем катодами, выполненными из геттерного материала, и расположенным между ни- ми ячеистым анодом, ячейки которого выполнены в виде_о полых цилиндров, установленных с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оси цилиндров, отличающийся тем, что, с целью повышения и стабилизации быстроты откачки, ячейки анода выполнены из биметалла и снабжены разрезом по образующей цилиндра, при этом края разреза расположены внахлестку, а коэффициент расширения слоя биметалла со стороны внешней поверхности цилиндров превышает этот коэффициент со стороны их внутренней поверхности. q <о

Фыг.1