Ci 00 01Ci 00 01
о соabout with
Изобретение.относитс к металлур гии, в частности к способам термомеханической обработки (ТМО ) деталей упругих чувствительных элементо точных приборов и резонаторов с малым ТКЧ, изготовленных из деформа ционнотвердеющих элинваров типа ЗбНХИ, и может быть использовано при изготовлении деталей, дл которых необходима термостабильность уп гих свойств в широком интервале тем ператур, включа криогенный (-196/Ц 70 О. Известен способ термообработки сплавов 42ХТЮ, 44НХТЮ, 42НХТЮА путе закалки с 900°С, холодной деформаци и последующего отпуска при температуре 600-750С Си. .. Однако при осуществлении данного способа достигаетс термостабильнос модул упругости только в области температур выше комнатной {0-200°С Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс способ, заключаю14ийс в холодной де формации .сплавов 36НХ11 на 55-60% с последующим старением при 500°С C Однако этот способ обеспечивает получение малых значений температур ного коэффициента модул упругости (ТКМУ только в интервале температу выше комнатной 0-(100-20оРс . Рабочие элши1енты многих технических устройств (резонаторы, линии задерж ки, звукопроводы работают при пони женных температурах, в том числе при температурах жидкого азота и жидкого гели ). Целью изобретени вл етс расширение температурного интервала термостабильности модул упругости до криогенных температур. Поставленна цель достигаетс тем что согласно способу термообработки элинварных сплавов, включающему холодную деформацию на 55-60% и отжи отжиг провод т при 850-950°С. Измерени мсадул упругости провод т на установке Эластомат . Отжиг при 850-950С ведет к частичной рекристаллизации и сн тию внутренних напр жений. В результате происходит довольно точна компенсаци обычного решеточного возрастани модул упругости в интервале температур (-196 ) -(ПО)°С. Отжиг при температурах, лежащих вне интервала 850-950с не обеспечивает получени достаточно малых ТКМУ у сплава 38Н10Х в интервале температур (-196 }-(ПО}°С, Отжиг при 7 провод т в тегчение 2 ч. Значени ТКМУ в интервале температур (-19бМ170 с выше, чем при использовании предлагаемого способа термообработки. Среднее значение ТКМУ около 510 град , Отжиг при температурах выше и при больших временах отжига, лревьшающих 0,5 ч, как показывают металлографические , рентгеновские и магнитные исследовани , ведут к завершению процесса рекристаллизации , ухудшению механических свойств сплавов и возрастанию средней величины ТКМУ в интервале температур от -196 до +170°С. Пример 1. Отжиг ведут при температуре 850°С. Величина ТКМУ .в интервале температур составл ет (-196) - ( и не превышает. iS, 6 -10 (тaблицa . П р и м е р 2. Отжиг ведут при температуре 950°С. Величина ТКМУ в области температур составл ет (-19б)-(170)°С и не превышает +4 цхКГград . Данные по термостабильности модул упругости сплава 38Н10Х после термообработки предлагаемым способом представлены в таблице, (значени модул упругости и его температурного коэффициента (ТКМУ), соответствующие температуре последеформационного отжига 850 С , EQJQ f Feso и 950°С, Egjg, ygjjj . Сплав с термостабильноцтью упруГОСТ } в интервале температур (-190)- (170)°С , котора реализуетс предлагаемым изобретением, может быть, например-, использован дл изготовлени рабочих элементов (резонаторов) СВЧ-устройств-j дл охлаждени которых примен етс жидкий азот. Другим примером использовани элинварного сплава с термостабильностью упругости в криогенном интервале температур вл етс изготовление упругих чувствительных элементов, устройств, работающих при пониженных климатических температурах (устройств авиационнор техники, приборов, работающих в районах Крайнего Севера и т.дД Технические преимущества предлааемого изобретени , по сравнению известным - сплавом 36Н11Х, сосо т взначительном расширении инервала ..ТКМУ -6 3 10 градв интерале температур (-196) -(170)С.The invention relates to metallurgy, in particular, to the methods of thermomechanical processing (TMT) of parts of elastic sensitive elemental devices and resonators with small TFC, made of deformation-hardening alyinvars of the type ZbNHI, and can be used in the manufacture of parts for which thermal stability is required. properties in a wide range of temperatures, including cryogenic (-196 / C 70 O. A known method of heat treating alloys 42ХТЮ, 44НХТЮ, 42НХТЮА by quenching from 900 ° С, cold deformation and subsequent tempering temperature 600-750С Cu. However, when implementing this method, thermal stability of the elastic modulus is achieved only in the temperature range above room temperature {0-200 ° С. The closest to the proposed technical essence is the method that involves cold deformation of 36HX11 alloys by 55 -60% with subsequent aging at 500 ° C. However, this method provides for obtaining small values of the temperature coefficient of the modulus of elasticity (TCMU only in the temperature range above room 0 (100-20 ° C). Workers of many technical devices (resonators, delay lines, sound pipes work at low temperatures, including liquid nitrogen and liquid gels). The aim of the invention is to extend the temperature range of the thermal stability of the elastic modulus to cryogenic temperatures. This goal is achieved by the fact that according to the method of heat treatment of elinvarny alloys, including cold deformation by 55-60% and annealing, annealing is carried out at 850-950 ° C. Measurements of elasticity are carried out on the Elastomat unit. Annealing at 850–950 ° C leads to partial recrystallization and the elimination of internal stresses. As a result, a fairly accurate compensation occurs for the usual lattice increase in the elastic modulus in the temperature range (-196) - (PO) ° C. Annealing at temperatures outside the range of 850-950s does not provide sufficiently small TCMU in the 38Н10Х alloy in the temperature range (-196} - (SO} ° C, Annealing at 7 is carried out at 2 h. The TCMU values in the temperature range (- 19bM170 s is higher than when using the proposed heat treatment method.The average TCMU value is about 510 degrees Annealing at temperatures higher and with longer annealing times of 0.5 h, as shown by metallographic, X-ray and magnetic studies, lead to the completion of the recrystallization process, is degraded The mechanical properties of the alloys and the increase in the average TCMU in the temperature range from -196 to + 170 ° C. Example 1. Annealing is carried out at a temperature of 850 ° C. The TCMU value in the temperature range is (-196) - (and does not exceed. IS, 6 -10 (table. PRI mme R 2. Annealing is carried out at a temperature of 950 ° C. The TCMU value in the temperature range is (-19b) - (170) ° C and does not exceed +4 tcKGgrad. Data on thermal stability of the modulus of elasticity of the alloy 38Н10Х after heat treatment by the proposed method are presented in the table, (the values of the modulus of elasticity and its temperature coefficient itsienta (TKMU) corresponding posledeformatsionnogo annealing temperature of 850 C, EQJQ f Feso and 950 ° C, Egjg, ygjjj. An alloy with thermally stable elastic GOST} in the temperature range (-190) to (170) ° C, which is realized by the invention, can be, for example, used to manufacture working elements (resonators) of microwave devices-j for cooling of which liquid nitrogen is used . Another example of the use of an elinvarnogo alloy with thermal stability of elasticity in a cryogenic temperature range is the manufacture of elastic sensing elements, devices operating at low climatic temperatures (aviation equipment, equipment, devices operating in the Far North, etc. The technical advantages of the proposed invention compare well-known - alloy 36Н11Х, consisting of a significant expansion of the inerval .. TCMU -6 3 10 degrees in the temperature interval (-196) - (170) С.