Изобретение относитс к измери-г тельной технике и может быть исполь зовано дл контрол параметров диодов ВЧ и СВЧ диапазона. Известно устройство дл измерени параметров полупроводниковых диодов позвол юиее измер ть емкости диодов содержащее высокочастотный генерато выход которого через шины дл подключени испытуемого диода соединен с измерительным резистором, к кото рому подключены выход источника сме щени и вход усилител высокой частоты , наг;руженного на измерительный прибор ij . Недостатками указанного устройст ва вл ютс невысока точность измерений и ограниченные функциональные возможности. Наиболее близким техническим решением к предлагаемому вл етс уст ройство дл измерени параметров полупроводниковых диодов, содержаще высокочастотный генератор, подключенный через последовательно соединенные аттенюатор и разв зывающую цепь к опорному резистору и к шине дл подключени испытуемого прибора с которой соединен выход источника смещени , усили.тёль высокой частоты и индикатор. Кроме того, устройство содержит генератор низкой частоты, переключатель, коммутатор, синхронный детектор и усилитель низкой частоты 2J . Кроме диффузионной емкости диодов известное устройство позвол ет измер ть их дифференциальное сопротивле ние, однако оно не позвол ет автоматизировать процесс измерений и характеризуетс невысокой точностью измерений. Цель изобретени - повышение точности измерений. Поставленна цель достигаетс тем, что в устройство дл измерени параметров полупроводниковых диодов содержащее высокочастотный генератор , подключенный через последовательно соединенные аттенюатор и разв зывающую цепь первым ее выходом к одному из выводов опорного резистоpa , другой вывод которого присоединен к общей шине, а вторым ее выходом к одной из шин дл подключени испытуемого прибора, друга шина которого также присоединена к общей шине, источник смещени , соединенный выходом с вторым выходом разв зывающей цепи, усилитель высокой частоты и индикатор, введены фазометр, вычислительный блок и усилитель обратной св зи, аттенюатор снабжен управл ющим входом, а разв зывающа цеп выполнена в виде высокочастотного трансформатора, причем ее входом вл етс первична обмотка трансформатора , а выходами - выводы вторичной обмотки, управл ющий вход аттенюатора соединен через усилитель обратной св зи с измерительным входом фазометра и с йторым выходом разв зывакицей-цепи, к первому выходу которой подключены вход усилител высокой частоты и опорный вход Фазометра , соединенных выходами через вычислительный блок с входом индикатора . На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства. Устройство содержит высокочастотный генератор 1, аттенюатор 2, разв зывающую цепь, вьтолненную в виде |Высокочастотного трансформатора 3, опорный резистор 4 jj шины дл подключени исследуемого (испытуемого) диг ода 5, усилитель б обратной св зи, усилитель 7 высокой частоты, фазометр 8, вычислительный блок 9, инди катор 10 и источни 11 смещени . Выход высо сочастотного генератора 1 через аттенюатор 2 соединен с входом разв зывающей цепи, в качестве которого использована первична обмотка трансформатора 3. Первый и второй.выводы вторичной обмотки высокочастотного трансформатора 3, вл к циес выходами разв зывающей цепи, подклн чены соответственно к. опорному резистору 4 и к одной из шин дл подключени испытуемого диода 5, друга шина которого и второй вывод опорного ;резистора 4 соединены с общей ШИНОЙ, Усилитель 6 Обратной св зи своим входом соединен с шиной дл подключени испытуемого диода 5, а выходом - с управл ющим входом аттенюатора 2, Вход усилител 7 высокой частоты соединен с первым выводом вторичной обмотки трансформатора 3 и с опорным входом фазометра 8 измерительный вход которого соединен с шиной дл подключени диода 5, Выходы усилител 7 и фазометра 8 | через вычисли- тельный блок 9 присоедийены к входу индикатора. 10, Выхфд истбчника 11 смещени соединен С шиной дл подключени испытуемого диода 5, Устройство.работает следующим образом, Выходной сигнал i генератора 1 поступает на сигнальный вход управл емого аттенюатора 2, выходное напр жение которогф зависит от напр жени на его управл ющем входе, С выхода аттен19атсра 2 ослабленный в несколько раз сигнал поступает на первичную обмотку высокочастотного трансформатора 3. . С вторичной обмотки высокочастотного трансформатора 3 измерительный сигнал поступает на опорный резистор 4 и исследуемый полупроводниковый диод 5, при этом сигнал с диода 5 подаетс на Вход усилител 6 обратной св зи, с выхода которого он ГЮступает на управл ющий вход аттенюатора 2. Таким образом, создаетс замкнута цепь отрицательной обратной св зи по напр жению на исследуемом полупроводниковом диоде 5, в резулйта те чего напр жение сигнала на нем остаетс посто нным независимо от параметров диода,т,е.от его диффере циального сопротивлени и барьерной емкости. Стабилизаци напр жени сигнала на исследуемом полупроводни ковом диоде способствует повышению точности измерени его параметров, так как исключает вли ние на них ив менений величины напр жени измерительного сигнала, например, при исследовании свойств узкоэонных р-Лпереходов и полупроводниковых прибо ров, созданных на их основе. Помимо этого, на опорнс н резлсторе 4, величина сопротивлени кото рого находитс в промежутке между .возможными максимальн1Л4 и минимальным значени ми дифференциального со противлени исследуемого диода 5,. напр жение определ етс по формуле 4on g-RQn/, где УЙ- - модуль полной проводимости исследуемого диода на частоте измерительного сигнала; on величина сопротивлени опор ного резистора} U - напр жение на исследуемом диоде; UOD - напр жение на опорном резисторе . Из формулы следует, что напр жени на опорном резисторе 4 пр мо пропорционально величине проводимости исследуемого диода 5 (образца) на частоте измерительного сигнала, котора может быть легко вычислена, поскольку остальные параметры - известные -посто нные величины. Вычисление осуществл етс автоматически с помощью вычислительного блока 9. Фазометром 8, соединенным своим измерительным входом с шиной дл подключени исследуемого полупроводникового диода 5, а опорным входом к опорному резистору 4, измер ют угол сдвига фаз -напр жени измерительного сигнала.на полупроводниковом диоде и на опорном резисторе 4, т.е. фактически угол сдвига фаз между напр жением на исследуемом полупроводниковом диоде 5 и током, протекающим через него. Результаты измерений также поступают в вычислительный блок 9, который по ним вычисл ет такие параметры, как барьерна емкость и перва производна барьерной емкости по напр жению при проведении измерений при разных значени х напр жени смещени , задаваемых источником 11 смещени . Индикатор 10 служит дл индикации измеренных значений и результатов вычислений в цифровой форме, что также облегчает работу оператора и исключает неоднозначность считывани показаний. Поддержание высокочастотного напр жени на испытуемом приборе посто нным по амплитуде позвол ет повысить точность измерений, а введение фазометра и вычислительного блока дает возможность одновременно измер ть величину полной проводимости диодов и их дифференциальные параметры при полной автоматизации процесса.