SU1052958A1 - Устройство дл исследовани тонких магнитных пленок - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ТОНКИХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК, содержащее пр моугольный резонатор с узкой экранирующей полостью, держа;тель образца и механизм перемещени  ;образца, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерений, держатель образца вьтолнен в виде круглой обоймы, в механизм перемещени  образца введены ведущий шкив, направл ющие линейного двиJкeни , зак репленные на резонаторе,несуща  планка- с системой закрепленных на кронштейнах поддерживающих и направл ющих роликов с расположенной между ними обоймой с образцом, при§ а чем один из роликов закреплен в направл ющих на несущей планке с возможностью прижима к обойме с помощью (Пружины и вращени  обойм через С гибкое звено от ведущего шкива.

Description

Изобретение относитс  к TexHtiKe сверхвысоких частот, предназначено дл  контрол  параметров тонких магнитных пленок и может использоватьс в радиоспектроскопии твердых тел, технике магнитного резонанса и т.д. Известно устройство дл  контрол  совершенства кристаллической структуры диэлектрических образцов, содержащее механизм дл  осевого перемещени  стержн , позвол ющее исследовать структуру тонких образцовCl3 Недостатком устройства  вл етс  невозможность исследовани  плоского образца большого диаметра. Наиболее близким техническим решением к предлагаемому  вл етс  устройство дл  исследовани  тонкихмагнитных пленок, содержащее пp мoугольный резонатор с узкой э.краниругощей полостью, держатель образца и механизм перемещени  образца 2 }. В устройстве образец закрепл етс на конце тонкого кварцевого стержн  и перемещаетс  внутри полости по двум координатам с помощью двух микрометрических винтов. Однако такое устройство характеРИзуетс  недостаточной точностью измерений, так как ширина полости превышает ширину исследуемого образ ца в два раза, что приводит к умень шению чувствительности и точности устройства. Использование в качестве держател  образца тонкого кварцевого стержн  не обеспечивает жест кой фиксации образца в полости резонатора . Из-за этого образец под действием переменного магнитного пол  и других сил может совершать 5 олебани  относительно стенок резонатора , в результате чего также :снижаетс  точность измерений. Цель изобретени  - повышение точ ности измерений. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  исследова ни  тонких магнитных пленок, содержащем , пр моугольный резонатор с узкой экранирующей полостью, держатель образца и механизм перемещени  образца, держатель образца выполнен в виде круглой обоймы, в механизм перемещени  образца введены ведущий шкив, направл ющие линейного движени , закрепленные на резонаторе,несуща  планка с. системой закрепленны на кронштейнахпохшерживающих и направл ющих роликов с расположенной между ними обоймой с образцом,причем один из роликов закреплен в направл ющих на несущей планке с возможностью прижима к обойме с помощь пружины и вращени  обоймы через гиб кое звено от ведущего шкива. На фиг,1 изображено предлагаемое устройствор на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1. Устройство дл  исследовани  тонких магнитных пленок содержит магнит 1, пр моугольный резонатор 2 с узкой эkpaниpyющeй полостью 3, направл ющие 4 линейного движени  ласточкин хвост , несущую планку 5, пружину 6, механизм 7 линейного перемещени , кронштейн 8, поддерживающие и направ1л ющие ролики 9, направл ющие 10 и поджимной ролик 11, обойму (держатель образца) 12, исг следуемый образец 13, гибкое передающее звено, 14 и ведущий шкив 15. На резонаторе 2 закреплены направл ющие 4 линейного движени , подвижна  часть которых выполнена в виде несущей планки 5, котора  при помощи пружины б поджата к-наконечнику механизма 7 линейного перемещени , с двум  поддерживающими и направл ющими роликами 9, направл ющие 10, в которых установлен с возможностью перемещени  поджимной ролик 11. Все три ролика расположены в одной плоскости, параллельной стенкам экранирующей полости 3 (фиг.2). На роликах 9 установлена обойма 12, выполненна  в виде кольца, на которой закреплен исследуемый образец 13 так, что геометрические центры образца и обоймы совпадают. Обойма 12 поджата роликом 11 к поддер)живающим и направл ющим роликам 9, поджимной ролик 11 играет роль ведущего в фрикционной паре с обоймой 12. При помощи гибкого звена 14 (например, перфорированна  лента) ролик 11 соединен с ведущим шкивом 15, установленным на планке 5. Край обоймы 12 выполнен биконическим, а ролики 9 и направл ющие 10 имеют круговые пазы соответствующей формы, что обеспечивает фиксацию осевого положени  обоймы 12. Дл  удобства определени  местонахождени  аномальных участков на поверхности образца 13 на обойме 12 и исследуемом образце 13 могут быть нанесены.метки дл  визуального наблюдени . Устройство работает следующим образом. . Обойму 12,. с закрепленны1 1 на ней исследуемым образцом 13, устанавливают на по,цдерживающие и направл ющие ролики 9, дл  чего поджимной ролик 11 приподнимают, а затем опускают , В результате этого центр образца 13 устанавливаетс  неподвижно относительно планки 5. Затем при помощи механизма линейного перемещени  несущую планку 5 опускают до , пока центр образца 13 совпадет с осью отверстий в стенках экранирующей полости 3, Контроль образца осуществл етс  при го перемещении (сканировании) относительно отверстий а стенках

экранирующей полости 3,  вл ющихс  измерительным щупам. Сканирование происходит в пол рных координатах: переносное линейное движение образца 13 вместе с несущей планкой 5, осуществл емое при помощи механизма 7 линейного перемещени , и относительное вращение вокруг центра, неподвижного относительно несущей планки 5, осуществл емое путем вращени , шкива 15 и передаваемое через гибкое звено 14 на поджимной ро-: лик 11, ас поджимного рблика 11 . на обойму 12, Пор док сканировани  может быть, например, следующим: перемещают образец 13 на шаг, соответствующий диаметру измерительных отверстий в стенках,полости 3, и поворачивают его на полный оборот, затем оп ть сметают на шаг к снова поворачивают. Такой пор док сохран етс  до исследовани  образца по всей площади.

Использование принципа вращени  дл  перемещени  исследуемого образца в резонаторе позвол ет уменьшить размеры экранирующей полости почти вдвое. При этом добротность резонатора возрастает, что эквивалентно повышению чувствительности и точности устройства. Применение сис0 темы роликов дл  закреплени  обоймы и осуществлени  вращени  образца обеспечивает жесткую фиксацию образца , что повышает точность измерений и контрол , что в совокупности с ме5 ханизмом линейного перемещени  позвол ет достоверно определ ть местонахождение аномальных участков на поверхности образца по сигналам магнитного резонанса.

0

//

fpye./

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ТОНКИХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК, содержащее прямоугольный резонатор с узкой экранирующей полостью, держатель образца и механизм перемещения образца, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений, держатель образца выполнен в виде круглой обоймы, в механизм перемещения образца введены ведущий шкив, направляющие линейного движения, закрепленные на резонаторе,· несущая планка’; с системой закрепленных на кронштейнах поддерживающих и направляющих роликов с расположенной между ними обоймой с образцом, причем один из роликов закреплен в на- § иравняющих на несущей планке с возможностью прижима к обойме с помощью f (пружины и вращения обоймь* через * гибкое звено от ведущего шкива. ζ с

   СТ к сс

   ОС