SU1046612A1 - Фотоэлектрический преобразователь перемещений - Google Patents
Фотоэлектрический преобразователь перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU1046612A1 SU1046612A1 SU782656063A SU2656063A SU1046612A1 SU 1046612 A1 SU1046612 A1 SU 1046612A1 SU 782656063 A SU782656063 A SU 782656063A SU 2656063 A SU2656063 A SU 2656063A SU 1046612 A1 SU1046612 A1 SU 1046612A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- raster
- input
- photodetectors
- amplifier
- indicator
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий последовательно установленные освет тель, конденсатор, индикаторный растр, измерительный растр со штрихами посто нного шага, два фотоприемника , два суммирующих усилител и блок логической обработки, вход которого соединен с выходом каждого усилител , а вход каждого усилител соединен с выходом соответствующего фотоприемника, отличающий с тем, что, с целью повышени точностипрербразовани , он снабжен третьим фотоприемником, соединенным с вторым входом каждого из усилителей, индикаторный растр выполнен с трем растровыми участками, сдвинутыми один относительно другого на четверть шага и имеющими штрихи того же шага, что и .измерительный растр, а каждый из фотоприемников расположен напротив одного из участков индикаторного растра. . а
Description
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к конструкции устройств для измерений линейных и угловых перемещений.
Известен фотоэлектрический преобразователь перемещений, содержащий подвижный и неподвижный растровые диски., на одном из которых нанесены две пары диаметрально расположенных растровых секторов со сдвигом на 1/4 шага· в каждой, паре, а на другом радиальные растры, дополнительный штрих, осветитель и фотоприемники [1] .
Недостаток преобразователя заключается в отсутствии компенсации ло-. кальных дефектов подвижного растрового диска, а также в наличии погрешности фазировки и невысокого отношения сигнал-шум.
Наиболее близким по технической сущности к изобретению является фото-_п электрический преобразователь перемещений, содержащий последовательно установленные осветитель, конденсатор, индикаторный растр, измеритель-, ный растр со штрихами постоянного шада, два рабочих фотоприемника, два суммирующих усилителя и блок логической обработки [2] .
В этом преобразователе постоянные составляющие сигналов компенсируются с помощью четырех фотоприемников (на каждый рабочий приемнйк приходится один компенсационный), что усложняет.1 конструкцию, кроме того, небольшая, величина отношения сигнал-шум снижает точность преобразования перемещений. г
Целью изобретения является повышение точности преобразования.
Поставленная цель достигается тем, что преобразователь снабжен третьим рабочим фотоприемником, соединенным с вторым входом каждого из.' усилителей, индикаторный растр выполнен с тремя растровыми участками, сдвинутыми один относительно другого на четверть шага и имеющими штрихи того же шага, что и измерительный растр, а каждый из фотоприемников, расположен напротив одного из участков индикаторного растра.
На чертеже изображена схема преобразователя.
Фотоэлектрический преобразователь перемещений содержит осветитель 1·, конденсатор 2, индикаторный растр
Тс тремя нанесенными растровыми ' ' участками, сдвинутыми друг относи.тельно друга на четверть шага, измерительный растр 4 со штрихами постоянного шага, три фотоприемника 5-7, расположенные под растровыми участками растра 3, два суммирующих усилителя 8 и 9 и блок 10 логической обработки сигналов.
Преобразователь работает следующим образом.
Осветитель 1 с помощью конденсатора 2 создает параллельный световой поток. При перемещении измерительного растра 4, жестко связанного с перемещаемым объектом относительно индикаторного растра 3, растровое сопряжение образует модуляцию светового потока, которая с помощью фотоприемников 5-7 преобразовывается в электрические сигналы, соответственно синусоидальный, косинусоидальный и синусоидальный инвертированный. В этих сигналах кроме полезной информации имеется еще неинформационная составляющая из-за различных факторов, например, некачественного изготовления растровых решеток , которая должна быть скомпенсирована.
Сигналы с фотоприемников 5-7 поступают в усилители 8 и 9, причем в усилителе 8 из синусоидального сигнала фотоприемника 5 вычитается косинусоидальный сигнал фотоприемника 6, а в’ усилителе 9 из косинусо35® идального сигнала фотоприемника 6 синусоидальный инвертированный сигнал фотоприемника 7.
На выходе усилителя образуются два сигнала, сдвинутых друг отноI сительно друга на четверть шага и несущих только-.основную информацию о перемещении. При этом постоянные составляющие скомпенсированы полностью, амплитуда полезных сигналов возросла ‘ Таким чию трех растре и .же используемой схеме их включения, удалось полностью скомпенсировать • нёинформационные составляющие измерений, и за счет увеличения амплитуды выходных сигналов усилителей до- биться повышения точности преобразования.
.туда полезных сигналов в -ЛГ, т.е. на 40%. образом, благодаря налиучастков на индикаторном трех фотоприемников, а так-
Claims (1)
- ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий последовательно установленные осветитель, конденсатор, индикаторный растр, измерительный растр со штри хами постоянного шага, два фотоприемника , два суммирующих усилителя и блок логической обработки, вход которого соединен с выходом каждого усилителя, а вход каждого усилителя соединен с выходом соответствующего фотоприемника, отличающий с я тем, что, с целью повышения точности преобразования, он снабжен третьим фотоприемником, соединенным с вторым входом каждого из усилителей, индикаторный растр выполнен с тремя растровыми участками, сдвинутыми один относительно другого на четверть шага и имеющими штрихи того же шага, что и .измерительный растр, а каждый из фотоприемников расположен напротив одного из участков индикаторного растра.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782656063A SU1046612A1 (ru) | 1978-08-15 | 1978-08-15 | Фотоэлектрический преобразователь перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782656063A SU1046612A1 (ru) | 1978-08-15 | 1978-08-15 | Фотоэлектрический преобразователь перемещений |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1046612A1 true SU1046612A1 (ru) | 1983-10-07 |
Family
ID=20781875
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU782656063A SU1046612A1 (ru) | 1978-08-15 | 1978-08-15 | Фотоэлектрический преобразователь перемещений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1046612A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111197959A (zh) * | 2018-11-20 | 2020-05-26 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种光栅测量系统及光刻机 |
-
1978
- 1978-08-15 SU SU782656063A patent/SU1046612A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Авторское свидетельство ССС 466381, кл. G 01 В 19/00, 1975. 2. Патент Польши 79674, кл. 42 d 1/15, 1974 (прототип). * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111197959A (zh) * | 2018-11-20 | 2020-05-26 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种光栅测量系统及光刻机 |
CN111197959B (zh) * | 2018-11-20 | 2021-09-17 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种光栅测量系统及光刻机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109029514B (zh) | 单码道绝对式时栅角位移测量系统 | |
CN118565531A (zh) | 一种绝对式光电编码器信号处理方法 | |
SU1046612A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещений | |
DE58904975D1 (de) | Winkelmesseinrichtung. | |
CN101464188B (zh) | 提高光电传感器灵敏度的方法 | |
Jiang et al. | A Phased-array Optoelectronic Detector using Phase-difference Filtering Technology for Incremental Encoder Application | |
SU665205A1 (ru) | Датчик линейных перемещений | |
SU1677526A1 (ru) | Растровый фотоэлектрический преобразователь угловых перемещений | |
SU1583735A1 (ru) | Индикаторный растр к четырехканальному фотоэлектрическому измерительному преобразователю | |
JPS5892819A (ja) | 光電式エンコ−ダ装置 | |
JPH0521485B2 (ru) | ||
SU1029005A1 (ru) | Фотоэлектронное измерительное устройство | |
SU1087774A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещений | |
SU619796A1 (ru) | Преобразователь перемещени в фазу | |
SU388292A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещение —код | |
SU966721A1 (ru) | Устройство считывани фотоэлектрического растрового преобразовател | |
SU1465692A1 (ru) | Устройство дл измерени малых перемещений | |
SU1285319A1 (ru) | Фотоэлектрический растровый датчик | |
SU1180693A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещений | |
SU974388A1 (ru) | Устройство дл преобразовани перемещений в код | |
RU1793214C (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещений | |
SU395884A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь «угол — фаза» | |
SU1693372A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещени | |
SU911146A1 (ru) | Интерференционный дилатометр | |
SU1035418A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещений |