SU1046612A1 - Фотоэлектрический преобразователь перемещений - Google Patents

Фотоэлектрический преобразователь перемещений Download PDF

Info

Publication number
SU1046612A1
SU1046612A1 SU782656063A SU2656063A SU1046612A1 SU 1046612 A1 SU1046612 A1 SU 1046612A1 SU 782656063 A SU782656063 A SU 782656063A SU 2656063 A SU2656063 A SU 2656063A SU 1046612 A1 SU1046612 A1 SU 1046612A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
raster
input
photodetectors
amplifier
indicator
Prior art date
Application number
SU782656063A
Other languages
English (en)
Inventor
Романас-Тадас Казио Дзетавяцкас
Григорий Савельевич Жаунеров
Ленгинас Ионо Кулис
Борис Ильич Минцерис
Ионас Ионо Сакалаускас
Original Assignee
Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков filed Critical Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков
Priority to SU782656063A priority Critical patent/SU1046612A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1046612A1 publication Critical patent/SU1046612A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий последовательно установленные освет тель, конденсатор, индикаторный растр, измерительный растр со штрихами посто нного шага, два фотоприемника , два суммирующих усилител  и блок логической обработки, вход которого соединен с выходом каждого усилител , а вход каждого усилител  соединен с выходом соответствующего фотоприемника, отличающий с   тем, что, с целью повышени  точностипрербразовани , он снабжен третьим фотоприемником, соединенным с вторым входом каждого из усилителей, индикаторный растр выполнен с трем  растровыми участками, сдвинутыми один относительно другого на четверть шага и имеющими штрихи того же шага, что и .измерительный растр, а каждый из фотоприемников расположен напротив одного из участков индикаторного растра. . а

Description

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к конструкции устройств для измерений линейных и угловых перемещений.
Известен фотоэлектрический преобразователь перемещений, содержащий подвижный и неподвижный растровые диски., на одном из которых нанесены две пары диаметрально расположенных растровых секторов со сдвигом на 1/4 шага· в каждой, паре, а на другом радиальные растры, дополнительный штрих, осветитель и фотоприемники [1] .
Недостаток преобразователя заключается в отсутствии компенсации ло-. кальных дефектов подвижного растрового диска, а также в наличии погрешности фазировки и невысокого отношения сигнал-шум.
Наиболее близким по технической сущности к изобретению является фото-_п электрический преобразователь перемещений, содержащий последовательно установленные осветитель, конденсатор, индикаторный растр, измеритель-, ный растр со штрихами постоянного шада, два рабочих фотоприемника, два суммирующих усилителя и блок логической обработки [2] .
В этом преобразователе постоянные составляющие сигналов компенсируются с помощью четырех фотоприемников (на каждый рабочий приемнйк приходится один компенсационный), что усложняет.1 конструкцию, кроме того, небольшая, величина отношения сигнал-шум снижает точность преобразования перемещений. г
Целью изобретения является повышение точности преобразования.
Поставленная цель достигается тем, что преобразователь снабжен третьим рабочим фотоприемником, соединенным с вторым входом каждого из.' усилителей, индикаторный растр выполнен с тремя растровыми участками, сдвинутыми один относительно другого на четверть шага и имеющими штрихи того же шага, что и измерительный растр, а каждый из фотоприемников, расположен напротив одного из участков индикаторного растра.
На чертеже изображена схема преобразователя.
Фотоэлектрический преобразователь перемещений содержит осветитель 1·, конденсатор 2, индикаторный растр
Тс тремя нанесенными растровыми ' ' участками, сдвинутыми друг относи.тельно друга на четверть шага, измерительный растр 4 со штрихами постоянного шага, три фотоприемника 5-7, расположенные под растровыми участками растра 3, два суммирующих усилителя 8 и 9 и блок 10 логической обработки сигналов.
Преобразователь работает следующим образом.
Осветитель 1 с помощью конденсатора 2 создает параллельный световой поток. При перемещении измерительного растра 4, жестко связанного с перемещаемым объектом относительно индикаторного растра 3, растровое сопряжение образует модуляцию светового потока, которая с помощью фотоприемников 5-7 преобразовывается в электрические сигналы, соответственно синусоидальный, косинусоидальный и синусоидальный инвертированный. В этих сигналах кроме полезной информации имеется еще неинформационная составляющая из-за различных факторов, например, некачественного изготовления растровых решеток , которая должна быть скомпенсирована.
Сигналы с фотоприемников 5-7 поступают в усилители 8 и 9, причем в усилителе 8 из синусоидального сигнала фотоприемника 5 вычитается косинусоидальный сигнал фотоприемника 6, а в’ усилителе 9 из косинусо35® идального сигнала фотоприемника 6 синусоидальный инвертированный сигнал фотоприемника 7.
На выходе усилителя образуются два сигнала, сдвинутых друг отноI сительно друга на четверть шага и несущих только-.основную информацию о перемещении. При этом постоянные составляющие скомпенсированы полностью, амплитуда полезных сигналов возросла ‘ Таким чию трех растре и .же используемой схеме их включения, удалось полностью скомпенсировать • нёинформационные составляющие измерений, и за счет увеличения амплитуды выходных сигналов усилителей до- биться повышения точности преобразования.
.туда полезных сигналов в -ЛГ, т.е. на 40%. образом, благодаря налиучастков на индикаторном трех фотоприемников, а так-

Claims (1)

  1. ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий последовательно установленные осветитель, конденсатор, индикаторный растр, измерительный растр со штри хами постоянного шага, два фотоприемника , два суммирующих усилителя и блок логической обработки, вход которого соединен с выходом каждого усилителя, а вход каждого усилителя соединен с выходом соответствующего фотоприемника, отличающий с я тем, что, с целью повышения точности преобразования, он снабжен третьим фотоприемником, соединенным с вторым входом каждого из усилителей, индикаторный растр выполнен с тремя растровыми участками, сдвинутыми один относительно другого на четверть шага и имеющими штрихи того же шага, что и .измерительный растр, а каждый из фотоприемников расположен напротив одного из участков индикаторного растра.
SU782656063A 1978-08-15 1978-08-15 Фотоэлектрический преобразователь перемещений SU1046612A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782656063A SU1046612A1 (ru) 1978-08-15 1978-08-15 Фотоэлектрический преобразователь перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782656063A SU1046612A1 (ru) 1978-08-15 1978-08-15 Фотоэлектрический преобразователь перемещений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1046612A1 true SU1046612A1 (ru) 1983-10-07

Family

ID=20781875

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU782656063A SU1046612A1 (ru) 1978-08-15 1978-08-15 Фотоэлектрический преобразователь перемещений

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1046612A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111197959A (zh) * 2018-11-20 2020-05-26 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种光栅测量系统及光刻机

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство ССС 466381, кл. G 01 В 19/00, 1975. 2. Патент Польши 79674, кл. 42 d 1/15, 1974 (прототип). *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111197959A (zh) * 2018-11-20 2020-05-26 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种光栅测量系统及光刻机
CN111197959B (zh) * 2018-11-20 2021-09-17 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种光栅测量系统及光刻机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109029514B (zh) 单码道绝对式时栅角位移测量系统
CN118565531A (zh) 一种绝对式光电编码器信号处理方法
SU1046612A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещений
DE58904975D1 (de) Winkelmesseinrichtung.
CN101464188B (zh) 提高光电传感器灵敏度的方法
Jiang et al. A Phased-array Optoelectronic Detector using Phase-difference Filtering Technology for Incremental Encoder Application
SU665205A1 (ru) Датчик линейных перемещений
SU1677526A1 (ru) Растровый фотоэлектрический преобразователь угловых перемещений
SU1583735A1 (ru) Индикаторный растр к четырехканальному фотоэлектрическому измерительному преобразователю
JPS5892819A (ja) 光電式エンコ−ダ装置
JPH0521485B2 (ru)
SU1029005A1 (ru) Фотоэлектронное измерительное устройство
SU1087774A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещений
SU619796A1 (ru) Преобразователь перемещени в фазу
SU388292A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещение —код
SU966721A1 (ru) Устройство считывани фотоэлектрического растрового преобразовател
SU1465692A1 (ru) Устройство дл измерени малых перемещений
SU1285319A1 (ru) Фотоэлектрический растровый датчик
SU1180693A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещений
SU974388A1 (ru) Устройство дл преобразовани перемещений в код
RU1793214C (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещений
SU395884A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь «угол — фаза»
SU1693372A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещени
SU911146A1 (ru) Интерференционный дилатометр
SU1035418A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещений