SU1043556A1

SU1043556A1 - Piezo plate quality determination method

Info

Publication number: SU1043556A1
Application number: SU813310899A
Authority: SU
Inventors: Эугениюс Леонидович Пилецкас; Юрий Георгиевич Шмаков
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6856
Priority date: 1981-07-01
Filing date: 1981-07-01
Publication date: 1983-09-23

Abstract

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КАЧЕСТВА ПЬЕЗОПЛАСТИНЫ, заключающийс в том, что в пьезопластине возбуждают акустические колебани ,последовательно измер ют амплитуду и фазу колебаний в разных точках пьезопластины и по соотношению амплитуд и фаз колебаний в разных точках определ ют качество, отличающийс тем, что, с целью повьвлени -точности контрол , измерение амплитуды и фазы колебаний провод т одновременно в двух диаметрально противоположных точках, расположенных на цилиндрической поверхности пьезопластины,а амплитуду и фазу акустических колебаний определ ют по радиальной электромагнитной составл ющей, возникающей при колебании ,, пьез опластины .A METHOD FOR DETERMINING THE QUALITY OF PIEZOPLASTIN, which consists in the fact that acoustic oscillations are excited in a piezoelectric plate, the amplitude and phase of the oscillations are measured at different points of the piezoplates, and the ratio of the amplitudes and phases of the oscillations at different points determines the quality that differs from accuracy of control, measurement of the amplitude and phase of oscillations is carried out simultaneously in two diametrically opposite points located on the cylindrical surface of the piezoplate, and the amplitude and phase of the acoustic FIR oscillation is determined by the radial component of the electromagnetic arising of oscillation ,, piezo oplastiny.

Description

(Л(L

сwith

вat

4four

: елate

елate

9: Изобретение относитс к неразрушающему контролю и может быть испол зовано при ультразвуковом контроле ЯЛ определени качест,а0 пьезопласти Известен способ определени каче ства пьезопластин,заключающийс в том, что в пьезопластине возбуждают радиальные акустические колебани / сканируют поверхность пьезоплас±ины искателем, регистрируют последовательно сигнал от каждой колебающейс точки и по распределению колебаний относительно центра пьезопластины суд т о ее качестве Cl Однако этот способ имеет низкую точность измерени , что св зано с ошибками, возникающими из-за различи в контакте искател и пьезопласт в различных точках. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату вл етс способ опр делени качества пьезопластины,заклю чающийс в том, что в пьезопластине возбуждают акустические колебани , последовательно измер ют амплитуду и фазу колебаний в разных точках пьезопластины и по соотношению ампли туд и фаз колебаний в разных точках суд т о ее качестве 2 J, Недостатками известного способа вл ютс низкие достоверность и точность измерени , поскольку осуществл етс сканирование пьезопластины контактным путем, и необходима точна фиксаци точки на поверхности пластины, где фаза колебаний измен етс . Целью изобретени вл етс повышение точности контрол . Поставленна цель достигаетс тем ЧТОсогласно способу определени качества пьезопластины, заключающемус э том, что в пьезопластине возбуждают акустические колебани , последова тельно измер ют амплитуду и фазу колебаний в разных точках пьезопластин и по соотношению амплитуд и фаз коле баний в разных точках определ ют качество , измерение амплитуды и фазы колебаний провод т одновременно в двух диаметрально противоположных точках,- расположенных на цилиндрической поверхности пьезопластины, а амплитуду и фазу акустических колебаний (определ ют по радиальной электромагнитной составл ющей, возникающей при колебании .пьезопластины. Способ определени качества пьезопластин осуществЛ етс следующим образом . , В исследуемой пьезопластине возбуждают на резонансной частоте акустические радиальные колебани . Одновременно провод т измерение амплитуды и фазы колебаний в двух диаметрально противоположных точках,расположенных эквидистантно геометрическому центру пьезопластины на ее цилиндрической no-t верхности.Амплитуду и фазу акустических колебаний определ ют по радиальной электромагнитной составл ющей,котора возникает из-за обратного пьезозффекта на непокрытой экранирующим электродом цилиндрической поверхности.Причем из мерение радиальной электромагнитной составл ющей осуществл етс бесконтакт ным методом с помощью э лек трои ндукцйонных датчиков.Затем осуществл ют поочередное изменение амплитуды и фазы акустических колебаний в двух других диаметрально противоположных точках, расположенных на цилиндрической поверхности пьезопластины. Измеренные амплитуды и фазы акустических колебании сравнивают между собой, а качество пьезопластин определ ют по отклонени м от симметрии .распределени колебаний, сн тых с диаметрально прогтивоположных точек цилиндрической поверхности пьезр.пластины. Таким образом, изобретение позвол ет повысить точность контрол путем сравнени амплитуд и фаз акустических колебаний, диаметрально противоположных точек, расположенных на цилиндрической поверхности пьезоэле- мента, при бесконтактном измерении параметров акустических колебаний и исключении механического сканировани .9: The invention relates to non-destructive testing and can be used with ultrasonic testing of quality NL, a0 piezoplastic A method for determining the quality of piezoplates is known, which consists in initiating a radial acoustic oscillations / scanning the surface of the piezoplasma with a finder, registering a signal from each oscillating point and from the distribution of oscillations relative to the center of the piezoplate, its quality is judged. However, this method has low accuracy of measurement, which This is due to errors arising from differences in the contact between the seeker and the piezoplast at different points. The closest to the invention in technical essence and the achieved result is a method for determining the quality of a piezoplate, in that acoustic oscillations are excited in a piezoplastin, the amplitude and phase of the oscillations are measured at different points of the piezoplate and by the ratio of amplitudes and oscillation phases different points judge its quality as 2 J. The disadvantages of this method are low accuracy and accuracy of measurement, since piezoplates are scanned by contact, and bob accurate fixing point on the wafer surface where the phase fluctuations varies. The aim of the invention is to improve the accuracy of control. The goal is achieved by the following method of determining the quality of a piezoplate, which is to excite acoustic oscillations in a piezoplastin, consistently measure the amplitude and phase of oscillations at different points of the piezoplates, and determine the measurement of the amplitudes at different points according to the amplitudes and phases of oscillations at different points and the phases of oscillations are carried out simultaneously in two diametrically opposite points, located on the cylindrical surface of the piezoplate, and the amplitude and phase of the acoustic oscillations (determined by the radial electromagnetic component arising during the oscillation of the piezoplate. The method of determining the quality of the piezoplastin is carried out as follows. In the piezoplast under study, acoustic radial oscillations are excited at the resonant frequency. At the same time, the amplitude and phase of the oscillations are measured at two diametrically opposite points, equidistant to the geometric center of the piezoplate on its cylindrical no-t surface. The amplitude and phase of the acoustic oscillations are determined by radial electromagnetic component, which arises due to the inverse piezoelectric effect on the cylindrical surface uncovered by the shielding electrode. In this case, the radial electromagnetic component is measured by a contactless method using elecroductance sensors. Then, the amplitude and phase of acoustic oscillations in the oscillations are measured in two other diametrically opposite points located on the cylindrical surface of the piezoplates. The measured amplitudes and phases of the acoustic oscillations are compared with each other, and the quality of the piezoplates is determined by the deviations from the symmetry of the distribution of the oscillations taken from diametrically opposite points of the cylindrical surface of the piezo plate. Thus, the invention makes it possible to increase the control accuracy by comparing the amplitudes and phases of acoustic oscillations, diametrically opposite points located on the cylindrical surface of the piezoelectric element, with non-contact measurement of acoustic oscillation parameters and exclusion of mechanical scanning.

Claims

A METHOD FOR DETERMINING THE QUALITY OF A PIEZO PLAST, which consists in the fact that acoustic vibrations are excited in a piezoelectric plate, successively measure the amplitude and phase of vibrations at different points of the piezoelectric plate and determine the quality, which is different in that, in order to achieve accuracy control, measuring the amplitude and phase of the oscillations are carried out simultaneously at two diametrically opposite points located on the cylindrical surface of the piezoelectric plates, and the amplitude and phase of the acoustic frigged determined by the radial component of the electromagnetic arising of oscillation ,, 'piezoceramic plate.

00 SI SP □ o>