Изобретение относитс , к электронной микроскопии, а именно-к сиетемам управлени растровых электронных микроскопов (РЭМ). Известно устройство отсчета и ре гулировки увеличени РЭМ, содержацее канал формировани разверток и вычислительный Ланал Cl. Недостатком этого устройства вл етс сложность вычислительного ка нала. Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс - у ройство, содержащее соединенный с отклон ющей системой канап формиро вани разверток, включающий задающий генератор, регул тор увеличени и усилитель развертки, канал фокусировки электронного зонда, включающий соединенный с формирующей линзой стабилизатор тока, вычислительный канал, включающий аналогоцифровой преобразователь, один из входов которого соединен с задающим генератором, а выход - со счет чиком импульсов, цифровой индикатор соединенный с вйходом счетчика импульсов , декадный переключатель увеличени , выходы которого соедин ны с усилителем тока развертки и счетчи.ком импульсов, а также канал регул тора ускор ющего HainpHжени С2 .В известном устройстве в вычислительный каналу ввод тс все аргументы , определ ющие увеличение в.. РЭМ, что приводит к большой погреш ности отсчета увеличени . Цель изобретени - повышение точ ности .отсчета увеличени в РЭМ, Указанна цель достигаетс тем, .что устройство отсчета и регулировк увеличени в РЭМ, содержащее соединенный с отклон ющей системой канал формировани разверток включающий задающий генератор, регул тор узеличени и усилитель тока развертки канал фокусировки электронного зонда , включающий соединенный с формирующей линзой стабилизатор тока, вы числительный канал, включающий . аналого-цифровой преобразователь, один из входов которого соединение задающим генератором, а выход -со счетчиком импульсов, цифровой индикатор , соединенный с выходом счет чика импульсов, декадньгй переключатель увеличени , выходы которого соединены с усилителем тока ра:зверт ки и счетчиком импульсов, а также канал регул тора ускор ющего Напр жени , снабжено схемой умножени , усилителем-компенсатором и регул то ром числа витков формирующей линзы при этом первый вход схемы умножени соединен с выходом регул тора увеличени , второй --с дополнительнЕЙл выходом стабилизатора тока формирую щей линзы, а ее выход - с вторым входом аналого-цифрового преобразовател , усилитель-компенсатор вклю- чен между регул тором увеличени и усилителем тока разверток, регул тор числа витко-в включен между формирующей линзой и стабилизатором тока, а выход регул тора ускор ющего- напр жени соединен с дополнительными входами регул тора числа витков и усилител -компенсатора. . На чертеже представлена схема устройства . В состав РЭМ ВХОДЯТотклон юща система 1, -формирующа линза 2 И исследуе.мый объект 3. С формирующей линзой соединен регул тор 4 числа витков и стабилизатор 5 тока, образующие канал фокусировки электронного зонда. Канал формировани разверток содержит последовательно включенные задающий генератор 6, регул тор 7.увеличени , усилителькомпенсатор . 8 и усилитель 9 тока разверток. Схема 10 умножени , аналого-цифровой преобразователь 11, счетчик 12 импульсов .и -цифровой индикатор 13 образуют вычислительный канал -с декадным переключателем 1.4 увеличени , выходы которого соединены с усилителем 9 тока развертки и-счетчиком 12 импульсов. Первый вход схемы 10 умножени соединен с выходом регул тора 7 увеличени , второй с дополни- . Тельньм выходом стабилизатора 5 тока формующей линзы. - Выход регу-л тора 15 ускор ю щего напр жени соединен с дополнительйыми входами регул тора 4 .числа витков «и усилител -компенсатора 8. Дополнительные вы-, ходы задающего генератора 6 соединены с аналого-цифровым преобразователем 11 и счетчиком 12 импульсов. Устройство работает следующим образом. Пилообразные напр жени разверток , формируемые задающим генератором 6 разверток, через регул тор 7 увеличени , который обеспечивает плавную регулировку амплитуды пилообразных напр жений в пределах одной декады, поступают на усилитель-компенсатор 8. Усилитель-компенсатор 8 электрически соединен с регул тором 15 ускор ющего напр жени , что позвол ет измен ть амплитуды пилообразных напр жений таким образом, чтобы поддерживать размеры растра на объекте 3 посто нными, не завис щими от величины ускор ющего напр жени электронной пушки. Кроме того, благодар св зи регул т эра 15 ускор ющего напр жени с дискретнЕ4м регул тором 4 числа витков, сохран етс значение тока фокусировки коммутацией соответствующего числаThe invention relates to electron microscopy, namely to control systems of scanning electron microscopes (SEM). A device for counting and adjusting the increase in SEM is known, which contains a channel for forming sweeps and a computational Lanal Cl. A disadvantage of this device is the complexity of the computing channel. The closest to the invention in its technical essence is a device containing a sweep-forming deflecting system connected to a deflecting system, including a master oscillator, a zoom controller and a sweep amplifier, an electron probe focusing channel, a current stabilizer connected to the lens shaping , which includes an analog-to-digital converter, one of the inputs of which is connected to the master oscillator, and the output is connected to a pulse counter, a digital indicator connected to an input counter pulses, a ten-day zoom switch, the outputs of which are connected to a sweep current amplifier and pulse counter, and an accelerator HainPH C2 regulator channel. In a known device, all arguments defining an increase in the SEM are entered into a computational channel. leads to a large increase in readout error. The purpose of the invention is to improve the accuracy of the calculation of the increase in the SEM. a probe, including a current stabilizer connected to the forming lens, and a numeral channel, including. an analog-to-digital converter, one of the inputs of which is a connection by a master oscillator, and the output is a pulse counter, a digital indicator connected to the output of the pulse counter, a decadal zoom switch, whose outputs are connected to a current amplifier, and the accelerator voltage regulator channel is equipped with a multiplication circuit, an amplifier-compensator and a regulator of the number of turns of the forming lens; the first input of the multiplication circuit is connected to the output of the zoom controller, the second one is the output of the current stabilizer of the forming lens, and its output with the second input of the analog-digital converter, the amplifier-compensator is connected between the zoom controller and the current amplifier of the sweeps, the number-turn controller is connected between the forming lens and the current stabilizer, and the output of the accelerator-voltage regulator is connected to the additional inputs of the regulator of the number of turns and the amplifier-compensator. . The drawing shows a diagram of the device. The SEM INPUT deflecting system 1 includes a forming lens 2 and an investigated object 3. A regulator 4 of the number of turns and a current stabilizer 5 are connected to the forming lens, forming the focusing channel of the electronic probe. The channel for forming the sweeps contains a series-connected master oscillator 6, an increase controller 7., an amplifier compensator. 8 and a current sweep amplifier 9. A multiplication circuit 10, an analog-digital converter 11, a pulse counter 12. And a digital indicator 13 form a computational channel-with a ten-day zoom switch 1.4, the outputs of which are connected to a sweep current amplifier 9 and a counter-pulse 12. The first input of the multiplication circuit 10 is connected to the output of the increase controller 7, the second with the additional. Telm output stabilizer 5 current forming lens. - The output of the accelerator regulator 15 is connected to the additional inputs of the regulator 4. The number of turns of the amplifier and the compensator 8. The additional outputs of the master oscillator 6 are connected to the analog-to-digital converter 11 and the counter 12 pulses. The device works as follows. The swept voltage sweeps, generated by the sweep generator 6, through the increase controller 7, which ensures smooth adjustment of the sawtooth voltage amplitude within one decade, are fed to the compensator amplifier 8. The compensator amplifier 8 is electrically connected to the accelerator regulator 15 that allows changing the amplitude of the sawtooth voltage in such a way as to keep the raster dimensions on object 3 constant, independent of the accelerating voltage of the electron gun . In addition, due to the connection of the regulator era 15 of the accelerating voltage with the discrete 4 regulator 4 number of turns, the value of the focusing current by switching the corresponding number