SU1040358A1 - Thermoelectric resistance manometer pickup - Google Patents

Thermoelectric resistance manometer pickup Download PDF

Info

Publication number
SU1040358A1
SU1040358A1 SU823429086A SU3429086A SU1040358A1 SU 1040358 A1 SU1040358 A1 SU 1040358A1 SU 823429086 A SU823429086 A SU 823429086A SU 3429086 A SU3429086 A SU 3429086A SU 1040358 A1 SU1040358 A1 SU 1040358A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
tungsten
manometer
pickup
thread
coating
Prior art date
Application number
SU823429086A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Дмитрий Васильевич Быков
Вадим Евгеньевич Вислоух
Геральд Дмитриевич Глебов
Владимир Семенович Елисеев
Ольга Ивановна Кондрашова
Original Assignee
Московский Институт Электронного Машиностроения
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский Институт Электронного Машиностроения filed Critical Московский Институт Электронного Машиностроения
Priority to SU823429086A priority Critical patent/SU1040358A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1040358A1 publication Critical patent/SU1040358A1/en

Links

Abstract

ДАТЧИК ТЕПЛОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО НАНОМЕТРА СОПРОТИВЛЕНИЯ, содержащий корпус, внутри которого на токоподаодах закреплен термочувствительный , выполненный в виде нити, имеющей снаружи металлическое покрытие, от л и ч а ю щ И и с   тем, что, с целью повышени  стабильности градуировочной характеристики манометра, гнить выполнена из вольфрамрениевого сплава, а покрытие - из роди . i СО f J L 00 СП эо THERMAL-ELECTRIC RESISTANCE NANOMETER SENSOR, comprising a housing inside which a temperature-sensitive, made in the form of a thread having a metal coating outside is fixed on the current leads from the fact that, in order to increase the stability of the calibration characteristic of the pressure gauge, rotting is performed from tungsten and alloy, and the coating - from the rod. i CO f J L 00 SP eo

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике, в частности к датчикам теплоэлектрического манометра сопротивлени  (Пирани), примен емым дл  измерени  давлений ниже 10 Па. Известны манометрические лампыдатчики с чувствительным элементом в форме нити из вольфрамовой или пла тиновой проволоки диаметром около 25 мкм, концы которой приварены к двум траверсам-токовводам jji}, Однако плоха  чувствительность из вестных устройств не позвол ет измер ть давлени  ниже 0,05 Па, Известна также лампа-датчик тепло электрического манометра сопротивлени , содержаща  биметаллическую нить накала - позолоченную вольфрамовую проволоку диаметром 10 мкм Вследствие малого коэффициента излучени  золота (по сравнению с вольфрамом или плати.ной) и достаточно большего удельного электрического сопротивлени  вольфрама такой манометр сразу после его изготовлени  весьма чувствителен. Однако стабильность градуировочной характеристики манометра быстро падает, так как тонкое (0,8-1,5 мкм) золотое покрытие на вольфраме неустойчиво, технологические прогревы измен ют его коэффициент излучени  настолько,. что чувствительность падает по сравнению с первоначальной на два-три пор дка величины и в дальнейшем не выходит за пределы Па. Утолщение покрыти  невозможно, потому чт электрическое сопротивление и температурный коэффициент сопротивлени  золота примерно вдвое ниже, чем у вольфрама. Цель изобретени  - повышение стабильности градуировочной характеристики манометра. Поставленна  цель достигаетс  тем что в датчике теплоэлектрического ма нометра сопротивлени , содержащем корпус, внутри которого на токоподводах закреплен термочувствительный элемент, выполненный в виде нити, имеющей снаружи металлическое покрытие , нить выполнена из вольфрамрение вого сплава, а покрытие - из роди . Физические причины высокой работоспособности такого прибора заключаютс  в следующем. Родий имеет более низкий коэффициент излучени  (О,016) по сравнению с другими подход щими металлами, например(платиной 0,) se вольфрамом (0,032), золотом (0,02), при , что непосредственно уменьшает паразитное рассе ние энергии. Удельные электрические сопротивлени  Я обеих составных частей нити более благопри тны, нежели у золоченого вольфрама. Вольфрамрениевый сплав (ВР-20) Вольфрам (ВЧ) Золото В отличие от системы вольфрамзолото родированна  поверхность вольфрамрениевого сплава не измен ет свои лучеиспускательные свойства при длительных и неоднократных прогревах до 700-800 С. Эта неизменность хорошо выражена при минимальных толщинах родиевого сло , что дает возможность использовать очень тонкие покрыти , и, следовательно, тонкие нити. В соотееТ;СТвии с этим обеспечиваетс  стабильность чувствительности манометра. На фиг. 1 показана конструкци  датчика; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1. Датчик содержит нить 1 накала с внешним диаметром около 6 мкм и длиной 100-120 мм, котора  приварена к молибденовым токовводам 2 стекл нной оболочки 3 «через никелевые прокладки Ц. Дл  надежного подсоединени  к радиоизмерительной схеме внешние концы вводов снабжены па ными хвостиками 5 из платины или серебра. Нить накала изготовлена из вольфрамрениевого сплава-и покрыта снаружи слоем 6 металлического роди  толщиной 0,1-0,15 мкм. В результате снижени  излучательной cпocoбнoctи нити накала, увеличени  ее электрического сопротивлени  (на единицу длины) и устойчивости нити к прогревам нижний предел чувствительности манометра по давлению составл ет около Па при неизменности рабочих характеристик в течение минимум 10000 ч. Если толщина сло  роди  заметно превосходит 0,15-0,2 мкм, чувствительность прибора падает из-за роста электропроводности нити (наединицу длины). Если она меньше 0,1 мкм, излучательные, а следовательно, и электрические характеристики манометра станов тс  неустойчивыми. По сравнению с конструкцией манометрических ламп типа ЛТ-2, ЛТ-6 и т.п. высока  работоспособность предлагаемого датчика дает возможность использовать его в схемах вакуумной o joase автоматики вместо дорогосто щих ионизационных приборов, . оказывающих сильное вли ние на концентрацию и состав контролируемой среды.The invention relates to vacuum technology, in particular to sensors of a thermal electric resistance pressure gauge (Pirani), used to measure pressures of less than 10 Pa. Gauge lamps are known with a sensitive element in the form of a filament made of tungsten or platinum wire with a diameter of about 25 microns, the ends of which are welded to two jji jib cable traps. However, the sensitivity of known devices does not allow measuring pressure below 0.05 Pa. also the sensor lamp is a heat resistance electrical pressure gauge containing a bimetallic filament - a gold-plated tungsten wire with a diameter of 10 microns Due to the small emission of gold (compared to tungsten or plati.noy) and relatively greater electrical resistivity tungsten such gauge immediately after its manufacturing is very sensitive. However, the stability of the calibration characteristic of the manometer rapidly decreases, since a thin (0.8–1.5 µm) gold coating on tungsten is unstable, technological heating changes its emission coefficient as much as. that the sensitivity drops by two to three orders of magnitude compared to the initial value and does not go beyond Pa. Thickening of the coating is impossible, because the electrical resistance and temperature coefficient of resistance of gold is approximately twice as low as that of tungsten. The purpose of the invention is to increase the stability of the calibration characteristics of the manometer. The goal is achieved by the fact that the sensor of a thermoelectric resistance manometer contains a housing inside which a temperature sensor is mounted on the current leads made in the form of a thread having a metal coating on the outside, the thread is made of a tungsten alloy, and the coating is made of a rod. The physical reasons for the high availability of such a device are as follows. Rhodium has a lower emissivity (O, 016) compared to other suitable metals, for example (platinum 0,) se with tungsten (0.032), gold (0.02), with, which directly reduces parasitic energy dissipation. The specific electric resistances of both components of the filament are more favorable than those of gilded tungsten. Tungsten-Alloy (BP-20) Tungsten (HF) Gold Unlike the tungsten-gold system, the rhodium-plated surface of a tungsten-alloy does not change its radiating properties during long and repeated warm-ups to 700-800 C. This invariance is well pronounced at the minimum thickness of the rhodium layer, which gives the ability to use very thin coatings, and therefore thin filaments. In accordance with this, the stability of the sensitivity of the pressure gauge is ensured. FIG. 1 shows the sensor design; in fig. 2 shows section A-A in FIG. 1. The sensor contains a filament with an external diameter of about 6 microns and a length of 100-120 mm, which is welded to the molybdenum current leads 2 of the glass envelope 3 "through nickel gaskets C. For reliable connection to the radio metering circuit, the external ends of the inputs are provided with welded tails 5 from platinum or silver. The filament is made of a tungsten-alloy and is coated on the outside with a layer 6 of metallic rhodium with a thickness of 0.1-0.15 μm. As a result of reducing the emissivity of the filament, increasing its electrical resistance (per unit length) and the resistance of the filament to heating, the lower limit of pressure sensitivity of the gauge is about Pa, while the thickness of the rotor is noticeably greater than 0 15-0.2 μm, the sensitivity of the device decreases due to the growth of the electrical conductivity of the thread (unit length). If it is less than 0.1 microns, the radiative, and hence electrical, characteristics of the pressure gauge become unstable. Compared with the design of manometric lamps type LT-2, LT-6, etc. the high performance of the proposed sensor makes it possible to use it in vacuum o joase automation schemes instead of expensive ionization devices,. have a strong effect on the concentration and composition of the controlled medium.

Claims (1)

ДАТЧИК ТЕПЛОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО МАНОМЕТРА СОПРОТИВЛЕНИЯ, содержащий корпус, внутри которого на токоподводах закреплен термочувствительный элемент, выполненный в виде нити, имеюI щей снаружи металлическое покрытие, о тличающийся тем, что, с целью повышения стабильности градуировочной характеристики манометра, нить выполнена из вольфрамрениевого сплава, а покрытие - из родия.SENSOR OF THERMOELECTRIC RESISTANCE MANOMETER, comprising a housing inside which a thermosensitive element is fixed on the current leads, made in the form of a thread having a metal coating on the outside, characterized in that, in order to increase the stability of the calibration characteristics of the manometer, the thread is made of tungsten alloy and the coating is from rhodium. оо 1 сяoo 1 1 1040358 21 1040358 2
SU823429086A 1982-04-21 1982-04-21 Thermoelectric resistance manometer pickup SU1040358A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823429086A SU1040358A1 (en) 1982-04-21 1982-04-21 Thermoelectric resistance manometer pickup

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823429086A SU1040358A1 (en) 1982-04-21 1982-04-21 Thermoelectric resistance manometer pickup

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1040358A1 true SU1040358A1 (en) 1983-09-07

Family

ID=21008715

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823429086A SU1040358A1 (en) 1982-04-21 1982-04-21 Thermoelectric resistance manometer pickup

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1040358A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Лекк Дж. Измерение давлени в вакуумных системах. М,, 1966, с. 55-62.. 2. Ogrirt Т. Ргбс of the 7- International Vacuum Congr. Vienna, 1977, V.T, p. 149-152 (прЬтотип). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4594889A (en) Mass airflow sensor
US7322248B1 (en) Pressure gauge for organic materials
US2818482A (en) High speed clinical thermometers
JP4878289B2 (en) Pirani vacuum gauge
GB2285138A (en) Temperature sensor
US4246786A (en) Fast response temperature sensor and method of making
JP3457826B2 (en) Thin film resistor and method of manufacturing the same, flow sensor, humidity sensor, gas sensor, temperature sensor
GB2162686A (en) Thermistors
NO130887B (en)
SU1040358A1 (en) Thermoelectric resistance manometer pickup
US3237138A (en) Integral strain transducer
US5280264A (en) Resistor element having lead wire consisting of wire rod and covering alloy layer
CZ393190A3 (en) Sensor based on self-supporting fiber and process for producing thereof
US3186229A (en) Temperature-sensitive device
JPH1055903A (en) Structure of electronic component
WO2006010884A1 (en) Pirani pressure gauge
JP3045559B2 (en) Pirani vacuum gauge
US20090056464A1 (en) Pirani pressure gauge
JP2008507708A6 (en) Pirani pressure gauge
JPH06337229A (en) Temperature detection element and applied element thereof
US2367570A (en) Electric tube
JPS60125535A (en) Surface temperature sensor
CA1226317A (en) Fluorescent lamp circuit breaker with low contact resistor
JPH0338668Y2 (en)
JP3423083B2 (en) Flow meter sensor