SU1021959A1 - Anisotropic media polarization characteristic measuring device - Google Patents
Anisotropic media polarization characteristic measuring device Download PDFInfo
- Publication number
- SU1021959A1 SU1021959A1 SU823379087A SU3379087A SU1021959A1 SU 1021959 A1 SU1021959 A1 SU 1021959A1 SU 823379087 A SU823379087 A SU 823379087A SU 3379087 A SU3379087 A SU 3379087A SU 1021959 A1 SU1021959 A1 SU 1021959A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- analyzer
- compensator
- quarter
- axis
- modulator
- Prior art date
Links
Abstract
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОЛЯРИЗАЦИОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК АНИЗОТРОПНЫХ СРЕД , содержаи1ее оптически св занные источник монохрйматического и злу.чени , коллиматор, светоделительное зеркало, пол ризатор, модул тор держатель дл исследуемого образца , нормально отражаютее зеркало, компенсатор, анализатор, фотоприемник , соединенный с регистрирук аим устройством, о т л и ч а ю щ е- с . тем, что, с целью измерени всех пол ризационных параметров анизотропных сред и упрощени устройства, пол ризатор и модул тор последовательно расположены после коллиматора по ходу луча, между держателем дл исследуемого обра;эца и нормально отражающим зеркалом по ходу проход щего через светоделительное зеркало луча последовательно расположены перва и втора четвертьволновые пластинки, причем втора снабжена механизмом дл равномерного вращени вокруг оси луча, а Компенсатор, анализатор и фотоприемник расположены после светоделительного зеркала по ходу отраженного от него луча со стороны нормально отражак чего зеркала, между компенсатором и анализаторе расположена треть четвертьволнова пластинка, снабженна механизмом параллельного смещени , после анализатора установлен прерыватель луча, при этом модул тор выполнен электрооптическим, компенсатор - Фазовым, держатель дл исследуемого образца - в виде столика дл исследуемого образца с поворотными механизмами, главные оси первой и третьей четвертьволновых пластинок составл ют угол 45° , пол ризационна ось пол ризатора перпендикуN л рна главной оси первой четвертьволновой пластинки, главна ось элект рооптического модул тора параллельсо ел на главной оси третьей четвертьволновой пластинки, главна ось компенсо сатора параллельна главной оси первой четвертьволновой пластинки, причем анализатор выполнен с возможностью вращени вокруг оси луча и снабжен устройством отсчета азимутов угла поворота, а между фотоприемни .ком и регистрирующим устройством введены два узкополосных усилител .A DEVICE FOR MEASURING POLARIZATION CHARACTERISTICS OF ANISOTROPIC MEDIA, containing an optically coupled source of monochrymatic and evil sources, a collimator, a beam-splitting mirror, a polarizer, a modulator holder for the sample under study, a normally reflecting mirror, a compensator, an analyzer, a sample of a specimen, a reflector, a reflector, a modulator holder for the sample under study, a normally reflecting mirror, a compensator, an analyzer, a mirror, a compensator, an analyzer, a normally reflecting mirror, a compensator, an analyzer. about tl and ch and y shch e- with. In order to measure all the polarization parameters of anisotropic media and simplify the device, the polarizer and the modulator are successively positioned after the collimator along the beam, between the holder for the test specimen and the normally reflecting mirror along the beam passing through the beam-splitting mirror the first and second quarter-wave plates are located, the second is provided with a mechanism for uniform rotation around the beam axis, and the compensator, the analyzer and the photodetector are located after the light In the direction of the reflected beam from the side of the normal reflector of the mirror, there is a third quarter-wave plate between the compensator and the analyzer equipped with a parallel displacement mechanism, a beam interrupter is installed after the analyzer, the modulator is made electro-optical, the compensator is Phase, the holder for the sample under study - in the form of a table for the sample under study with rotary mechanisms, the main axes of the first and third quarter wave plates form an angle of 45 °; , the polarizer axis of the polarizer is perpendicular to the main axis of the first quarter-wave plate, the main axis of the electro-optical modulator is parallel to the main axis of the third quarter-wave plate, the main axis of the compensator is parallel to the main axis of the first quarter-wave plate, and the analyzer is configured to rotate around the axis of the beam and is equipped with a azimuth angle reading device, and two narrowband amplifiers are inserted between the photoreceiver and the recording device.
Description
Изобретение относитс к оптике и измерительной технике и предназначено дл исследовани анизотропных сред. Известны устройства дл измерени эллиптичности (линейного двупреломле ни ) Cll поворота плосиости полйризаиии (циркул ционного двупреломлени ) 23, линейного дихроизма и циркул рногб и С . Дл получени высокой чувствитель ности и точности, как правило, устройства работают в модул ционном режиме, причем в качестве модул торов используют механические, злектро бптические, магнитооптические и другие модул торы. Недостатком известных устройств вл етс то, что они не применимы дл одновременного точного измерени всех пол ризационных параметров. В частности, при одновременном возде ствии линейного двупреломлени и цир кул ционного дихроизма ухудшаемс точность измерений с помощью известных эллипсометров, поскольку оба эти влени про вл ютс по влением или изменением эллиптичности. Аналогично , при Одновременном действии цирку л ционного двупреломлени и линейного дихроизма ухудшаетс точность изК43рений известных пол риметров 2 , поскольку оба эти влени про вл ютс плоскости пол ризации. Наиболее близким техническим реше нием вл етс устройство дл измерени пол ризационных характеристик ан зотропных сред, содержащее оптически св занные источник монохроматического излучени , коллиматор, светоделитейьное зеркало, пол ризатор, модул тор , камеру дл исследуемого образ да, нормально отражак ее зеркало, компенсатор/, анализатор, фотоприемник , соединенньт с регистрирувошим устройством t5. Устройство предназначено дл измерени сверхмалых поворотов плоскос ти пол ризации, однако оно не позвол ет проводить измерени линейного двупреломлени , линейного и циркул ционного дихроизмов, что ограничивает область его применени . Дл исклю чени вли ни нестабильности рабочей точки модул тора, а также дл исключени вли ни внешних магнитных молей использована система автоматической подстройки магнитооптического модул тора, что усложн ет конструкцию устройства. Целью изобретени вл етс измерение всех пол ризационных параметров анизотропных сред и упрощение устройства. Дл достижени цели в устройстве дл измерени пол ризационных характеристик анизотропных сред, содержатем оптически св занные источник монохроматического излучени , коллиматор , светоделительное зеркало, пол ризатор , модул тор, держатель дл исследуемого образца, нормально отражающее зеркало, .компенсатор, анализатор , фотоприемник, соединенный с регистрирующим устройством, пол ризатор и модул тор последовательно расположены после коллиматора по ходу луча, между держателем дл исследуемого образца и нормально отражающим зеркалом по ходу приход щего через светоделительное зеркало луча последовательно расположены перва и втора четвертьволновые пластинки, причем втора снабжена механизмом дл равномерного вращени вокруг оси луча, а компенсатор, анализатор и фотоприемнкк расположены после светоделительного зеркала по ходу отраженного от него луча со стороны нормально отражающего зеркала, между компенсатором и анализатором расположена треть четвертьволнова пластинка , снабженна -механизмом параллельного смещени , после анализатора установлен прерыватель луча, при этом модул тор выполнен электрооптическим , компенсатор - фазовым, держатель дл исследуемого образца в виде столика дл исследуемого образца с поворотными механизмами, главные оси первой и третьей четвертьволновых пластинок составл ют угол 45 , пол ризационна ось пол ризатора перпендикул рна главной оси первой читвертъволновой пластинки , главна ось электрооптического модул тора параллельна главной оси. третьей четвертьволновой пластинки. Главна ось компенсатора параллельна главной оси первой четвертьволновой пластинки, причем анализатор выполнен с возможност#)Ю вращени вокруг оси луча и снабжен устройством отсчета азимутов угла поворота, а между фотоприемником и регистрирувлцим устройством введены два узкополосных усилител . На фиг. 1 изображена схема устройства; на фиг. 2 - принцип действи устройства с помощью сферы Пуанкаре (СП) дл линейного двупреломлени и линейного дихроизма/ на фиг. 3 то же, дл циркул рного двупреломлени и циркул рного дихроизма. Устройство содержит источник 1 монохроматического излучени ,.,коллиматор 2, пол ризатор 3, электрооптический модул тор 4, светоделительное зеркало 5, столик дл .исследуемого объекта с поворотными механизмами 6, четвертьволновую пластинку 7 с азимутом оптической оси О, вторую четвертьволновую пластинку 8 с механизмом дл равномерного вращени вокругThe invention relates to optics and measurement technology and is intended to study anisotropic media. Devices are known for measuring the ellipticity (linear birefringence) of Cll of the rotation of the plane of polyrization (circulation birefringence) 23, linear dichroism and compass and C. In order to obtain high sensitivity and accuracy, devices, as a rule, operate in a modulation mode, with mechanical, electrical, magneto-optical, and other modulators being used as modulators. A disadvantage of the known devices is that they are not applicable for the simultaneous accurate measurement of all polarization parameters. In particular, with simultaneous elevation of linear birefringence and circulatory dichroism, the measurement accuracy is impaired by known ellipsometers, since both of these phenomena are manifested by a change in or ellipticity. Similarly, the simultaneous action of circulatory birefringence and linear dichroism deteriorates the accuracy of 437 of the known polarimeters 2, since both of these phenomena appear polarization planes. The closest technical solution is a device for measuring the polarization characteristics of anosotropic media containing optically coupled source of monochromatic radiation, a collimator, a beam-splitting mirror, a polarizer, a modulator, a camera for the test image, its mirror, compensator /, analyzer, photodetector, connected to a t5 recorder. The device is designed to measure ultrashort rotations of the plane of polarization, but it does not allow measurements of linear birefringence, linear and circulation dichroism, which limits its scope. To eliminate the effect of instability of the operating point of the modulator, as well as to eliminate the influence of external magnetic moles, an automatic adjustment system of the magneto-optical modulator was used, which complicates the design of the device. The aim of the invention is to measure all the polarization parameters of anisotropic media and simplify the device. To achieve the goal, the device for measuring the polarization characteristics of anisotropic media contains optically coupled source of monochromatic radiation, a collimator, a beam-splitting mirror, a polarizer, a modulator, a holder for the sample under study, a normally reflecting mirror, a compensator, an analyzer, a photodetector connected to the recording device, the polarizer and the modulator are sequentially located after the collimator along the beam, between the holder for the sample under study and the normally reflecting grain the first and second quarter-wave plates are sequentially arranged along the beam passing through the beam-splitting mirror, the second is equipped with a mechanism for uniform rotation around the beam axis, and the compensator, analyzer and photo-receiver are located after the beam-splitting mirror along the beam reflected from the normal reflecting mirror, Between the compensator and the analyzer is located a third quarter-wave plate, equipped with a parallel displacement mechanism, after the analyzer is installed The beam curler, the modulator is made electro-optic, the compensator is phase, the holder for the test sample is in the form of a table for the test sample with rotary mechanisms, the main axes of the first and third quarter-wave plates make an angle of 45, the polarization axis of the polarizer is perpendicular to the main axis chitvertwave plate, the main axis of the electro-optical modulator is parallel to the main axis. third quarter-wave plate. The main axis of the compensator is parallel to the main axis of the first quarter-wave plate, the analyzer is made with the possibility of rotation around the axis of the beam and is equipped with a device for measuring the angles of rotation, and two narrow-band amplifiers are inserted between the photo-receiver and the recording device. FIG. 1 shows a diagram of the device; in fig. 2 shows the principle of operation of the device using the Poincaré sphere (SP) for linear birefringence and linear dichroism / in FIG. 3 the same for circular birefringence and circular dichroism. The device contains a source of 1 monochromatic radiation, a collimator 2, a polarizer 3, an electro-optical modulator 4, a beam-splitting mirror 5, a table for the object under study with rotary mechanisms 6, a quarter-wave plate 7 with the azimuth of the optical axis O, a second quarter-wave plate 8 with a mechanism for even rotation around
оси, параллельной лучу, нормально отражающее зеркало 9, кварцевый компенсатор 10 дл компенсации искажений состо ни пол ризации луча на светоделктельном зеркале 5, четвертьволновую пластинку 11 с зэимутом оптической оси 45 и с механизмом дл параллельного смещени в плоскости,. перпендикул рной лучу, анализатор 12 который в начальном положении имеет азимут плоскости пол ризации 45 , пр рыватель 13 луча, фотбприемник 14, узкополосные усилители 15 и 16, настроенные соответственно на нечетную и четную гармоники, и регистрирук дее устройство 17.an axis parallel to the beam, a normally reflecting mirror 9, a quartz compensator 10 to compensate for distortions of the state of polarization of the beam on the light-reflecting mirror 5, a quarter-wave plate 11 with the optical axis 45 axis and a mechanism for parallel displacement in the plane ,. perpendicular to the beam, the analyzer 12 which in the initial position has the azimuth of the polarization plane 45, the beam breaker 13, the photo receiver 14, narrowband amplifiers 15 and 16, tuned to odd and even harmonics, respectively, and registered a device 17.
Принцип действи устройства удобно показать с помощью сферы Пуанкаре Благодар пол ризатору 3 и злектрооптическому модул тору 4 на исследуемый объект падает луч с модулированным состо нием пол ризаш и, которое изображаетс дугой М с центром в точке V, лежащей в плоскости VLH. В момент, когда оптическа ось четвертьволновой пластинки 8 имеет азимут 0° или 90° при прохождении луча сквозь исследуемый объект туда и обратно, циркул рное двупреломпение и циркул рный дихроизм вычитаютс , линейное двупрел тение и линейный дихроизм складываютс . При отражении обратного луча от светоделительного зеркала 5 между составл ющими луча с азимутом плоскости пол ризации 0° и 90 образуетс разность фаз А, изображаетс на СП повороте дуги М на угол л вокруг оси HV (на фиг. 2 не показано) Дл компенсации фазового смещени д использован кварцевый компенсатор 10, который между составл ющими луча с азимутом О jt 90 создает разность фаз (г А), поэтому дуга М благодар компенсатору 10 остаетс в плоскости VLR.The principle of the device is conveniently shown using the Poincaré sphere. Thanks to the polarizer 3 and the electro-optical modulator 4, a beam with a modulated polarization state is incident on the object under study, which is represented by the arc M with its center at the point V lying in the VLH plane. At the moment when the optical axis of the quarter-wave plate 8 has an azimuth of 0 ° or 90 ° when the beam passes through the object under study back and forth, the circulation bipolaris and the circular dichroism are subtracted, the linear birefacing and linear dichroism are added. Reflection of the return beam from the beam-splitting mirror 5 between the components of the beam with the azimuth of the polarization plane 0 ° and 90 results in a phase difference A, shown on the joint rotation of arc M at angle l around the axis HV (not shown in Fig. 2) A quartz compensator 10 is used, which between the components of the beam with the azimuth O jt 90 creates a phase difference (g A), so the arc M, due to the compensator 10, remains in the VLR plane.
Если исследуемый объект, имеющий азимут оптической оси О или , обладает линейным двупреломлением, то дуга М поворачиваетс вокруг оси HV на угол cf4 , который равен фазовоиу смещению между ортогональными составл юишми луча (дуга М, фиг,2). Поворот дуги М вокруг оси HV про вл етс по влением нечетной гармоники на выходе фотоприемника, амплитуда пропорциональна величине S i п dRi . Рл ее компенсации необходиМО анализатор 12, устанавливаемый 1после четвертьволновой пластинки 11f повернуть на угол - (точка А. , фиг. 2).If the object under study having an azimuth of the optical axis O or has linear birefringence, the arc M rotates around the axis HV by an angle cf4, which is equal to the phase shift between the orthogonal components of your beam (arc M, fig 2). The rotation of the arc M around the axis HV is manifested by the appearance of an odd harmonic at the output of the photodetector, the amplitude is proportional to the value of S i p dRi. To compensate for it, the analyzer 12, installed 1 after the quarter-wave plate 11f, should be turned at an angle (point A., fig. 2).
Если исследуекый объект обладает линейным дихроизмом, то дуга окружности М преобразуетс в дугу эллипса Mj. При этом на выходе фотоприемника имеет место сетна гармоника, амплитуда которой пропорциональна If the test object has linear dichroism, then the arc of the circle M is transformed into the arc of the ellipse Mj. In this case, the output of the photodetector is a net harmonic, the amplitude of which is proportional to
линейному дихроизмуд tv - otv Дл ее компенсации необходимо (при отсутствии четвертьволновой пластинки 11) повергутъ анализатор на уголlinear dichroism tv - otv For its compensation it is necessary (in the absence of a quarter-wave plate 11) plunge the analyzer at an angle
Ч (точка A,j, фиг. 2), где f г-ц - ТуH (point A, j, fig. 2), where f g-c - Tu
а res i пand res i p
Сн 4- tvSN 4-tv
причем TH и TV - -коэффициенты пропускани дл ортогональных линейно пол ризованных лучей.moreover, TH and TV are the transmittance for orthogonal linearly polarized rays.
.Если исследуекый объект облгщает циркул рным двупреломлением, то дуга М поворачиваетс вокруг оси iR на угол сГ f 2V, где разность фаз между ортогонгшьными циркул рно пол ризованными лучами, а ф - поворот плоскости пол ризации луча, прошедшего туда и обратно через исследуемый объект. При этом на выходе фотоприемника имеет место четна гармоника, амплитуда которой пропорциональна величине sin 2if. Дл ее компенсации необходимо (при отсутствии четвертьволновой пластинки 11) повернуть анализатор на угол f (точка А, фиг. 3).If the object under investigation is circularly birefringed, arc M rotates around the axis iR by an angle сГ f 2V, where the phase difference between orthogonal circularly polarized rays and Φ rotate the plane of polarization of the beam passing through and back through the object under study. In this case, at the output of the photodetector, an even harmonic takes place, the amplitude of which is proportional to sin 2if. To compensate for it, it is necessary (in the absence of a quarter-wave plate 11) to turn the analyzer through an angle f (point A, Fig. 3).
Если исследуемлй объект облащает циркул рным дихроизмом, дуга окружности М преобразуетс в дугу эллипса Мл. При этом на выходе фотоприемниха имеет место нечетна гармоника амплитуда которой пропорциональна циркул рному дихроизмуДо{ oi., -olp. Дл ее компенсации необходимо (при отсутствии четвертьволновой пластинки 11) повернуть анализатор на угол Ч (точка Д, фиг. 3), где ф If the test object possesses circular dichroism, the arc of the circle M is transformed into the arc of the ellipse ML. In this case, at the output of the photoreceiver, there is an odd harmonic whose amplitude is proportional to the circular dichroism Do {oi., -Olp. To compensate for it, it is necessary (in the absence of a quarter-wave plate 11) to turn the analyzer through an angle H (point D, fig. 3), where
4 а res i п -.8С-Ь,, причем f 4 а res i п -.8С-Ь ,, and f
2 ,2,
коэффициенты пропускани дл ортогональных циркул рно пол ризованных лучей.transmittance for orthogonal circularly polarized rays.
Прерыватель 13 луча открывает вход фотоприемника 14 только в тот момент, когда азимут оптической оси четвертьволновой пластинки 8 равен п -45, где п О, 1, 2,... . Таким образом, если азимут плоскости пол ризации анализатора 12 равен 45 , то при п а О, 2, 4, ... устройство измер ет по первой гармонике линейное двупреломление , по второй линейный дихроизм, при п 1, 3, 5, ... устройство измер ет по первой гармонике циркул рный дихроизм, по второй - циркул рное двупреломлениеThe beam interrupter 13 opens the input of the photodetector 14 only at the moment when the azimuth of the optical axis of the quarter-wave plate 8 is n -45, where n is O, 1, 2, .... Thus, if the azimuth of the plane of polarization of the analyzer 12 is 45, then with p a O, 2, 4, ... the device measures linear birefringence on the first harmonic, on the second harmonic dichroism, on p 1, 3, 5, .. The device measures circular dichroism in the first harmonic, in the second - circular birefringence
Отличительной особенностью предлагаемого изобретени вл етс исключение вли ни нестабильности рабочей точки модул тора при работе в компенсационном режиме. 3fo достинуто не за счет системы автоматической подстройки, усложн ющей констA distinctive feature of the proposed invention is the elimination of the influence of the instability of the operating point of the modulator when operating in the compensation mode. 3fo is not made at the expense of an automatic adjustment system that complicates the design
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU823379087A SU1021959A1 (en) | 1982-01-08 | 1982-01-08 | Anisotropic media polarization characteristic measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU823379087A SU1021959A1 (en) | 1982-01-08 | 1982-01-08 | Anisotropic media polarization characteristic measuring device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1021959A1 true SU1021959A1 (en) | 1983-06-07 |
Family
ID=20991387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU823379087A SU1021959A1 (en) | 1982-01-08 | 1982-01-08 | Anisotropic media polarization characteristic measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1021959A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6640637B2 (en) | 1999-02-20 | 2003-11-04 | Lg Electroncis Inc. | Vibration detecting apparatus and method thereof |
-
1982
- 1982-01-08 SU SU823379087A patent/SU1021959A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 1, Горшков М. М. Эллипсометри . М,, Советское радио,1974, с, 83. 2.Бужинский А.Н., Яейкин М. В. Пол риметрические приборы дл исследовани молекул рного строени вещества. ОМП, 1971, 11, с. 55. 3.Велюэ Л. и ЯР. Оптический круговой дихроизм. М., Мир, 1967, с. 71-89.. 4.Дисперси оптического вращени и круговой дихроизм в, органической химии. Материалы симпбзиума в Бонне 24.09-01.10.65. Пбд ред, Г. Мнатцке. М. Мир, 1970. , 5. Баранова Н. Б. и др. Измерение сверхмалых поворотов плоскости г,лп ризации света. Физический институт АИ СССР, препринт 124, ч. И, 1977 (прототип). * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6640637B2 (en) | 1999-02-20 | 2003-11-04 | Lg Electroncis Inc. | Vibration detecting apparatus and method thereof |
| US6832519B2 (en) | 1999-02-20 | 2004-12-21 | Lg Electronics Inc. | Vibration detecting apparatus |
| US6865947B2 (en) | 1999-02-20 | 2005-03-15 | Lg Electronics Inc. | Vibration detecting apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7280221B2 (en) | High efficiency low coherence interferometry | |
| US5883717A (en) | Optical quadrature interferometry utilizing polarization to obtain in-phase and quadrature information | |
| US2976764A (en) | Polarimeters | |
| US4309110A (en) | Method and apparatus for measuring the quantities which characterize the optical properties of substances | |
| US3797940A (en) | Refractometer with displacement measured polarimetrically | |
| US7440108B2 (en) | Imaging spectrometer including a plurality of polarizing beam splitters | |
| US3914057A (en) | Apparatus for measuring reflectivity | |
| SU1021959A1 (en) | Anisotropic media polarization characteristic measuring device | |
| US3146294A (en) | Interference microscope optical systems | |
| GB2109545A (en) | Surface profile interferometer | |
| Jerrard | A high precision photoelectric ellipsometer | |
| CN111562001B (en) | Double-path four-channel polarization interference imaging system and method | |
| SU1727105A1 (en) | Autocollimation device | |
| GB2245381A (en) | Fourier spectrometer | |
| SU1469390A1 (en) | Photoeldectric method of measuring birefringence in optically transparent materials | |
| SU1383108A1 (en) | Spectrophotometer | |
| SU1130778A1 (en) | Mach-zender interferometer-based device for measuring optical parameters of transparent media | |
| SU1495648A1 (en) | Spectroellipsometer | |
| SU940017A1 (en) | Polarization interferometr | |
| SU789686A1 (en) | Density meter | |
| SU1100541A1 (en) | Refractometer | |
| RU1809368C (en) | Device for stabilizing energetic axis of radiation beams | |
| JPS6055011B2 (en) | temperature detection device | |
| JP3314525B2 (en) | Wavefront splitting element | |
| SU1019235A1 (en) | Twisting angle measuring device |