SU1018176A1 - Magnetron mass spectrometer - Google Patents

Magnetron mass spectrometer Download PDF

Info

Publication number
SU1018176A1
SU1018176A1 SU813347561A SU3347561A SU1018176A1 SU 1018176 A1 SU1018176 A1 SU 1018176A1 SU 813347561 A SU813347561 A SU 813347561A SU 3347561 A SU3347561 A SU 3347561A SU 1018176 A1 SU1018176 A1 SU 1018176A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
analyzer
ion
mass spectrometer
ion source
source
Prior art date
Application number
SU813347561A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Валерий Николаевич Пакулин
Игорь Михайлович Ковряженков
Юрий Макарович Крот
Original Assignee
Агрофизический Научно-Исследовательский Институт Всесоюзной Ордена Ленина Академии Сельскохозяйственных Наук Им.В.И.Ленина
Опытно-Конструкторское Технологическое Бюро "Кристалл" При Ленинградском Технологическом Институте Им.Ленсовета
Особое Конструкторское Бюро Технической Кибернетики Ленинградского Ордена Ленина Политехнического Института Им.М.И.Калинина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Агрофизический Научно-Исследовательский Институт Всесоюзной Ордена Ленина Академии Сельскохозяйственных Наук Им.В.И.Ленина, Опытно-Конструкторское Технологическое Бюро "Кристалл" При Ленинградском Технологическом Институте Им.Ленсовета, Особое Конструкторское Бюро Технической Кибернетики Ленинградского Ордена Ленина Политехнического Института Им.М.И.Калинина filed Critical Агрофизический Научно-Исследовательский Институт Всесоюзной Ордена Ленина Академии Сельскохозяйственных Наук Им.В.И.Ленина
Priority to SU813347561A priority Critical patent/SU1018176A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1018176A1 publication Critical patent/SU1018176A1/en

Links

Landscapes

  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

I. МАГНЕТРОННЫЙ МАСССПЕКТРОМЕТР , содержащий источник ионов, цилиндрический анализатор размещенный на его оси коллектора ионов и магнитную систему, отличаю - щ и и с   тем, что, с целью уменьшени  расходуемой мощности, источник ионов размещен на торце анализатора и выполнен в виде двух соосных цилиндров, установленных менщу плоскими 9лектродш«1и, в одном №э которых выполнена кольцева  щель, а другой соединен с положительной клеммой источника разр дного напр жений, а магнитна  система выполнена в виде i кольцевых магнитов, установленных одноименными полюсами друг к другу и разделенных шайбами из магнитом гкого материала, при этом шайбы расположены (Л в плоскости источника ионов. 2. Масс-спектрометр по п. I, о т Сличающийс  тем, что, с 1 § повышени  чувствительности, он снабжен источниками ионов, размешенными симметрично относительно средней гшоскос: ти анализатора.I. MAGNETRON MASS SPECTROMETER, containing an ion source, a cylindrical analyzer placed on its axis of the ion collector and a magnetic system, is distinguished by the fact that, in order to reduce consumed power, the ion source is placed on the end face of the analyzer and made in the form of two coaxial cylinders installed in a flat 9electrod 1i, in one number of which an annular slot is made, and the other is connected to the positive terminal of the source of discharging voltage, and the magnetic system is made in the form of i ring magnets, with poles of the same name to each other and separated by washers made of a magnetically soft material, while the washers are located (A in the plane of the ion source. 2. The mass spectrometer according to claim I, and Compared to that, with an increase in sensitivity, it is equipped ion sources placed symmetrically with respect to the average flow analyzer.

Description

Изобретение отност-с  к масс-спектро метрии, в частности к магнетронным мас спектрометрам, и может быть использовано дл  химического и изотопного анали за газов и паров, а также в качестве манометра дл  измерени  парциальных давлений газов и паров в вакуумных системах . Известные масс-спектрометры магнет ронного типа, отличающиес  повышенной чувствительностью и простотой устройства , содержат цилиндрический анализатор, источник ионов, размещенный либо на оск либо снаружи анализатора, коллектор ио ,нов, размещенный соответственно либо снаружи, либо на оси анализатора и мaг1нитную систему, создающук) продольное магнитное поле. Дл  разделени  ионов в известных масс-спектрометрах используетс . зависимость их радиуса траекторий в магнитНом поле от отношени  зар да ионов к их массе. При определенных значени х магнитной индукции и ускор ющего напр жени  на коллектор попадйют только ионы с массами, большими измер емой. Ионный ток измер емого компонента пропорционален содержанию этого компонента в анализируемой газовой смеси. Концентрации отдельньрс компонентов могут быть определены, например, как разности ионных токов в цеп х полуцилиндрических коллекторов, расположенных на разны рассто ни х от оси анализатора регистрацией переменной составл ющей тока в цепи коллектора при модул ции энергии ионов путем пфиодического изме нени  значени  ускор ющего напр жени  от специального источника переменного напр жени  Зили регистрацией перемй Ной составл ющей тока в цепи коллектора при двойной модул ции ускор ющего напр жени  13. Известны также магнетронные массспектрометры , в которых целью повышени чувствительности цилиндр и торцы ана- лизатора электрически изолированы друг от друга и подключены к клеммам соответственно отрицательной и положительной пол рности дополнительного ксточ-, ника питани  4 . Известен масс-спектрометр в кото ром дл  увеличени  разрешающей способности внутри анализатора установлена улкгга . Указанные масс-спектромётри потребл ют большую Мощность. Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  магнетронный масс-спектромеггр содержащий источник ионов, цилиндрический анализатор, размещенный на его оси коллектор ионов и магнитную систему. Источник ионов выполнен в виде цилиндрического тороида, на одном из концов которого укреплен кольцевой эмиттер ионизирующих электронов. В продольном маг нитном поле в источнике формируетс  тонкий трубчатый электронный поток, который  вл етс  областью зарождени  анализируеMbns ионов . Недостатком известного масс-спектрометра  вл етс  больша  расходуема  мощность , потребл ема  главным образом электронным эмиттером. Так, мощность пр монакального вольфрамового кольцевого эмиттера диаметром 50 мм при токе эмиссии Ю мА 35-40 Вт. Недостатком кольцевого пр монакапьного шэоволочного эмиттера  вл етс  отсутствие необходимой жесткости. Значительное смапение гмиттера при нагреве снижает разрешающую способность масс-спектрометра, так как даже при разрешающей способности 50, диаметре эмиттера электронов . 5 О мм и диаметре коллектора 3 мм ширина области образовани  ионов в радиальном направлении не должна превышать О,1 мм. Кроме того, масс-спектрометры с пр монакальным эмиттером обладают малой надежностью в св зи с небольшим сроком службы эмиттера. БОЛЬШОЙ расход мощности, в частности,  вл етс  неприемлемым при использова- . НИИ магнетронных масс-спектрометров в качестве универсальных портативных газоанализаторов дл  экспресс-анализов газа в полевых - услови х. Кроме того, известный, масс-спектрометр характеризуетс  большой погрешностью измерений, св занной с диссоциа01ией молекул нейтрального газа под деист-, вием электронной бомбардировки и наложением пиков осколочных ионов в массспектре друг на друга и на пики молекул рных ионов. Цель изобретени  - уменьшение расходуемой мощности, повышеине чувствительности . Поставленна  цель достигаетс  тем, что в магнетронном масс-спектрометре, содержащем источник ионов, цилиндрический анализатор, размещенный на его оси коллектор ионов и магнитную систему, источник ионов размещен на торце энализатора и вьшолнен в виде двух соосных цилиндров, установленных между плоскими электродами, в одном из которых выполнена кольцева  щель, а другой соеди31018 ней с положительной клеммой источника раар дного напр жени , а магнитна  систв ма вьшолнена в виде кольцевых магнитов установленных одноименными полюсами  руг к другу и разделенных шайбами из магнитом гкого материала, при этом шайбы размещены в плоскости источника ионов. При этом масс-спектрометр снабжен двум  источниками ионов, размещенными симметрично относительно средней, плоскости анализатора. Физической основой предлагаемого изобретени   вл етс  замена способа получени  анализируемых ионов за счет электронной бомбардировки их получением непосредственно в анализаторе за счет резонансной перезар дки и ионизации нейтральных молекул ионами анализируемого газа, которые выт гиваютс  из. разр да в скрещенных электрическом и магнш-ном пол х. Эти процессы отличаютс  большим эффективным сечением дл  передачи зар да и ионизации при столкновени х малой веро тностью их диссоциации и малыми анерги ми вновь образующихс  ионов . Непосредственное использование ионов, получаемых .из разр да, в магнгггных масхз-спектрометрах невозможно из-оа большого разброса их по энергии, На изображен магнетронный масс-спектрометр. -Источники I и 2ионов размещены на торцах 3 и 4цилиндрического анализатора 5, симметрично относительно его средней плоскости. Источники вьшолнень в виде двух соосных цилиндров 6 и 7, установленных между плоскими электродами 8 и 9, В электроде 8 {он может совпадать с торцом 3 анализатора 5) выполнена кольцева  щель. Другой электрод 9 соединен с положительной клолмой источника IО разр дного нагф жени , Снаружи анализатора размещена магнитна  система Она вьшолнена в виде трех кольцевых магнитов 11-13, установленных одноимен ными- полюсами друг к другу и разделен ных щайбами 14 и 15 из магнитом гкого материала (например, Армко). Шайбы 14 и 15 размещены в плоскост х источников 1 и 2 ионов, к внешним полюсам магнитов 11 и 13 примыкают Тобразные подносные наконечники ,16 и17 из магнитом гкого материала. На оси анализатора 5 укреплен цилиндрический коллетор 18 ионов, соединенный с усилителем 19 тока. Торцы 3 и 4 анал затсра 5 заземлены, Цилиндр 20 анализатора 5 соединен с положительной клем6 ,4 мой- 1тсточника 21 ускор ющего напр нсени . Масс-спектрометр работает следугопсол образом. Магнитные потоки, создаваемые магнит пой системой, замыкаютс  через поЛюс-- ные наконечники и шайбы таким офазом, УГО в источниках и 2 ионов силовые f пинии магнитного пол  (изображены на чертеже пунктирными лини сми) направлены в . источниках ионов по радиусам, а в анализаторе 5 -. вдоль оси. При подаче на электрод 9 высокого напр жени  от источника Ю разр дного напр жени  в источнике , ионов возникает разр д в анализируемом газе в скре ценных электрическом и магнитном пол х. Офазовавшиес  ионы ускор ютс  от анода вдоль оси и .через кольцевую щель в электроде 8 поступают в анализатор b в ввде тонкого трубчатогопучка . При столкновени х этих исжов с нейтральными молекулами напол1с юи1е го анализатора происходит перезар дка ионэв пучка и ионизаци  нейтральных Молекул . При этом веро тность перезар дки значительно больше веро тности всех других процессов. Передача зар да происходит в основном молекулам собственно газа, т. е. за счет резонансной перезар дки . Это приводит к тому, что хот  осколочные ионы и проход т в анагизатс, ро вследствие отсутстви  таких нейтральных молекул в газе они неомогут передать свой зар д и под действием радиальной составл ющей скорости уход т на торцы анализатора. Сохран вшие свой зар д первичные ионы могут многократно осциллиpOBf .Tb Между симметрично расположшшл источниками I и 2 ионов, увеличива  тем самым длину своего tipo6ora в анализаторе и повыша  веро тность передачи зар да. Образовавшиес  при перезар дке вторичные ионы дрейфуют в радиальном . .направлении в поле цилиндрического конденсатора , образованного цишпдром 2О и коллектором 18 иойов. Траектории ионов касаютс  коллектора t8, если их, массы удовлетвор ют соотношшию €& ,78Ur. Гх, t Ка - радиусы коллекто .„и,, -„ .ра 18 и наружного цилиндрического электрода 2О: е - зар д электрона U - ускор юшеё напр жение; В - магнитна  индукци  вдоль оси. Все более т желые ионы приход т на коллектор и нейтраЖгауюгГ- с  на нем, все более легкие ионы не , s кс шеЁКтора и ,возфаща отс  к месгу юбразовани . Проиавс дна  тока коллектора служит мерой концентрацииThe invention relates to mass spectrometry, in particular to magnetron mass spectrometers, and can be used for chemical and isotopic analysis of gases and vapors, as well as as a manometer for measuring the partial pressures of gases and vapors in vacuum systems. The well-known magnet-type mass spectrometers, which are characterized by increased sensitivity and simplicity of the device, contain a cylindrical analyzer, an ion source placed either on the outside of the analyzer, a collector io new, placed respectively on the outside, or on the axis of the analyzer, and the magnetic splicing system that creates longitudinal magnetic field. For the separation of ions in known mass spectrometers is used. the dependence of their radii of trajectories in a magnetic field on the ratio of the charge of ions to their mass. At certain values of magnetic induction and accelerating voltage, only ions with masses larger than the measured will fall on the collector. The ion current of the measured component is proportional to the content of this component in the analyzed gas mixture. The concentrations of individual components can be determined, for example, as differences of ion currents in chains of semi-cylindrical collectors located at different distances from the analyzer axis by registering the variable component of the current in the collector circuit when modulating the ion energy by varying the value of accelerating voltage from a special source of alternating voltage Zili by registering the alternating current component in the collector circuit with double modulation of the accelerating voltage 13. Also known are magnetron ma spectrometers in which the objective of increasing the sensitivity of the cylinder and the ends of the analyzer are electrically isolated from each other and connected to the terminals, respectively, of the negative and positive polarity of the auxiliary power supply 4. A known mass spectrometer in which, for increasing the resolution inside the analyzer, is installed. These mass spectrometers consume large power. Closest to the present invention is a magnetron mass spectromegr containing an ion source, a cylindrical analyzer, an ion collector located on its axis, and a magnetic system. The ion source is made in the form of a cylindrical toroid, at one end of which a ring emitter of ionizing electrons is strengthened. In a longitudinal magnetic field, a thin tubular electron beam is formed at the source, which is the nucleation region of the analyzed Mbns ions. A disadvantage of the known mass spectrometer is the large power consumption consumed mainly by an electronic emitter. For example, the power of a mono-tungsten tungsten ring emitter with a diameter of 50 mm with an emission current of Yu mA is 35-40 W. The disadvantage of an annular mono-cap shea-emitter is the lack of necessary rigidity. Significant smtaenie gmitter when heated reduces the resolution of the mass spectrometer, as even with a resolution of 50, the diameter of the electron emitter. 5 mm and a collector diameter of 3 mm, the width of the region of formation of ions in the radial direction should not exceed 1 mm. In addition, a mass monomer emitter mass spectrometers have low reliability due to the short service life of the emitter. LARGE power consumption, in particular, is unacceptable when used -. Research institutes of magnetron mass spectrometers as universal portable gas analyzers for rapid gas analysis in field conditions. In addition, the well-known mass spectrometer is characterized by a large measurement error associated with the dissociation of neutral gas molecules under de-emission, electronic bombardment and the imposition of peaks of fragment ions in the mass spectrum on each other and on the peaks of molecular ions. The purpose of the invention is to reduce power consumption, higher sensitivity. The goal is achieved by the fact that in a magnetron mass spectrometer containing an ion source, a cylindrical analyzer, an ion collector located on its axis, and a magnetic system, an ion source is placed at the end of the analyzer and executed as two coaxial cylinders mounted between flat electrodes in one from which the annular gap is made, and the other is connected to the positive terminal of the source of the parallel voltage, and the magnetic circuit is made in the form of annular magnets installed by the same poles to a friend and separated by washers made of a magnet of a soft material, while the washers are placed in the plane of the ion source. In this case, the mass spectrometer is equipped with two ion sources placed symmetrically with respect to the average, analyzer plane. The physical basis of the proposed invention is the replacement of the method of obtaining the analyzed ions by electron bombardment by obtaining them directly in the analyzer due to the resonant recharging and ionization of the neutral molecules by ions of the analyzed gas, which are drawn out of. discharge in crossed electric and magnes-x fields. These processes are characterized by a large effective cross section for charge transfer and ionization in collisions with a low probability of their dissociation and low anergy of newly formed ions. The direct use of ions obtained from magnetism in magnetic mash spectrometers is impossible because of their large scatter in energy, the magnetron mass spectrometer is depicted. - Sources of I and 2ions are placed on the ends of 3 and 4 cylindrical analyzer 5, symmetrically with respect to its middle plane. Sources in the form of two coaxial cylinders 6 and 7, installed between the flat electrodes 8 and 9, In the electrode 8 (it can coincide with the end face 3 of the analyzer 5), an annular gap is made. The other electrode 9 is connected to the positive terminal of the source IO of the discharge nagging. Outside the analyzer there is a magnetic system. It is made in the form of three ring magnets 11-13, installed by the same poles to each other and separated by the shields 14 and 15 of magnetically soft material ( for example, Armco). The washers 14 and 15 are placed in the planes of the sources 1 and 2 of the ions, and the outer poles of the magnets 11 and 13 are adjacent to T-shaped tray lugs, 16 and 17 of magnet of a soft material. On the axis of the analyzer 5 a cylindrical calletor of 18 ions is attached, connected to a current amplifier 19. The ends 3 and 4 of the analog of the sensor 5 are grounded, the cylinder 20 of the analyzer 5 is connected to the positive terminal 6, 4 of my-1 source 21 of the accelerating voltage. The mass spectrometer works in a cool manner. The magnetic fluxes created by the magnet by the system are closed through field tips and washers with this phase, UHB in the sources and 2 ions of the force f of the magnetic field (shown in the drawing by dashed lines) are directed to. ion sources by radius, and in analyzer 5 -. along the axis. When a high voltage is applied to the electrode 9 from a source of voltage Yu at the source, ions are discharged in the analyzed gas in the valuable electric and magnetic fields. The exposed ions are accelerated from the anode along the axis, and through the annular gap in the electrode 8 enter the analyzer b in a thin tube wedge. When these collisions with neutral molecules of the full-length analyzer collide, the ion beam of the beam is recharged and the neutral molecules are ionized. In this case, the probability of recharging is much higher than the probability of all other processes. The charge transfer occurs mainly to the molecules of the gas itself, i.e., due to resonant recharging. This leads to the fact that although fragmentation ions pass into anagisates, because of the absence of such neutral molecules in the gas, they cannot transfer their charge and under the action of the radial component of the velocity go to the ends of the analyzer. Primary ions that have retained their charge can repeatedly oscillate OBf. Tb Between symmetrically located sources of I and 2 ions, thereby increasing the length of its tipo6ora in the analyzer and increasing the likelihood of charge transfer. The secondary ions formed during recharging drift radially. .the direction in the field of a cylindrical capacitor formed by cispdrome 2O and a collector of 18 ioi. The trajectories of the ions relate to the collector t8, if they are, the masses satisfy the relationship € & , 78Ur. Gx, t Ka are the radii of the collector and and, —pax 18 and of the outer cylindrical electrode 2O: e is the charge of the electron; U is the accelerating voltage; B - magnetic induction along the axis. More and more heavy ions are coming to the collector and the neutral LHG - with it, all the lighter ions are not, s x the neck of the EJECTOR, and crying out to the message of the event. The output of the collector current serves as a measure of the concentration

Claims (2)

I. МАГНЕТРОННЫЙ МАСССПЕКТРОМЕТР, содержащий источник ионов, цилиндрический анализатор размешенный на его оси коллектора ионов и магнитную систему, отличающ и й с я тем, что, с целью уменьшения расходуемой мощности, источник ионов размешен на торце анализатора и выполнен в виде двух соосных цилиндров, установленных между плоскими электродами, в одном из которых выполнена кольцевая щель, а другой соединен с положительной клеммой источника разрядного напряжений, а магнитная система выполнена в виде i кольцевых магнитов, установленных одноименными полюсами друг к другу и разделенных шайбами из магнитомягкого материала, при этом шайбы расположены в плоскости источника ионов.I. MAGNETRON MASS SPECTROMETER, containing an ion source, a cylindrical analyzer located on its axis of the ion collector and a magnetic system, characterized in that, in order to reduce power consumption, the ion source is placed at the end of the analyzer and made in the form of two coaxial cylinders, installed between the flat electrodes, in one of which an annular gap is made, and the other is connected to the positive terminal of the discharge voltage source, and the magnetic system is made in the form of i ring magnets installed by one connected to each other and separated by washers of soft magnetic material, while the washers are located in the plane of the ion source. 2. Масс-спектрометр ποπ.Ι,οτСличающийся тем, что, с целью ί повышения чувствительности, он снабжен /шумя источниками ионов, размещенными симметрично относительно средней плоское ти анализатора.2. A mass spectrometer ποπ.Ι, οτ characterized in that, in order to ί increase the sensitivity, it is equipped with / noise ion sources placed symmetrically relative to the mean plane analyzer. ОНУЮ!ONE!
SU813347561A 1981-09-07 1981-09-07 Magnetron mass spectrometer SU1018176A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813347561A SU1018176A1 (en) 1981-09-07 1981-09-07 Magnetron mass spectrometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813347561A SU1018176A1 (en) 1981-09-07 1981-09-07 Magnetron mass spectrometer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1018176A1 true SU1018176A1 (en) 1983-05-15

Family

ID=20980253

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813347561A SU1018176A1 (en) 1981-09-07 1981-09-07 Magnetron mass spectrometer

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1018176A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
I. Патент US № 316276О. кл. GOI N 27/62, 1965. 2.Авторское свидетельство СССР № 393661, кл. QOIN 27/62, 197О. 3.Авторское свидетельство СССР № 7859О8, кл. Н О1 J 49/ЗО l9SCi 4.Авторское свидетельство СССР № 801139, кл. Н 01 J 49/30, 1981. 5.Авторское свидетельство СССР № 824343, кл. Н О1 J 49/ЗО, 1981, 6.Авторское свидетельство СССР № 764О11, кл. Н О1 J 39/ЗО, 198О (прототип). ( 7. Энгаль А. Ионизованные газы. М., 1965, с: 74, 124. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6727495B2 (en) Ion mobility spectrometer with high ion transmission efficiency
JP3653504B2 (en) Ion trap mass spectrometer
US2975277A (en) Ion source
US5665966A (en) Current measuring system
WO2004108257A2 (en) Mass spectrometer and related ionizer and methods
Taylor et al. Performance improvements for a miniature quadrupole with a micromachined mass filter
US4220545A (en) Ionization chamber for chemical ionization
RU2389990C2 (en) Combined ionisation vacuum-gauge transducer
EP0329461B1 (en) Mass spectrometer
SU1018176A1 (en) Magnetron mass spectrometer
US5210413A (en) Partial pressure gauge using a cold-cathode ion source for leak detection in vacuum systems
CN110176385B (en) High-efficiency ion source for magnetic mass spectrometer
JP7178666B2 (en) gas analyzer
US3075076A (en) Gas-analyzing method and apparatus
US4230943A (en) Mass spectrometer
CN116246935A (en) Ion funnel device for low-mass-to-charge-ratio ion transmission and application method thereof
US3287589A (en) Electron-collision ion source, particularly for electric mass spectrometers
RU2515212C2 (en) High-sensitivity ionisation vacuum-gauge converter
Peng et al. Development of a new atmospheric pressure plasmaspray ionization for ambient mass spectrometry
US2563626A (en) Ion source
US2417797A (en) Mass spectrometer
SU788226A1 (en) Magnetic discharge mass-spectrometer
Bayly et al. A positive ion source
CN218101170U (en) Variable magnetic induction intensity electron bombardment ionization source
US2489344A (en) Mass spectrometry