SU1008632A2 - Устройство дл измерени парциального давлени кислорода в вакууме - Google Patents
Устройство дл измерени парциального давлени кислорода в вакууме Download PDFInfo
- Publication number
- SU1008632A2 SU1008632A2 SU813274109A SU3274109A SU1008632A2 SU 1008632 A2 SU1008632 A2 SU 1008632A2 SU 813274109 A SU813274109 A SU 813274109A SU 3274109 A SU3274109 A SU 3274109A SU 1008632 A2 SU1008632 A2 SU 1008632A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- oxygen
- partial pressure
- vacuum
- heater
- measuring partial
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении парциального давления кислорода в вакууме.
По основному авт. св. № 851143 известно устройство для измерения парциального давления кислорода в вакууме, содержащее корпус, на котором закреплена диэлектрическая подложка с расположенными на ней в виде разделенных диэлектриком слоев термометра сопротивления, нагревателя й чувствительного слоя с катодом и анодом.
Недостатком этого устройства является неодинаковая температура на поверхности диэлектрической подложки, обусловленная теплоотводом с диэлектрической.· ;подложки по изоляторам, на которых закреплена подложка, а также по выводам с чувствительного слоя, нагревателя, термометра сопротивления. Это приводит к различной чувствительности в разных точках поверхности чувствительного слоя - большей в центре и меньшей по краям. Вследствие этого снижается общая чувствительность устройства к парциальному давлению кислорода.
Цель изобретения - повышение чувствительности за счет выравниваний температурного поля диэлектрической подложки.
’Указанная цель достигается тем, что в устройстве нагреватель выполнен с переменной шириной, увеличивающейся от его краев к середине.
На фиг. 1 изображено устройство в разрезе ; на фиг. 2 - нагревательный элемент в плане.
Устройство содержит корпус 1 с крышкой 2. На корпусе закреплены изоляторы 3, на которых расположена подложка 4. На подложке 4 расположены слой термометра 5 сопротивления с контактными площадками, диэлектрик 6, слой 7 нагревателя,- имеющий переменную площадь поперечного сечения с контактными площадками 8, диэлектрик 9, чувствительный слой 10 с катодом и анодом.
На фиг. 2 приведена форма слоя 7 нагревателя, имеющая переменную ширину, увеличивающуюся от его краев к середине. Такая форма нагревателя позволяет получать равномерное температурное поле на -поверхности подложки.
Измеритель работает следующим Образом.
При взаимодействии молекул кислорода с поверхностью чувствительного слоя 10 при температурах 400~600°С изменяется сопротивление чувствительного слоя 10. Величина его сопротивления является функцией парциального давления кислорода в. вакууме. Получение температуры 400600°С и измерение ее величины осуществляется соответственно нагре- вателем 7 и термометром 5 сопротивления.
Таким образом, использование нагревателя, выполненного с переменной шириной, увеличивающейся от его краев к середине, позволило повысить чувствительность устройства.
Claims (1)
- (57 ) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ КИСЛОРОДА В ВАКУУМЕ по авт. св. № 851143, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности ’за счет выравнивания температурного поля диэлектрической подложки, в-’ нем нагреватель выполнен с переменной шириной, увеличивающейся от его краев к середине.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813274109A SU1008632A2 (ru) | 1981-04-14 | 1981-04-14 | Устройство дл измерени парциального давлени кислорода в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813274109A SU1008632A2 (ru) | 1981-04-14 | 1981-04-14 | Устройство дл измерени парциального давлени кислорода в вакууме |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU851143 Addition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1008632A2 true SU1008632A2 (ru) | 1983-03-30 |
Family
ID=20952814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU813274109A SU1008632A2 (ru) | 1981-04-14 | 1981-04-14 | Устройство дл измерени парциального давлени кислорода в вакууме |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1008632A2 (ru) |
-
1981
- 1981-04-14 SU SU813274109A patent/SU1008632A2/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4343768A (en) | Gas detector | |
| KR960034992A (ko) | 유량센서의 측정자 및 그 제조 방법 | |
| GB2062860A (en) | Temperature sensing assembly | |
| Herin et al. | Measurements on the thermoelectric properties of thin layers of two metals in electrical contact. Application for designing new heat-flow sensors | |
| US3787764A (en) | Solid dielectric capacitance gauge for measuring fluid pressure having temperature compensation and guard electrode | |
| SU1008632A2 (ru) | Устройство дл измерени парциального давлени кислорода в вакууме | |
| FI87494C (fi) | Jaemfoerelsekoppling foer termoparmaetning | |
| US20150219582A1 (en) | Sensor of volatile substances with integrated heater and process for manufacturing a sensor of volatile substances | |
| US3287976A (en) | Compensation radiation pyrometer | |
| JPS6113178B2 (ru) | ||
| SU1202081A1 (ru) | Резистивный пленочный нагреватель | |
| JPH0769221B2 (ja) | 温度検知材料、温度センサー及び温度測定方法 | |
| KR840002009Y1 (ko) | 평면형 온도 감지기 | |
| SU972281A1 (ru) | Пьезоэлектрический термоприемник | |
| SU607117A1 (ru) | Датчик температуры | |
| JPH04235338A (ja) | 湿度センサ | |
| FR2279095A1 (fr) | Procede de mesure du coefficient de transfert de chaleur | |
| JPS62156551A (ja) | 温度／湿度センサ | |
| JPS5682282A (en) | Manufacture of heat sensitive recording head | |
| SU983760A1 (ru) | Терморезистор | |
| SU389458A1 (ru) | ||
| EP0936461A2 (en) | Gas sensor | |
| SU1231472A1 (ru) | Датчик свч-мощности | |
| RU1805367C (ru) | Конденсационный гигрометр | |
| SU1064158A1 (ru) | Способ измерени температуры поверхности электронагревател посто нного тока |