SU1003157A1 - Устройство дл лазерной подгонки пленочных резисторов - Google Patents

Description

3 Цель изобретени  - повышение точ ности подгонки пленочных резисторов под номинал и производительности. Поставленна  цель достигаетс  тем что в устройстве дл  подгонки плено ных резисторов, содержащем блок лазера , конструктивно совмещенный е координатным столом, пульт управлени  два измерительных зонда, размещенных на подвижной части координатного стола и соединенных с первыми входами блока измерени  относительной ошибки сопротивлени  резистора, вторые входы которого соединены с блоком эталонных резисторов, а выход - с первым входом первого блока сравнени , блок управлени  координатным столом, блок управлени  координатнь1м столом выполнен в виде дешифратора и 461ырех ключей, включенных между соответствующими входами координатного стола и выходами дешиф ратора, первыми трем  входами соединенного с соответствующими выходами пульта управлени  , введены коммут тор, кольцевой распределитель, блок формировани  импульсов, триггер, причем четвертый выход пульта управлени  соединен с первым входом триггера , выход которого соединен с входом блока формировани  импульсов и первым входом кольцевого распределител , второй вход которого соединен первым выходом формировател  импульсов и первым входом коммутатора, вто рой и третий входы последнего соединены соответственно с вторым выходом формировател  импульсов и первым выходом кольцевого распределител , второй выход которого соединен с бло ком лазера, а также введены нуль-орган , второй блок сравнени , логический элемент И,блок задани  напр жени  и делитель, причем нуль-орган включен между выходом блока измерени  относительной ошибки сопротивлени  резистора и первым входом логического элемента И, второй вход кото рого и выход соединены соответственно с третьим выходом кольцевого распределител  и вторым входом триггера , первый и второй вход и выход вто рого блока сравнени  соединены соответственно с выходом блока измерени  относительной ошибки сопротивлени  р зистора, через делитель с выходом бг ка задани  напр жени  и четвертым входом коммутатора, выход последнего соединен с п тым входом блока уп574 равлени  координатным столом, четвертый вход которого соединен с выг Ходом первого блока сравнени , второй вход которого соединен с выходом блока задани  напр жени . На чертеже изображена функциональна  схема устройства дл  автоматической- лазерной подгонки пленочных резисторов . Устройство содержит лазер 1, конструктивно совмещенный с координатным столом 2, на подвижной части которого имеетс  место дл  закреплени  подложки с пленочными резисторами и размещены два зонда 3. Блок 4 управлени  координатным столом осуществл ет пошаговое управление им раздельно по координатам +Х, -Y, +Y, -Y,, по четырем входам, каждый из которых подключен к соответствующему выходу дешифратора 5 через соответствующий ключ 6. Устройство имеет пульт 7 управлени , представл ющий собой конструктивно совмещенные три тумблера и кнопку пуска (не показаны). С помощью тумблеров перед началом работы оператор имеет возможность выбрать направлени  поперечного и продольного реза в зависимости от расположени  резистора на координатном столе 2. Совмещенные с тумблерами выходы пульта 7 управлени  подключены к соответствующим входам дешифратора 5, четвертый вход которого подключен к выходу первого блока 8 сравнени  напр жений. Первый вход первого блока 8 сравнени  напр жени  соединен с выходом блока 9 измерени  относительной ошибки сопротивлени  резистора, первые два входа которого подключены к зондам 3, а другие два входа - к блоку 10 эталонных резисторов. Второй вход первого блока 8 сравнени  напр жений соединен с выходом блока 11задани  напр жени , с помощью которого задаетс  момент изменени  направлени  движени  координатного стола 2. Выход блока 11 задани  напр жени  соединен с первым входом второго блока 12 сравнени  через делитель 13 напр жени . Второй вход ВТОРОГО блока 12сравнени  напо жений соединен с выходом блока 9 измерений относительной ошибки сопротивлени  оезистооа, С помощью делител  13 напр жени  задает, с  момент замедлени  координатного

стола на конечном этапе подгонки резистооа .

Выход второго блока 12 сравнени  напр жений соединен с входом упоавлени  коммутатором Т, предназначенным дл  коммутации импульсных сигналов с ДВУХ выходов блока 15 Формиоовани  импульсов, на первом выходе которого формируетс  последовательность импульсных сигналов, частота которых определ ет малый шаг перемещений координатного стола 2. Этот вы ход соединен с первым входом коммута Tcpa-lA и вторым входом кольцевого распределител  16. На втором выходе блока 15 формировани  импульсов формируетс  последовательность импульсных сигналов с более высокой частотой . Этой частотой определ етс  быст рыи шаг перемещени  координатного CTO-JQ ла 2. Этот выход подключен к второму входу коммутатора Т Не трех выходах кольцевого распределител  16 фор мируютс  последовательно распределен ные во времени импульсы длительностью , равной периоду следовани  импульсов на первом выходе блока 15 формировани  импульсов. Третий выход кольцевого распределител  16 подключен к входу логического элемента . И 17, второй выход - к входу управлени  поджигом лазера 1, первый выход - к входу стробировани  коммутатора 1. Выход блока 9 измерени  относительной ошибки сопротивлени  резисто ра подключен к входу нуль-органа 18 с помощью которого фиксируетс  момент окончани  подгонки резистора. Вы-ход нуль-органа 18 соединен с входом логического элемента И 17( выход которого соединен с нулевь1м входомтриггера 19. Совмещенный с кнопкой пуска четвертый выход пульта 7 управлени  соединен с единичным входом триггера 19, единичный выход которого соединен с входом блока 15 фо мировани  импульсов и первым входом (шина сброса) кольцевого распределител  16. Устройство работает следующим образом . Подложку с резисторами фиксируют на подвижной части координатного сто ла 2. Зонды 3 устанавливают на контактные площадки подгон емого резистора . Перед началом работы оператор с помощью органов управлени  пульта 7 управлени  выбирает направление пе

ремещени  координатного стола 2, соответствующее первоначальному поперечному и последующему продольному резу. Работа устройства начинаетс  после нажати  кнопки Пуск пульта 7 управлени . В результате на четвертом выходе пульта 7 управлени  формируетс  уровень 1 который, поступа  на единичный вход триггера 19, опрокидывает его в единичное состо ние . С выхода триггера 19 уровень 1 поступает на входы блока 15 формировани  импульсов и кольцевого распределител  16, разреша  их работу . На выходах кольцевого распределител  16 формируютс  последовательно распределенные во времени импульсы,.с помощью которых распредел ютс  во времени циклы измерени  сопротивлени  резистора, воздействи  луча лазера 1 на резистор и перемещени  координатного стола 2 . Блок 9 измерени  относительной ошибки сопротивлени  реаистора формирует на выходе напр жение, пропорциональное отношению разности сопротивлений эталонного и подгон емого резисторов к сопротивлению эталонного резистора. Первоначально сопротивление подгон емого резистора меньше сопротивлени  эталонного резистора. В результате на выходах нуль-органа 18 и блоков 8 и 12 сравнени  присутствуют уровни О. Коммутатор в этом случае пропускает импульсы, формируемые блоком IS формировани  импульсов на втором выходе при наличии уровн  1 на первом выходе кольцевого распределител  16. В результате на выходе коммутатора имеетс  сери  из нескольких импульсов, котора  поступает на дешифратор 5. Логические уровни сигналов на входах дешифратора 5 преобразуютс  на его выходах в импульсы, поступающие на соответствующий вход кооодинатного стола 2 чеоез согласующий ключ 6 осуществл   пошаговое пеоемещение подгон емого оезистора по одному из четырех возможных направлений (по координатам +Х, -X, +Y, -Y) с большим шагом. Работа устройства характеризуетс  последовательным во времени опросом нуль-органа 18, через логический элемент И 17 поджигом лазера 1 и перемещением подгон емого резистора с помощью координатного стола 2. В процессе подгонки поперечным резом увеличиваетс  сопротивление резистивного сло  подгон емого резистора и уменьшаетс  напр жение на выходе блока 9 измерени  относительной ошибки сопротивлени  резистора. При дальней шей подгонке напр жение на выходе блока 9 измерени  относительной ошибки сопротивлени  резистора станет меньше напр жени  на выходе блока 11 задани  напр жени . На выходе блока 8 сравнени  по витс  уровень 1, который, поступив на вход дешифратора 5, изменит прохождение импульсов по его выходу, соответствующему противоположной координате, В результате направление реза изменитс  на продольное , что позвол ет дальнейшую подгонку под номинал, заданный эталонным резистором, производить более плавно.Напр жение на выходе блока 1t задани  напр жени  характеризует подгонку резистора продольным резом и выбираетс  оператором перед началом работы исход  из геометрических размеров этого резистора. Подгонка резистора продольным резом будет приводить к уменьшению напр жени  на выходе блока 9 измерени  относительной ошибки сопротивлени  резистора. На последнем этапе подгонки резистора напр жение на первом входе второго блока 12 сравнени  станет равным или меньшим напр жени  на выходе делител  13 напр жени . В результате-на выходе блока 12 сравнени  по витс  уровень 1, который, поступа  на управл ющий вход коммутатора 14,изменит :прохождение через него импульсов. На хоц коммутатора 1 в этом случае будет проходить одиночный импульсный сигнал с первого выхода блока 15формировани ни  импульсов, что приведет к уменьшению шагаперемещени  координатного стола 2 и позволит на конечL . - „

.ном этапе подгонки резистора подоити к его номинальному значению меньшими дискретными смещени ми.

Когда сопротивление подгон емого резистора станет равным или большим сопротивлени  эталонного резистора, на выходе блока 9 измерени  относительной ошибки сопротивлени  резистора будет присутствовать напр жение, меньшее или равное нулю, В результате нуль-орган 18 изменит свое состо ние . Уровень 1 с его выхода поступит на вход логического элемента И 17 и не будет преп тствовать прохождению через него по другому его входу очередного импульса с выхода распределител  16 импульсов. С выхода логического элемента И 17 импульс поступит на нулевой вход триггера 19 и опрокинет его в исходное нулевое состо ние. Уровень О с выхода триггера 19, поступа  на вход блока 15 формировани  импульсов и шину сброса (первый вход) кольцевого распределител  16, прекратит их работу. В результате этого следующие импульсы под жига лазера 1 и перемещени  на дешифратор 5 поступать не будут и процесс подгонки закончитс .

Технико-экономический эфЛект от использовани  предлагаемого изобретени  состоит в том, что оно автоматизирует цикл подгонки резистора с измен емым направлением реза. Это поз вол ет осуществл ть точную подгонку пр моугольных резисторов при снижении времени по подгонку.

Claims (2)

1.Авторское свидетельство СССР № 58856, кл. Н 01 С 17/00, 1975.

2.Авторское свидетельство СССР fr 661617, кл. Н 01 С 17/00, 1976.