SK282806B6 - Process for producing wear-resistant boride layers on metal material surfaces - Google Patents

Process for producing wear-resistant boride layers on metal material surfaces Download PDF

Info

Publication number
SK282806B6
SK282806B6 SK1012-98A SK101298A SK282806B6 SK 282806 B6 SK282806 B6 SK 282806B6 SK 101298 A SK101298 A SK 101298A SK 282806 B6 SK282806 B6 SK 282806B6
Authority
SK
Slovakia
Prior art keywords
boron
hydrogen
plasma
sample
mixture
Prior art date
Application number
SK1012-98A
Other languages
Slovak (sk)
Other versions
SK101298A3 (en
Inventor
Hans-J�Rg Hunger
Gunter L�Big
Gerhard Trute
Original Assignee
Bortec Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bortec Gmbh filed Critical Bortec Gmbh
Publication of SK101298A3 publication Critical patent/SK101298A3/en
Publication of SK282806B6 publication Critical patent/SK282806B6/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/28Deposition of only one other non-metal element

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Synthetic Leather, Interior Materials Or Flexible Sheet Materials (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Catalysts (AREA)

Abstract

The invention concerns a process for producing wear-resistant boride layers on metal material surfaces. The process is characterized in that boron halide selected from the group comprising boron trifluoride, boron tribromide, boron triiodide and their mixtures is mixed with hydrogen and optionally argon and/or nitrogen in order to produce a reaction gas containing between 0.1 and 35 vol. % boron halide. The resultant mixture is activated by a plasma discharge such that boron can be transferred from the plasma to the metal surface.

Description

Oblasť technikyTechnical field

Vynález sa týka spôsobu výroby boridových vrstiev na povrchy kovových materiálov odolných proti oteru.The invention relates to a process for producing boride layers on surfaces of abrasion resistant metal materials.

Doterajší stav technikyBACKGROUND OF THE INVENTION

Výroba boridových vrstiev odolných proti oteru sa vykonáva v praxi väčšinou pri použití pevných boračných materiálov, napríklad vo forme práškov, pást alebo granulátov.The production of abrasion-resistant boride layers is practically carried out mostly using solid boronizing materials, for example in the form of powders, pastes or granules.

Tieto spôsoby vyžadujú nevýhodne vysoké náklady na prácu pri balení, rozbaľovaní a čistení častí. Čistenie sa vykonáva pomocou kombinácie mytia a kefovania alebo vrhania. Vzhľadom na to, že prášky, pasty a granuláty sú iba raz použiteľné, vznikajú problémy tiež pri likvidácii spotrebovaného boračného činidla.These methods require disadvantageously high labor costs for packaging, unpacking and cleaning the parts. Cleaning is carried out using a combination of washing and brushing or throwing. Since powders, pastes and granules are only once to be used, problems also arise in the disposal of spent boronizing agent.

Okrem toho je známe tiež použitie kvapalných boračných činidiel, napríklad vo forme tavenín solí. Všetky tieto spôsoby sa však nedajú vykonávať vzhľadom na problémy, zásadne spojené so soľnými kúpeľmi so zreteľom na bezpečnosť použitia, čistenia dielov po spracovaní a likvidácii kúpeľov, prípadne ich produktov odbúravania.In addition, it is also known to use liquid boronizing agents, for example in the form of salt melts. However, not all these processes can be carried out due to the problems inherent in salt baths with regard to the safety of use, cleaning of parts after processing and disposal of the baths or their degradation products.

V súvislosti s tým sa vykonávali rôzne pokusy boridácie s plynnými boračnými činidlami (postup CVD). Pri použití organických zlúčenín bóru (bórtrimetyl, bórtrialkyl) prebieha prevažne nauhlíkovanie namiesto borácie a pri použití dibóranu dochádza k bezpečnostné - technickým problémom kvôli jedovatosti a nebezpečenstvu explózie.Accordingly, various boronization experiments were carried out with gaseous boronizing agents (CVD procedure). The use of organic boron compounds (borotrimethyl, bortrialkyl) is predominantly carburized instead of boration, and the use of diborane leads to safety-related technical problems due to toxicity and the risk of explosion.

Použitie chloridu boritého ako bór poskytujúceho média sa nemôže presadiť na základe prevádzkových problémov pri tvorbe vrstvy. Pôvodom týchto problémov je tvorba chlorovodíka, nastávajúca pri borácii v zmesiach BC13 - H2.The use of boron trichloride as the boron-providing medium cannot be enforced due to the operational problems of layer formation. The origin of these problems is the formation of hydrogen chloride occurring during boronization in BC1 3 - H 2 mixtures.

Pri borácii materiálov na báze železa pomocou chloridu boritého prebiehajú nasledujúce základné reakcie:The following basic reactions take place in the boronization of iron-based materials with boron trichloride:

BC13 + 3 H2 + 2 Fe-> 2 FeB+6 HCIBC1 3 + 3 H 2 + 2 Fe-> 2 FeB + 6 HCl

BC13 + 3 H2 + 4 Fe -> 2 Fe2B + 6 HCI.BC1 3 + 3 H 2 + 4 Fe -> 2 Fe 2 B + 6 HCl.

Plynný chlorovodík, ktorý vznikol pri borácii pomocou chloridu boritého, reaguje so železom podkladového materiálu za tvorby ľahko prchavého chloridu železnatého:Hydrogen chloride gas, produced by boron trichloride boronation, reacts with the iron of the base material to form a readily volatile ferrous chloride:

HCI + Fe -> FeCl2 HCl + Fe -> FeCl 2

Chloridy železa majú pri teplotách spracovania v rozmedzí 500 °C až 1200 °C, prichádzajúcich do úvahy pri použití, vysoké tlaky pár, takže dochádza k trvalému silnému odparovaniu chloridov železa. To vedie k tvorbe otvorov medzi boridovou vrstvou a podkladovým materiálom, čo sa už vytýkalo ako nedostatok pri BC13 - postupe. Potlačenie tvorby otvorov je možné iba vtedy, keď sa podarí pri začiatku borácie v priebehu krátkeho času vyrobiť tesne uzatvorenú boridovú vrstvu. To je prevádzkovo - technicky tak ťažké, že sa doteraz spoľahlivo a reprodukovateľné nepodarilo.The iron chlorides have high vapor pressures at treatment temperatures in the range of 500 ° C to 1200 ° C, which are considered in use, so that the iron chlorides evaporate constantly. This leads to the formation of holes between boride layer and the underlying material, which is always criticized as failing in the BC1 3 - process. Suppression of hole formation is only possible when a tightly sealed boride layer is produced within a short time at the start of the boration. This is so operationally and technically difficult that it has not been reliable and reproducible so far.

Okrem čisto termického variantu CVD - borácie sú známe tiež pokusy o boráciu, podporovanú plazmou (PACVD - borácia). Tu sa používal iba dibóran a chlorid boritý s nevýhodami, známymi už z termického postupu CVD. Súhrn známych postupov sa nachádza v Review „Engineering the Surface with Boron Based Materials,,, Surface Engineering 1985, Vol. 1, č. 3, str. 203 - 217.In addition to the purely thermal variant of CVD-boration, plasma-assisted boronation (PACVD-boration) experiments are also known. Here, only diborane and boron trichloride were used, with the disadvantages already known from the thermal CVD process. A summary of known procedures is found in the review of "Engineering the Surface with Boron Based Materials", Surface Engineering 1985, Vol. 1, no. 3, p. 203-217.

Úlohou predloženého vynálezu je vypracovanie spôsobu výroby proti oteru odolných boridových vrstiev na ko vových materiáloch, ktorý by nebol zaťažený uvádzanými nevýhodami.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a process for the production of abrasion-resistant boride layers on metal materials without the disadvantages of the aforementioned disadvantages.

Podstata vynálezuSUMMARY OF THE INVENTION

Uvedená úloha bola podľa predloženého vynálezu vyriešená vypracovaním spôsobu, ktorého podstata spočíva v tom, že sa ako nosič bóru zmieša aspoň jeden halogenid bóru zvolený zo skupiny zahrnujúcej fluorid boritý, bromid boritý a jodid boritý' s vodíkom a prípadne argónom a/alebo dusíkom na prípravu reakčného plynu, ktorý obsahuje 1 až 35 % objemových halogenidu bóru a takto získaná zmes sa pomocou plazmového výboja tak aktivuje, že sa umožní prechod bóru z plazmy na povrch kovu.The object of the present invention is to provide a process comprising mixing at least one boron halide selected from the group consisting of boron trifluoride, boron tribromide and boron iodide with hydrogen and optionally argon and / or nitrogen as the boron carrier. % of the reaction gas containing 1 to 35% by volume of boron halide and the mixture thus obtained is activated by a plasma discharge so as to allow boron to pass from the plasma to the metal surface.

Reakčný plyn môže dodatočne obsahovať ako nosič bóru chlorid boritý.The reaction gas may additionally contain boron trichloride as the boron carrier.

Výhodne obsahuje reakčný plyn 5 až 20 % objemových halogenidu bóru, obzvlášť výhodne obsahuje 5 až 15 % objemových halogenidu bóru.Preferably, the reaction gas contains 5 to 20% by volume of boron halide, particularly preferably 5 to 15% by volume of boron halide.

Výhodne obsahuje reakčný plyn 20 až 90 % objemových vodíka, obzvlášť výhodne obsahuje 20 až 50 % objemových vodíka.Preferably, the reaction gas contains 20 to 90% by volume of hydrogen, particularly preferably 20 to 50% by volume of hydrogen.

Výhodne obsahuje reakčný plyn fluorid boritý.Preferably, the reaction gas comprises boron trifluoride.

Obzvlášť výhodne sa ako halogenid bóru použije fluorid boritý.Boron trifluoride is particularly preferably used as the boron halide.

Reakčný plyn sa do priestoru spracovania privádza v množstve výhodne 0,5 až 2 1 za minútu, obzvlášť výhodne asi 11/min.The reaction gas is fed to the treatment area in an amount of preferably 0.5 to 2 L per minute, particularly preferably about 11 / min.

Borácia sa vykonáva výhodne za tlaku v rozmedzí 0,1 až 1,0 kPa za pôsobenia plazmového výboja, ako je napríklad známe zo zariadenia na poťahovanie za pôsobenia plazmy.The boration is preferably carried out at a pressure in the range of 0.1 to 1.0 kPa under the action of a plasma discharge, such as is known from a plasma coating apparatus.

Potrebné teploty spracovania výhodne 400 °C až 1200 °C, obzvlášť výhodne 850 °C až 950 °C sa dosahujú pomocou samotnej plazmy alebo predovšetkým vo vysokoteplotnej oblasti nad 900 °C za podpory dodatočného vykurovania.The required processing temperatures, preferably 400 ° C to 1200 ° C, particularly preferably 850 ° C to 950 ° C, are achieved by means of plasma alone or, in particular, in the high temperature region above 900 ° C with the aid of additional heating.

Výhodne je čas spracovania 30 až 240 minút, obzvlášť výhodne 30 až 120 minút.The processing time is preferably 30 to 240 minutes, particularly preferably 30 to 120 minutes.

Hrúbka boridovej vrstvy sa zvyčajne riadi časom spracovania, pričom so zvyšujúcim sa časom spracovania sa tiež zväčšuje hrúbka vrstvy.The thickness of the boride layer is usually governed by the processing time, and with increasing processing time the thickness of the layer also increases.

Ako ďalšie plyny môže reakčný plyn obsahovať ešte argón a/alebo dusík. Tým sa dá riadiť aktivita prenosu bóru a dosiahne sa dostatočné ohriatie vzoriek plazmou. Zloženie reakčného plynu sa tak môže meniť v širokých medziach vždy podľa podmienok spracovania a boridovaného materiálu.As further gases, the reaction gas may also contain argon and / or nitrogen. This can control boron transfer activity and achieve sufficient heating of the samples by plasma. The composition of the reaction gas can thus vary within wide limits, depending on the processing conditions and the boridized material.

Spôsob podľa predloženého vynálezu je vhodný najmä na boráciu železných materiálov.The process of the present invention is particularly suitable for boronizing ferrous materials.

Pri spôsobe podľa predloženého vynálezu sa pomocou plazmového výboja prevedú molekuly vodíka, obsiahnuté v reakčnom plyne, na atomámy vodík. Atomámy vodík redukuje halogenid bóru (BY3) a umožňuje tým prenos vodíka na povrch spracovávaného materiálu. Tento prenos je možné znázorniť pomocou nasledujúcej reakčnej schémy:In the process of the present invention, the hydrogen molecules contained in the reaction gas are converted to atomic hydrogen by means of a plasma discharge. Atomic hydrogen reduces boron halide (BY 3 ) and thus allows the transfer of hydrogen to the surface of the material to be treated. This transfer can be illustrated by the following reaction scheme:

ΒΥ3 + 3 H —> B + 3 BYΒΥ 3 + 3 H-> B + 3 BY

B + xMe -> MexB.B + x Me -> Me x B.

Je možné tiež prevedenie BY3 na BY2 pomocou plazmy, pričom potom môžu prebiehať nasledujúce reakcie:It is also possible to convert BY 3 to BY 2 by plasma, whereupon the following reactions can take place:

BY2 -> B + 2 BY3 BY 2 -> B + 2 BY 3

B + x Me -> MexB.B + x Me-> Me x B.

V nadväznosti na boráciu je možné podrobiť boridovaný materiál následnému spracovaniu, aby sa eventuálne vytvorený FeB premenil na Fe2B. Toto sa môže napríklad dosiahnuť procesom žíhania v nadväznosti na spracovanie boráciou tak, že sa skončí prívod halogenidu bóru a spracovávaný materiál sa nechá ešte určitý čas pri teplote spracovania. Čas tohto difúzneho spracovania sa riadi podľa množstva prítomného FeB a je zvyčajne 20 až 60 minút.Following the boronization, the boronized material can be subjected to a post-treatment to convert eventually formed FeB to Fe 2 B. time at processing temperature. The time of this diffusion treatment depends on the amount of FeB present and is usually 20 to 60 minutes.

Vykonávanie spôsobu podľa predloženého vynálezu môže prebiehať napríklad v známom zariadení, vhodnom na poťahovanie pomocou plazmy. Toto pozostáva v podstate z nasledujúcich komponentov:The process according to the invention can be carried out, for example, in a known apparatus suitable for plasma coating. This consists essentially of the following components:

- Z vákuového respicientu (reaktora) na podávanie spracovávaných dielov. Reaktor by mal byť vyhrievateľný a mal by dovoľovať prácu pri teplote v rozmedzí 400 °C až 1200 °C.- From a vacuum reactor (reactor) for feeding workpieces. The reactor should be heatable and allow working at temperatures between 400 ° C and 1200 ° C.

- Z čerpadlového systému na evakuáciu reaktora a nastavenie pracovného tlaku.- From a pump system to evacuate the reactor and adjust the working pressure.

- Z plynom zásobujúcej jednotky na miešanie a dávkovanie reakčnej zmesi.Gas supply units for mixing and dispensing the reaction mixture.

- Z napájania pulz - plazma - prúdom na výrobu a udržanie plazmového výboja vo vákuovom recipiente, pričom použitý výkon môže kolísať pulznou frekvenciou, prípadne pulznou šírkou v širokom rozmedzí.From a pulse-plasma-current supply to produce and maintain the plasma discharge in a vacuum recipient, the power used may vary in pulse frequency or pulse width over a wide range.

- Zo systému neutralizácie plynu a likvidácie, ako i systému na riadenie a kontrolu prevádzkových parametrov, ktoré priebeh procesu riadia a kontrolujú.- From the gas neutralization and disposal system as well as the system for managing and controlling the operating parameters that control and control the process.

Claims (5)

PATENTOVÉ NÁROKYPATENT CLAIMS 1. Spôsob výroby boridových vrstiev na povrchy kovových materiálov odolných proti oteru, vyznačujúci sa t ý m , že sa ako nosič bóru zmieša fluorid boritý s vodíkom a prípadne argónom a/alebo dusíkom na prípravu reakčného plynu, ktorý obsahuje 1 až 35 % objemových halogenidu bóru a takto získaná zmes pri tlaku 0,1 až 1,0 kPa pomocou plazmového výboja prevedie molekulárny vodík na atomámy vodík a tento redukuje fluorid boritý a tým sa umožní prechod bóru z plazmy na povrch kovu.Method for producing boride layers on surfaces of abrasion-resistant metal materials, characterized in that boron trifluoride is mixed with boron trifluoride with hydrogen and optionally argon and / or nitrogen for the preparation of a reaction gas containing 1 to 35% by volume of halide of boron and the mixture thus obtained at a pressure of 0.1 to 1.0 kPa by means of a plasma discharge converts molecular hydrogen into atomic hydrogen and this reduces boron trifluoride, thereby allowing boron to pass from the plasma to the metal surface. 2. Spôsob podľa nároku 1,vyznačujúci sa t ý m , že reakčný plyn obsahuje 20 až 90 % objemových vodíka.The process according to claim 1, wherein the reaction gas contains 20 to 90% by volume of hydrogen. 3. Spôsob podľa jedného, alebo obidvoch nárokov 1 a 2, vyznačujúci sa tým, že sa reakčný plyn privádza do priestoru spracovania v množstve 0,5 až 2 1 za minútu.Process according to one or both of Claims 1 and 2, characterized in that the reaction gas is introduced into the treatment area in an amount of 0.5 to 2 l per minute. 4. Spôsob podľa jedného alebo niekoľkých z nárokov 1 až 3, vyznačujúci sa tým, že sa reakcia vykonáva pri teplote v rozmedzí 850 až 950°C.Process according to one or more of Claims 1 to 3, characterized in that the reaction is carried out at a temperature in the range of 850 to 950 ° C. 5. Spôsob podľa jedného alebo niekoľkých z nárokov 1 až 4, vyznačujúci sa tým, že čas spracovania je 30 až 240 minút.Method according to one or more of Claims 1 to 4, characterized in that the processing time is 30 to 240 minutes. Príklady uskutočnenia vynálezuDETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Príklad 1Example 1 Po vnesení vzorky z ocele 100Cr6 do reaktora sa vykoná zahriatie v plazme jednosmerného sľudového výboja konštantnej pulznej frekvencie (4 kHz) za tlaku 1,0 kPa. Zahriatie vzorky sa vykonáva prídavné cez vyhrievanie reaktora, čím sa čas zahrievania skráti. Zahrievanie a ochladzovanie vzorky sa vykonáva v zmesi argónu a vodíka 1 : 1. Po dosiahnutí teploty spracovania 850 °C sa nosič bóru fluorid boritý pridáva tak, aby vznikla reakčná zmes so zložením 45 % objemových vodíka, 40 % objemových argónu a 15 % objemových fluoridu boritého. Plynná zmes sa do recipientu privádza v množstve 1 1/min. Čas spracovania plazmou je 200 minút.After the 100Cr6 steel sample was fed to the reactor, a constant pulse frequency (4 kHz) DC mica discharge at 1.0 kPa pressure was performed in the plasma. Heating of the sample is performed additionally through the heating of the reactor, thereby reducing the heating time. The sample is heated and cooled in a 1: 1 mixture of argon and hydrogen. After reaching a treatment temperature of 850 ° C, the boron trifluoride support is added to form a reaction mixture of 45% hydrogen, 40% argon and 15% fluoride. boron. The gas mixture is fed to the recipient at 1 L / min. The plasma treatment time is 200 minutes. Pri metalografickom výbruse sa zistila boridová vrstva so strednou hrúbkou 42 pm. Mikrotvrdosť je okolo 1 800 HV005. Vrstva neobsahuje FeB.A metallographic cut revealed a boride layer with a mean thickness of 42 µm. The microhardness is around 1800 HV 005 . The layer does not contain FeB. Príklad 2Example 2 Po vnesení vzorky z Hastelloy B do reaktora sa vykonáva zahrievanie v plazme jednosmerného sľudového výboja konštantnej pulznej frekvencie (4 kHz). Pomocou plazmového výboja pri 1,0 kPa sa vzorka zahreje na teplotu 850 °C. Hustota energie sa riadi cez pulznú šírku. Zahriatie vzorky sa vykonáva výhradne cez sľudový výboj. Zahriatie a ochladenie vzorky sa vykonáva v zmesi argónu a vodíka 1 : 1. Po dosiahnutí teploty spracovania sa nosič bóru fluorid boritý pridáva tak, aby vznikla reakčná zmes so zložením 45 % objemových vodíka, 45 % objemových argónu a 10 % objemových fluoridu boritého. Plynná zmes sa privádza do recipientu v množstve 1 1/min, Čas spracovania je 240 minút.After the sample from Hastelloy B was fed into the reactor, a constant pulse frequency (4 kHz) DC mica discharge was performed in the plasma. Using a plasma discharge at 1.0 kPa, the sample is heated to 850 ° C. The energy density is controlled over the pulse width. The sample is heated only through mica discharge. The sample is heated and cooled in a 1: 1 mixture of argon and hydrogen. After reaching the treatment temperature, the boron boron trifluoride support is added to form a reaction mixture of 45% by volume hydrogen, 45% by volume argon and 10% by volume boron trifluoride. The gas mixture is fed to the recipient at 1 L / min, the treatment time is 240 minutes. Pri metalografickom výbruse sa zistila boridová vrstva so strednou hrúbkou 50 pm. Mikrotvrdosť je okolo 2400 HVo.os.A metallographic cut revealed a boride layer with a mean thickness of 50 µm. The microhardness is around 2400 HVo.os.
SK1012-98A 1996-01-25 1997-01-23 Process for producing wear-resistant boride layers on metal material surfaces SK282806B6 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19602639A DE19602639A1 (en) 1996-01-25 1996-01-25 Process for the production of wear-resistant boride layers on metallic material surfaces
PCT/EP1997/000298 WO1997027345A1 (en) 1996-01-25 1997-01-23 Process for producing wear-resistant boride layers on metal material surfaces

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SK101298A3 SK101298A3 (en) 1998-12-02
SK282806B6 true SK282806B6 (en) 2002-12-03

Family

ID=7783662

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SK1012-98A SK282806B6 (en) 1996-01-25 1997-01-23 Process for producing wear-resistant boride layers on metal material surfaces

Country Status (10)

Country Link
EP (1) EP0876516B1 (en)
JP (1) JP3222144B2 (en)
AT (1) ATE193334T1 (en)
CA (1) CA2244248C (en)
CZ (1) CZ289443B6 (en)
DE (2) DE19602639A1 (en)
HU (1) HUP9900939A3 (en)
PL (1) PL181781B1 (en)
SK (1) SK282806B6 (en)
WO (1) WO1997027345A1 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100583262B1 (en) * 1997-12-15 2006-05-25 폭스바겐 악티엔 게젤샤프트 Plasma boronizing
DE19842515C1 (en) * 1998-09-17 2000-04-20 Sabine Boehm Surface treatment of metallic materials comprises plasma-activated thermo-chemical diffusion of a property-changing material from the plasma of a gaseous treatment atmosphere using a target positioned in an electric field
DE19845463A1 (en) * 1998-10-02 2000-04-06 Stiftung Inst Fuer Werkstoffte Wear resistant boride layers are produced, e.g. on steel or titanium alloy substrates, by gas boriding using volatile boron compounds containing boron-oxygen and/or boron-nitrogen bonds
CZ305985B6 (en) * 2013-02-15 2016-06-08 Technická univerzita v Liberci Guide pulleys of hardened steel for wire drawing
CZ305986B6 (en) * 2013-02-15 2016-06-08 Technická univerzita v Liberci Cladded thread-cutting tools of high-speed cutting steel, especially screw-cutting taps
CN110512170A (en) * 2019-10-12 2019-11-29 河海大学常州校区 A kind of titanium alloy boronizing method

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3677799A (en) * 1970-11-10 1972-07-18 Celanese Corp Vapor phase boron deposition by pulse discharge
JPH07286254A (en) * 1994-04-21 1995-10-31 Sumitomo Metal Ind Ltd Steel sheet excellent in secondary working brittleness resistance and its production

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11507993A (en) 1999-07-13
CZ289443B6 (en) 2002-01-16
SK101298A3 (en) 1998-12-02
HUP9900939A3 (en) 2001-01-29
JP3222144B2 (en) 2001-10-22
DE59701754D1 (en) 2000-06-29
CZ235198A3 (en) 1999-08-11
EP0876516A1 (en) 1998-11-11
DE19602639A1 (en) 1997-07-31
PL328200A1 (en) 1999-01-18
CA2244248C (en) 2001-11-20
CA2244248A1 (en) 1997-07-31
PL181781B1 (en) 2001-09-28
HUP9900939A2 (en) 1999-07-28
EP0876516B1 (en) 2000-05-24
WO1997027345A1 (en) 1997-07-31
ATE193334T1 (en) 2000-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Archer The plasma-assisted chemical vapour deposition of TiC, TiN and TiCxN1− x
Kulka et al. Trends in thermochemical techniques of boriding
Ricard et al. Active species in microwave postdischarge for steel-surface nitriding
KR101631855B1 (en) Sherardizing method
US6090223A (en) Chromium nitride film and method for forming the same
KR950000922A (en) Plasma chemical vapor deposition
SK282806B6 (en) Process for producing wear-resistant boride layers on metal material surfaces
US6306225B1 (en) Process for producing wear-resistant boride layers on metallic material surfaces
Maragoudakis et al. Boro-nitriding of steel US 37-1
JP2011504548A (en) Method for boronation of coatings using a fast electrolysis process
Bartsch et al. Formation of iron boride layers on steel by dc-plasma boriding and deposition processes
US7767274B2 (en) Plasma boriding method
US5580397A (en) Carbide and carbonitride surface treatment method for refractory metals
CA1128378A (en) Process for producing vanadium carbide layers on iron
Kulka et al. Trends in physical techniques of boriding
US8795770B2 (en) Preparation of mist, process and apparatus for forming new materials by mist gas discharge
SU1145051A1 (en) Method of obtaining diffusion coatings
KR940003096B1 (en) Surface hardening process and carbide forming agent of metallic surface
JPS6350456A (en) Surface treatment for aluminum material
Guryev et al. Complex Saturation of Titanium Alloys with Boron, Chromium and Titanium
KR920004014B1 (en) Boronising pastes and boronising treatment method of ferrous and ferrous-alloy surfaces
KR920006042B1 (en) Aluminum coating method of iron and copper articles
Bohm Surface Hardening Methods and Their Application in Materials Technology and Tribology.--III
Czczeinski On the Influence of Atmosphere Composition on the Kinetics and Diffusion Layer Build-Up in the Nitriding Process.(Retroactive Coverage)
Bliznakovsk et al. PACVI]) of TIN

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of maintenance fees

Effective date: 20100123