SK1312009U1 - Device for cleaning toxic gases from industrial processes - Google Patents
Device for cleaning toxic gases from industrial processes Download PDFInfo
- Publication number
- SK1312009U1 SK1312009U1 SK1312009U SK1312009U SK1312009U1 SK 1312009 U1 SK1312009 U1 SK 1312009U1 SK 1312009 U SK1312009 U SK 1312009U SK 1312009 U SK1312009 U SK 1312009U SK 1312009 U1 SK1312009 U1 SK 1312009U1
- Authority
- SK
- Slovakia
- Prior art keywords
- water
- wall
- reactor chamber
- chamber
- flue gas
- Prior art date
Links
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
Description
Technické riešenie sa týka zariadenia na čistenie toxických plynov z výrobných procesov termickou premenou v reaktorovej komore a následným spracovaním reakčných produktov sorpčným prostriedkom v pracom zariadení na viazanie vo vode rozpustných produktov reakcie a vyplachovanie pevných produktov reakcie.The invention relates to an apparatus for the purification of toxic gases from production processes by thermal conversion in a reactor chamber and subsequent treatment of the reaction products with a sorbent in a washing apparatus for binding the water-soluble reaction products and rinsing the solid reaction products.
Doterajší stav technikyBACKGROUND OF THE INVENTION
Takéto toxické plyny vznikajú vo veľkom množstve, napr. pri výrobe polovodičových obvodov a nesmú byť kvôli ich jedovatosti vypúšťané nespracované do okolitého prostredia. Takýmito toxickými plynmi sú, napr. HF, SiH2CI2, SiCI4t NH3, C2F5, PH3, BCI3, NF3, atď.Such toxic gases are produced in large quantities, e.g. in the manufacture of semiconductor circuits and must not be discharged unprocessed into the environment due to their toxicity. Such toxic gases are e.g. HF, SiH 2 Cl 2, the suture 4 t NH 3, C 2 F 5, PH 3, BCI 3, NF 3, etc.
Je známe, že väčšina týchto odpadových plynov z výroby polovodičov alebo tiež iných chemických procesov môže byť spravidla učinená neškodnou oxidáciou alebo termickou premenou. Termická premena spravidla prebieha v plameni, ktorý je napájaný zemným plynom alebo vodíkom a vzduchom, prípadne kyslíkom. Privádzanie ďalších účastníkov reakcie, s výnimkou príp. prídavného kyslíka alebo vzduchu, nie je nato potrebné. Termicky spracované produkty reakcie sú úplne neškodné a sú buď v plynnej alebo pevnej forme, alebo sú rozpustné vo vode. Plynné produkty reakcie, ako je vodná para alebo CO2, môžu byť bez ďalšieho spracovania vypúšťané do okolitého prostredia.It is known that most of these waste gases from the production of semiconductors or other chemical processes can, as a rule, be done by harmless oxidation or thermal conversion. As a rule, the thermal conversion takes place in a flame which is fed with natural gas or hydrogen and air or oxygen. Supplying other participants to the reaction, except where appropriate. additional oxygen or air is not required. The thermally treated reaction products are completely harmless and are either gaseous or solid, or water soluble. Gaseous reaction products, such as water vapor or CO 2 , can be discharged into the surrounding environment without further processing.
Rozumie sa, že na termickú premenu už bol vyvinutý a prakticky nasadený rad spaľovacích techník a reaktorových komôr. Takto sa z dokumentu EP 0 346 803 B1 stalo známe zariadenie na čistenie odpadových plynov, v ktorom je dole usporiadaný horák, ktorý je na jednej strane prevádzkovaný s vykurovacími plynmi, ako je vodík a kyslík, prípadne vzduch alebo zemný plyn a vzduch, a na druhej strane sa do neho zavádza čistený odpadový plyn. Pri spaľovaní vznikajúci produkt reakcie obsahuje tak pevné zložky, ako aj vo vode rozpustné produkty reakcie.It is understood that a series of combustion techniques and reactor chambers have already been developed and practiced for thermal conversion. Thus, EP 0 346 803 B1 has become a known waste gas purification plant in which a burner is arranged at the bottom, which on the one hand is operated with fuel gases such as hydrogen and oxygen or air or natural gas and air, and on the other hand, purified waste gas is introduced into it. The combustion product formed by the reaction contains both solid components and water-soluble reaction products.
Aby sa tieto produkty reakcie mohli zo spalín úplne odstrániť, sú tieto pri spaľovaní vznikajúce produkty reakcie bezprostredne po spaľovaní uvádzané do kontaktu so sorpčným prostriedkom, napr. vodou. Uskutočňuje sa to tak, že nad plameňom horáka je usporiadané rozstrekovacie zariadenie na vodu, ktorá je rozstrekovaná proti stúpaniu prúdu plynných produktov reakcie. Rozstrekovacie zariadenie môže byť pritom uskutočnené tak, že rozstrekovaný sorpčný prostriedok nie je rozstrekovaný do plameňa (EP 0 702 771 B1) alebo je nad plameňom horáka usporiadaná ochrana proti rozstrekovanému prostriedku (kužeľ, guľový vrchlík alebo pod.) a nad touto ochranou je usporiadané rozstrekovacie zariadenie, ako je patrnéz EP 0 346 803 B1.In order to completely remove these reaction products from the flue gases, the combustion products formed immediately after combustion are contacted with a sorbent, e.g. water. This is done so that a water spray device is arranged above the burner flame, which is sprayed against the rise of the gaseous reaction product stream. The spraying device can be designed in such a way that the sprayed sorption agent is not sprayed into the flame (EP 0 702 771 B1) or a spray protection device (cone, spherical cap or the like) is provided above the burner flame and above the protection. a device as shown in EP 0 346 803 B1.
Cieľom pritom je, aby sa zo spalín horáka rozpustili vo vode rozpustné produkty reakcie a aby sa z reaktorovej komory vypláchli pevné zložky (napr. SiO2 z reakčného produktu silánu). Na tento účel je podľa dokumentu DE 196 00 873 A1 alebo tiež WO 03/085321 A1 použité riešenie spočívajúce vtom, že reaktorová komora je hore vymedzená ochranou proti rozstrekovanému prostriedku a radiálne valcovou stenou a že celé zariadenie je obklopené vonkajšou stenou. Pevné produkty reakcie sú pritom splachované dole sorpčným prostriedkom pozdĺž vnútornej strany vonkajšej steny okolo dole usporiadaného horáka, teda zvonku spaľovacej komory. Nevýhodou pritom je najmä, že spaľovanie sa musí uskutočňovať pri pomerne vysokých teplotách a že súčasti spaľovacej komory sú tiež vystavené vysokým teplotám, prípadne namáhaniu zmenami teploty a tým sa pomerne rýchle opotrebujú. Ďalšiu nevýhodu je treba vidieť vtom, že produkty reakcie sa v dôsledku smerom hore horiaceho plameňa môžu ukladať na alebo v horáku. Dôsledkom je postupné zhoršovanie účinnosti a nutnosť častejšieho čistenia.The aim here is to dissolve the water-soluble reaction products from the burner flue gas and to flush out the solids from the reactor chamber (e.g., SiO 2 from the silane reaction product). For this purpose, according to DE 196 00 873 A1 or also WO 03/085321 A1, a solution is used in that the reactor chamber is defined above by a splash protection and a radially cylindrical wall and that the whole device is surrounded by an outer wall. The solid reaction products are flushed down by the sorption means along the inner side of the outer wall around the downstream burner, i.e. outside the combustion chamber. A disadvantage here is that combustion must be carried out at relatively high temperatures and that the components of the combustion chamber are also exposed to high temperatures and / or stress due to temperature variations and thus wear relatively quickly. A further disadvantage is that the reaction products can be deposited on or in the burner due to the upward flame. The result is a gradual deterioration in efficiency and the need for more frequent cleaning.
Posledná nevýhoda bola do značnej miery odstránená tým, že tryská horáka bola v spaľovacej komore usporiadaná hore, ako vyplýva z dokumentu EP 0 803 042 B1, a že plameň teda horí smerom dole. Takto boli podstatne zredukované usadeniny pevných produktov reakcie na horáku a dosiahla sa tým výrazne predĺžená životnosť. Zostal však zachovaný problém tepelného namáhania reaktorovej komory. Dôsledkom sú značné náklady na údržbu.The last disadvantage has been largely eliminated by the fact that the burner nozzle has been arranged upward in the combustion chamber, as shown in EP 0 803 042 B1, and that the flame thus burns downwards. In this way, deposits of solid reaction products on the burner have been substantially reduced and a significantly prolonged service life has been achieved. However, the problem of thermal stress on the reactor chamber remained. This results in considerable maintenance costs.
Dokument US 5 123 836 A opisuje zariadenie na čistenie toxických plynov z výrobných procesov s reaktorovou komorou, na vnútornej strane jej steny steká dole vrstva vody. Na hornom konci reaktorovej komory je usporiadaný horák na tepelné spracovanie toxických plynov. Na spodnom konci reaktorovej komory je usporiadaný výpust na spaliny, ako aj vodu.US 5 123 836 A discloses a plant for the purification of toxic gases from production processes with a reactor chamber, on the inside of the wall of which a water layer flows down. A burner is provided at the upper end of the reactor chamber for heat treatment of toxic gases. At the lower end of the reactor chamber there is a flue gas outlet and a water outlet.
Pri inom spôsobe čistenia spalín sa pracuje so smerom hore horiacim plameňom a následným katalytickým spracovaním spalín (EP 0 736 322 B1). Ukázalo sa však, že je napriek tomu účelné a potrebné záverečné spracovanie sorpčným prostriedkom.Another method of flue gas cleaning involves working upward with a burning flame and subsequent catalytic treatment of the flue gases (EP 0 736 322 B1). However, it has been shown that a final sorption treatment is expedient and necessary.
Podstata technického riešeniaThe essence of the technical solution
Úlohou technického riešenia je vytvorenie zariadenia na čistenie toxických plynov z výrobných procesov, ktorým sa dosiahne maximálne účinné čistenie pri vysokom prechode plynov a súčasne sa umožní veľmi účinné chladenie reaktorovej komory.The object of the invention is to provide a plant for the purification of toxic gases from production processes, which achieves maximum efficient purification at high gas passages while allowing very efficient cooling of the reactor chamber.
Úloha technického riešenia je riešená tým, že reaktorová komora pozostáva z vonkajšej a vnútornej steny, pričom vnútorná stena sa pod určitým uhlom lievikovité zužuje smerom dole, že na reaktorovej komore je usporiadané zariadenie na termické spracovanie toxických plynov, ktoré túto hore uzatvára, že smerom dole sa zužujúca vnútorná stena je na vnútornej strane opatrená smerom dole rovnomerne stekajúcou vrstvou vody, pričom vnútorná stena reaktorovej komory je zvonka obklopená vodným plášťom, a že na spodnom konci zužujúcej sa vnútornej steny je usporiadaný výpust spalín a prípojka na vodný okruh.The task of the invention is solved by the fact that the reactor chamber consists of an outer wall and an inner wall, the inner wall being tapered downwards at a certain angle, that a thermal gas treatment device is arranged on the reactor chamber. the tapered inner wall is provided on the inner side with a downwardly flowing layer of water, the inner wall of the reactor chamber being surrounded by a water jacket outside, and that at the lower end of the tapered inner wall there is a flue gas outlet and connection to the water circuit.
V prvom uskutočnení zariadenia podľa technického riešenia je zariadením na termické spracovanie toxických spalín horák s so smerom dole horiacim plameňom, ktorý horí smerom dole do reaktorovej komory.In a first embodiment of the apparatus according to the invention, the apparatus for thermal treatment of toxic flue gases is a burner with a downward-burning flame that burns down into the reactor chamber.
Horákom je pritom s výhodou horák s vonkajším zmiešavaním s najmenej jedným centrálnym prívodným potrubím na toxické spaliny.The burner is preferably a burner with external mixing with at least one central flue gas supply line.
Aby sa dosiahlo pokiaľ vysoké presadenie spracovávaných toxických spalín, je použitých viacero prívodných potrubí na toxické spaliny, pričom trysky na vykurovací plyn a trysky na vzduch alebo kyslík obklopujú centrálne prívodné potrubie.In order to achieve a high throughput of the treated toxic flue gas, a number of toxic flue gas supply lines are used, wherein the fuel gas nozzles and the air or oxygen nozzles surround the central supply line.
V druhom uskutočnení technického riešenia je zariadením na termické spracovanie toxických spalín elektricky vykurovaná komora, pričom je použitých viacero prívodných potrubí na toxické spaliny.In a second embodiment of the invention, the toxic flue gas thermal treatment apparatus is an electrically heated chamber, wherein a plurality of toxic flue gas supply lines are used.
Na účinné vykurovanie možno komoru vykurovať viacerými navzájom vedľa seba rovnobežne usporiadanými a do komory zasahujúcimi vykurovacími tyčami, ktoré umožňujú rovnomerný ohrev objemu komory prinajmenšom v oblasti prechodu spracovávaných toxických spalín.For efficient heating, the chamber may be heated by a plurality of heating rods arranged parallel to one another and extending into the chamber, which allow uniform heating of the volume of the chamber at least in the region of the passage of the treated toxic flue gas.
V ďalšom uskutočnení technického riešenia sú vonkajšia a vnútorná stena dole kruhovým dnom spojené navzájom tak, že medzipriestor medzi vnútornou stenou a vonkajšou stenou možno v podstate úplne vyplniť vodou, pričom horný okraj vnútornej steny je uskutočnený ako prepad na v medzípriestore sa nachádzajúcu vodu a že medzipriestor je spojený s prívodom vody.In a further embodiment of the invention, the outer and inner walls are connected to each other at the bottom by a circular bottom such that the intermediate space between the inner wall and the outer wall can be substantially filled with water, the upper edge of the inner wall being designed as an overflow to the interspace. is connected to the water supply.
K prívodu vody je priradené regulačné zariadenie alebo škrtiace zariadenie na do medzi priestoru privádzanú vodu.A control device or a throttle device is provided for the water supply to the water supply.
V ďalšom uskutočnení technického riešenia je výpust na spaliny spojený s pracou kolónou, usporiadanou vedľa reaktorovej komory. Pracia kolóna je vyplnená plniacim materiálom, aby sa umožnilo účinné dodatočné spracovanie toxických spalín a aby sa zo spalín z reakcie odstránili najmä vo vode rozpustné zložky.In a further embodiment of the invention, the flue gas outlet is connected to a scrubbing column arranged next to the reactor chamber. The scrubbing column is packed with packing material to allow efficient post-treatment of toxic flue gases and to remove especially water-soluble components from the reaction flue gases.
Ďalej je použité riešenie spočívajúce v tom, že medzi výpustom na spaliny a pracou kolónou je usporiadané chladiace zariadenie na tepelne spracované spaliny, ktoré opúšťajú vnútornú komoru. Toto chladiace zariadenie pozostáva z najmenej jednej rozstrekovacej trysky na vodu.Furthermore, a solution is provided that between the flue gas outlet and the scrubbing column there is a cooling device for heat-treated flue gases which leaves the inner chamber. The cooling device comprises at least one water spray nozzle.
Vystrekovaný lúč najmenej jednej rozstrekovacej trysky je s výhodou orientovaný proti smeru prúdenia plynu.The spray jet of the at least one spray nozzle is preferably oriented upstream of the gas flow.
V ďalšom uskutočnení technického riešenia pozostáva prívod vody pre medzipriestor z plniacej rúrky, ktorá je opatrená výpustom vody nad dnom.In another embodiment of the invention, the water supply for the intermediate space consists of a filling tube which is provided with a water outlet above the bottom.
Aby sa dosiahlo zálohovanie, sú použité dve reaktorové komory, ktorých výpusty možno alternatívne spojiť s pracou kolónou a vodným okruhom.In order to achieve back-up, two reactor chambers are used, the outlets of which can alternatively be connected to the scrubbing column and the water circuit.
Nakoniec je použité opatrenie spočívajúce vtom, že prípojka na vodný okruh každej reaktorovej komory je spojená s vodnou nádržou, ktorá je spojená s filtračným zariadením na pevné produkty reakcie a čerpadlom pre plnenie medzipriestoru.Finally, a measure is provided that the connection to the water circuit of each reactor chamber is connected to a water tank, which is connected to a solid product filtration device and a pump for filling the intermediate space.
Prehľad obrázkov na výkresochBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
Technické riešenie má byť následne bližšie vysvetlené na príklade uskutočnenia. Na príslušných výkresoch znázorňujú obr. 1 schematický rez reaktorovou komorou s nasadeným horákom;The technical solution is to be explained in more detail below on an exemplary embodiment. In the drawings, FIG. 1 shows a schematic section through a reactor chamber with a burner mounted;
obr. 2 zväčšený detail z obr. 1;Fig. 2 is an enlarged detail of FIG. 1;
obr. 3 schematický čiastkový rez otvorenou reaktorovou komorou podľa obr.Fig. 3 is a schematic partial cross-sectional view of the open reactor chamber of FIG.
s prívodom vody;with water supply;
obr. 4 schematický rez reaktorovou komorou s elektrickým ohrevom; a obr. 5 schematické vyobrazenie zariadenia na čistenie toxických plynov z výrobných procesov s dvomi spriahnutými reaktorovými komorami a príslušnou pracou kolónou na následné spracovanie tepelne spracovaných toxických spalín.Fig. 4 is a schematic cross-sectional view of an electric heating reactor chamber; and FIG. 5 is a schematic illustration of a plant for the purification of toxic gases from production processes with two coupled reactor chambers and an associated scrubbing column for the post-treatment of heat-treated toxic flue gases.
Príklad uskutočnenia technického riešeniaExample of technical solution
Obr, 1 znázorňuje schematický rez zariadením na čistenie toxických plynov z výrobných procesov s reaktorovou komorou I, ktorá pozostáva z vonkajšej a vnútornej steny 2, 3. Vnútorná stena 3 sa pod dopredu zadaným uhlom na spôsob lievika zužuje smerom dole.Fig. 1 shows a schematic cross-section of an apparatus for the purification of toxic gases from production processes with a reactor chamber 1 consisting of an outer and an inner wall 2, 3. The inner wall 3 tapers downward at a predetermined funnel-like angle.
Pozdĺž smerom dole sa zužujúcej vnútornej steny 3 reaktorovej komory steká po jej vnútornej strane rovnomerná vrstva vody 4. Táto vrstva vody je na obr. 1 znázornená čiarkované. Aby sa to dosiahlo, nachádza sa medzi vnútornou stenou 3 reaktorovej komory 1 a vonkajšou stenou 2 v medzipriestore 5 vodný plášť, do ktorého sa stále v dopredu určenom množstve privádza voda, takže privádzaná voda môže prepadať cez horný okraj 6 vnútornej steny 3 a vytvárať vrstvu vody na vnútornej strane vnútornej steny 3.A uniform layer of water 4 flows down the inner wall 3 of the reactor chamber along its downward side. This layer of water is shown in FIG. 1 shown in dashed lines. To achieve this, there is a water jacket between the inner wall 3 of the reactor chamber 1 and the outer wall 2 in the intermediate space 5, to which water is still supplied in a predetermined amount, so that the supplied water can fall over the upper edge 6 of the inner wall 3 and form water on the inside of the inner wall 3.
Vonkajšia a vnútorná stena 2, 3 sú na tento účel dole spojené navzájom kruhovým dnom 7 tak, že medzipriestor 5 medzi vnútornou stenou 3 a vonkajšou stenou 2 môže byť v podstate úplne vyplnený vodou, pričom horný okraj 6 vnútornej steny 3 je uskutočnený ako prepad na vodu, ktorá sa nachádza v medzipriestore 5 (obr. 2). Prívod vody do medzipriestoru 5 sa uskutočňuje plniacou rúrkou 8, ktorej výpustný otvor 9 sa nachádza nad dnom 7 (obr. 3). Plniaca rúrka 8 je spojená s vodným okruhom 10, ktorý je schematicky znázornený na obr. 4. V prívode vody k plniacej rúrke 8 môže byť usporiadané regulačné zariadenie na privádzanú vodu, ktoré v najjednoduchšom prípade pozostáva zo škrtiaceho zariadenia na privádzanú vodu.For this purpose, the outer and inner walls 2, 3 are connected to each other by a circular bottom 7 so that the intermediate space 5 between the inner wall 3 and the outer wall 2 can be substantially completely filled with water, the upper edge 6 of the inner wall 3 being water in intermediate space 5 (FIG. 2). The supply of water to the intermediate space 5 is effected by a filling tube 8, whose outlet opening 9 is located above the bottom 7 (FIG. 3). The filling tube 8 is connected to a water circuit 10, which is schematically shown in FIG. 4. A water supply control device may be provided in the water supply to the feed pipe 8, which in the simplest case consists of a water supply throttle.
Na spodnom konci zužujúcej sa vnútornej steny 3 sa nachádza výpust spalín H, ktorý prechádza cez dno 7, a prípojka 12, ktorá končí vo vodnej nádrži 13.At the lower end of the tapered inner wall 3 there is a flue gas outlet 11 which passes through the bottom 7 and a connection 12 which terminates in the water tank 13.
Na reaktorovej komore 1 je usporiadané veko 14 na uzatvorenie spaľovacej komory 1 tak, že veko 14 je tesne spojené s hornou hranou vonkajšej steny 2, čo môže byť uskutočnené bežným rýchlouzáverom. Veko 14 slúži súčasne na uloženie horáka 15 s tryskami 16, ktoré smerujú do reaktorovej komory 1, takže sa môže vytvárať plameň, ktorý horí smerom dole do reaktorovej komory 1.A lid 14 is provided on the reactor chamber 1 to close the combustion chamber 1 such that the lid 14 is tightly connected to the upper edge of the outer wall 2, which can be accomplished by a conventional quick seal. The lid 14 serves at the same time to accommodate the burner 15 with the nozzles 16 directed into the reactor chamber 1 so that a flame can be generated which burns downwards into the reactor chamber 1.
Horák 15 je s výhodou tvorený horákom s vonkajším zmiešavaním s centrálnym prívodom na spracovávané toxické spaliny. Prívod spracovávaných spalín sa uskutočňuje viacerými prívodnými potrubiami 17, ktoré sú schematicky naznačené na obr. 1. Horák 15 je opatrený tryskami na vykurovací plyn, napr. vodík alebo zemný plyn, a tryskami na vzduch alebo kyslík. Príslušný prívod vykurovacieho plynu 18 je schematicky znázornený na obr. 1. Na čistenie horákového otvoru vo vnútri reaktorovej komory 1 slúži zvonka ovládateľné čistiace zariadenie 19 so škrabkou 20.The burner 15 is preferably formed by an external mixing burner with a central feed for the toxic flue gas to be treated. The flue gas to be treated is supplied by a plurality of supply lines 17, which are schematically indicated in FIG. The burner 15 is provided with fuel gas nozzles, e.g. hydrogen or natural gas, and air or oxygen nozzles. The respective fuel gas supply 18 is shown schematically in FIG. 1. An outside-operable cleaning device 19 with a scraper 20 serves to clean the burner opening within the reactor chamber 1.
Vodným plášťom v medzipriestore 5 sa dosiahne intenzívne chladenie reaktorovej komory 1 ako celku, takže všetky súčasti, ako je vnútorná stena 3 a vonkajšia stena 2, sú iba sotva tepelne namáhané. Okrem toho vrstva vody 4 na vnútornej strane vnútornej steny 3 zaisťuje silné tlmenie tepelného vyžarovania plameňa. Vrstva vody 4 okrem toho bráni ukladaniu nánosov na vnútornej strane vnútornej steny 3 a v prípojke 12 na vodnú nádrž 13 a čiastočne tiež vo výpuste spalín ti. Na zapálenie plameňa horáka sa ďalej vo veku 14 nachádza pilotný horák 2LThrough the water jacket in the intermediate space 5, intensive cooling of the reactor chamber 1 as a whole is achieved, so that all components, such as the inner wall 3 and the outer wall 2, are barely thermally stressed. In addition, the water layer 4 on the inside of the inner wall 3 provides a strong attenuation of the heat radiation of the flame. The water layer 4 also prevents deposits from depositing on the inner side of the inner wall 3 and in the connection 12 on the water tank 13 and partly also in the flue gas outlet t1. In order to ignite the burner flame, a pilot burner 21 is further provided at age 14
Namiesto horáka 15 môže byť na reaktorovú komoru 1 tiež nasadená elektricky vyhrievaná komora 21 s viacerými prívodmi 22 na tepelne spracovávané toxické spaliny (obr. 4). V komore 21 sa nachádza viacero rovnobežne vedľa seba usporiadaných a do tejto komory 21 zasahujúcich vykurovacích tyčí 23, ktoré sú pomocou izolačných priechodiek 24 pripevnené v krycej doske 25 komory 21.Instead of the burner 15, an electrically heated chamber 21 with multiple inlets 22 for heat-treated toxic flue gas may also be mounted on the reactor chamber 1 (FIG. 4). In the chamber 21 there are a plurality of heating rods 23 arranged parallel to one another and extending into the chamber 21, which are fixed by means of insulating bushings 24 in the cover plate 25 of the chamber 21.
Na následné spracovanie produktov reakcie so sorpčným prostriedkom na viazanie vo vode rozpustných produktov reakcie a na vyplachovanie pevných produktov reakcie sa vedľa reaktorovej komory 1 nachádza pracia kolóna 26. Na tento účel je s pracou kolónou 26 spojený výpust spalín H vnútornej steny 3 (obr. 5).For the subsequent treatment of the reaction products with a sorption agent for binding the water-soluble reaction products and for flushing the solid reaction products, a scrubbing column 26 is located next to the reactor chamber 1. For this purpose, a flue gas outlet H of the inner wall 3 is connected to the scrubbing column 26 (FIG. ).
V pracej kolóne 26 sa nachádza výplňový materiál 27 a viacero rozstrekovacích trysiek 28, z ktorých sa rozstrekuje sorpčný prostriedok.In the washing column 26 there is a packing material 27 and a plurality of spray nozzles 28 from which the sorption agent is sprayed.
Na chladenie spalín, ktoré opúšťajú reaktorovú komoru 1, sa medzi výpustom spalín 11 a pracou kolónou 26 nachádza chladiace zariadenie vo forme najmenej jednej rozstrekovacie trysky 34, ktorej vystrekovaný lúč je orientovaný proti smeru prúdenia plynu.For cooling the flue gas leaving the reactor chamber 1, there is a cooling device between the flue gas outlet 11 and the scrubbing column 26 in the form of at least one spray nozzle 34 whose spray jet is oriented upstream.
Aby sa dosiahlo určité zálohovanie zariadenia podľa technického riešenia, môžu byť použité tiež dve reaktorové komory 1, £, ktorých výpusty H možno alternatívne spojiť s pracou kolónou 26 a vodnou nádržou 13 (obr. 5). Na tento účel sú v prívodných potrubiach usporiadané škrtiace klapky 29, 30.In order to achieve some back-up of the device according to the invention, two reactor chambers 1, 6 can also be used, whose outlets 11 can alternatively be connected to the washing column 26 and the water tank 13 (FIG. 5). For this purpose, throttle valves 29, 30 are provided in the supply lines.
Prípojka 12 na vodný okruh každej reaktorovej komory X, V je spojená s vodnou nádržou 13, ktorá je spojená s filtračným zariadením 31 na pevné produkty reakcie a čerpadlom 32 na plnenie medzipriestoru 5. Vodnú nádrž 13 možno plniť vodnou prípojkou 33.The water circuit connection 12 of each reactor chamber X, V is connected to a water tank 13, which is connected to a solid reaction product filter device 31 and a pump 32 for filling the interspace 5. The water tank 13 can be filled with a water connection 33.
Claims (16)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SK131-2009U SK5680Y1 (en) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | Device for cleaning toxic gases from industrial processes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SK131-2009U SK5680Y1 (en) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | Device for cleaning toxic gases from industrial processes |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SK1312009U1 true SK1312009U1 (en) | 2010-09-07 |
| SK5680Y1 SK5680Y1 (en) | 2011-03-04 |
Family
ID=44227637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SK131-2009U SK5680Y1 (en) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | Device for cleaning toxic gases from industrial processes |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SK (1) | SK5680Y1 (en) |
-
2009
- 2009-12-17 SK SK131-2009U patent/SK5680Y1/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SK5680Y1 (en) | 2011-03-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7618595B2 (en) | Assembly for purifying toxic gases from production processes | |
| KR101995211B1 (en) | Exhaust gas processing device | |
| US7871587B2 (en) | Reactive chemical containment system | |
| JP5940482B2 (en) | Water scrubber and exhaust gas treatment equipment | |
| CN101541400A (en) | Gas processing apparatus | |
| KR20030007560A (en) | Treatment system for removing hazardous substances from a semiconductor process waste gas stream | |
| GB2504335A (en) | Radiant burner for the combustion of manufacturing effluent gases. | |
| KR100669501B1 (en) | Wet tower of scrubber for processing semiconductor by-product gas | |
| CN103021779B (en) | Plasma reactor | |
| KR20030074638A (en) | Exhaust gas treatment device | |
| KR101209677B1 (en) | Whirlwind-type oxidation combustion apparatus for processing semiconductor fabrication exhaust gas | |
| SK1312009U1 (en) | Device for cleaning toxic gases from industrial processes | |
| KR100998853B1 (en) | The waste gas scrubber | |
| KR100743399B1 (en) | An apparatus for treatment chlorine gas and perfluoro compounds from semiconductor manufacturing process | |
| CN201632175U (en) | Tail gas treatment device | |
| KR101617691B1 (en) | Device for purifying exhuasted gas from chemical vapor deposition | |
| JP2009034636A (en) | Method and apparatus for treating exhaust gas | |
| TW202010563A (en) | Powder purification treatment device | |
| TWM581501U (en) | Waste gas purifying device | |
| JP4070698B2 (en) | Exhaust gas supply method and backfire prevention device | |
| EP1414549A2 (en) | Device and method for purifying exhaust gas | |
| KR20070105615A (en) | Scruber aparatus of semiconductor manufacture device | |
| KR102635282B1 (en) | Wet-dry hybrid desulfurization device | |
| JP7210359B2 (en) | Tar remover | |
| KR101966628B1 (en) | Waste gas treatment appatus |