SE534265C2 - Metod att forma nanostrukturer - Google Patents

Metod att forma nanostrukturer Download PDF

Info

Publication number
SE534265C2
SE534265C2 SE0900444A SE0900444A SE534265C2 SE 534265 C2 SE534265 C2 SE 534265C2 SE 0900444 A SE0900444 A SE 0900444A SE 0900444 A SE0900444 A SE 0900444A SE 534265 C2 SE534265 C2 SE 534265C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
substrates
microstructures
nano
forming
thermal
Prior art date
Application number
SE0900444A
Other languages
English (en)
Other versions
SE0900444A1 (sv
Inventor
Goeran Langstedt
Original Assignee
Goeran Langstedt
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Goeran Langstedt filed Critical Goeran Langstedt
Priority to SE0900444A priority Critical patent/SE534265C2/sv
Publication of SE0900444A1 publication Critical patent/SE0900444A1/sv
Publication of SE534265C2 publication Critical patent/SE534265C2/sv

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00436Shaping materials, i.e. techniques for structuring the substrate or the layers on the substrate
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B81C99/0075Manufacture of substrate-free structures
    • B81C99/009Manufacturing the stamps or the moulds

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Fertilizers (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Description

Metod att forma nanostrukturer Tekniskt område Den här uppfinningen avser en metod att forma små strukturer som kan vara nano- och mikrostrukturer.
Teknikens ståndpunkt När man skall forma nano- och eller mikrostrukturer sker detta normalt med formningsverktyg och eller substrat som har dålig termisk ledningsförmåga som kan vara kisel. Detta gör att process tiden blir lång när formningsverktyg och eller substrat snabbt skall värmas och efter att strukturer formats på substrat kylas så substrat kan separeras från formningsverktyg och normalt bearbetas i efterföljande steg. Detta gäller även när man använder termisk och s.k. UV baserad teknik att forma strukturer på samma substrat, företrädesvis efter varandra i samma processanordning.
Problemlösning Föreliggande uppfinning löser problemen med den kända tekniken genom att den har de i de efterföljande patentkraven angivna särdragen. Den löser också problemen med att en pressanordning där dessa strukturer formas normalt använder fluid teknik för att kunna applicera ett jämnt presstryck på substrat.
Detaljbeskrivning av uppfinningen Metoden enligt uppfinningen att forma nano- och eller mikrostrukturer använder formningsverktyg och eller substrat där material med god termisk ledningsförmåga ingår och där detta material kan vara kolfiber med minst polymer i en fiber polymer komposit. Kolfiber har en god termisk ledningsförmåga och i denna fiber polymer komposit kan strukturer formas. Även andra fibrer kan gjutas in i denna fiber polymer komposit så att en flexibel energiupptagande fiber polymer komposit uppnås. Även kylkanaler kan ha gjutits in i formningsverktyget och eller substrat för att uppnå en god termisk överföring när strukturer skall formas.
Beroende på hur substrat och eller formningsverktyg anordnas i pressanordning där strukturer skall formas kan man använda termisk och eller UV baserad teknik för att forma strukturer eller använda en kombination av dessa.
I ett särskilt utförande enligt uppfinningen kan strukturer formas på formningsverktyg för att användas för formning av strukturer på substrat Detta kan helt eller delvis utföras vid reducerad syrgasatmosfar i en process anordning eller efter varandra. I anordning kan även ytbeläggning av ytskikt för termisk och eller UV nanoimprint appliceras som kan vara s.k. resist.
Metoden enligt uppfinningen gör det möjligt att reducera kostnaderna för anordning att forma strukturerna jämför med dagens teknik.
Metoden enligt uppfinningen gör det också möjligt att automatisera metoden att forma strukturer.
En fackman kan inse hur uppfinningen kan vidareutvecklas i uppfinningens anda, även detta är en del av uppfinningen.

Claims (3)

534 265 Patentkrav
1. Metod att forma nano- och eller mikrostrukturer på substrat med god termisk ledningsförmäga i en pressanordning där detta substrat består av kolfiberpolymerkomposit material, processen utförs I en pressanordning där termisk teknik används för att forma nano- och eller mikrostrukturer pä substrat och där detta substrat i efterföljande processteg i processanordningen används som formningsverktyg för att forma nano- och eller mikrostrukturer på substrat med termisk och eller UV baserad teknik där ytskikt som appliceras på substrat är s.k. resist och där detta utförs i reducerad syrgasatmosfär
2. Metod att forma nano- och eller mikrostrukturer enligt krav 1 k ä n n et e c k n a n d av att forrnningen av nano- och eller mikrostmkturer pä substrat utförs med nanoimprlntteknik baserad pressanordning där s.k. resist appliceras på substrat yta för termisk och eller UV baserad process i pressanordningen.
3. Metod att forma nano- och eller mikrostrukturer enligt krav 1 och eller krav 2 k ä n n e t e c k n a d av att kylkanaler giuts in iforrnverktyg och eller substrat för att uppnå bättre termisk överföring när strukturer skall formas.
SE0900444A 2009-04-03 2009-04-03 Metod att forma nanostrukturer SE534265C2 (sv)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0900444A SE534265C2 (sv) 2009-04-03 2009-04-03 Metod att forma nanostrukturer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0900444A SE534265C2 (sv) 2009-04-03 2009-04-03 Metod att forma nanostrukturer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE0900444A1 SE0900444A1 (sv) 2010-10-04
SE534265C2 true SE534265C2 (sv) 2011-06-21

Family

ID=43243939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0900444A SE534265C2 (sv) 2009-04-03 2009-04-03 Metod att forma nanostrukturer

Country Status (1)

Country Link
SE (1) SE534265C2 (sv)

Also Published As

Publication number Publication date
SE0900444A1 (sv) 2010-10-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20170165893A1 (en) Production method of microporous plastic film
US8480942B2 (en) Method of forming a patterned layer of a material on a substrate
TWI415735B (zh) 基材之表面濕潤性質的改良技術
Choi et al. Roll-to-roll continuous patterning and transfer of graphene via dispersive adhesion
ATE551175T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur herstellung eines faserverbundwerkstoff-bauteils
JP2009062648A (ja) チョップド繊維束、成形材料、および繊維強化プラスチックの製造方法
CN107249852A (zh) 微多孔塑料膜的制造方法
CN107428059A (zh) 微多孔塑料膜的制造方法
KR101958053B1 (ko) 원자 또는 이온을 선택적으로 투과시키는 필터용 나노 채널 구조물 및 이의 제조 방법
Dong et al. Toward clean 2d materials and devices: Recent progress in transfer and cleaning methods
Jambhulkar et al. A multimaterial 3D printing-assisted micropatterning for heat dissipation applications
Zhu et al. Preparation of large‐scale, durable, superhydrophobic PTFE films using rough glass templates
Guo et al. Changes in wetting and contact charge transfer by femtosecond laser-ablation of polyimide
TWI740075B (zh) 複合積層體及其製造方法
Gurmessa et al. Localization in an idealized heterogeneous elastic sheet
SE534265C2 (sv) Metod att forma nanostrukturer
Feng et al. Fabrication of Polyethylene Superhydrophobic Surfaces by Stretching‐Controlled Micromolding
Bessonov et al. Design of patterned surfaces with selective wetting using nanoimprint lithography
TW201829558A (zh) 碳纖維片狀模塑料(molding compound)之製造方法及裝置
Hwang et al. Selective laser pyrolytic micropatterning of stretched elastomeric polymer surfaces
Cai et al. Fracture-induced formation of parallel silicone strips
EP2206678A3 (de) Verfahren zur Herstellung von Körpern mit mikro- und/oder nanostrukturierten Oberflächen und von mikro- und/oder nanogross durchbrochenen Folien
Keum et al. Principle of topography-directed inkjet printing for functional micro-tracks in flexible substrates
Feng et al. Stretching‐Controlled Micromolding Process with Etched Metal Surfaces as Templates Towards Mass‐Producing Superhydrophobic Polymer Films
KR102090863B1 (ko) 마이크로 챔버 일체형 금속 메쉬 필름을 포함하는 열순환 장치, 이를 포함하는 유전자 증폭 시스템 및 열순환 장치의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed