SE524684C2 - Pressing unit pattern structure transferring method, involves operating power source to pass current through pressing unit to heat it and layer, and pressing unit against layer to transfer pattern to layer - Google Patents

Pressing unit pattern structure transferring method, involves operating power source to pass current through pressing unit to heat it and layer, and pressing unit against layer to transfer pattern to layer

Info

Publication number
SE524684C2
SE524684C2 SE0201912A SE0201912A SE524684C2 SE 524684 C2 SE524684 C2 SE 524684C2 SE 0201912 A SE0201912 A SE 0201912A SE 0201912 A SE0201912 A SE 0201912A SE 524684 C2 SE524684 C2 SE 524684C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
layer
pressure
pressure means
current source
pressing unit
Prior art date
Application number
SE0201912A
Other languages
Swedish (sv)
Other versions
SE0201912L (en
SE0201912D0 (en
Inventor
Lennart Olsson
Original Assignee
Obducat Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Obducat Ab filed Critical Obducat Ab
Priority to SE0201912A priority Critical patent/SE524684C2/en
Publication of SE0201912D0 publication Critical patent/SE0201912D0/en
Priority to PCT/SE2003/001003 priority patent/WO2004000566A1/en
Priority to EP03736397A priority patent/EP1513689A1/en
Priority to US10/516,608 priority patent/US20050146083A1/en
Priority to AU2003237738A priority patent/AU2003237738A1/en
Publication of SE0201912L publication Critical patent/SE0201912L/en
Publication of SE524684C2 publication Critical patent/SE524684C2/en

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00436—Shaping materials, i.e. techniques for structuring the substrate or the layers on the substrate
    • B81C1/00444—Surface micromachining, i.e. structuring layers on the substrate
    • B81C1/0046—Surface micromachining, i.e. structuring layers on the substrate using stamping, e.g. imprinting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Decoration By Transfer Pictures (AREA)
  • Printing Methods (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

The method involves connecting a power source (26) over a pressing unit (1), and arranging the pressing unit in contact with a deformable layer (4,21) so that a pattern in the unit faces the layer. A power source (26) is operated so that a current is passed through the pressing unit to heat the pressing unit and the layer. The pressing unit is pressed against the layer so that the pattern is transferred to the layer. An independent claim is also included for transferring a pattern from a pressing unit to a deformable layer.

Description

25 30 35 524 684 i 2 substratet undviks. Det finns således ett behov av ett förfarande och en anordning som på ett mera homogent sätt värmer upp ett skikt på ett substrat i samband med över- föring av ett mönster från en stämpel till skiktet. 25 30 35 524 684 in 2 the substrate is avoided. Thus, there is a need for a method and apparatus that in a more homogeneous manner heats a layer on a substrate in connection with transferring a pattern from a stamp to the layer.

Sammanfattning av uppfinningen Föreliggande uppfinning är ämnad att tillhandahålla ett förfarande och en anordning som löser åtminstone ett av ovan nämnda problem.Summary of the Invention The present invention is intended to provide a method and apparatus which solves at least one of the above-mentioned problems.

Ett ändamål med föreliggande uppfinning är att till- handahålla ett förfarande för överföring av ett mönster från en stämpel till ett skikt på ett substrat genom pressning varvid skiktet värms upp homogent.An object of the present invention is to provide a method for transferring a pattern from a stamp to a layer on a substrate by pressing, the layer being heated homogeneously.

Ett annat ändamål med föreliggande uppfinning är att tillhandahålla ett förfarande för överföring av ett mönster från en stämpel till ett skikt på ett substrat genom pressning, varvid skiktet värms upp på ett snabbt och kontrollerbart sätt.Another object of the present invention is to provide a method for transferring a pattern from a stamp to a layer on a substrate by pressing, the layer being heated in a fast and controllable manner.

Ett annat ändamål med föreliggande uppfinning är att tillhandahålla en anordning för överföring av ett mönster från en stämpel till ett skikt på ett substrat genom pressning varvid skiktet värms upp homogent.Another object of the present invention is to provide an apparatus for transferring a pattern from a stamp to a layer on a substrate by pressing whereby the layer is heated homogeneously.

Ett annat ändamål med föreliggande uppfinning är att tillhandahålla en anordning för överföring av ett mönster från en stämpel till ett skikt på ett substrat genom pressning varvid skiktet värms upp snabbt och kontroller- bart. Ãtminstone ett av dessa ändamål uppnås med ett för- farande eller en anordning enligt de efterföljande själv- ständiga patentkraven.Another object of the present invention is to provide a device for transferring a pattern from a stamp to a layer on a substrate by pressing, the layer heating up quickly and in a controllable manner. At least one of these objects is achieved by a method or a device according to the appended independent claims.

Ytterligare fördelar hos uppfinningen framgår av de osjälvständiga patentkraven.Further advantages of the invention appear from the dependent claims.

Ett förfarande enligt uppfinningen för att överföra àtminstone ett mönster i form av en struktur från ett tryckorgan till ett substrat, som är belagt med ett skikt på åtminstone en planyta, utmärkes av att det innefattar följande steg. Att ansluta en strömkälla över tryckorganet. Att driva strömkällan så att en ström drivs 10 15 20 25 30 35 - a I I ' a . u v 0 ' . . . - n: .. . f' t". .. , u o < , . v J... ..- . . Q . N 3 genom tryckorganet och värmer upp tryckorganet och skiktet, varvid skiktet är i kontakt med tryckorganet.A method according to the invention for transferring at least one pattern in the form of a structure from a printing member to a substrate, which is coated with a layer on at least one planar surface, is characterized in that it comprises the following steps. To connect a power source over the pressure means. To drive the current source so that a current is driven 10 15 20 25 30 35 - a I I 'a. u v 0 '. . . - n: ... f 't ". .., u o <,. v J ... ..-.. Q. N 3 through the pressure means and heats up the pressure means and the layer, the layer being in contact with the pressure means.

Att anordna tryckorganet, vilket tryckorgan har en yta med en struktur som definierar mönstret med mönstret vänt mot skiktet, och att pressa tryckorganet mot skiktet sä att mönstret överförs till skiktet.Arranging the printing means, which printing means has a surface with a structure defining the pattern with the pattern facing the layer, and pressing the printing means against the layer so that the pattern is transferred to the layer.

Genom att man värmer upp tryckorganet genom att driva en ström genom det möjliggörs en betydligt mera homogen uppvärmning av tryckorganet och skiktet än vad som varit möjligt enligt känd teknik. Förfarandet enligt uppfinningen är speciellt användbart i sä kallad nanoimprintlitografi då storleken pà de strukturer som skall överföras är i storleksordningen nanometer.By heating the pressure means by driving a current through it, a much more homogeneous heating of the pressure means and the layer is made possible than has been possible according to known technology. The method according to the invention is particularly useful in so-called nanoimprint lithography when the size of the structures to be transferred is in the order of nanometers.

Ett förfarande enligt uppfinningen förutsätter givetvis att tryckorganet är elektriskt ledande.A method according to the invention presupposes, of course, that the pressure means is electrically conductive.

Enligt en utföringsform av uppfinningen ansluts strömkällan sä att strömtätheten i tryckorganet blir homogen. Detta kan göras pà ett flertal sätt. Med ledning av att strömkällan skall anslutas pà det här sättet och med ledning av tryckorganets form är det möjligt att ansluta tryckorganet pà lämpligt sätt. I fallet att tryckorganet är rektangulärt är det möjligt att ansluta strömkällan längs ett par motstäende sidor, varvid strömkällan ansluts längs hela sidan pä var och en av de motstàende sidorna.According to an embodiment of the invention, the current source is connected so that the current density in the pressure member becomes homogeneous. This can be done in several ways. In view of the fact that the power source is to be connected in this way and in view of the shape of the pressure means, it is possible to connect the pressure means in a suitable manner. In the case that the pressure means is rectangular, it is possible to connect the current source along a pair of opposite sides, the current source being connected along the entire side on each of the opposite sides.

I fallet att resistiviteten ökar med ökande tem- peratur kommer man att fà en självreglerande uppvärmning av substratet. Det är säledes fördelaktigt att utforma tryckorganet i ett material vars resistivitet ökar med ökande temperatur.In the event that the resistivity increases with increasing temperature, a self-regulating heating of the substrate will be obtained. It is thus advantageous to design the pressure member in a material whose resistivity increases with increasing temperature.

Enligt en alternativ utföringsform innefattar för- farandet även steget att tillhandahålla ett tryckorgan som är så utformat att strömtätheten i tryckorganet blir homogen. I fallet att tryckorganet har formen av en parallelltrapets utformas tryckorganet dä lämpligen sä att det är tjockast i den ände som är närmast den kortare av parallelltrapetsens bàda parallella sidor. Tryck- 132 (ï-Éš lå 2 1: EI- : flëàiïfLïxïï; ILÉÜZIIIKÛ __ 3313.- VÉ) ÉÜCSE -Ãfëê V20 ÄLQåZl . -Ãíijšfiz 10 15 20 25 30 35 524' 684 . . ~ - ~ » . . . . a ua 4 organet ansluts till strömkällan längs hela de båda parallella sidorna.According to an alternative embodiment, the method also comprises the step of providing a pressure means which is designed such that the current density in the pressure means becomes homogeneous. In the case that the pressure means has the shape of a parallel trapezoid, the pressure means is then suitably designed so that it is thickest at the end which is closest to the shorter of both parallel sides of the parallel trapezoid. Tryck- 132 (ï-Éš lå 2 1: EI-: fl ëàiïfLïxïï; ILÉÜZIIIKÛ __ 3313.- VÉ) ÉÜCSE -Ãfëê V20 ÄLQåZl. -Ãíijš fi z 10 15 20 25 30 35 524 '684. . ~ - ~ ». . . . a ua 4 the means is connected to the power source along the entire two parallel sides.

I fallet att tryckorganet har en yttre periferi och ett hål som definierar en inre periferi ansluts ström- källan med fördel mellan den inre periferin och den yttre periferin.In the case that the pressure means has an outer periphery and a hole defining an inner periphery, the current source is advantageously connected between the inner periphery and the outer periphery.

I fallet att man vill åstadkomma homogen strömtäthet i substratet gör man substratet tjockare vid den inre periferin. Det är i synnerhet fördelaktigt att ha tryckorganet cirkulärsymmetriskt.In the case that you want to achieve a homogeneous current density in the substrate, you make the substrate thicker at the inner periphery. It is particularly advantageous to have the pressure means circularly symmetrical.

Det är givetvis att möjligt att ansluta kontaktdonen på ett stort antal olika sätt även då det är cirkulär- symmetriskt med en inre och en yttre periferi. Enligt en utföringsform ansluts strömkällan med två kontaktdon som vart och ett löper i tryckorganets radiella ledd.It is of course possible to connect the connectors in a large number of different ways even when it is circularly symmetrical with an inner and an outer periphery. According to one embodiment, the power source is connected to two connectors, each of which runs in the radial joint of the pressure member.

Det kan i vissa fall vara svårt att åstadkomma en homogen strömtäthet då tryckorganet har en oregelbunden form. Enligt en utföringsform av uppfinningen innefattar steget att ansluta tryckorganet till en strömkälla stegen att anordna substratet i ett urtag i ett elektriskt ledande hållarorgan med rektangulär ytterform, och att ansluta hållarorganet till strömkällan, varvid tryckorganet har elektrisk kontakt längs hela sin periferi och varvid kombinationen av hàllarorgan och tryckorgan har samma elektriska egenskaper som en rektangulär platta. På det här sättet kan man relativt enkelt åstadkomma en homogen strömtäthet i tryckorganet.In some cases it can be difficult to achieve a homogeneous current density as the pressure means has an irregular shape. According to an embodiment of the invention, the step of connecting the pressure means to a current source comprises the steps of arranging the substrate in a recess in an electrically conductive holding means with a rectangular outer shape, and connecting the holding means to the current source, the pressure means having electrical contact along its entire periphery and the combination of holding means and pressure means have the same electrical properties as a rectangular plate. In this way, a homogeneous current density in the pressure member can be achieved relatively easily.

Enligt en aspekt av uppfinningen tillhandahållas en anordning för överföring av åtminstone ett mönster från ett tryckorgan med en struktur till ett skivformigt sub- strat, vilket substrat är belagt med ett skikt på en planyta, innefattande ett första hållarorgan för mot- tagande av substratet, ett andra hållarorgan för mot- tagande av tryckorganet, varvid anordningen år anordnad att anbringa ett tryck mellan det första hållarorganet och det andra hållarorganet. Anordningen utmärkes av att den vidare innefattar en strömkälla för uppvärmning av ~, 1-laanëamcïansïznziaøëwifiï_fPš2ÜU2~fiß if ï32l»ä@0 10 15 20 25 30 35 524» 684 5 tryckorganet, och elektriska kontaktdon för anslutning av tryckorganet till strömkällan.According to one aspect of the invention, there is provided an apparatus for transferring at least one pattern from a printing member having a structure to a sheet-shaped substrate, the substrate being coated with a layer on a flat surface, comprising a first holding means for receiving the substrate, a second holding means for receiving the pressure means, the device being arranged to apply a pressure between the first holding means and the second holding means. The device is further characterized in that it further comprises a power source for heating the pressure means, and electrical connectors for connecting the pressure source means to the pressure source means.

Enligt en utföringsform av uppfinningen innefattar det första hållarorganet ett rektangulärt delorgan med ett urtag som är utformat för mottagande av tryckorganet, vilket delorgan pá två motstående sidor är anslutet till de elektriska kontaktdonen, vilket delorgan har samma resistivitet som substratet och vilket delorgan till- sammans med tryckorganet bildar en enhet med samma elek- triska egenskaper som en rektangulär platta utan urtag.According to an embodiment of the invention, the first holding member comprises a rectangular sub-member with a recess designed to receive the pressure member, which sub-member is connected on two opposite sides to the electrical connectors, which sub-member has the same resistivity as the substrate and which sub-member together with the pressure member forms a unit with the same electrical properties as a rectangular plate without recesses.

Detta medför att man relativt enkelt kan åstadkomma en homogen strömtäthet i substratet.This means that a homogeneous current density in the substrate can be achieved relatively easily.

För att undvika termiska spänningar i tryckorganet är tryckorganet enligt en utföringsform fjädrande anslutet till strömkällan. Enligt en alternativ utföringsform är tryckorganet i rörlig kontakt med kontaktdonen så att tryckorganet kan glida i förhållande till kontaktdonen.In order to avoid thermal stresses in the pressure means, according to one embodiment the pressure means is resiliently connected to the current source. According to an alternative embodiment, the pressure means is in movable contact with the connectors so that the pressure means can slide in relation to the connectors.

Givetvis är de olika särdragen i anordningen kombi- nerbara med varandra på samma sätt som de olika särdragen i förfarandet är kombinerbara med varandra. Vidare är de olika särdragen i anordningen tillämpbara i förfarandet och vice versa.Of course, the different features of the device are combinable with each other in the same way that the different features of the method are combinable with each other. Furthermore, the various features of the device are applicable in the process and vice versa.

I det följande kommer olika utföringsformer av upp- finningen att beskrivas med hänvisning till de vidhäng- ande ritningarna.In the following, various embodiments of the invention will be described with reference to the accompanying drawings.

Kort beskrivning av ritningarna Fig 1 åskådliggör ett förfarande enligt anordningen.Brief description of the drawings Fig. 1 illustrates a method according to the device.

Fig 2 visar ett tryckorgan med kontaktorgan enligt en utföringsform av uppfinningen.Fig. 2 shows a pressure member with contact means according to an embodiment of the invention.

Fig 3 visar ett tryckorgan anordnat i ett delorgan enligt en alternativ utföringsform av föreliggande upp- finning.Fig. 3 shows a pressure member arranged in a sub-member according to an alternative embodiment of the present invention.

Fig 4 visar ett tryckorgan enligt en alternativ ut- föringsform av föreliggande uppfinning.Fig. 4 shows a pressure member according to an alternative embodiment of the present invention.

Fig 5 visar en anordning enligt en utföringsform av uppfinningen. nan nn canon lO l5 20 25 30 35 n n nnn n n n» nn nn nn n n n n n. z . n n n n n n n n n n n n n n - - _ n n n n n n n n n n n nnn n »nu h nnn nnn n n n n n n n n n n n n : _ .. n n nn n n n n n n n n n n n n n . n n n n n nn 6 Fig 6 visar två olika utföringsformer för anslutning av kontaktdon till tryckorganet.Fig. 5 shows a device according to an embodiment of the invention. nan nn canon lO l5 20 25 30 35 n n nnn n n n »nn nn nn n n n n n. n n n n n n n n n n n n n n - - _ n n n n n n n n n n n nnn n »now hours NNN NNN n n n n n n n n n n n n: _ .. n n n n n n n n n n n n n n n n n. n n n n n n nn 6 Fig. 6 shows two different embodiments for connecting connectors to the pressure means.

Fig 7 visar en ytterligare utföringsform för anslut- ning av kontaktdon till ett tryckorgan.Fig. 7 shows a further embodiment for connecting connectors to a pressure member.

Beskrivning av utföringsformer av uppfinningen I figur 1 àskàdliggörs ett förfarande enligt upp- finningen. Ett tryckorgan 1 är anordnat pà ett första hàllarorgan 2. Tryckorganet 1 är försett med ett mönster 3 i form av upphöjningar pà sin ena sida. Mönstret 3 är riktat mot ett skikt 4 vilket är anordnat pà ett substrat 5. Substratet 5 är anordnat pà ett andra hàllarorgan 6.Description of embodiments of the invention Figure 1 illustrates a method according to the invention. A pressure member 1 is arranged on a first holding member 2. The pressure member 1 is provided with a pattern 3 in the form of elevations on its one side. The pattern 3 is directed towards a layer 4 which is arranged on a substrate 5. The substrate 5 is arranged on a second holding member 6.

Ett första kontaktdon 7 och ett andra kontaktdon 8 är anordnat på varsin sida av substratet 5.A first connector 7 and a second connector 8 are arranged on each side of the substrate 5.

Dä mönstret 3 skall överföras fràn tryckorganet till skiktet måste skiktet 4 först värmas upp för att det skall bli deformerbart. För detta ändamål läggs en spänning över kontaktdonen så att en ström leds genom tryckorganet efter att tryckorganet förts i kontakt med skiktet. Kontaktdonen 7, 8 är utformade sä att strömmen genom tryckorganet får homogen täthet. Strömmen genom tryckorganet leder till att tryckorganet värms upp och att skiktet mjuknar. Genom att mäta resistansen mellan kontaktdonen möjliggörs styrning av temperaturen så att önskad temperatur uppnäs.When the pattern 3 is to be transferred from the printing means to the layer, the layer 4 must first be heated in order for it to become deformable. For this purpose, a voltage is applied across the connectors so that a current is passed through the pressure means after the pressure means has been brought into contact with the layer. The connectors 7, 8 are designed so that the current through the pressure member has a homogeneous density. The current through the pressure means causes the pressure means to heat up and the layer to soften. By measuring the resistance between the connectors, it is possible to control the temperature so that the desired temperature is reached.

Efter att skiktet värmts upp till den önskade tempe- raturen anbringas ett tryck mellan det första hàllarorg- anet 2 och det andra hàllarorganet 6, varvid mönstret överförs till skiktet 4.After the layer has warmed up to the desired temperature, a pressure is applied between the first holding member 2 and the second holding member 6, the pattern being transferred to the layer 4.

I fig 2a visas ett rektangulärt tryckorgan 10 med ett första kontaktdon 11 och ett andra kontaktdon 12 anordnade pà varsin sida av tryckorganet 10. Vart och ett av kontaktdonen har kontakt med tryckorganet längs hela ena sidan av tryckorganet. Därigenom säkerställs en homogen strömtäthet i tryckorganet. I fig 2b visas tryckorganet i tvärsnitt.Fig. 2a shows a rectangular pressure member 10 with a first connector 11 and a second connector 12 arranged on each side of the pressure member 10. Each of the connectors has contact with the pressure member along one whole side of the pressure member. This ensures a homogeneous current density in the pressure member. Fig. 2b shows the pressure member in cross section.

I fig 3 visas anordnandet av ett första kontaktdon 13 och ett andra kontaktdon 14 pà ett delorgan 15 i 132l.doc 211 íïffl Vøií» í--i : 'J ä; c Elf-LN; '~ ifall; '^-_:äš=í(:E"-_2í,2.'l.<1 5.3 SE TP? ÉÛÜLZ -vfàfï 4 no :Jun oo 10 15 20 25 30 35 . - . . .~ 5241684 - Q a . u. . - . ~ . .- 7 vilket tryckorganet 16 är anordnat. Tryckorganet 16 är cirkulärt och är anordnat i ett cirkulärt urtag i delorganet 15 med elektrisk kontakt mellan tryckorganet och kontaktdonet längs tryckorganets hela periferi.Fig. 3 shows the arrangement of a first connector 13 and a second connector 14 on a sub-member 15 of the device; c Elf-LN; '~ ifall; '^ -_: äš = í (: E "-_ 2í, 2.'l. <1 5.3 SE TP? ÉÛÜLZ -vfàfï 4 no: Jun oo 10 15 20 25 30 35. -... ~ 5241684 - Q a The pressure means 16 is arranged and is arranged in a circular recess in the sub-means 15 with electrical contact between the pressure means and the connector along the entire periphery of the pressure means.

Delorganet är av samma material som tryckorganet, vilket medför att strömfördelningen blir i stort sett likadan mellan kontaktdonen som i utföringsformen som visas i fig. 2.The sub-means is of the same material as the pressure means, which means that the current distribution is substantially the same between the connectors as in the embodiment shown in Fig. 2.

I fig 4 visas ett cirkulärt tryckorgan 17 som begränsas av en yttre periferi 18 och en inre periferi 19 som definierar ett cirkulärt genomgående hål. Då en spänning anbringas mellan den inre och den yttre periferin kommer strömmen att ledas radiellt genom tryckorganet. Tryckorganet 17 är tjockare in mot mitten pà ett sådant sätt att strömtätheten blir konstant vilket leder till en homogen uppvärmning av tryckorganet och därmed även skiktet. Alternativt är tryckorganet utformat sä att man erhåller önskad radiell temperaturfördelning.Fig. 4 shows a circular pressure member 17 bounded by an outer periphery 18 and an inner periphery 19 defining a circular through hole. When a voltage is applied between the inner and outer peripheries, the current will be conducted radially through the pressure means. The pressure member 17 is thicker towards the center in such a way that the current density becomes constant, which leads to a homogeneous heating of the pressure member and thus also the layer. Alternatively, the pressure means is designed so as to obtain the desired radial temperature distribution.

Kontaktdon 40, 41 är anslutna vid tryckorganets inre respektive yttre periferi.Connectors 40, 41 are connected to the inner and outer peripheries of the pressure member, respectively.

I fig 5 visas schematiskt en anordning för över- föring av ett mönster frän ett tryckorgan 20 till ett skikt 21 pà ett substrat 22. Anordningen innefattar ett strömaggregat 23 vilket är kopplat till varsin sida av tryckorganet 20. Genom att driva en ström genom tryckorganet kan det värmas upp. Tryckorganet 20 är anordnat pà ett första hàllarorgan 24 emedan substratet är anordnat pà ett andra hàllarorgan 25. Anordningen är så anordnad att ett tryck kan anbringas mellan de båda hàllarorganen. Anordningen innefattar även en strömkälla 26, vilken är avsedd att anslutas till tryckorganet.Fig. 5 schematically shows a device for transferring a pattern from a printing means 20 to a layer 21 on a substrate 22. The device comprises a current assembly 23 which is connected to each side of the printing means 20. By driving a current through the printing means, it heats up. The pressure means 20 is arranged on a first holding means 24 while the substrate is arranged on a second holding means 25. The device is arranged such that a pressure can be applied between the two holding means. The device also comprises a current source 26, which is intended to be connected to the pressure means.

I fig 6 visas två olika utföringsformer för anslut- ning av kontaktdon till ett tryckorgan. I fig 6a visas ett snitt där ett tryckorgan 30 är anordnat i kontakt med en kolbana 31. Tryckorganet 30 vilar pà kolbanan 31 och kan glida mot kolbanan i pilens 36 riktning. I fig 6b visas en alternativ utföringsform där ett tryckorgan 32 'Iêíïßàl »133 V23 l-š EWIE nå: ïüfäíi .l.fiïå'Ü-_.ï«.lïf:ïï"\ 1 ouu i o 9 I n o I; olio o» lO 15 . . .. .. . . -. . . __ . - . . . . . . . . - --- _ --_ ; u. .u - . . . .. . . . . - .Fig. 6 shows two different embodiments for connecting connectors to a pressure member. Fig. 6a shows a section where a pressure member 30 is arranged in contact with a carbon path 31. The pressure member 30 rests on the carbon path 31 and can slide towards the carbon path in the direction of the arrow 36. Fig. 6b shows an alternative embodiment in which a pressure member 32 'Iêíïßàl »133 V23 l-š EWIE reaches: ïüfäíi .l. Fi ïå'Ü -_. Ï« .lïf: ïï "\ 1 ouu io 9 I no I; olio o »LO 15.. .. ... -... __. -..... .

. . . U . . . - ~~ - . . . . .. .... .. .. - ~ . - e .- 8 är anslutet till ett kontaktdon 33 där kontaktdonet innefattar ett fjädrande parti 34 som tillåter rörelse i pilens 35 riktning. De i fig 6 visade utföringsformerna är endast exempel som kan tillämpas i gränsen mellan kontaktdon och tryckorgan i någon av de tidigare beskrivna utföringsformerna.. . . U. . . - ~~ -. . . . .. .... .. .. - ~. e .- 8 is connected to a connector 33 where the connector comprises a resilient portion 34 which allows movement in the direction of the arrow 35. The embodiments shown in Fig. 6 are only examples which can be applied in the boundary between connectors and pressure means in any of the previously described embodiments.

I fig 7 visas en ytterligare utföringsform av hur tryckorganet 37 kan anslutas till kontaktdon. I fig 7 är båda tryckorganen 37, 38 anslutna radiellt från den inre periferin 39 till den yttre periferin 40.Fig. 7 shows a further embodiment of how the pressure member 37 can be connected to connectors. In Fig. 7, both pressure members 37, 38 are connected radially from the inner periphery 39 to the outer periphery 40.

Utföringsformerna ovan skall endast ses som exempel.The above embodiments are to be considered as examples only.

Det är givetvis möjligt att variera de beskrivna ut- föringsformerna pà mànga sätt inom ramen för patent- kraven.It is of course possible to vary the described embodiments in many ways within the scope of the patent claims.

Exempelvis är det inte nödvändigt att endast över- föra ett mönster till substratet. Det är möjligt att anordna ett skikt och ett tryckorgan pà vardera sidan av substratet. -ÄJÉ íl-É lá ; *f-íš G: .Pai ~,L!ïï't'í '*-,1»*-.'ï~šr'?' lšíÄlål-Z (213 V EP; 23 -íßó -Jo lÄiZl .:','1:'_/.2'For example, it is not necessary to transfer only one pattern to the substrate. It is possible to arrange a layer and a pressure means on each side of the substrate. -ÄJÉ íl-É lá; * f-íš G: .Pai ~, L! ïï't'í '* -, 1 »* -.' ï ~ šr '?' lšíÄlål-Z (213 V EP; 23 -íßó -Jo lÄiZl.: ',' 1: '_ /. 2'

Claims (10)

10 15 20 25 30 35 524 684 - - ~ « - l PATENTKRAV10 15 20 25 30 35 524 684 - - ~ «- l PATENT REQUIREMENTS 1. l. Förfarande för att överföra åtminstone ett mönster i form av en struktur från ett tryckorgan till ett deformerbart skikt (4, 21) anordnat på en planyta på ett substrat (5)_ kännetecknat av att det innefattar stegen att ansluta en strömkälla (26) över tryckorganet (1), att anordna tryckorganet (1) i kontakt med skiktet (4, 21) med mönstret vänt mot skiktet (4, 21), att driva strömkällan (26) så att en ström drivs genom tryckorganet (1) som därmed värms och indirekt värmer skiktet (4, 21), och att pressa tryckorganet (1) mot skiktet (4, 21) så att mönstret överförs till skiktet (4, 21), varvid nämnda strömkälla har åtminstone en kontaktyta ansluten till en likformigt utformad och orienterad kontaktyta hos nämnda tryckorgan så att en huvudsakligen homogen strömtäthet erhålls i nämnda tryckorgan.A method of transferring at least one pattern in the form of a structure from a pressure member to a deformable layer (4, 21) arranged on a flat surface of a substrate (5) - characterized in that it comprises the steps of connecting a current source ( 26) over the pressure means (1), to arrange the pressure means (1) in contact with the layer (4, 21) with the pattern facing the layer (4, 21), to drive the current source (26) so that a current is driven through the pressure means (1) thereby heating and indirectly heating the layer (4, 21), and pressing the pressure means (1) against the layer (4, 21) so that the pattern is transferred to the layer (4, 21), said current source having at least one contact surface connected to a uniform designed and oriented contact surface of said pressure means so that a substantially homogeneous current density is obtained in said pressure means. 2. Förfarande enligt patentkravet 1, varvid tryckorganet (1) har en yttre periferi och ett hål som definierar en inre periferi, och varvid strömkällan ansluts mellan den inre periferin och den yttre periferin.A method according to claim 1, wherein the pressure means (1) has an outer periphery and a hole which they define an inner periphery, and wherein the current source is connected between the inner periphery and the outer periphery. 3. Förfarande enligt patentkrav 2, varvid strömkällan ansluts med två kontaktdon som vart och ett löper i tryckorganets (1) radiella ledd.A method according to claim 2, wherein the current source is connected with two connectors each running in the radial joint of the pressure member (1). 4. Förfarande enligt något av patentkraven l, 2 eller 3, varvid steget att ansluta tryckorganet (1) till en strömkälla innefattar stegen att anordna tryckorganet i ett urtag i ett elektriskt ledande hållarorgan (15) som har rektangulär ytterform, och att ansluta hållarorganet (15) till strömkällan (26), varvid tryckorganet bringas i elektrisk kontakt med hållarorganet (15) längs hela sin periferi och varvid kombinationen av hållarorgan (15) och tryckorgan (1) ges samma elektriska egenskaper som en rektangulär platta.A method according to any one of claims 1, 2 or 3, wherein the step of connecting the pressure means (1) to a current source comprises the steps of arranging the pressure means in a recess in an electrically conductive holding means (15) having a rectangular outer shape, and connecting the holding means ( 15) to the current source (26), the pressure means being brought into electrical contact with the holding means (15) along its entire periphery and the combination of holding means (15) and pressure means (1) being given the same electrical properties as a rectangular plate. 5. Anordning för överföring av åtminstone ett mönster i forrn av en struktur (3) från ett tryckorgan (1) till ett deformerbart skikt (4, 21) som är anordnat på en planyta på ett skivformigt substrat (5), innefattande ett första hållarorgan (2,25), och ett andra hållarorgan (6, 24) för mottagande av substratet respektive tryckorganet (l), varvid anordningen är anordnad att anbringa ett tryck mellan det första hållarorganet (2, 25) och det andra hållarorganet (6, 24). kännetecknad av att den vidare iiinetiittzir en strömkälla för uppvärmning av tryckorganet, och 10 15 20 25 u « n . .a 524- 684 - - . . s . 2 elektriska kontaktdon för anslutning av tryckorganet till strömkällan (26). varvid nämnda strömkällas kontaktdon har kontaktytor anslutna till likformi gt utformade och orienterade kontaktytor hos nämnda tryckorgan så att en huvudsakligen homogen strömtäthet erhålls i nämnda tryckorgan..Device for transferring at least one pattern in the form of a structure (3) from a printing member (1) to a deformable layer (4, 21) arranged on a flat surface of a disc-shaped substrate (5), comprising a first holding member (2,25), and a second holding means (6, 24) for receiving the substrate and the printing means (1), the device being arranged to apply a pressure between the first holding means (2, 25) and the second holding means (6, 24). ). characterized in that it further provides a power source for heating the pressure means, and 10 u 25. .a 524- 684 - -. . s. 2 electrical connectors for connecting the pressure means to the power source (26). said connector of said current source having contact surfaces connected to uniformly shaped and oriented contact surfaces of said pressure means so that a substantially homogeneous current density is obtained in said pressure means. 6. Anordning enligt patentkrav 5, varvid tryckorganet har en inre periferi och en yttre periferi och varvid strömkällan är ansluten mellan den inre periferin och den yttre periferin.Device according to claim 5, wherein the pressure means has an inner periphery and an outer periphery and wherein the current source is connected between the inner periphery and the outer periphery. 7. Anordning enligt patentkrav 6, varvid tj ockleken 25 på tryckorganet minskar med ökande avstånd från den inre periferin.Device according to claim 6, wherein the thickness of the pressure member decreases with increasing distance from the inner periphery. 8. Anordning enligt patentkrav 5, varvid det första hållarorganet innefattar ett rektangulärt delorgan (15) med ett urtag som är utformat för mottagande av tryckorganet (16), vilket delorgan på två motstående sidor är anslutet till de elektriska kontaktdonen (13, 14), vilket delorgan har samma resistivitet som substratet och vilket delorgan tillsammans med tryckorganet bildar en enhet med samma elektriska egenskaper som en rektangulär platta utan urtag.Device according to claim 5, wherein the first holding member comprises a rectangular sub-member (15) with a recess designed to receive the pressure member (16), which sub-member is connected on two opposite sides to the electrical connectors (13, 14), which sub-member has the same resistivity as the substrate and which sub-member together with the pressure member forms a unit with the same electrical properties as a rectangular plate without recesses. 9. Anordning enligt något av patentkraven 5-8, varvid tryckorganet är fjädrande anslutet till strömkällan.Device according to any one of claims 5-8, wherein the pressure means is resiliently connected to the current source. 10. l0. Anordning enligt något av patentkraven 5-8, varvid tryckorganet är i rörlig kontakt med kontaktdonen så att tryckorganet kan glida i förhållande till kontaktdonen.10. l0. Device according to any one of claims 5-8, wherein the pressure means is in movable contact with the connectors so that the pressure means can slide in relation to the connectors.
SE0201912A 2002-06-20 2002-06-20 Pressing unit pattern structure transferring method, involves operating power source to pass current through pressing unit to heat it and layer, and pressing unit against layer to transfer pattern to layer SE524684C2 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0201912A SE524684C2 (en) 2002-06-20 2002-06-20 Pressing unit pattern structure transferring method, involves operating power source to pass current through pressing unit to heat it and layer, and pressing unit against layer to transfer pattern to layer
PCT/SE2003/001003 WO2004000566A1 (en) 2002-06-20 2003-06-16 Method and device for transferring a pattern
EP03736397A EP1513689A1 (en) 2002-06-20 2003-06-16 Method and device for transferring a pattern
US10/516,608 US20050146083A1 (en) 2002-06-20 2003-06-16 Method and device for transferring a pattern
AU2003237738A AU2003237738A1 (en) 2002-06-20 2003-06-16 Method and device for transferring a pattern

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0201912A SE524684C2 (en) 2002-06-20 2002-06-20 Pressing unit pattern structure transferring method, involves operating power source to pass current through pressing unit to heat it and layer, and pressing unit against layer to transfer pattern to layer

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE0201912D0 SE0201912D0 (en) 2002-06-20
SE0201912L SE0201912L (en) 2003-12-21
SE524684C2 true SE524684C2 (en) 2004-09-14

Family

ID=20288271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0201912A SE524684C2 (en) 2002-06-20 2002-06-20 Pressing unit pattern structure transferring method, involves operating power source to pass current through pressing unit to heat it and layer, and pressing unit against layer to transfer pattern to layer

Country Status (1)

Country Link
SE (1) SE524684C2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
SE0201912L (en) 2003-12-21
SE0201912D0 (en) 2002-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20200166242A1 (en) Heating device and method for producing such a heating device
US8421315B2 (en) Electrostrictive structure incorporating carbon nanotubes and electrostrictive actuator using the same
Liu et al. Magnetically assisted drop-on-demand 3D printing of microstructured multimaterial composites
JP6402831B2 (en) Fuel cell separator coating film forming apparatus and fuel cell separator
US8835818B2 (en) Self-regulating heater
JP2008257946A (en) Heating unit and heating device
CN101604727A (en) Electrostriction composite material and preparation method thereof
JP2003317898A (en) Heating device and image forming device
JP2015152218A (en) fluid heating device
US8774910B2 (en) Polymer linear actuator for micro electro mechanical system and micro manipulator for measurement device of cranial nerve signal using the same
EP2074637A1 (en) Layered electrically conductive structure and potentiometer comprising such a structure
CN112204782A (en) Separator for fuel cell and method for manufacturing separator for fuel cell
SE524684C2 (en) Pressing unit pattern structure transferring method, involves operating power source to pass current through pressing unit to heat it and layer, and pressing unit against layer to transfer pattern to layer
Papanastasiou et al. Stable Flexible Transparent Electrodes for Localized Heating of Lab‐on‐a‐Chip Devices
US11406023B2 (en) Methods for manufacturing a plurality of electronic circuits
WO2009058753A1 (en) Heating assemblies providing a high degree of uniformity over a surface area
CN113382489A (en) PPTC heater and material with stable power and self-limiting characteristics
US20050146083A1 (en) Method and device for transferring a pattern
US20190162491A1 (en) Anisotropic Flexible Thermal Interface Pad and Method for Fabricating the Same
US10627753B2 (en) Heater, image forming apparatus, and manufacturing method of heater
US20110052283A1 (en) Heat generating unit and heating apparatus
US20090127777A1 (en) Sheet feed mechanism of printer, and printer
US10744721B2 (en) Joining method and apparatus
CN115244631A (en) PPTC heaters and materials with stable power and self-limiting characteristics
WO2014061266A1 (en) Heat-dissipating member and method for manufacturing heat-dissipating member

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed