SE1250056A1 - Detektering av kontaminerade områden - Google Patents

Detektering av kontaminerade områden Download PDF

Info

Publication number
SE1250056A1
SE1250056A1 SE1250056A SE1250056A SE1250056A1 SE 1250056 A1 SE1250056 A1 SE 1250056A1 SE 1250056 A SE1250056 A SE 1250056A SE 1250056 A SE1250056 A SE 1250056A SE 1250056 A1 SE1250056 A1 SE 1250056A1
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
marker
detection
present
fluorescent
markers
Prior art date
Application number
SE1250056A
Other languages
English (en)
Inventor
Per Anders Stjern
Tobias Halthur
Original Assignee
Spaarab Produkter Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Spaarab Produkter Ab filed Critical Spaarab Produkter Ab
Priority to SE1250056A priority Critical patent/SE1250056A1/sv
Priority to EP13741399.3A priority patent/EP2807468A4/en
Priority to PCT/SE2013/050035 priority patent/WO2013112098A1/en
Priority to CA2861083A priority patent/CA2861083A1/en
Priority to US14/373,619 priority patent/US9435748B2/en
Priority to JP2014554692A priority patent/JP2015509198A/ja
Priority to KR1020147020561A priority patent/KR20140119041A/ko
Priority to BR112014018130A priority patent/BR112014018130A8/pt
Priority to CN201380004812.7A priority patent/CN104105958A/zh
Publication of SE1250056A1 publication Critical patent/SE1250056A1/sv

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/6447—Fluorescence; Phosphorescence by visual observation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/91—Investigating the presence of flaws or contamination using penetration of dyes, e.g. fluorescent ink
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
    • G01N2021/646—Detecting fluorescent inhomogeneities at a position, e.g. for detecting defects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
    • G03F1/84—Inspecting
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
    • G03F7/7055—Exposure light control in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control or light interruption
    • G03F7/70566—Polarisation control
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/707—Chucks, e.g. chucking or un-chucking operations or structural details
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/7085—Detection arrangement, e.g. detectors of apparatus alignment possibly mounted on wafers, exposure dose, photo-cleaning flux, stray light, thermal load
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70908—Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus
    • G03F7/70916—Pollution mitigation, i.e. mitigating effect of contamination or debris, e.g. foil traps

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Sammandrag. Med föreliggande uppfinning så beskrivs ett förfarande för detektering av kontaminering på en yta innan utförandet av en beläggning av ytan, varvid nämnda förfarande innefattar att bringa en markör i kontakt med ytan, varvid markören har förmågan att ackumuleras vid ett kontaminerat område på ytan, och att detektera markören på ytan.

Description

10 15 20 25 30 2 reflektera strålning som reflekteras från ytan tillbaka längs den infallande strålevägen, varvid anordningen inkluderar att det retroreflektiva materialet är monterat som en enhet som ska röra sig över ytan av bilen med hjälp av en robot. Analys av ljussignalen sägs indikera defekter såsom rispor, färginneslutningar, apelsinyta, torr färg, bucklor och glansdefekter.
I US5844801 så beskrivs vidare ett förfarande för framställning av en fordonskropp, varvid förfarandet innefattar bland annat identifiering av ett defekt område av en yta genom jämförelse av en grad av ytförvrängning med ett förutbestämt beslutsvärde, därigenom sedan bestämma huruvida nämnda ytförvrängning är acceptabel eller ej.
Ett syfte med föreliggande uppfinning är att tillhandahålla ett förbättrat förfarande för detektering av kontaminering på en yta, vilket förfarande är mycket effektivt och fortfarande enkelt att använda. Vidare så är förfarandet enligt föreliggande uppfinning tilltänkt att effektivt detektera föroreningar som ofta återfinns eller används mycket idag. Sådana exempel ges nedan.
Sammanfattnigg av uppfinninqen Det ovan angivna syftet uppnås med ett förfarande för detektering av kontaminering på en yta innan utförandet av en beläggning av ytan, varvid förfarandet innefattar att bringa en markör i kontakt med ytan, varvid markören har förmågan att ackumuleras vid ett kontaminerat område på ytan, och att detektera markören på ytan. Uttrycket ”markören har förmågan att ackumuleras vid ett kontaminerat område" innebär att markören (eller ”proben”) förenar sig med åtminstone en förorening som föreligger i det kontaminerade området.
Ett kontaminerat område är ett område som håller en eller flera substanser (föroreningar) som är av intresse att detektera. Sådana föroreningar kan tex vara olika typer av oljiga substanser, såsom t ex smörjoljor som används i all industri där det limmas, agglutineras, fogas eller tätas. Ett exempel på sådan industri är bilindustrin. Andra exempel är olika typer av smuts, såsom t ex dammpartiklar. Ytterligare exempel är Teflon- och silikonbaserade produkter, vitt fett, oljebaserade produkter, smörjoljor och släppmedel (dvs kemikalier som förhindrar penetration utan mekanisk påverkan) av alla sorter. 10 15 20 25 30 3 Det bör noteras att förfarandet enligt föreliggande uppfinning kan finna användning i många olika tekniska applikationer, men det är särskilt relaterat till lackeringsapplikationer, tex som en förbehandlingsmetod före utförandet av en målning/beläggning/lackering, tex som en föroreningsdetekterings- metod som utförs innan en bilbeläggning. Det bör vidare inses att förfarandet enligt föreliggande uppfinning kan användas som en metod för bestämning av en ren yta som är lämplig för en efterföljande beläggning av nämnda yta.
Förfarandet är tilltänkt för detektering av föroreningar, och således även som ett säkerhetsförfarande för bestämning av en ren yta som är lämplig för efterföljande beläggning. Vidare så bör uttrycket " innan utförandet av en beläggning av ytan” tolkas som att omfatta alla olika typer av möjliga beläggningstekniker, såsom målning, lackering och andra typer av täckningstekniker, etc.
Det finns detekteringsmetoder som används idag i bil-/fordonsindustrin.
I t ex US6320654 så beskrivs ett system för detektering av utvalda ytdefekter av en fordonskropp före målning, varvid nämnda system använder trianguleringstekniker och beräkning för tredimensionella fasförskjutningar för att generera sammansatt detekterad data, jämförelse av sådan sammansatt detekterad data med utvald referensdata för att generera identifieringsdata som respresenterar koordinater av relevanta defekta ytor, och markering av relevanta defekta ytor. Det bör noteras att en markeringsenhet kan sägas vara involverad i systemet enligt US6320654, men denna är relaterad till markering av en defekt yta med en markeringssubstans, såsom en vattenlöslig markeringssubstans, och inte som markör som används för associerande till ett kontaminerat område på ytan, och som därefter detekteras, såsom enligt föreliggande uppfinning.
§Qecifika utföringsformer av uppfinnigqe_n Specifika utföringsformer av föreliggande uppfinning beskrivs nedan.
Enligt en utföringsform av föreliggande uppfinning så är markören en silikonspårare. lnom industrin så finns det många produkter som limmas, sammanfogas, målas eller beläggs. Om silikon förorenar en yta som ska användas på så vis så vidhäftar inte några material på rätt sätt till ytan. Ett stort problem med silikon är att denna substans inte är detekterbar utan 10 15 20 25 30 4 användning av speciella hjälpmedel. Vidare så är både tvättningsmetoder och mekaniska metoder för avlägsnande av silikon som förorening otillräckliga.
Silikon används i stora mängder i bilindustrin, och som sådan finner förfarandet enligt föreliggande uppfinning specifik användning i sådana bilapplikationer.
Enligt en specifik utföringsform av föreliggande uppfinning så är markören fluorescerande och detekteringen av markören på ytan involverar detektering av fluorescens.
Det bör noteras att användning av fluorescens för detekteringsändamål är känt idag. I t ex US2009l0223635 så beskrivs ett förfarande för kvantifie- ring av en ytas renhet relativt till en förorening. Förfarandet sägs innefatta användning av en källa av frågestrålning till vilken föroreningen är responsiv.
Strålning utsänd från källan riktas med en strålningsenhet mot ytan eller en ytrenare som håller föroreningen. En detektor detekterar strålning från ytan eller ytrenaren som producerats i svar till frågestrålningen av föroreningen, t ex fluorescerande eller fosforescerande strålning, och generar en motsvaran- de signal som jämförs av en analysator relativt till en elektrisk standard som motsvarar ytan i ett acceptabelt rent tillstånd för att kvantifiera ytans renhet.
Förfarandet enligt US2009/0223635 involverar inte användning av en markör.
Förfarandet enligt US2009/0223635 kan innefatta ett sista steg involverande placering av ytan i en föroreningskänslig miljö, som lämpligen är en syre- enhet, t ex tillåtande av att ytan placeras i kontakt med en halogen, t ex fluor.
Det bör noteras att denna halogen inte fungerar som en markör, särskilt inte som en markör som därefter detekteras för associerande till en kontaminerad yta.
Det bör vidare noteras att fluorescerande material är kända för vissa detekteringsändamål idag. Till exempel så avser GB573183 detektering av felaktigheter i en produkts yta. Produkten sänks ned i ett fluorescerande material, överskott av material avlägsnas och närvaro av fluorescens används därefter som ett tecken på felaktigheter, såsom brott, sprickor, rämningar i ytan. Det fluorescerande materialet används dock inte i ett förfarande innefattande användning som en markör som är tänkt att associera till kontaminerade ytor, och vidare involverande detekteringen av markören. 10 15 20 25 30 5 Enligt en specifik utföringsform av föreliggande uppfinning så innefattar förfarandet detekteringen av fluorescens genom anbringande av ultraviolett ljus. l anslutning till detta så bör det noteras att olika markörer är möjliga att använda enligt föreliggande uppfinning, och de kan interagera på olika sätt med ljus. Många av de möjliga markörerna exciteras av UV-ljus, men vissa exciteras även av synligt ljus. Därför kan UV-Ijus användas enligt föreliggande uppfinning, men även andra detekteringshjälpmedel, såsom andra ljuskällor, kan användas beroende på markörlösningen som används. Det bör noteras att förfarandet enligt föreliggande uppfinning även omfattar detektering av föreningen av markören till föroreningen(arna) på ytan utan användning av sådana ljuskällor.
Vidare kan, såsom nämnts ovan, olika markörer användas enligt föreliggande uppfinning. Beroende på markören som används så kan koncentrationen därav, detekteringssätt etc. variera. Enligt en specifik utföringsform av föreliggande uppfinning så är markören opolär eller amfifil, där amfifila substanser är sådana som är sammansatta av hydrofila och hydrofoba delar. Hydrofoba eller amfifila markörer är anrikade i oljefläckar och ger som sådana en ökad intensitet i dessa oljeområden. Som sådana så kan de vara mycket intressanta att använda som markörer enligt föreliggande uppfinning. Associeringen mellan markören/proben och föroreningen(arna) drivs enligt föreliggande uppfinning genom en hydrofob interaktion mellan markören och föroreningen(arna). Denna interaktion är inte en kemisk bindning som sådan.
Exempel på intressanta grupper av markörer enligt föreliggande uppfinning är amfifil rhodamin eller fluoresceinderivat, såsom Octadecyl Rhodamine B eller amfifila fluoresceiner, eller DPH (difenylhexatrien) och DPH-derivat, tex TMA-DPH, opolär BODIPY, såsom BODIPY Fluorophores eller BODIPY FL Cs-Ceramide, opolära pyrenmarkörer och bimanmarkörer, tex bimanazid, neutrala LipidtoxTM-lipidfläckar, 6-propionyl-2-dimetylamino- naftalen (Prodan) och Laurdan, dapoxylderivat, anilinonaftalensulfonat och derivat därav. Dessa grupper av markörer associerar till hydrofoba material, såsom cellmembraner, och bör även fungera för olja, t ex smörjoljor. Som sådana så kan de vara mycket relevanta enligt föreliggande uppfinning. Det 10 15 20 25 6 bör nämnas att även andra markörgrupper kan vara möjliga att använda, såsom t ex fettsyraanaloger och tex fosfolipider. Även andra är möjliga enligt föreliggande uppfinning.
Enligt ytterligare en annan specifik utföringsform av föreliggande uppfinning så är markören miljökänslig och ändrar frekvensen på utsänt ljus beroende på polariteten av det omgärdande mediet. Detta innebär att färgen ändras beroende på om det omgärdande mediet är vatten eller olja. I detta fall kan man addera effekten av ett färgbyte till den ökade intensiteten som beskrivs ovan.
Enligt ytterligare en annan specifik utföringsform av föreliggande uppfinning så är markören fluorescerande och är Nile blue eller Nile red, eller en kombination därav. Nile blue (eller Nile blue A) och Nile red (även känt som Nile blue-oxazon) är lipofila fläckar som används i biologi och histologi.
Både Nile blue och Nile red är miljökänsliga och utöver ett färgskifte beroende på polariteten hos miljön så ökas även den fluorescerande intensiteten mycket då de överförs från en vattenmiljö till ett opolärt medium. Nile red kan framställas genom kokning av en lösning av Nile blue med svavelsyra. Båda används i samband med fluorescensmikroskopi. Enligt föreliggande uppfinning så är båda markörerna möjliga att använda och fungerar väl, men Nile blue kan vara föredragen då Nile red är dyrare än Nile blue. Valet mellan dessa markörer beror på applikationen. Det kan nämnas att Nile red fungerar vid lägre koncentrationer än Nile blue för många applikationer, men då Nile red är dyrare så är Nile blue fortfarande ofta ett bättre ekonomiskt val.

Claims (7)

10 15 20 25 Patentkrav
1 _ Förfarande för detektering av kontaminering på en yta innan utförandet av en beläggning av ytan, varvid förfarandet innefattar att bringa en markör i kontakt med ytan, varvid markören har förmågan att ackumuleras vid ett kontaminerat område på ytan, och att detektera markören på ytan.
2. Förfarande enligt krav 1, varvid markören är en silikonspårare.
3. Förfarande enligt krav 1 eller 2, varvid markören är fluorescerande och detekteringen av markören på ytan involverar detektering av fluorescens.
4. Förfarande enligt krav 3, varvid detekteringen av fluorescens utförs genom anbringande av ultraviolett ljus.
5. Förfarande enligt något av kraven 1-4, varvid markören är opolär eller amfifil.
6. Förfarande enligt något av kraven 1-5, varvid markören är miljökänslig och ändrar frekvensen på utsänt ljus beroende på polariteten av det omgärdande mediet.
7. Förfarande enligt något av kraven 1-6, varvid markören är fluorescerande och är Nile blue eller Nile red, eller en kombination därav.
SE1250056A 2012-01-27 2012-01-27 Detektering av kontaminerade områden SE1250056A1 (sv)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE1250056A SE1250056A1 (sv) 2012-01-27 2012-01-27 Detektering av kontaminerade områden
EP13741399.3A EP2807468A4 (en) 2012-01-27 2013-01-21 DETECTION OF CONTAMINATED AREAS
PCT/SE2013/050035 WO2013112098A1 (en) 2012-01-27 2013-01-21 Detection of contaminated areas
CA2861083A CA2861083A1 (en) 2012-01-27 2013-01-21 Detection of contaminated areas
US14/373,619 US9435748B2 (en) 2012-01-27 2013-01-21 Detection of contaminated areas
JP2014554692A JP2015509198A (ja) 2012-01-27 2013-01-21 汚染領域の検出
KR1020147020561A KR20140119041A (ko) 2012-01-27 2013-01-21 오염 지역의 검출방법
BR112014018130A BR112014018130A8 (pt) 2012-01-27 2013-01-21 Método para a detecção de contaminação em uma superfície antes de efetuar um revestimento da superfície
CN201380004812.7A CN104105958A (zh) 2012-01-27 2013-01-21 污染区域的检测

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE1250056A SE1250056A1 (sv) 2012-01-27 2012-01-27 Detektering av kontaminerade områden

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SE1250056A1 true SE1250056A1 (sv) 2013-07-28

Family

ID=48873734

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE1250056A SE1250056A1 (sv) 2012-01-27 2012-01-27 Detektering av kontaminerade områden

Country Status (9)

Country Link
US (1) US9435748B2 (sv)
EP (1) EP2807468A4 (sv)
JP (1) JP2015509198A (sv)
KR (1) KR20140119041A (sv)
CN (1) CN104105958A (sv)
BR (1) BR112014018130A8 (sv)
CA (1) CA2861083A1 (sv)
SE (1) SE1250056A1 (sv)
WO (1) WO2013112098A1 (sv)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021085760A (ja) * 2019-11-28 2021-06-03 住友化学株式会社 光学フィルムの製造方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3527709A (en) * 1969-01-14 1970-09-08 James R Alburger Fluorescent tracer process and compositions
US4867796A (en) * 1982-04-05 1989-09-19 Maxwell Laboratories, Inc. Photodecontamination of surfaces
US4651010A (en) 1984-06-04 1987-03-17 Laser Science, Inc. Method and apparatus for fluorescent sensing
US4858465A (en) * 1988-06-21 1989-08-22 Rockwell International Corporation Water washable contaminant detection and labeling compositions and method for utilizing same
US5191803A (en) 1991-01-22 1993-03-09 Mag Chem Inc. Detection of an anticorrosion oil applied into a ship's ballast
US5225675A (en) 1992-01-22 1993-07-06 Inco Alloys International, Inc. Method of monitoring removal of metal treatment solutions
DE19846775A1 (de) 1998-10-10 2000-04-27 Henkel Kgaa Automatische Ölerkennung und Ölrestmengenbestimmung
SE521948C2 (sv) 1998-12-17 2003-12-23 Act Ab Mätinstrument och förfarande för mätning av damm- och smutsbeläggningsgrad på en yta
DE19958641A1 (de) 1999-12-06 2001-06-28 Inst Chemo Biosensorik Verfahren zur Qualitätskontrolle von Materialschichten
DE10027236A1 (de) 2000-05-31 2001-12-06 Wack O K Chemie Gmbh Verfahren und Testflüssigkeit zum Nachweisen von sauren Flußmittelrückständen an elektronischen Baugruppen
DE10055557C2 (de) 2000-11-09 2002-09-26 Ecolab Gmbh & Co Ohg Verfahren zur gleichzeitigen Erfassung mehrerer Rückstandsarten
US6607918B2 (en) * 2001-02-01 2003-08-19 General Electric Company Fluorescent labeling method and substrate
DE10217950B4 (de) 2001-04-24 2011-01-13 Volkswagen Ag Verfahren zur Bestimmung einer Beschichtungsstärke
DE10145985C2 (de) 2001-09-18 2003-11-13 Fkfs Forschungsinstitut Fuer K Verfahren und Vorrichtungen zur Bestimmung der quantitativen Verschmutzung von Oberflächen
US8067506B2 (en) * 2005-08-30 2011-11-29 Agency For Science, Technology And Research Water-soluble fluorescent particle comprising entangled fluorescent polymer and amphiphilic molecule
DE102006029485A1 (de) 2006-06-27 2008-01-03 Reik Winkel Vorrichtung zur Bestimmung der Reinigungswirkung von Waschvorgängen
JP2009014505A (ja) 2007-07-04 2009-01-22 Olympus Corp 汚れ検出装置および分析装置
CN103364381B (zh) 2007-12-17 2016-04-06 生命技术公司 用于检测无机涂敷的聚合物表面中的缺陷的方法
US7715008B2 (en) 2008-03-21 2010-05-11 Xerox Corporation System and method of optically monitoring contamination of a machine component
WO2011124945A1 (en) * 2010-04-07 2011-10-13 Empire Technology Development Llc. Detector for detecting contaminants in water or aqueous solutions

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015509198A (ja) 2015-03-26
EP2807468A1 (en) 2014-12-03
BR112014018130A2 (sv) 2017-06-20
US20140361195A1 (en) 2014-12-11
KR20140119041A (ko) 2014-10-08
US9435748B2 (en) 2016-09-06
WO2013112098A1 (en) 2013-08-01
EP2807468A4 (en) 2015-10-21
BR112014018130A8 (pt) 2017-07-11
CN104105958A (zh) 2014-10-15
CA2861083A1 (en) 2013-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2796101B2 (ja) 水洗可能な汚染検知及び標識組成物及びその使用方法
US8687189B2 (en) Analysis of arrays by laser induced breakdown spectroscopy
GB2419406A (en) Improvements to fluid borne particle analysers
EP2256487A3 (en) Methods for inspection of a specimen using different inspection parameters
KR940006235A (ko) 입자검사방법 및 그 장치
ATE542128T1 (de) Verfahren zur erkennung von fehlern in transparentem material
DE602005023292D1 (de) Verfahren und system zur messung der geschwindigkeit einer blutströmung
Nagata et al. Microchip electrophoretic protein separation using electroosmotic flow induced by dynamic sodium dodecyl sulfate‐coating of uncoated plastic chips
WO2020161585A1 (en) Characterization of plastic contamination of fluids using imagery of filter media
JPS6373140A (ja) ガラス部品表面汚れ部位測定法
SE1250056A1 (sv) Detektering av kontaminerade områden
US7942037B2 (en) Method for detecting residues on a component
KR20210128913A (ko) 이물 검사 시스템, 이물 검사 방법, 프로그램 및 반도체 제조 장치
JP2021174785A5 (sv)
WO2002073198A3 (en) Non-separation assay and system using opaque particles
JP2017156166A (ja) 絶縁油量測定方法、ポリ塩化ビフェニル量測定方法、及びポリ塩化ビフェニル無害化判定方法
US3777157A (en) Water washable dye penetrant composition and method of application
JP2010197173A (ja) 異物の識別方法
CN85104229A (zh) 着色-荧光两用探伤渗透液
JP5685591B2 (ja) 目視残渣限界の基準を設定する装置および方法
CN103018218A (zh) 一种用于洗涤剂洗涤效果检测和评价的荧光分析方法
RU2694417C1 (ru) Способ обнаружения и выявления следов рук на металлических и других непористых поверхностях
WO2002073173A3 (en) Systems and methods for inspection of specimen surfaces
CN104677867A (zh) 一种以测定cod间接确定渗透探伤废水中荧光物质浓度的方法
JP2017058161A (ja) 油分検査方法及び用具

Legal Events

Date Code Title Description
NAV Patent application has lapsed