RU99119434A - Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера - Google Patents

Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера

Info

Publication number
RU99119434A
RU99119434A RU99119434/28A RU99119434A RU99119434A RU 99119434 A RU99119434 A RU 99119434A RU 99119434/28 A RU99119434/28 A RU 99119434/28A RU 99119434 A RU99119434 A RU 99119434A RU 99119434 A RU99119434 A RU 99119434A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
positioner
rough
field
moving
probe
Prior art date
Application number
RU99119434/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2181212C2 (ru
Inventor
Ростислав Владимирович Лапшин
Original Assignee
Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина
Filing date
Publication date
Application filed by Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина filed Critical Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина
Priority to RU99119434A priority Critical patent/RU2181212C2/ru
Priority claimed from RU99119434A external-priority patent/RU2181212C2/ru
Publication of RU99119434A publication Critical patent/RU99119434A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2181212C2 publication Critical patent/RU2181212C2/ru

Links

Claims (1)

  1. Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого X-Y позиционера, основанный на применении точного позиционера способного обеспечить с высокой степенью линейности прецизионное передвижение в пределах собственного поля, отличающийся тем, что для перемещения с той же точностью и линейностью в пределах поля грубого позиционера, в момент достижения границы своего диапазона точный позиционер производит поиск и захват ближайшей особенности поверхности; после чего грубый позиционер выполняет движение в таком направлении, чтобы следующий за ним точный позиционер перемещался к противоположной границе своего диапазона, после достижения которой описанная последовательность действий повторяется циклически до момента прихода зонда в точку на поверхности, отстоящую от исходной на заданное расстояние.
RU99119434A 1999-09-07 1999-09-07 Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера RU2181212C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU99119434A RU2181212C2 (ru) 1999-09-07 1999-09-07 Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU99119434A RU2181212C2 (ru) 1999-09-07 1999-09-07 Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU99119434A true RU99119434A (ru) 2001-07-10
RU2181212C2 RU2181212C2 (ru) 2002-04-10

Family

ID=20224783

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU99119434A RU2181212C2 (ru) 1999-09-07 1999-09-07 Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2181212C2 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2540283C2 (ru) * 2010-05-26 2015-02-10 Ростислав Владимирович Лапшин Шагающий робот-нанопозиционер и способ управления его передвижением

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1524590A3 (en) Tracking motion using an interference pattern
DE59911884D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur verbesserung der stellungsgenauigkeit von effektoren an mechanismen und zur vermessung von objekten in einem arbeitsraum
CA2278108A1 (en) Three-dimensional measurement method and apparatus
EP0391429A3 (en) Micro-displacement detector device, piezo-actuator provided with the micro-displacement detector device and scanning probe microscope provided with the piezo-actuator
EP1574815A3 (en) A dual stage instrument for scanning a specimen
WO2002010672A3 (en) Measuring and leveling device and method of using same
EP0347739A3 (en) Scanning tunneling microscope and surface topographic observation method
EP0397116A3 (en) Information detecting apparatus
RU99119434A (ru) Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера
CN214539979U (zh) 一种智能三维磁场测量仪系统
CN202305565U (zh) 一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜
JPS566438A (en) Electron beam exposure
Yoshizawa et al. Applications of a MEMS scanner to profile measurement
ATE71714T1 (de) Beruehrungsloses messsystem fuer genauigkeitskenngroessen, insbesondere von industrierobotern.
DK1111334T3 (da) Fremgangsmåde og indretning til lokalisering af cylinderformede objekter
Pahk et al. A New Method of Noncontact Measurement for 3D Microtopography in Semiconductor Wafer Implementing a New Optical Probe
RU2257645C1 (ru) Устройство для микроперемещений объекта
JPS5658606A (en) Iterative measurement
RU93027540A (ru) Пьезоэлектрический манипулятор для сканирующего туннельного микроскопа
RU2117240C1 (ru) Устройство для контроля размеров изделий с продольной осью симметрии
RU33463U1 (ru) Устройство для наноперемещения изделия
JPS54151063A (en) Coordinate measuring apparatus
RU93027542A (ru) Пьезоэлектрический манипулятор для сканирующего туннельного микроскопа
RU2000111036A (ru) Способ определения подлинности ключа замкового устройства
Jang et al. Development of a Precision Distance Sensor by Using One-dimensional CCD