RU99119434A - Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера - Google Patents
Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционераInfo
- Publication number
- RU99119434A RU99119434A RU99119434/28A RU99119434A RU99119434A RU 99119434 A RU99119434 A RU 99119434A RU 99119434/28 A RU99119434/28 A RU 99119434/28A RU 99119434 A RU99119434 A RU 99119434A RU 99119434 A RU99119434 A RU 99119434A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- positioner
- rough
- field
- moving
- probe
- Prior art date
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 2
Claims (1)
- Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого X-Y позиционера, основанный на применении точного позиционера способного обеспечить с высокой степенью линейности прецизионное передвижение в пределах собственного поля, отличающийся тем, что для перемещения с той же точностью и линейностью в пределах поля грубого позиционера, в момент достижения границы своего диапазона точный позиционер производит поиск и захват ближайшей особенности поверхности; после чего грубый позиционер выполняет движение в таком направлении, чтобы следующий за ним точный позиционер перемещался к противоположной границе своего диапазона, после достижения которой описанная последовательность действий повторяется циклически до момента прихода зонда в точку на поверхности, отстоящую от исходной на заданное расстояние.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU99119434A RU2181212C2 (ru) | 1999-09-07 | 1999-09-07 | Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU99119434A RU2181212C2 (ru) | 1999-09-07 | 1999-09-07 | Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU99119434A true RU99119434A (ru) | 2001-07-10 |
RU2181212C2 RU2181212C2 (ru) | 2002-04-10 |
Family
ID=20224783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU99119434A RU2181212C2 (ru) | 1999-09-07 | 1999-09-07 | Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2181212C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2540283C2 (ru) * | 2010-05-26 | 2015-02-10 | Ростислав Владимирович Лапшин | Шагающий робот-нанопозиционер и способ управления его передвижением |
-
1999
- 1999-09-07 RU RU99119434A patent/RU2181212C2/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1524590A3 (en) | Tracking motion using an interference pattern | |
DE59911884D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur verbesserung der stellungsgenauigkeit von effektoren an mechanismen und zur vermessung von objekten in einem arbeitsraum | |
CA2278108A1 (en) | Three-dimensional measurement method and apparatus | |
EP0391429A3 (en) | Micro-displacement detector device, piezo-actuator provided with the micro-displacement detector device and scanning probe microscope provided with the piezo-actuator | |
EP1574815A3 (en) | A dual stage instrument for scanning a specimen | |
WO2002010672A3 (en) | Measuring and leveling device and method of using same | |
EP0347739A3 (en) | Scanning tunneling microscope and surface topographic observation method | |
EP0397116A3 (en) | Information detecting apparatus | |
RU99119434A (ru) | Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа-нанолитографа в поле грубого x-y позиционера | |
CN214539979U (zh) | 一种智能三维磁场测量仪系统 | |
CN202305565U (zh) | 一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜 | |
JPS566438A (en) | Electron beam exposure | |
Yoshizawa et al. | Applications of a MEMS scanner to profile measurement | |
ATE71714T1 (de) | Beruehrungsloses messsystem fuer genauigkeitskenngroessen, insbesondere von industrierobotern. | |
DK1111334T3 (da) | Fremgangsmåde og indretning til lokalisering af cylinderformede objekter | |
Pahk et al. | A New Method of Noncontact Measurement for 3D Microtopography in Semiconductor Wafer Implementing a New Optical Probe | |
RU2257645C1 (ru) | Устройство для микроперемещений объекта | |
JPS5658606A (en) | Iterative measurement | |
RU93027540A (ru) | Пьезоэлектрический манипулятор для сканирующего туннельного микроскопа | |
RU2117240C1 (ru) | Устройство для контроля размеров изделий с продольной осью симметрии | |
RU33463U1 (ru) | Устройство для наноперемещения изделия | |
JPS54151063A (en) | Coordinate measuring apparatus | |
RU93027542A (ru) | Пьезоэлектрический манипулятор для сканирующего туннельного микроскопа | |
RU2000111036A (ru) | Способ определения подлинности ключа замкового устройства | |
Jang et al. | Development of a Precision Distance Sensor by Using One-dimensional CCD |