RU98116869A -
METHOD FOR MANAGING SPATIAL DISTRIBUTION OF PLASMA DENSITY IN A MICROWAVE PLASMA SOURCE WITH ELECTRON-CYCLOTRON RESONANCE
- Google Patents
METHOD FOR MANAGING SPATIAL DISTRIBUTION OF PLASMA DENSITY IN A MICROWAVE PLASMA SOURCE WITH ELECTRON-CYCLOTRON RESONANCE
Info
Publication number
RU98116869A
RU98116869ARU98116869/09ARU98116869ARU98116869ARU 98116869 ARU98116869 ARU 98116869ARU 98116869/09 ARU98116869/09 ARU 98116869/09ARU 98116869 ARU98116869 ARU 98116869ARU 98116869 ARU98116869 ARU 98116869A
Способ управления пространственным распределением плотности плазмы в микроволновом источнике плазмы с электронно-циклотронным резонансом, включающий возбуждение в круглом волноводе бегущей электромагнитной волны и наложение на область плазмообразования продольного постоянного магнитного поля с напряженностью, соответствующей электронно-циклотронному резонансу, отличающийся тем, что возбуждают электромагнитную волну двух или более типов с одинаковыми азимутальными числами и изменяют разность фаз между этими типами волн.A method for controlling the spatial distribution of plasma density in a microwave plasma source with electron-cyclotron resonance, comprising exciting a traveling electromagnetic wave in a circular waveguide and applying a longitudinal constant magnetic field with an intensity corresponding to electron-cyclotron resonance to the plasma forming region, characterized in that they excite an electromagnetic wave of two or more types with the same azimuthal numbers and change the phase difference between these types of waves.
RU98116869A1998-09-021998-09-02Method for controlling three-dimensional distribution of plasma density in microwave plasma source with electron-cyclotron resonance
RU2152663C1
(en)
Device for producing a plasma, enabling microwave propagation and absorption zones to be dissociated having at least two parallel applicators defining a propogation zone and an exciter placed relative to the applicator