RU97116376A -
METHOD FOR REMOVING STRUCTURAL DEFECTS IN SOLIDS
- Google Patents
METHOD FOR REMOVING STRUCTURAL DEFECTS IN SOLIDS
Info
Publication number
RU97116376A
RU97116376ARU97116376/25ARU97116376ARU97116376ARU 97116376 ARU97116376 ARU 97116376ARU 97116376/25 ARU97116376/25 ARU 97116376/25ARU 97116376 ARU97116376 ARU 97116376ARU 97116376 ARU97116376 ARU 97116376A
1. Способ устранения структурных дефектов в твердых телах (в том числе пленках) и на их поверхности, включающий возбуждение в твердом теле колебаний кристаллической решетки, отличающийся тем, что в твердом теле возбуждают акустические колебания с длинами волн, соизмеримыми с эффективными размерами дефектов и с энергией, превышающей энергию активации дефектов.1. A method for eliminating structural defects in solids (including films) and on their surface, including the excitation of vibrations of the crystal lattice in a solid, characterized in that acoustic waves with wavelengths commensurate with the effective sizes of the defects and with energy exceeding the activation energy of defects. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в твердом теле возбуждают акустические колебания периодическими сгустками электронов с частотным спектром, соответствующим спектру требуемых для устранения дефектов акустических колебаний. 2. The method according to p. 1, characterized in that in a solid acoustic waves are excited by periodic electron clusters with a frequency spectrum corresponding to the spectrum required to eliminate defects in acoustic vibrations. 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в твердом теле (пленке) возбуждают акустические колебания одновременно с формированием пленок. 3. The method according to p. 1, characterized in that in a solid (film), acoustic vibrations are excited simultaneously with the formation of films.
RU97116376A1997-09-291997-09-29Method for elimination of structure flaws in solids
RU2124784C1
(en)