RU96108403A

RU96108403A - Датчик давления с подвешенной диафрагмой

Info

Publication number: RU96108403A
Application number: RU96108403/28A
Authority: RU
Inventors: Л.Фрик Роджер
Original assignee: Роузмаунт Инк.
Priority date: 1993-09-20
Filing date: 1994-07-22
Publication date: 1998-07-10

Claims

1. Датчик давления, включающий: первую диафрагменную сборку с диафрагмой, соединенной с подложкой вдоль кромки, причем диафрагма и подложка имеют центры, отстоящие друг от друга, образуя первую полость между ними; впускное отверстие для подвода находящейся под давлением жидкости к внешним диафрагменным поверхностям; средство измерения, размещенное на диафрагме, для измерения ее прогиба и выдачи выходного сигнала, представляющего давление жидкости; и опорную часть, включающую соединенную с кромкой перемычку, оставляющую центры диафрагмы и подложки и оставшуюся часть кромки свободной от жесткого крепления.

2. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что перемычка имеет выводы для передачи выходного сигнала датчика.

3. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что диафрагменная сборка выполнена из материала на основе кремния.

4. Датчик давления по п. 1, отличающийся тем, что средство измерения включает конденсатор, имеющий первую пластину, соединенную с диафрагмой, и вторую пластину, соединенную с подложкой.

5. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что диафрагма и подложка соединены друг с другом с использованием разделяющего слоя вдоль кромки.

6. Датчик давления по п.1, отличающийся тем, что он включает вторую диафрагменную сборку, имеющую вторую полость, обменивающуюся жидкостью с первой полостью, причем емкость первой полости изменяется обратно пропорционально емкости второй полости в зависимости от дифференциального давления.

7. Дифференциальный датчик давления, включающий: первую диафрагменную сборку, имеющую диафрагму и подложку, соединенные вдоль кромки и отдельные друг от друга для образования между ними первой полости; вторую диафрагменную сборку, имеющую диафрагму и подложку, соединенные вдоль кромки и отделенные друг от друга для образования между ними второй полости; первое впускное отверстие для подвода жидкости к внешним поверхностям первой диафрагменной сборки; второе впускное отверстие для подвода жидкости к вешним поверхностям второй диафрагменной сборки; опорную конструкцию, включающую первую перемычку, соединенную с кромкой первой диафрагменной сборки, и вторую перемычку, соединенную с кромкой второй диафрагменной сборки, причем первая и вторая перемычки связаны между собой и обеспечивают обмен жидкостью между первой и второй полостями, при этом изменение объема первой полости обратно пропорционально изменению объема второй полости; и средство для измерения, подсоединенное к первой диафрагменной сборке, для измерения прогиба диафрагмы и обеспечения выходного сигнала, представляющего давление жидкости.

8. Дифференциальный датчик давления по п.7, отличающийся тем, что перемычка включает выводы для передачи выходного сигнала датчика.

9. Дифференциальный датчик давления по п.7, отличающийся тем, что первая и вторая диафрагменные сборки выполнены из материала на основе кремния.

10. Дифференциальный датчик давления по п.7, отличающийся тем, что средство измерения включает конденсатор, имеющий первую пластину, соединенную с диафрагмой, и вторую пластину, соединенную с подложкой.

11. Дифференциальный датчик давления по п.7, отличающийся тем, что диафрагма и подложка первой и второй диафрагменных сборок соединены посредством разделяющего слоя.

12. Устройство для измерения давления, включающее: множество по существу плоских подложек, соединенных вместе, для создания трехмерной структуры; датчик давления, образованный из множества подложек, чувствительных к давлению; и корпус, окружающий датчик давления, выполненный из множества подложек, воспринимающих давление, подлежащее измерению; отличающееся тем, что датчик давления связан с корпусом посредством перемычки.

13. Устройство по п.12, отличающееся тем, что датчик давления включает диафрагменную сборку с диафрагмой, соединенной вдоль кромки с подложкой, причем диафрагма и подложка отделены друг от друга для образования между ними полости.

14. Устройство по п.13, отличающееся тем, что диафрагменная сборка не связана с корпусом, кроме как через опорную перемычку для обеспечения изоляции от механических воздействий.

15. Устройство для измерения давления технологической жидкости, включающее: корпус датчика, выполненный из хрупкого, коррозионно стойкого материала, причем корпус датчика реагирует на измерение давления технологической жидкости; опору; измерительный элемент, расположенный на корпусе датчика, чувствительный к деформации корпуса датчика; и удлиненный изолятор механических воздействий, проходящий между опорой и корпусом датчика и выполненный из того же самого материала, что и корпус датчика, причем изолятор включает трубку для прокладки электрического проводника, подсоединенного к измерительному элементу.

16. Устройство по п.15, отличающееся тем, что опора выполнена из того же материала, что и корпус датчика.

17. Устройство по п. 15, отличающееся тем, что измерительный элемент представляет собой конденсатор переменной емкости.

18. Устройство по п.15, отличающееся тем, что опорная конструкция, корпус датчика и изолятор механических воздействий образованы с помощью по существу плоских подложек, соединенных вместе для образования трехмерной структуры.

19. Устройство по п.15, отличающееся тем, что корпус датчика включает первую диафрагму и вторую диафрагму, соединенные вместе вдоль кромки и образующие полость между ними.