Claims (25)
1. Устройство для инициирования плазмы тлеющего разряда, содержащее пару электрически изолированных электродов, питаемых от усилителя высокой частоты с цепью согласования импедансов, выдающего напряжение со среднеквадратичным значением от 1 до по меньшей мере 5 кВ при частоте 1 - 100 кГц, причем электроды располагают параллельно и крепят эквидистантно напротив друг друга таким образом, что между ними образуется объем, который при давлении примерно 1 атм заполняется газом, в котором может инициироваться плазма тлеющего разряда, включающее в себя устройство для инициирования и поддержания однородной плазмы тлеющего разряда при давлении 1 атм путем создания высокочастотного электрического поля такой частоты, которая оказывается, с одной стороны, достаточно большой для удержания положительных ионов плазмы между электродами, а с другой стороны, недостаточной для того, чтобы в течение полупериода высокочастотного напряжения электроны плазмы также удерживались между электродами.1. A device for initiating a glow discharge plasma containing a pair of electrically isolated electrodes powered by a high-frequency amplifier with an impedance matching circuit that produces a voltage with a rms value from 1 to at least 5 kV at a frequency of 1 - 100 kHz, the electrodes being parallel and they are mounted equidistantly opposite each other in such a way that a volume is formed between them, which at a pressure of about 1 atm is filled with gas, in which a glow discharge plasma can be initiated, including a device for initiating and maintaining a homogeneous glow discharge plasma at a pressure of 1 atm by creating a high-frequency electric field of such a frequency that is, on the one hand, large enough to hold positive plasma ions between the electrodes, and on the other hand, insufficient to During the half-period of the high-frequency voltage, the plasma electrons were also held between the electrodes.
2. Устройство по п. 1, в котором устройство для зарядки объема между упомянутыми пластинами содержит защитный кожух, внутри которого располагаются отделенные друг от друга объемом пластины. 2. The device according to claim 1, in which the device for charging the volume between the said plates contains a protective casing, inside which are located separated from each other by the volume of the plate.
3. Устройство по п. 1 или 2, включающее в себя устройство для подачи газа, за счет непрерывной подачи которого давление внутри кожуха поддерживается на уровне одной атмосферы. 3. The device according to claim 1 or 2, including a device for supplying gas, due to the continuous supply of which the pressure inside the casing is maintained at the level of one atmosphere.
4. Устройство по любому из пп. 1 - 3, в котором газ представляет собой гелий, аргон, воздух или смесь из двух вышеперечисленных газов. 4. The device according to any one of paragraphs. 1 to 3, in which the gas is helium, argon, air or a mixture of the two above gases.
5. Устройство по любому из пп. 1 - 4, в котором пластины имеют жидкостное охлаждение. 5. The device according to any one of paragraphs. 1 to 4, in which the plates are liquid cooled.
6. Устройство по п. 5, в котором трубки системы охлаждения крепятся к пластинам для отбора тепла от пластин. 6. The device according to p. 5, in which the tubes of the cooling system are attached to the plates to remove heat from the plates.
7. Способ генерирования плазмы тлеющего разряда в объеме между двумя электродами, питаемыми от усилителя высокой частоты с цепью согласования импедансов, предусматривающий подачу на электроды от усилителя напряжения со среднеквадратичным значением 1 - 5 кВ при частоте 1 - 100 кГц и заполнение при давлении 1 атм объема между электродами газом, в котором может инициироваться плазма тлеющего разряда, при этом в объеме между электродами инициируется и поддерживается однородная плазма тлеющего разряда при давлении 1 атм за счет создания высокочастотного электрического поля такой частоты, которая оказывается, с одной стороны, достаточно большой для удержания положительных ионов плазмы между электродами, а с другой стороны, недостаточной для того, чтобы в течение полупериода высокочастотного напряжения электроны плазмы также удерживались между электродами. 7. A method for generating a glow discharge plasma in the volume between two electrodes powered by a high-frequency amplifier with an impedance matching circuit, which provides voltage and a rms value of 1 to 5 kV to the electrodes at a frequency of 1 to 100 kHz and filling at a pressure of 1 atm of volume between the electrodes by a gas in which a glow discharge plasma can be initiated, while a homogeneous glow discharge plasma is initiated and maintained in the volume between the electrodes at a pressure of 1 atm by creating a high -frequency electric field of such frequency, that is, on the one hand, large enough to hold the positive ions of the plasma between the electrodes, and on the other hand, insufficient to within half-period high-voltage plasma electrons between the electrodes also retained.
8. Способ по п. 7, в котором электроды расположены внутри газонепроницаемого кожуха, внутрь которого непрерывно подается определенное количество газа. 8. The method according to p. 7, in which the electrodes are located inside a gas-tight casing, into which a certain amount of gas is continuously supplied.
9. Способ по п. 7 или 8, в котором газ представляет собой гелий, аргон, воздух или смесь любых их двух перечисленных газов. 9. The method according to p. 7 or 8, in which the gas is helium, argon, air or a mixture of any of the two listed gases.
10. Способ по любому из пп. 7 - 9, в котором расстояние между электродами составляет 5 см или меньше. 10. The method according to any one of paragraphs. 7 to 9, in which the distance between the electrodes is 5 cm or less.
11. Способ по п. 10, в котором по крайней мере положение одного из электродов регулируется относительно положения другого. 11. The method according to p. 10, in which at least the position of one of the electrodes is adjusted relative to the position of the other.
12. Способ по любому из пп. 7 - 11, в котором усилитель частоты работает в диапазоне от 1 до 100 кГц. 12. The method according to any one of paragraphs. 7 to 11, in which the frequency amplifier operates in the range from 1 to 100 kHz.
13. Способ по любому из пп. 7 - 12, в котором среднеквадратичное значение напряжения усилителя составляет 1 - 5 кВ. 13. The method according to any one of paragraphs. 7-12, in which the rms voltage of the amplifier is 1-5 kV.
14. Способ улучшения характеристик поверхности листового материала, включающий генерирование между парой разнесенных электродов в газе, давление которого приблизительно равно атмосферному, однородной плазмы тлеющего разряда с активными частицами, в соответствии с которым генерирование плазмы осуществляется подачей на электроды напряжения со среднеквадратичным значением по крайней мере примерно 1 кВ при частоте примерно 1 - 100 кГц, и размещение листового материала в зазоре между электродами внутри плазмы на определенное время в условиях перепада давлений, под действием которого через листовой материал проходят упомянутые активные частицы. 14. A method for improving the surface characteristics of a sheet material, comprising generating between a pair of spaced electrodes in a gas whose pressure is approximately atmospheric, a uniform glow discharge plasma with active particles, according to which the plasma is generated by applying voltage to the electrodes with a rms value of at least about 1 kV at a frequency of about 1 - 100 kHz, and the placement of sheet material in the gap between the electrodes inside the plasma for a certain time in the conditions x differential pressure, under the influence of which through the sheet material mentioned active particles.
15. Способ по п. 14, в котором газ представляет собой инертный газ. 15. The method of claim 14, wherein the gas is an inert gas.
16. Способ по п. 14, в котором газ представляет собой гелий, аргон, воздух или смесь двух из перечисленных газов. 16. The method according to p. 14, in which the gas is helium, argon, air, or a mixture of two of these gases.
17. Способ по любому из пп. 14 - 16, в котором листовой материал представляет собой полученный дутьем из расплава полимерный листовой материал. 17. The method according to any one of paragraphs. 14 to 16, in which the sheet material is a melt blown polymer sheet material.
18. Способ по любому из пп. 14 - 17, в котором частота лежит в диапазоне от 1 до 30 кГц. 18. The method according to any one of paragraphs. 14 - 17, in which the frequency lies in the range from 1 to 30 kHz.
19. Способ по любому из пп. 14 - 18, в котором листовой материал имеет бесконечную длину и протягивается с постоянной скоростью между электродами, подвергаясь в течение заданного времени обработке плазмой. 19. The method according to any one of paragraphs. 14 to 18, in which the sheet material has an infinite length and extends at a constant speed between the electrodes, being subjected to a plasma treatment for a given time.
20. Полученный дутьем из расплава листовой материал с поверхностью, обладающей улучшенной смачиваемостью и улучшенной способностью к повторному смачиванию, полученный в результате обработки его в течение заданного промежутка времени при атмосферном давлении плазмой тлеющего разряда, генерируемой усилителем высокой частоты, выдающим напряжение со среднеквадратичным значением от 1 до по меньшей мере 5 кВ при частоте примерно 1 до 100 кГц. 20. A melt blown sheet material with a surface having improved wettability and improved rewet ability, obtained by treating it for a predetermined period of time at atmospheric pressure with a glow discharge plasma generated by a high frequency amplifier that produces a voltage with a rms value of 1 rms up to at least 5 kV at a frequency of about 1 to 100 kHz.
21. Полученный дутьем из расплава полимерный листовой материал по п. 20, при обработке которого плазма инициируется в инертном газе. 21. The melt-blown polymer sheet material of claim 20, wherein the plasma is processed in an inert gas upon processing.
22. Полученный дутьем из расплава полимерный листовой материал по п. 20, при обработке которого указанный газ представляет собой гелий, аргон, воздух или смесь из двух перечисленных газов. 22. The melt blown polymer sheet material of claim 20, wherein said gas is treated with helium, argon, air, or a mixture of the two gases.
23. Полученный дутьем из расплава полимерный листовой материал по любому из пп. 20 - 22, изготовленный из полипропилена. 23. The melt blown polymer sheet material according to any one of paragraphs. 20-22, made of polypropylene.
24. Полученный дутьем из расплава полимерный листовой материал по любому из пп. 20 - 23, при обработке которого частота лежит в пределах от примерно 1 до 30 кГц. 24. The melt blown polymer sheet material according to any one of paragraphs. 20 - 23, in the processing of which the frequency lies in the range from about 1 to 30 kHz.
25. Способ по п. 14, в котором среднеквадратическое значение подаваемого на электроды напряжения составляет 1 - 5 кВ. 25. The method according to p. 14, in which the rms value of the voltage supplied to the electrodes is 1 to 5 kV.