RU95115944A - Стекло для структур кремний-на-изоляторе - Google Patents

Стекло для структур кремний-на-изоляторе

Info

Publication number
RU95115944A
RU95115944A RU95115944/03A RU95115944A RU95115944A RU 95115944 A RU95115944 A RU 95115944A RU 95115944/03 A RU95115944/03 A RU 95115944/03A RU 95115944 A RU95115944 A RU 95115944A RU 95115944 A RU95115944 A RU 95115944A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
glass
insulator
silicon
structures silicon
structures
Prior art date
Application number
RU95115944/03A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2083514C1 (ru
Inventor
Н.И. Кошелев
А.И. Ермолаева
Original Assignee
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский государственный институт электронной техники (технический университет) filed Critical Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Priority to RU95115944A priority Critical patent/RU2083514C1/ru
Priority claimed from RU95115944A external-priority patent/RU2083514C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2083514C1 publication Critical patent/RU2083514C1/ru
Publication of RU95115944A publication Critical patent/RU95115944A/ru

Links

Claims (1)

  1. Стекло для структур кремний-на-изоляторе, включающее SiO2, Al2O3, BaO, SrO, ZrO2, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит CaO и GeO2 при следующем соотношении компонентов, мас.%:
    SiO2 - 57 - 70
    Al2O3 - 10 - 20
    BaO - 9 - 25
    SrO - 1 - 12
    ZrO2 - 0,1 - 2,0
    CaO - 1 - 6
    GeO2 - 1 - 6о
RU95115944A 1995-09-12 1995-09-12 Стекло для структур кремний-на-изоляторе RU2083514C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95115944A RU2083514C1 (ru) 1995-09-12 1995-09-12 Стекло для структур кремний-на-изоляторе

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95115944A RU2083514C1 (ru) 1995-09-12 1995-09-12 Стекло для структур кремний-на-изоляторе

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2083514C1 RU2083514C1 (ru) 1997-07-10
RU95115944A true RU95115944A (ru) 1997-09-27

Family

ID=20172038

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU95115944A RU2083514C1 (ru) 1995-09-12 1995-09-12 Стекло для структур кремний-на-изоляторе

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2083514C1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69405011D1 (de) Glaszusammensetzung
DE69406309T2 (de) Glaszusammensetzung
DE69520871T2 (de) Glaszusammensetzungen
HK1000861A1 (en) Soda-lime-silica glass compositions and uses thereof.
DE69700863T2 (de) Glaszusammensetzung
FR2721599B1 (fr) Composition de verre destinée à la fabrication de vitrages.
ID16827A (id) Kaca bertransmitansi rendah
FR2719838B1 (fr) Verre gris sodo-calcique.
DE3767633D1 (de) Glaszusammensetzungen.
ATE179963T1 (de) Bronzefarbene glaszusammensetzung
ATE92276T1 (de) Psyllium enthaltende kekse mit hohem fasergehalt.
DE69311668D1 (de) Glaszusammensetzung
DE69022472D1 (de) Verbundglas.
BR9300237A (pt) Composicao de vidro ambar
IS4283A (is) Samsetning glerullartrefja
RU95115944A (ru) Стекло для структур кремний-на-изоляторе
FR2765569B3 (fr) Composition de verre de type silico-sodo-calcique
RU95115945A (ru) Стекло для стеклокристаллического диэлектрика для структур кремний-на-изоляторе
DK0751915T3 (da) Glassammensætniger.
RU2000129578A (ru) Защитное покрытие
RU97106395A (ru) Стекло для производства стекловолокна
RU95112330A (ru) Стеклокерамическое диэлектрическое покрытие для малоуглеродистых сталей
DE9315073U1 (de) Glasstopfen
RU2080021C1 (ru) Стекло
RU97119566A (ru) Керамическая масса