RU94231U1

RU94231U1 - GRAPHITE HEATER

Info

Publication number: RU94231U1
Application number: RU2010105300/22U
Authority: RU
Inventors: Билал Аругович Билалов; Магомед Ахмедович Гитикчиев; Гаджимет Керимович Сафаралиев
Original assignee: Билал Аругович Билалов; Общество с ограниченной ответственностью "Аккорд"
Priority date: 2010-02-15
Filing date: 2010-02-15
Publication date: 2010-05-20

Abstract

Графитовый нагреватель, в стенках которого выполнены вырезы с перемычками, водоохлаждаемые шины источника питания, тигель, отличающийся тем, что нагреватель выполнен составным, включает ряд одинаковых нагревательных элементов, выполненных в форме прямоугольных параллелепипедов и установленных равномерно по окружности вокруг тигля, а водоохлаждаемые шины источника питания подведены к каждому из нагревательных элементов. A graphite heater, in the walls of which cuts with jumpers are made, water-cooled tires of the power source, a crucible, characterized in that the heater is integral, includes a number of identical heating elements made in the form of rectangular parallelepipeds and installed uniformly around the circumference around the crucible, and water-cooled tires of the power source summed up to each of the heating elements.

Description

Известен графитовый нагреватель, используемый в печи для эпитаксии карбида кремния по патенту на изобретение RU 2330128, который по своим конструктивным признакам можно выбрать в качестве прототипа. Нагреватель представляет собой полый цилиндр, выполненный из прессованного графита. Параллельно оси вращения в противолежащих стенках нагревателя выполнены вырезы, не доходящие до конца цилиндра, т.е нагреватель условно состоит из двух половинок, соединенных снизу перемычкой из того же материала. К каждой половине подведена водоохлаждаемая шина источника питания. Внутри нагревателя установлен тигель.Known graphite heater used in the furnace for epitaxy of silicon carbide according to the patent for invention RU 2330128, which by its design features can be selected as a prototype. The heater is a hollow cylinder made of pressed graphite. In parallel with the axis of rotation in the opposite walls of the heater, cuts are made that do not reach the end of the cylinder, i.e. the heater conditionally consists of two halves connected from below by a jumper of the same material. A water-cooled power supply bus is connected to each half. A crucible is installed inside the heater.

Недостаток приведенного нагревателя заключается в сложности изготовления, дороговизне и низкой ремонтопригодности. Сложность изготовления связана с тем, что нагреватель изготавливают из прессованной цилиндрической графитовой заготовки. При этом, чтобы получить полый цилиндр, середину заготовки необходимо выбрать на токарном станке, что невыгодно с точки зрения экономии материала. При перегорании нагревателя в процессе эксплуатации он ремонту не подлежит и требует замены на аналогичный нагреватель.The disadvantage of this heater is the complexity of manufacture, high cost and low maintainability. The complexity of manufacturing is due to the fact that the heater is made from a pressed cylindrical graphite billet. Moreover, in order to obtain a hollow cylinder, the middle of the workpiece must be selected on a lathe, which is disadvantageous in terms of material saving. If the heater burns out during operation, it cannot be repaired and requires replacement with a similar heater.

Техническая задача, решаемая с помощью предлагаемой полезной модели, заключается в упрощении, конструкции и технологии изготовления нагревателя, увеличении его ремонтопригодности, экономии материала.The technical problem solved by the proposed utility model is to simplify the design and manufacturing technology of the heater, increase its maintainability, and save material.

Для достижения этой цели нагреватель выполнен составным, включающим ряд одинаковых нагревательных элементов, выполненных в форме прямоугольного параллелепипеда, которые установлены равномерно по окружности вокруг тигля. При этом к каждому из нагревательных элементов подведены отдельные водоохлаждаемые шины источника питания.To achieve this, the heater is made integral, including a series of identical heating elements made in the form of a rectangular parallelepiped, which are installed uniformly around the circumference around the crucible. At the same time, separate water-cooled buses of the power supply are connected to each of the heating elements.

Конструкция графитового нагревателя приведена на фигуре.The design of the graphite heater is shown in the figure.

Нагреватель включает нагревательные элементы 1, выполненный в форме прямоугольного параллелепипеда, в котором выполнен вырез 2 и содержит перемычку 3. К нагревательному элементу подведены водоохлаждаемые шины 4 источника питания. Нагревательные элементы установлены равномерно по окружности вокруг тигля 5.The heater includes heating elements 1, made in the form of a rectangular parallelepiped, in which a cutout 2 is made and contains a jumper 3. Water-cooled buses 4 of the power supply are connected to the heating element. The heating elements are mounted uniformly around the circumference around the crucible 5.

Нагреватель работает следующим образом: Тигель 5 размещают в нагревателе и на шины 4 нагревательных элементов 1 подают напряжение. При прохождения тока между ними нагревательные элементы разогреваются до заданной температуры. Тепло от нагревательных элементов передается тиглю 5.The heater works as follows: The crucible 5 is placed in the heater and voltage is applied to the tires 4 of the heating elements 1. With the passage of current between them, the heating elements are heated to a predetermined temperature. Heat from the heating elements is transferred to the crucible 5.

Claims

A graphite heater, in the walls of which cutouts with jumpers are made, water-cooled tires of the power source, a crucible, characterized in that the heater is integral, includes a number of identical heating elements made in the form of rectangular parallelepipeds and installed uniformly around the circumference around the crucible, and water-cooled tires of the power source summed up to each of the heating elements.