Claims (1)
Предложено устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок, основанное на подсчете числа экстремумов зависимости коэффициента отражения пленкой лазерного луча от изменяемого угла падения этого луча на неподвижную измеряемую пленку, наблюдающихся при изменении угла падения луча в заданных пределах. Устройство содержит лазер, луч которого направлен на плоское зеркало, вращающееся вокруг оптической оси, проходящей через его поверхность, первую линзу, проецирующую изображение измеряемой точки пленки на ось вращения плоского зеркала, и вторую линзу, проецирующую изображение той же точки пленки на фотоприемник, с которым соединен регистрирующий прибор. При таком расположении элементов при вращении плоского зеркала луч лазера, отражаемый этим зеркалом в точке, являющейся изображением измеряемой точки пленки, скользит по поверхности линзы и после преломления ею поступает всегда в одну и ту же измеряемую точку на пленке, но при разных положениях - под разными углами. Вторая линза: луч, отражаемый пленкой в точке измерения, всегда направлен на фотоприемник. В результате регистрирующий прибор (например, осциллограф), соединенный с фотоприемником, при вращении плоского зеркала регистрирует угловую зависимость коэффициента отражения лазерного луча измеряемой пленкой. Отсутствие в устройстве эллиптических зеркал, имеющихся в прототипе, резко снижает стоимость устройства, расширяя область его возможного применения.A device for non-destructive measurement of the thickness of dielectric and semiconductor films is proposed, based on counting the number of extrema of the dependence of the reflection coefficient of a laser beam on a variable angle of incidence of this beam on a stationary measured film, observed when the angle of incidence of the beam varies within specified limits. The device comprises a laser, the beam of which is directed at a flat mirror rotating around an optical axis passing through its surface, a first lens projecting an image of a measured point of a film onto an axis of rotation of a flat mirror, and a second lens projecting an image of the same point of a film onto a photodetector with which Recording device connected. With this arrangement of elements during the rotation of a flat mirror, the laser beam reflected by this mirror at a point that is an image of the measured point of the film slides along the surface of the lens and after refraction it always enters the same measured point on the film, but at different positions under different corners. The second lens: the beam reflected by the film at the measuring point is always directed to the photodetector. As a result, a recording device (for example, an oscilloscope) connected to a photodetector, while rotating a flat mirror, registers the angular dependence of the reflection coefficient of the laser beam by the measured film. The absence in the device of the elliptical mirrors available in the prototype dramatically reduces the cost of the device, expanding the scope of its possible application.