RU93055559A - Способ получения дисилана - Google Patents
Способ получения дисиланаInfo
- Publication number
- RU93055559A RU93055559A RU93055559/26A RU93055559A RU93055559A RU 93055559 A RU93055559 A RU 93055559A RU 93055559/26 A RU93055559/26 A RU 93055559/26A RU 93055559 A RU93055559 A RU 93055559A RU 93055559 A RU93055559 A RU 93055559A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- aluminum
- disilan
- obtaining
- alkyl
- aluminum hydride
- Prior art date
Links
- 125000005234 alkyl aluminium group Chemical group 0.000 claims 2
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N Disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- DLFBBZNTWLQIPN-UHFFFAOYSA-N [Al].[AlH2][H] Chemical compound [Al].[AlH2][H] DLFBBZNTWLQIPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- AKYUXYJGXHZKLL-UHFFFAOYSA-N triethoxy(triethoxysilyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)[Si](OCC)(OCC)OCC AKYUXYJGXHZKLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Claims (1)
- Изобретение относится к способам получения дисилана, который может быть использован как источник кремния при изготовлении полупроводников. Сущность изобретения: осуществляют взаимодействие гексаэтоксидисилана с алкилалюминийгидридом, которое проводят в присутствии алкоксипроизводного алюминия или алкилалюмоксана в количестве 0,1-10,0 % от массы исходного алкилалюминийгидрада.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93055559/25A RU2085487C1 (ru) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | Способ получения гидрида кремния |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU93055559/25A RU2085487C1 (ru) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | Способ получения гидрида кремния |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU93055559A true RU93055559A (ru) | 1996-06-20 |
RU2085487C1 RU2085487C1 (ru) | 1997-07-27 |
Family
ID=20150229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU93055559/25A RU2085487C1 (ru) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | Способ получения гидрида кремния |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2085487C1 (ru) |
-
1993
- 1993-12-13 RU RU93055559/25A patent/RU2085487C1/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
HUP9701224A2 (hu) | Szerves szilán-poliszulfánok és eljárás ezeket tartalmazó kaucsukkeverékek előállítására | |
PL316758A1 (en) | Internally photo- and thermostable polyamides | |
DE69105958D1 (de) | Verfahren zur herstellung eines aluminiumsilicat-geopolymers und danach hergestellte produkte. | |
NO973167D0 (no) | Bestemte 1,4,5-trisubstituerte imidazole-forbindelser anvendelige som cytokin | |
CA2178604A1 (en) | Novel imidazole derivative and process for producing the same | |
IT1166980B (it) | Procedimento per la fabbricazione di leghe composite a base di alluminio e di boro e sua applicazione | |
DK148805C (da) | Fremgangsmaade til fremstilling af 4-aminochlorquinoliner | |
AR005672A1 (es) | Derivados de la distamicina, proceso para prepararlos, y su utilizacion como agentes antitumorales y antivirales. | |
RU93055559A (ru) | Способ получения дисилана | |
TW369538B (en) | Process for preparing alkyl halosilanes | |
DE68904137T2 (de) | Verfahren zur herstellung von 1,1,-dichlor-1-fluoroethan. | |
ATE209173T1 (de) | Herstellung eines gamma-halogentiglinaldehyds | |
HU9403630D0 (en) | Process for the preparation of in alfa-position by alkyl group substituted aldehyde | |
JPS52147811A (en) | Vibration damping method for existing rail | |
CA2257095A1 (en) | Process for purifying sterically hindered 4-amino piperidines | |
AU8472491A (en) | Process for the conversion of formaldehyde to hydrocarbons | |
MX9603450A (es) | Procedimiento para la obtencion de aminotriazolinas substituidas. | |
ATE114150T1 (de) | Verfahren zur herstellung von 1,1,1,2- tetraflourethan. | |
KR870000348A (ko) | 포스핀산 알루미늄의 아민 첨가 화합물의 제조방법 | |
JPS6483032A (en) | Manufacture of diene-1-ol, 9-hydroxydodecene- (10)-yl-1 tertiary butyl ether and use | |
ATE366262T1 (de) | Dextran mit geringem borgehalt, verfahren zu deren herstellung und dextran in form einer lösung verpackt in einem behälter | |
KR960014178A (ko) | 신디오택틱(syndiotactic)폴리스티렌의 제조방법 | |
JPS5438090A (en) | Method of building marine engine room | |
NO944727D0 (no) | Fremgangsmåte for fremstilling av fuktighetsresistent aluminiumpulver, samt pulver fremstilt ved fremgangsmåten | |
JPS5325087A (en) | Base for fluorescent lamp |