RU93055559A - Способ получения дисилана - Google Patents

Способ получения дисилана

Info

Publication number
RU93055559A
RU93055559A RU93055559/26A RU93055559A RU93055559A RU 93055559 A RU93055559 A RU 93055559A RU 93055559/26 A RU93055559/26 A RU 93055559/26A RU 93055559 A RU93055559 A RU 93055559A RU 93055559 A RU93055559 A RU 93055559A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
aluminum
disilan
obtaining
alkyl
aluminum hydride
Prior art date
Application number
RU93055559/26A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2085487C1 (ru
Inventor
Н.Н. Корнеев
Е.А. Чернышев
Г.И. Белик
Е.П. Белов
Н.Н. Говоров
Н.Р. Каримова
Е.Н. Лебедев
С.И. Клещевникова
Н.Г. Комаленкова
Ю.В. Разоренов
И.А. Юшкевич
Original Assignee
Н.Н. Корнеев
Е.А. Чернышев
Г.И. Белик
Е.П. Белов
Н.Н. Говоров
Н.Р. Каримова
Е.Н. Лебедев
С.И. Клещевникова
Н.Г. Комаленкова
Ю.В. Разоренов
И.А. Юшкевич
Filing date
Publication date
Application filed by Н.Н. Корнеев, Е.А. Чернышев, Г.И. Белик, Е.П. Белов, Н.Н. Говоров, Н.Р. Каримова, Е.Н. Лебедев, С.И. Клещевникова, Н.Г. Комаленкова, Ю.В. Разоренов, И.А. Юшкевич filed Critical Н.Н. Корнеев
Priority to RU93055559/25A priority Critical patent/RU2085487C1/ru
Priority claimed from RU93055559/25A external-priority patent/RU2085487C1/ru
Publication of RU93055559A publication Critical patent/RU93055559A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2085487C1 publication Critical patent/RU2085487C1/ru

Links

Claims (1)

  1. Изобретение относится к способам получения дисилана, который может быть использован как источник кремния при изготовлении полупроводников. Сущность изобретения: осуществляют взаимодействие гексаэтоксидисилана с алкилалюминийгидридом, которое проводят в присутствии алкоксипроизводного алюминия или алкилалюмоксана в количестве 0,1-10,0 % от массы исходного алкилалюминийгидрада.
RU93055559/25A 1993-12-13 1993-12-13 Способ получения гидрида кремния RU2085487C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93055559/25A RU2085487C1 (ru) 1993-12-13 1993-12-13 Способ получения гидрида кремния

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93055559/25A RU2085487C1 (ru) 1993-12-13 1993-12-13 Способ получения гидрида кремния

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU93055559A true RU93055559A (ru) 1996-06-20
RU2085487C1 RU2085487C1 (ru) 1997-07-27

Family

ID=20150229

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU93055559/25A RU2085487C1 (ru) 1993-12-13 1993-12-13 Способ получения гидрида кремния

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2085487C1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
HUP9701224A2 (hu) Szerves szilán-poliszulfánok és eljárás ezeket tartalmazó kaucsukkeverékek előállítására
PL316758A1 (en) Internally photo- and thermostable polyamides
DE69105958D1 (de) Verfahren zur herstellung eines aluminiumsilicat-geopolymers und danach hergestellte produkte.
NO973167D0 (no) Bestemte 1,4,5-trisubstituerte imidazole-forbindelser anvendelige som cytokin
CA2178604A1 (en) Novel imidazole derivative and process for producing the same
IT1166980B (it) Procedimento per la fabbricazione di leghe composite a base di alluminio e di boro e sua applicazione
DK148805C (da) Fremgangsmaade til fremstilling af 4-aminochlorquinoliner
AR005672A1 (es) Derivados de la distamicina, proceso para prepararlos, y su utilizacion como agentes antitumorales y antivirales.
RU93055559A (ru) Способ получения дисилана
TW369538B (en) Process for preparing alkyl halosilanes
DE68904137T2 (de) Verfahren zur herstellung von 1,1,-dichlor-1-fluoroethan.
ATE209173T1 (de) Herstellung eines gamma-halogentiglinaldehyds
HU9403630D0 (en) Process for the preparation of in alfa-position by alkyl group substituted aldehyde
JPS52147811A (en) Vibration damping method for existing rail
CA2257095A1 (en) Process for purifying sterically hindered 4-amino piperidines
AU8472491A (en) Process for the conversion of formaldehyde to hydrocarbons
MX9603450A (es) Procedimiento para la obtencion de aminotriazolinas substituidas.
ATE114150T1 (de) Verfahren zur herstellung von 1,1,1,2- tetraflourethan.
KR870000348A (ko) 포스핀산 알루미늄의 아민 첨가 화합물의 제조방법
JPS6483032A (en) Manufacture of diene-1-ol, 9-hydroxydodecene- (10)-yl-1 tertiary butyl ether and use
ATE366262T1 (de) Dextran mit geringem borgehalt, verfahren zu deren herstellung und dextran in form einer lösung verpackt in einem behälter
KR960014178A (ko) 신디오택틱(syndiotactic)폴리스티렌의 제조방법
JPS5438090A (en) Method of building marine engine room
NO944727D0 (no) Fremgangsmåte for fremstilling av fuktighetsresistent aluminiumpulver, samt pulver fremstilt ved fremgangsmåten
JPS5325087A (en) Base for fluorescent lamp