RU93052884A - Способ и устройство для высококачественного измерения расстояний поверхностей - Google Patents
Способ и устройство для высококачественного измерения расстояний поверхностейInfo
- Publication number
- RU93052884A RU93052884A RU93052884/28A RU93052884A RU93052884A RU 93052884 A RU93052884 A RU 93052884A RU 93052884/28 A RU93052884/28 A RU 93052884/28A RU 93052884 A RU93052884 A RU 93052884A RU 93052884 A RU93052884 A RU 93052884A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- angle
- distance
- quality measurement
- light
- roughness
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims 1
Claims (1)
- Изобретение относится к измерениям прежде всего шероховатости поверхностей способом триангуляции с помощью лазера, при котором регулируют угол между поверхностью и измерительным лучом. Образованное на поверхности световое пятно должно быть тем меньше, чем точнее должно быть разрешение. На практике в этих диапазонах возникают явления интерференции, которые в виде пятнышек искажают измеряемый сигнал за счет шумов. Изобретение значительно улучшает обрабатываемость полученных сигналов благодаря тому, что рассеянный/отраженный от поверхности световой пучок оптически разлагается в зависимости от угла на два частичных пучка приблизительно с одинаковым распределением поверхностей интенсивности перпендикулярно направлению основного излучения, при этом оба световых пучка детектируют затем фотодиодами, и по сигналам определяют параметры шероховатости.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93052884A RU2148790C1 (ru) | 1993-11-12 | 1993-11-12 | Способ и устройство для высокоточного бесконтактного измерения расстояний поверхностей |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93052884A RU2148790C1 (ru) | 1993-11-12 | 1993-11-12 | Способ и устройство для высокоточного бесконтактного измерения расстояний поверхностей |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU93052884A true RU93052884A (ru) | 1996-05-20 |
| RU2148790C1 RU2148790C1 (ru) | 2000-05-10 |
Family
ID=20149510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU93052884A RU2148790C1 (ru) | 1993-11-12 | 1993-11-12 | Способ и устройство для высокоточного бесконтактного измерения расстояний поверхностей |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2148790C1 (ru) |
-
1993
- 1993-11-12 RU RU93052884A patent/RU2148790C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AU616731B2 (en) | Method and apparatus for monitoring the surface profile of a moving workpiece | |
| JPH0153401B2 (ru) | ||
| EP0992763A2 (en) | Method and associated apparatus for measuring shape deviations of machined surfaced | |
| CA2250435A1 (en) | Method for the contact-free measurement of the distance of an object according to the principle of laser triangulation | |
| ES2034453T3 (es) | Medicion de la curvatura de material transparente o translucido. | |
| JPS5977342A (ja) | 反射率測定用ヘツド | |
| DE3587492D1 (de) | Frequenzmoduliertes laser-radar. | |
| US4201475A (en) | Device/process for contact free distance and thickness measurement | |
| CA2309008A1 (en) | High speed laser triangulation measurements of shape and thickness | |
| FI933818A0 (fi) | Foerfarande och anordning foer mycket noggrann avstaondsmaetning av ytor | |
| RU93052884A (ru) | Способ и устройство для высококачественного измерения расстояний поверхностей | |
| US4190367A (en) | Device for establishing a condition at the surface of a subject | |
| ATE453851T1 (de) | Optischer sensor zur messung des abstands und der neigung einer fläche | |
| US4077723A (en) | Method of measuring thickness | |
| JPS6262208A (ja) | 距離測定装置および距離測定方法 | |
| RU2148790C1 (ru) | Способ и устройство для высокоточного бесконтактного измерения расстояний поверхностей | |
| JPS56112606A (en) | Measuring method for face angle by reflected light of laser and device therefor | |
| SU1693369A1 (ru) | Устройство дл определени нулевого положени объекта | |
| JPH0821849A (ja) | レーザドップラ方式による高熱体の測定方法 | |
| JPH0296603A (ja) | 間隙測定装置 | |
| SU1272108A1 (ru) | Рефлектометрический способ измерени параметра шероховатости анизотропных поверхностей металлических тел | |
| JPS5826325Y2 (ja) | 位置検出装置 | |
| JPH0121884B2 (ru) | ||
| JPS57211008A (en) | Distance measuring device | |
| JPS57120804A (en) | Inspecting method of surface defect |