RU93006042A - Емкостной датчик давления - Google Patents

Claims (1)

1. Предлагаемое изобретение относится к измерительной технике, в частности к емкостным датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки, техники и народного хозяйства. Цель: повышение технологичности и надежности. Сущность: в емкостном датчике давления, содержащем упругий элемент в виде мембраны с установленной на ней диэлектрической подложкой, на которой сформированы электроды, соединенные с контактными площадками, контактирующими с выводными проводниками, расположенную с межэлектродным зазором пластину с установленной на ее торце второй диэлектрической подложкой, на которой сформированы ответные электроды, соединенные с контактными площадками, контактирующими с выводными проводниками, диэлектрические подложки выполнены в виде гибких фольгированных с одной стороны диэлектрических пленок, а диэлектрическая пленка упругого элемента установлена на ней нефольгированной стороной. Пластина хотя бы частично со стороны размещения электродов выполнена из диэлектрического материала и диэлектрическая пленка пластины установлена на ней фольгированной стороной, контактные площадки электродов размещены на боковой поверхности упругого элемента, а пластина закреплена на упругом элементе при помощи связующего материала. Кроме того, в соответствии с заявляемым решением пластина выполнена из связующего материала, а конфигурация пластины со стороны упругого элемента совпадает с конфигурацией мембраны при воздействии максимально допустимого измеряемого давления, выводные проводники в областях присоединения к контактным площадкам дополнительно закреплены связующим материалом.