RU93004480A - Способ сушки защитного полимерного покрытия, нанесенного на поверхность изделия из раствора, и устройство для его осуществления - Google Patents
Способ сушки защитного полимерного покрытия, нанесенного на поверхность изделия из раствора, и устройство для его осуществленияInfo
- Publication number
- RU93004480A RU93004480A RU93004480/26A RU93004480A RU93004480A RU 93004480 A RU93004480 A RU 93004480A RU 93004480/26 A RU93004480/26 A RU 93004480/26A RU 93004480 A RU93004480 A RU 93004480A RU 93004480 A RU93004480 A RU 93004480A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- chamber
- coating
- stage
- product
- temperature
- Prior art date
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims 8
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 title claims 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims 2
- 230000001681 protective Effects 0.000 title claims 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 claims 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 claims 1
Claims (1)
- Изобретение относится к области микроэлектроники, электротехники. Способ включает следующие этапы. На первом этапе покрытие выдерживают при комнатной температуре в интервале времени от 20 с до 1 ч в зависимости от вида полимерного покрытия. На втором этапе выдерживают покрытие при повышенной температуре под избыточным давлением, достаточным для подавления развития микротрещин в таком интервале времени, чтобы при достижении заданных защитных свойств не произошла термодеструкция полимерного покрытия. На третьем этапе производят охлаждение покрытия до комнатной температуры. Согласно изобретению, избыточное давление создают на первом этапе и поддерживают на этапе охлаждения. Устройство включает высокотемпературную герметичную камеру, соединенную с магистралью высокого давления, снабженную люками для загрузки и выгрузки изделия. Камера снабжена нагревателем, перед высокотемпературной камерой установлена герметичная камера для сушки покрытия при комнатной температуре, сообщенная с камерой и подключенная к магистрали высокого давления. После высокотемпературной камеры по ходу изделия установлена герметичная камера для охлаждения покрытия, подключенная к магистрали высокого давления и соединенная с камерой. Изобретение может найти применение для производства микросхем, а также для формирования тонких полимерных изоляционных покрытий.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93004480A RU2077959C1 (ru) | 1991-05-08 | 1993-01-08 | Способ сушки защитного полимерного покрытия, нанесенного на поверхность изделия из раствора, и устройство для его осуществления |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RUSU91/00088 | 1991-05-08 | ||
| RU93004480A RU2077959C1 (ru) | 1991-05-08 | 1993-01-08 | Способ сушки защитного полимерного покрытия, нанесенного на поверхность изделия из раствора, и устройство для его осуществления |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU93004480A true RU93004480A (ru) | 1996-02-10 |
| RU2077959C1 RU2077959C1 (ru) | 1997-04-27 |
Family
ID=20136389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU93004480A RU2077959C1 (ru) | 1991-05-08 | 1993-01-08 | Способ сушки защитного полимерного покрытия, нанесенного на поверхность изделия из раствора, и устройство для его осуществления |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2077959C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2522723C2 (ru) * | 2012-05-10 | 2014-07-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Хинфел" | Способ сушки теплоизоляционного материала и сушильная камера для его осуществления |
-
1993
- 1993-01-08 RU RU93004480A patent/RU2077959C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2086939A1 (en) | Method of Drying a Protective Polymer Coating Applied Onto a Surface of an Article from a Solution, and Device for Effecting Thereof | |
| KR970018244A (ko) | 열처리방법 | |
| KR890002995A (ko) | 고온가열 스퍼터링 방법 | |
| CA2197792A1 (en) | Subcritical process for drying sol-gel derived porous bodies | |
| NO933618L (no) | Service-innretning under vann | |
| KR920003445A (ko) | 열처리 막 형성장치 및 방법 | |
| EP0397315A3 (en) | Method and apparatus for heating and cooling semiconductor wafers in semiconductor wafer processing equipment | |
| US2827436A (en) | Method of improving the minority carrier lifetime in a single crystal silicon body | |
| RU93004480A (ru) | Способ сушки защитного полимерного покрытия, нанесенного на поверхность изделия из раствора, и устройство для его осуществления | |
| NZ309871A (en) | A process for dehydrating a product | |
| US6214136B1 (en) | Light-alloy casting heat treatment method | |
| KR970030476A (ko) | 반도체 소자의 bpsg 형성방법 | |
| Shilnikov et al. | Dielectric memory effects in ferroelectric ceramics of PLZT and PMN | |
| US3898827A (en) | Forming of superplastic alloy sheet | |
| JPS5230188A (en) | Process for producing smiconductor device | |
| EP0365692A4 (en) | Polyphenylene sulfide film, process for its production, and process for subjecting the film to vacuum deposition | |
| SU829724A1 (ru) | Способ обнаружени коротких замы-КАНий пРи элЕКТРОлиТичЕСКОМ РАфиНиРОВАНииМЕди | |
| JPS58169788A (ja) | 真空用試料加熱装置 | |
| SU915297A1 (ru) | Способ обработки подложки из полиимидной пленки 1 | |
| RU1827391C (ru) | Способ нагрева заготовок под деформацию в индукторе | |
| RU2081201C1 (ru) | Способ обработки изделий из титановых деформированных сплавов | |
| AU4874985A (en) | Improvements in or relating to drying means | |
| SU1611648A1 (ru) | Способ диффузионной сварки | |
| JPS5288851A (en) | Insulating material for high temperature and its manufacturing method | |
| JPS57161067A (en) | Dry etching method for aluminum film |