RU92009727A - Полупроводниковый термосенсор - Google Patents
Полупроводниковый термосенсорInfo
- Publication number
- RU92009727A RU92009727A RU92009727/07A RU92009727A RU92009727A RU 92009727 A RU92009727 A RU 92009727A RU 92009727/07 A RU92009727/07 A RU 92009727/07A RU 92009727 A RU92009727 A RU 92009727A RU 92009727 A RU92009727 A RU 92009727A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- thermosensor
- semiconductor
- single crystal
- gases
- dielectric layer
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
Claims (1)
- Использование: в качестве датчиков, работа которых основана на тепловых принципах преобразования информации и которые широко используются для контроля таких параметров внешней среды, как расход жидкостей и газов, разреженности газов, концентрации, температуры, влаги и др. Сущность изобретения: в полупроводниковом термосенсоре чувствительный элемент и диэлектрический слой являются составными частями единого монокристалла алмаза, при этом диэлектрический слой монокристалла расположен вокруг чувствительного элемента, причем в диэлектрическом слое выполнены окна, через которые омические контакты и выводы присоединены к чувствительному элементу.
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU92009727A true RU92009727A (ru) | 1996-12-27 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0376721A3 (en) | Moisture-sensitive device | |
| DE58904290D1 (de) | Sensorelement fuer grenzstromsensoren zur bestimmung des -g(l)-wertes von gasgemischen. | |
| ATE163092T1 (de) | Gassensor basierend auf halbleiteroxiden, zur bestimmung von gasförmigen kohlenwasserstoffen | |
| TW375744B (en) | Resistor having at least two coupled contact springs arranged on a ceramic base and process for the same | |
| DE3679663D1 (de) | Druckempfindlicher durchflusssensor. | |
| DE58907625D1 (de) | Sensorelement für grenzstromsensoren zur bestimmung des lambda-wertes von gasgemischen. | |
| US5786608A (en) | Semiconductor chemical sensor device with specific heater structure | |
| GB1536305A (en) | Catalytic gas detector | |
| KR970002295A (ko) | 가스센서 | |
| DE3785925D1 (de) | Temperaturfuehlerelement. | |
| RU92009727A (ru) | Полупроводниковый термосенсор | |
| DE3582104D1 (de) | Halbleiter-temperatursensor. | |
| JPS54102147A (en) | Temperature and humidity sensor | |
| EP0384409A3 (en) | Infrared sensor comprising a liquid crystal chopper | |
| NO862937D0 (no) | Termoelement til maaling av temperaturer i vakuumovner. | |
| Watson | The stannic oxide gas sensor | |
| KR970070997A (ko) | 질소산화물 센서 및 그 제조방법 | |
| DE3767023D1 (de) | Verzoegerungs- und druckempfindliches zumessventil mit niedriger verzoegerungs-ansprechempfindlichkeit. | |
| JPS54102146A (en) | Temperature and humidity sensor | |
| JPS63263426A (ja) | センサ素子 | |
| JPH0220681Y2 (ru) | ||
| RU94014978A (ru) | Датчик для определения концентрации компонентов в газовой смеси | |
| RU93048472A (ru) | Датчик влажности | |
| RU1786413C (ru) | Устройство дл определени концентрации газов | |
| JPS5810642A (ja) | 結露センサ |