Claims (1)
Предлагаемое изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано как датчик концентрации газа в различных устройствах автоматизированного управления технологическими процессами. Техническим результатом настоящего изобретения является увеличение чувствительности и точности измерений. Технический результат достигается тем, что по сравнению с известным устройством, в котором изменение емкости преобразуется в ток, в предлагаемом устройстве осуществляется преобразование емкости в частоту, для чего полевые газочувствительные транзисторы выступают в качестве управляемого газом емкостного элемента колебательного контура, а индуктивным элементом служит пассивная индуктивность. Такая конструкция устройства при подаче управляющих напряжений обеспечивает работу транзисторов в режиме насыщения. При этом на зажимах сток-сток этих транзисторов возникает отрицательное сопротивление, которое приводит к возникновению электрических колебаний в контуре, образованном параллельным включением полного сопротивления с емкостным характером на зажимах сток-сток транзисторов и индуктивным сопротивлением пассивной индуктивности. При подаче газа на газочувствительный подзатворный диэлектрик емкостного элемента происходит изменение емкостной составляющей полного сопротивления на зажимах сток-сток емкостного элемента, что приводит к изменению резонансной частоты контура.The present invention relates to the field of instrumentation technology and can be used as a gas concentration sensor in various devices for automated process control. The technical result of the present invention is to increase the sensitivity and accuracy of measurements. The technical result is achieved by the fact that in comparison with the known device, in which the capacitance change is converted to current, the proposed device converts the capacitance into a frequency, for which the gas field-effect transistors act as a gas-controlled capacitive element of the oscillating circuit, and the inductance . This design of the device when applying control voltages ensures the operation of transistors in the saturation mode. In this case, a negative resistance occurs at the terminals of the drain-drain of these transistors, which leads to electrical oscillations in the circuit formed by the parallel connection of an impedance with a capacitive character at the terminals of the drain-drain of the transistors and the inductive resistance of passive inductance. When gas is applied to the gas-sensitive gate dielectric of the capacitive element, the capacitance component of the impedance changes at the terminals of the drain-drain of the capacitive element, which leads to a change in the resonant frequency of the circuit.