RU87831U1 - THERMAL CAMERA FOR TESTING ELECTRONIC PRODUCTS - Google Patents
THERMAL CAMERA FOR TESTING ELECTRONIC PRODUCTS Download PDFInfo
- Publication number
- RU87831U1 RU87831U1 RU2009114608/22U RU2009114608U RU87831U1 RU 87831 U1 RU87831 U1 RU 87831U1 RU 2009114608/22 U RU2009114608/22 U RU 2009114608/22U RU 2009114608 U RU2009114608 U RU 2009114608U RU 87831 U1 RU87831 U1 RU 87831U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- unit
- fan
- controller
- working chamber
- output
- Prior art date
Links
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
Термокамера для испытания электронных изделий, содержащая корпус, в котором размещена рабочая камера, вентилятор, установленный в рабочей камере между вытяжным и нагнетательным патрубками, узел очистки рециркуляционного воздуха, установленный в нагнетательном патрубке и выполненный в виде соосно соединенных суживающегося диффузора с внутренними канавками и расширяющегося сопла, в котором размещено осушивающее устройство в виде емкости, предназначенной для заполнения адсорбирующим веществом, вентилятор снабжен приводом с регулятором скорости вращения, соединенным с выходами регулятора температуры и регулятора давления, и датчиком температуры и датчиком давления, подсоединенными соответственно к регулятору температуры и регулятору давления, каждый из которых содержит блок сравнения и блок задания, при этом блок сравнения соединен с входом электронного усилителя, оборудованного блоком нелинейной обратной связи, причем выход электронного усилителя соединен с входом магнитного усилителя с выпрямителем, который на выходе подключен к регулятору скорости в виде блока порошковых электромагнитных муфт привода вентилятора, отличающаяся тем, что узел очистки рециркуляционного воздуха снабжен сеткой, выполненной из биметалла и установленной после внутренней круговой канавки на входе в суживающийся диффузор и соединенной с накопителем загрязнений.A heat chamber for testing electronic products, comprising a housing in which the working chamber is located, a fan installed in the working chamber between the exhaust and discharge nozzles, a recirculation air purification unit installed in the discharge nozzle and made in the form of a coaxially tapering diffuser with internal grooves and an expanding nozzle in which a drying device is placed in the form of a container designed to be filled with absorbent material, the fan is equipped with a drive with a regulator ohm of rotation speed, connected to the outputs of the temperature controller and pressure controller, and a temperature sensor and a pressure sensor connected respectively to a temperature controller and a pressure controller, each of which contains a comparison unit and a reference unit, while the comparison unit is connected to an input of an electronic amplifier equipped with a nonlinear feedback unit, and the output of the electronic amplifier is connected to the input of the magnetic amplifier with a rectifier, which at the output is connected to the speed controller in the form of a powder electromagnetic clutch of a fan drive, characterized in that the recirculation air purification unit is provided with a grid made of bimetal and installed after the inner circular groove at the entrance to the tapering diffuser and connected to the pollution accumulator.
Description
Полезная модель относится к устройствам, используемым в полупроводниковом производстве, и может быть применено для климатических испытаний готовых полупроводниковых приборов при одновременном измерении их электрических параметров.The utility model relates to devices used in semiconductor manufacturing, and can be used for climate testing of finished semiconductor devices while measuring their electrical parameters.
Известна термокамера для испытания электронных изделий (см. патент РФ №2087050, МПК H01L 21/66, 1997, Бюл. №22), содержащая кожух, в котором размещена рабочая камера, вентилятор, установленный в рабочей камере между вытяжным и нагнетательным патрубками, узел очистки рециркуляционного воздуха, установленный в нагнетательном патрубке и выполненный в виде соосно соединенных суживающегося диффузора с внутренними канавками и расширяющегося сопла, в котором размещено устройство в виде емкости, предназначенной для заполнения адсорбирующим веществом.Known heat chamber for testing electronic products (see RF patent No. 2087050, IPC H01L 21/66, 1997, Bull. No. 22), containing a casing in which the working chamber is located, a fan installed in the working chamber between the exhaust and discharge nozzles, node purification of recirculated air, installed in the discharge pipe and made in the form of coaxially connected tapering diffuser with internal grooves and an expanding nozzle, in which the device is placed in the form of a container designed to be filled with an absorbent substance.
Недостатком данной термокамеры является снижение надежности результатов испытания электронных изделий из-за изменения климатических параметров рециркуляционного воздуха, т.е. уменьшение его давления в процессе прохождения воздуха через адсорбирующее вещество при длительном воздействии в термокамере на готовые полупроводниковые приборы, а также увеличение температуры воздуха в камере в результате адсорбции.The disadvantage of this heat chamber is a decrease in the reliability of the test results of electronic products due to changes in the climatic parameters of recirculated air, i.e. a decrease in its pressure during the passage of air through the adsorbing substance during prolonged exposure in a heat chamber to finished semiconductor devices, as well as an increase in air temperature in the chamber as a result of adsorption.
Известна полезная модель термокамеры для испытания электронных изделий (см. патент РФ на полезную модель №51 787 МПК H01L 21/66, 2006, Бюл. №6), содержащая кожух, в котором размещена рабочая камера, вентилятор, установленный в рабочей камере между вытяжным и нагнетательным патрубками, узел очистки рециркуляционного воздуха, установленный в нагнетательном патрубке и выполненный в виде соосно соединенных суживающегося диффузора с внутренними канавками и расширяющегося сопла, в котором размещено осушивающее устройство в виде емкости, предназначенной для заполнения адсорбирующим веществом, вентилятор снабжен приводом с регулятором скорости вращения, соединенным с выходами регулятора температуры и регулятора давления, и датчиком температуры и датчиком давления, подсоединенными соответственно к регулятору температуры и регулятору давления, каждый из которых содержит блок сравнения и блок задания, при этом блок сравнения соединен с входом электронного усилителя, оборудованного блоком нелинейной обратной связи, причем выход электронного усилителя соединен с входом магнитного усилителя с выпрямителем, который на выходе подключен к регулятору скорости в виде блока порошковых электромагнитных муфт привода вентилятора.A utility model of a heat chamber for testing electronic products is known (see RF patent for utility model No. 51 787 IPC H01L 21/66, 2006, Bull. No. 6), comprising a casing in which a working chamber is located, a fan installed in the working chamber between the exhaust and discharge nozzles, a recirculation air purification unit installed in the discharge nozzle and made in the form of a coaxially connected tapering diffuser with internal grooves and an expanding nozzle in which a drying device in the form of a container is located, designed To fill with adsorbent, the fan is equipped with a drive with a speed controller connected to the outputs of the temperature controller and pressure controller, and a temperature sensor and pressure sensor connected respectively to the temperature controller and pressure controller, each of which contains a comparison unit and a reference unit, this unit comparison is connected to the input of an electronic amplifier equipped with a non-linear feedback unit, and the output of the electronic amplifier is connected to the input of the magnetic amplifier divisor with a rectifier, which is connected to the output of the speed controller in the form of powder block electromagnetic fan drive clutches.
Недостатком данной термокамеры является снижение надежности результатов испытания электронных изделий из-за ухудшения качества очистки рециркуляционного воздуха при наличии в осевом потоке, проходящем через суживающийся диффузор, твердых частиц ржавчины и/или окалины, а также мелкодисперсной влаги, несобранных во внутренних канавках диффузора и, соответственно, оказывающих отрицательное воздействие на адсорбирующее вещество, заключающееся в засорении и растрескивании зерен адсорбента.The disadvantage of this heat chamber is a decrease in the reliability of the test results of electronic products due to the deterioration of the quality of the recirculation air purification in the presence of solid particles of rust and / or scale, as well as fine moisture, not collected in the internal grooves of the diffuser and, accordingly, in the axial flow passing through the narrowing diffuser having a negative effect on the adsorbent substance, which consists in clogging and cracking of the grains of the adsorbent.
Технической задачей полезной модели является повышение надежности результатов электрических испытаний электронных изделий путем поддержания нормированной степени осушки рециркуляционного воздуха во время длительной эксплуатации, снижающегося при вероятностном воздействии на адсорбирующее вещество узла очистки твердых частиц, загрязняющих адсорбент, и мелкодисперсной влаги, разрушающей его за счет отделения указанных загрязнений на биметаллической сетке, установленной после внутренней круговой канавки на входе в диффузор, соединенной с внутренними канавками и накопителем загрязнений.The technical task of the utility model is to increase the reliability of the results of electrical tests of electronic products by maintaining a normalized degree of drying of recirculated air during long-term operation, which decreases when the unit for cleaning particulate matter polluting the adsorbent and finely dispersed moisture destroying it due to separation of the indicated contaminants is probabilistic on a bimetallic grid installed after the inner circular groove at the entrance to the diffuser, connect internal grooves and dirt accumulator.
Технический результат достигается тем, что термокамера для испытания электронных изделий содержит корпус, в котором размещена рабочая камера, вентилятор, установленный в рабочей камере между вытяжным и нагнетательным патрубками, узел очистки рециркуляционного воздуха, установленный в нагнетательном патрубке и выполненный в виде соосно соединенных суживающегося диффузора с внутренними канавками и расширяющегося сопла, в котором размещено осушивающее устройство в виде емкости, предназначенной для заполнения адсорбирующим веществом, вентилятор снабжен приводом с регулятором скорости вращения, соединенным с выходами регулятора температуры и регулятора давления, и датчиком температуры и датчиком давления, подсоединенными, соответственно, к регулятору температуры и регулятору давления, каждый из которых содержит блок сравнения и блок задания, при этом блок сравнения соединен с входом электронного усилителя, оборудованного блоком нелинейной обратной связи, причем выход электронного усилителя соединен с входом магнитного усилителя с выпрямителем, который на выходе подключен к регулятору скорости в виде блока порошковых электромагнитных муфт привода вентилятора, узел очистки рециркуляционного воздуха снабжен сеткой, выполненной из биметалла и установленной после внутренней круговой канавки на входе в суживающийся диффузор и соединенной с накопителем загрязнений.The technical result is achieved by the fact that the heat chamber for testing electronic products contains a housing in which the working chamber is located, a fan installed in the working chamber between the exhaust and discharge nozzles, a recirculation air purification unit installed in the discharge nozzle and made in the form of a coaxially tapering diffuser with internal grooves and an expanding nozzle in which a drying device is placed in the form of a container designed to be filled with an absorbent substance, the fan is equipped with a drive with a speed controller connected to the outputs of the temperature controller and pressure controller, and a temperature sensor and a pressure sensor connected, respectively, to the temperature controller and pressure controller, each of which contains a comparison unit and a reference unit, while the comparison unit is connected with the input of an electronic amplifier equipped with a nonlinear feedback unit, and the output of the electronic amplifier is connected to the input of the magnetic amplifier with a rectifier, which is output By connecting the speed control unit in the form of electromagnetic powder clutches fan drive recirculation air cleaning unit is provided with a mesh made of a bimetal and fixed after an internal circumferential groove at the entrance to the tapered cone and connected to drive contaminants.
На фиг.1 представлена принципиальная схема термокамеры для испытания электронных изделий с системой автоматизированного контроля температуры и давления рециркуляционного воздуха, на фиг.2 - узел очистки рециркуляционного воздуха с сеткой из биметалла и накопителем загрязнений, на фиг.3 - разрез сетки из биметалла.Figure 1 presents a schematic diagram of a heat chamber for testing electronic products with an automated temperature and pressure control system for recirculated air, figure 2 is a unit for cleaning recirculated air with a mesh of bimetal and a pollution accumulator, figure 3 is a section of a mesh of bimetal.
Термокамера для испытания электронных изделий (фиг.1) состоит из кожуха 1, в котором размещена рабочая камера 2, вентилятора 3, установленного в рабочей камере 2 между вытяжным 4 и нагнетательным 5 патрубками, узла очистки рециркуляционного воздуха 6, установленного в нагнетательном патрубке 5 и выполненного в виде соосно соединенных суживающегося диффузора 7 с внутренними канавками 8 и расширяющегося сопла 9 с осушивающим устройством 10, установленным в расширяющемся сопле 9, занимающим всю площадь выходного сечения и представляющим собой емкость, предназначенную для заполнения адсорбирующим веществом.The heat chamber for testing electronic products (Fig. 1) consists of a casing 1, in which a working chamber 2 is located, a fan 3 installed in the working chamber 2 between the exhaust 4 and discharge 5 nozzles, a purification unit for recirculating air 6 installed in the discharge nozzle 5 and made in the form of a coaxially connected tapering diffuser 7 with internal grooves 8 and an expanding nozzle 9 with a drying device 10 installed in the expanding nozzle 9, which occupies the entire output section and is a capacitance st intended for filling the adsorbent material.
Вентилятор снабжен приводом 11 с регулятором скорости вращения 12 в виде блока порошковых электромагнитных муфт, а в рабочей камере 2 установлен датчик температуры 13, подключенный к регулятору температуры 14, который содержит блок сравнения 15 и блок задания 16, при этом блок сравнения 15 соединен с входом электронного усилителя 17, оборудованного блоком 18 нелинейной обратной связи, причем выход электронного усилителя 17 соединен с входом магнитного усилителя 19 с выпрямителем на выходе, подключенным к регулятору скорости вращения 12 в виде блока порошковых электромагнитных муфт.The fan is equipped with a drive 11 with a speed controller 12 in the form of a block of electromagnetic powder couplings, and a temperature sensor 13 is installed in the working chamber 2, connected to a temperature controller 14, which contains a comparison unit 15 and a task unit 16, while the comparison unit 15 is connected to the input an electronic amplifier 17 equipped with a nonlinear feedback unit 18, the output of the electronic amplifier 17 being connected to the input of the magnetic amplifier 19 with an output rectifier connected to the speed controller 12 in the form of a block oroshkovyh electromagnetic clutches.
В нагнетательном патрубке 5 перед выходным сечением осушивающего устройства 10 установлен датчик давления 20, подключенный к регулятору давления 21, который содержит блок сравнения 22 и блок задания 23, при этом блок сравнения 22 соединен с входом электронного усилителя 24, оборудованного блоком 25 нелинейной обратной связи, причем выход электронного усилителя 24 соединен с входом магнитного усилителя 26 с выпрямителем на выходе, подключенным к регулятору скорости вращения 12 в виде блока порошковых электромагнитных муфт.In the discharge pipe 5, before the output section of the drying device 10, a pressure sensor 20 is connected to the pressure regulator 21, which contains a comparison unit 22 and a reference unit 23, while the comparison unit 22 is connected to the input of an electronic amplifier 24 equipped with a non-linear feedback unit 25, moreover, the output of the electronic amplifier 24 is connected to the input of the magnetic amplifier 26 with a rectifier at the output connected to the speed controller 12 in the form of a block of powder electromagnetic couplings.
Узел очистки рециркуляционного воздуха 6 (фиг.2) снабжен сеткой 27, выполненной из биметалла и установленной после внутренней круговой канавки 28 на входе 29 в суживающийся диффузор 7 и соединенный с накопителем загрязнений 30.The purification unit for recirculating air 6 (Fig.2) is equipped with a grid 27 made of bimetal and installed after the inner circular groove 28 at the inlet 29 to the tapering diffuser 7 and connected to the pollution accumulator 30.
Термокамера для испытания электронных изделий работает следующим образом.Thermal chamber for testing electronic products is as follows.
Рециркуляционный воздух от испытуемых электронных изделий, расположенных на полках рабочей камеры 2, с загрязнениями в виде мелкодисперсной пыли, ржавчины и/или окалины и водомасляной эмульсии через вытяжной патрубок 4 поступает в вентилятор 3, и после закрутки воздушного потока направляется к узлу очистки 6 на вход 29 суживающегося диффузора 7.Recirculated air from the test electronic products located on the shelves of the working chamber 2, with impurities in the form of fine dust, rust and / or scale and water-oil emulsion through the exhaust pipe 4 enters the fan 3, and after twisting the air flow is sent to the cleaning unit 6 at the input 29 tapering diffuser 7.
Загрязненный рециркуляционный воздух контактирует с сеткой 27, где очищается от твердых частиц и мелкодисперсной влаги путем налипания загрязнений на ее поверхность. Так как сетка выполнена из биметалла и при постоянном перепаде температур на выходе из вентилятора 3 и в суживающемся диффузоре 7, равном 2-3°С, (эффект Джоуля - Томпсона) между внешней и внутренней поверхностями сетки 27 по ходу движения потока образуется градиент температуры, обеспечивающий возникновение термовибрации (см., например, Дмитриев А.Н. и др. Биметаллы. - Пермь. 1991-415 с.). В результате с сетки из биметалла 27 непрерывно осуществляется стряхивание твердых частиц и мелкодисперсной влаги во внутреннюю круговую канавку 28, откуда под действием гравитационных сил они поступают в накопитель загрязнений 30 для последующего удаления вручную или автоматически.Contaminated recirculated air is in contact with the grid 27, where it is cleaned of solid particles and fine moisture by sticking contaminants to its surface. Since the mesh is made of bimetal and with a constant temperature difference at the outlet of the fan 3 and in the tapering diffuser 7, equal to 2-3 ° C (Joule-Thompson effect), a temperature gradient forms between the outer and inner surfaces of the mesh 27, providing the occurrence of thermal vibration (see, for example, Dmitriev A.N. et al. Bimetals. - Perm. 1991-415 p.). As a result, from the grid of bimetal 27 continuously shaking off solid particles and finely dispersed moisture into the inner circular groove 28, from where, under the influence of gravitational forces, they enter the pollution accumulator 30 for subsequent removal manually or automatically.
Незадержанные ячейками сетки из биметалла 27 мелкодисперсные загрязнения поступают с потоком рециркуляционного воздуха в полость суживающегося диффузора 7 узла очистки 6, где завихряются перемещаясь по поверхности внутренних канавок 8, переходя в винтообразное движение потока. Взвешенные частицы загрязнений рециркуляционного воздуха центробежной силой отбрасываются к стенке диффузора 7 и перемещаются по внутренним канавкам 8, где сталкиваются с другими частицами, укрупняются, становятся ядрами конденсации водомасляного пара. Образовавшаяся смесь загрязнений собирается во внутренней круговой канавке 28 и под действием гравитационных сил они поступают в накопитель загрязнений 30.Unfinished mesh cells from bimetal 27, finely dispersed contaminants enter the cavity of the tapering diffuser 7 of the cleaning unit 6 with a stream of recirculated air, where they swirl moving around the surface of the internal grooves 8, turning into a helical flow. Suspended particles of recirculated air pollution are centrifuged to the wall of the diffuser 7 and moved along the internal grooves 8, where they collide with other particles, coarsen, and become the nuclei of condensation of oil-water vapor. The resulting mixture of contaminants is collected in the inner circular groove 28 and, under the influence of gravitational forces, they enter the pollution accumulator 30.
Частично очищенный от загрязнений рециркуляционный воздух поступает в расширяющееся сопло 9. В результате внезапного расширения рециркуляционного воздуха резко падает его скорость и ламинарно движущийся поток, очищенный от мелкодисперсных твердых и каплеобразных частиц и насыщенный преимущественно парообразной влагой, контактирует с осушивающим устройством 10, выполненным в виде емкости определенной конфигурации и заполненной адсорбирующим веществом.The recirculated air partially cleaned of contaminants enters the expanding nozzle 9. As a result of the sudden expansion of the recirculated air, its speed drops sharply and the laminar moving stream, purified from fine particulate and droplet-like particles and saturated mainly with vaporous moisture, contacts the drying device 10, made in the form of a container a certain configuration and filled with an absorbent substance.
Процесс адсорбционного поглощения влаги сопровождается выделением определенного количества тепла, повышающего в конечном итоге температуру рециркуляционного воздуха. Возникающее отношение градиента давления к градиенту температуры в узле очистки рециркуляционного воздуха 6 приводит к появлению эффекта Джоуля-Томпсона, что особенно явно выражается при увеличении подачи вентилятора 3, т.к. в этом случае возрастает скорость движения воздуха в узле его очистки 6.The process of adsorption moisture absorption is accompanied by the release of a certain amount of heat, which ultimately increases the temperature of the recirculated air. The resulting ratio of the pressure gradient to the temperature gradient in the purification unit of the recirculation air 6 leads to the appearance of the Joule-Thompson effect, which is especially pronounced with an increase in the supply of fan 3, because in this case, the air velocity in the unit of its purification 6 increases.
Увеличение температуры рециркуляционного воздуха в рабочей камере 2 регулируется датчиком температуры 13. При этом сигнал, поступающий с датчика температуры 13, становится большим, чем сигнал блока задания 16, и на выходе блока сравнения 15 появится сигнал отрицательной полярности, который поступает на вход электронного усилителя 17 одновременно с сигналом отрицательной нелинейной обратной связи блока 18. За счет этого в электронном усилителе 17 компенсируется нелинейность характеристики привода 11 вентилятора 3. Сигнал с выхода электронного усилителя 17 поступает на вход магнитного усилителя 19, где усиливается по мощности, выпрямляется и поступает на регулятор скорости вращения 12 в виде блока порошковых электромагнитных муфт. Отрицательная полярность сигнала электронного усилителя 17 вызывает уменьшение тока возбудителя на выходе магнитного усилителя 19. В результате снижается момент от привода 11 вентилятора 3, передаваемый на регулятор скорости 12 в виде блока порошковых электромагнитных муфт, и подача рециркуляционного воздуха уменьшается, достигая значений, нормировано заданных для условий испытания электронных изделий.The increase in the temperature of the recirculation air in the working chamber 2 is regulated by the temperature sensor 13. In this case, the signal from the temperature sensor 13 becomes larger than the signal of the reference unit 16, and a negative polarity signal appears at the output of the comparison unit 15, which is fed to the input of the electronic amplifier 17 simultaneously with the signal of negative nonlinear feedback of unit 18. Due to this, the non-linearity of the characteristics of the drive 11 of the fan 3 is compensated in the electronic amplifier 17. The signal from the output of the electronic preamplifier 17 is input to the magnetic amplifier 19, which amplifies power is rectified and supplied to the speed controller 12 as a block of electromagnetic powder clutches. The negative polarity of the signal of the electronic amplifier 17 causes a decrease in the exciter current at the output of the magnetic amplifier 19. As a result, the moment from the drive 11 of the fan 3 decreases, transmitted to the speed controller 12 in the form of a block of powder electromagnetic couplings, and the supply of recirculated air decreases, reaching values normalized to test conditions for electronic products.
По мере прохождения рециркуляционного воздуха, загрязненного парообразной влагой, через емкость осушивающего устройства 10 наблюдается насыщение адсорбирующего вещества влагой с последующим увеличением перепада давлений на входе и выходе узла очистки рециркуляционного воздуха 6 (см., например, Борисов Г.С. и др. Основные процессы и аппараты химической промышленности. Пособие по проектированию. - М.: Химия, 1991. - 496 с., ил.) и, соответственно падает давление в рабочей камере 2, что регистрируется датчиком давления 20. При этом сигнал блока задания 23 регулятора давления 21 превышает сигнал датчика давления 20 и на выходе блока сравнения 22 появится сигнал положительной полярности, который поступает на вход электронного усилителя 24. Сюда же поступает и сигнал с блока 25 нелинейной обратной связи, который вычитается из сигнала блока сравнения 22. За счет этого в электронном усилителе 24 компенсируется нелинейность характеристики вентилятора 3. сигнал с выхода электронного усилителя 24 поступает на вход магнитного усилителя 26, где он усиливается по мощности, выпрямляется и поступает на регулятор скорости 12 в виде блока порошковых электромагнитных муфт привода 11 вентилятора 3. Положительная полярность сигнала усилителя 24 вызывает увеличение тока возбуждения на выходе магнитного усилителя 26, тем самым увеличивается момент, передаваемый от привода 11 на регулятор скорости вращения 12 в виде блока порошковых электромагнитных муфт, за счет чего достигается увеличение подачи воздуха вентилятора 3 до тех пор, пока давление в рабочей камере 2 не станет равным заданной величине.As recirculated air, contaminated with vaporous moisture, passes through the capacity of the drying device 10, the adsorbent is saturated with moisture, followed by an increase in pressure differential at the inlet and outlet of the recirculation air purification unit 6 (see, for example, Borisov G.S. et al. Main processes and apparatuses of the chemical industry. Design manual. - M .: Chemistry, 1991. - 496 p., ill.) and, accordingly, the pressure in the working chamber 2 drops, which is detected by the pressure sensor 20. The signal of the task unit 23 of the pressure regulator 21 exceeds the signal of the pressure sensor 20 and a signal of positive polarity appears at the output of the comparison unit 22, which is fed to the input of the electronic amplifier 24. The signal from the non-linear feedback block 25, which is subtracted from the signal of the comparison unit 22, also arrives this in the electronic amplifier 24 compensates for the non-linearity of the characteristics of the fan 3. the signal from the output of the electronic amplifier 24 is fed to the input of the magnetic amplifier 26, where it is amplified by power, rectified and fed to the speed controller 12 in the form of a block of powder electromagnetic couplings of the drive 11 of the fan 3. The positive polarity of the signal of the amplifier 24 causes an increase in the excitation current at the output of the magnetic amplifier 26, thereby increasing the moment transmitted from the drive 11 to the speed controller 12 in the form of a block of powder electromagnetic couplings, whereby an increase in the air supply of fan 3 is achieved until the pressure in the working chamber 2 becomes equal to a predetermined value.
Дополнительное отделение твердых и каплеобразных частиц на сетке 27 из биметалла способствует устранению загрязнений поверхности адсорбирующего вещества, а это, как известно, приводит к повышению качества осушки рециркуляционного воздуха. На выходе из осушивающего устройства 10 рециркуляционный воздух с заданными климатическими характеристиками по влажности, температуре и давлению поступает на полки рабочей камеры 2 для обеспечения условий испытаний готовых полупроводниковых приборов при одновременном измерении их электрических параметров.An additional separation of solid and droplet-like particles on the bimetal mesh 27 contributes to the elimination of surface contamination of the adsorbing substance, and this, as is known, leads to an increase in the quality of drying of recirculated air. At the outlet of the drying device 10, recirculated air with the specified climatic characteristics in terms of humidity, temperature and pressure enters the shelves of the working chamber 2 to provide testing conditions for the finished semiconductor devices while measuring their electrical parameters.
Оригинальность предлагаемого устройства заключается в том, что снабжение узла очистки рециркуляционного воздуха сеткой из биметалла не только обеспечивает более качественную осушку движущегося потока, но и не допускает увеличение аэродинамического сопротивления узла очистки при забивании ячеек сетки загрязнениями, что привело бы к возрастанию мощности вентилятора, т.е. увеличению энергозатрат при работе термокамеры для испытания электронных изделий. При этом достигается снижение брака, возникающего за счет наличия в рециркуляционном воздухе твердых и каплеобразных частиц, контактирующих с электронными изделиями на полках рабочей камеры при длительных электрических испытаниях.The originality of the proposed device lies in the fact that the supply of the recirculation air purification unit with a bimetal grid not only provides better drying of the moving flow, but also does not allow an increase in the aerodynamic resistance of the purification unit when the mesh cells are clogged with contaminants, which would lead to an increase in fan power, t. e. increase energy consumption during operation of a heat chamber for testing electronic products. This reduces the marriage resulting from the presence in the recirculated air of solid and droplet-like particles in contact with electronic products on the shelves of the working chamber during prolonged electrical tests.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009114608/22U RU87831U1 (en) | 2009-04-17 | 2009-04-17 | THERMAL CAMERA FOR TESTING ELECTRONIC PRODUCTS |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009114608/22U RU87831U1 (en) | 2009-04-17 | 2009-04-17 | THERMAL CAMERA FOR TESTING ELECTRONIC PRODUCTS |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU87831U1 true RU87831U1 (en) | 2009-10-20 |
Family
ID=41263361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009114608/22U RU87831U1 (en) | 2009-04-17 | 2009-04-17 | THERMAL CAMERA FOR TESTING ELECTRONIC PRODUCTS |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU87831U1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2554325C1 (en) * | 2014-02-25 | 2015-06-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) | Thermal chamber for testing of electronic products |
-
2009
- 2009-04-17 RU RU2009114608/22U patent/RU87831U1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2554325C1 (en) * | 2014-02-25 | 2015-06-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) | Thermal chamber for testing of electronic products |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104406826B (en) | The method of sampling of condensable particle sampling device | |
| JP5160631B2 (en) | Air pollution sensor system | |
| US7777867B2 (en) | Devices, methods, and systems for detecting particles in aerosol gas streams | |
| CN110785645B (en) | Particle sensor and particle sensing method | |
| US8241412B2 (en) | Filter inspection with a gas mixing apparatus | |
| US8272279B2 (en) | Systems and methods for chemical sampling in particulate laden gaseous environments | |
| JP2021105508A (en) | Method for determining use capacity of air filter | |
| JP2008020456A (en) | System and method for measuring aerosol | |
| Ji et al. | Long-term performance of fibrous ventilation/air-cleaner filters for particle removal | |
| EP2177254A1 (en) | A method and a device for removing mercury from a process gas. | |
| Tian et al. | Particle loading characteristics of a two-stage filtration system | |
| Boudhan et al. | Pulse-jet bag filter performances for treatment of submicronic and nanosized particles from waste incineration | |
| RU2413332C1 (en) | Heat chamber for testing electronic articles | |
| RU87831U1 (en) | THERMAL CAMERA FOR TESTING ELECTRONIC PRODUCTS | |
| Liu et al. | Experimental study on particle removal with gas-liquid cross-flow array system | |
| RU152853U1 (en) | THERMAL CAMERA FOR TESTING ELECTRONIC PRODUCTS | |
| CN102486440B (en) | Flue gas inhalable particle automatic sampling instrument | |
| RU103980U1 (en) | THERMAL CAMERA FOR TESTING ELECTRONIC PRODUCTS | |
| JP5427141B2 (en) | Apparatus and method for measuring particles in liquid | |
| RU51787U1 (en) | THERMAL CAMERA FOR TESTING ELECTRONIC PRODUCTS | |
| CN103018146A (en) | PM2.5 monitor with aerosol humidity controller | |
| RU2267831C1 (en) | Thermal chamber for testing electronic products | |
| RU2554325C1 (en) | Thermal chamber for testing of electronic products | |
| Jung et al. | Removal characteristics and distribution of indoor tobacco smoke particles using a room air cleaner | |
| JP2695754B2 (en) | Air filter leak inspection method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM1K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20091030 |