RU86324U1 - Оптический дефлектор - Google Patents

Оптический дефлектор Download PDF

Info

Publication number
RU86324U1
RU86324U1 RU2009114453/22U RU2009114453U RU86324U1 RU 86324 U1 RU86324 U1 RU 86324U1 RU 2009114453/22 U RU2009114453/22 U RU 2009114453/22U RU 2009114453 U RU2009114453 U RU 2009114453U RU 86324 U1 RU86324 U1 RU 86324U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
fixed
mirror
housing
rods
suspension
Prior art date
Application number
RU2009114453/22U
Other languages
English (en)
Inventor
Ирина Валерьевна Попова
Александр Анатольевич Шабров
Андрей Александрович Семенов
Сергей Сергеевич Смоленцев
Владислав Юрьевич Бурханов
Юрий Сергеевич Луковатый
Original Assignee
Закрытое акционерное общество "Гирооптика"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество "Гирооптика" filed Critical Закрытое акционерное общество "Гирооптика"
Priority to RU2009114453/22U priority Critical patent/RU86324U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU86324U1 publication Critical patent/RU86324U1/ru

Links

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

1. Оптический дефлектор, содержащий корпус, в котором установлено зеркало в подвесе, исполнительный привод, включающий магнитные системы и катушки, датчики угла, арретир и систему управления, отличающийся тем, что подвес выполнен в виде крестообразной упругой пластины, два противоположных конца которой закреплены на зеркале, а два других конца закреплены на корпусе, пяти круглых торсионов, двух плоских торсионов и четырех штоков, противоположные концы которых закреплены на четырех вершинах двух плоских торсионов, центральные части которых закреплены на корпусе, четыре из пяти круглых торсионов одними концами закреплены по периферии зеркала с его обратной стороны, а другими концами закреплены на торцах каждого их четырех штоков, один конец пятого круглого торсиона закреплен в центре зеркала на его обратной стороне, а другой конец закреплен на корпусе. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что исполнительный привод выполнен из четырех электромагнитов, причем все четыре магнитные системы закреплены на корпусе, а каждая из четырех катушек закреплена на одном из четырех штоков подвеса зеркала. ! 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что введены четыре датчика угла, каждый из которых содержит закрепленный на корпусе трехполюсный статор, на среднем полюсе которого закреплена катушка с обмоткой возбуждения, а на крайних полюсах закреплены катушки с сигнальными обмотками, и якорь, закрепленный на одном из четырех штоков подвеса зеркала. ! 4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что арретир выполнен в виде постоянного магнита, закрепленного на корпусе, и катушки, закрепленной на оси, установленной на двух плоских пруж

Description

Изобретение относится к оптике, в частности, к оптическим информационно-измерительным системам, и может найти применение в системах управления положением луча в пространстве.
Из широкого спектра существующих способов отклонения луча в пространстве наиболее распространенным является электромеханический способ управления угловым положением зеркала. Проблемной задачей при создании оптических дефлекторов с электромагнитным приводом является обеспечение высокой точности и высокого быстродействия отработки задаваемых углов поворота и сканирования зеркала.
Известен оптико-механический дефлектор, содержащий корпус, в котором установлено зеркало в подвесе, исполнительный привод и систему управления [Патент РФ №2212045, МКИ G02F 1/29, опубл. 10.09.2003 г.].
Недостатком данного устройства является отсутствие цепи обратной связи. Кроме того, зеркало может совершать колебания только вокруг одной оси.
Известно также техническое решение [А.С. СССР №1756853, МКИ G02F 1/29, опубл. 23.08.1992 г.], в котором магнитоэлектрический дефлектор содержит корпус, в котором установлено зеркало в подвесе, исполнительный привод, датчик угла и систему управления.
Недостатком данного технического решения является сложность конструкции. Кроме того, зеркало может совершать колебания только вокруг одной оси.
Наиболее близким по своей технической сущности к предлагаемому устройству является устройство для пространственного отклонения луча [Патент РФ №2205439, МПК G02F 1/29, опубл. 27.05.2003 г.], содержащее корпус, в котором установлено зеркало в упругом подвесе, исполнительный привод, включающий магнитные системы и катушки, и источник излучения.
Недостатком подобного устройства является невысокая точность при отработке углов отклонения зеркала из-за отсутствия цепи обратной связи, а также большая масса и габариты подвижного узла.
Задачей настоящего изобретения является увеличение быстродействия, повышение точности при отработке углов отклонения зеркала, повышение надежности, а также уменьшение массы и габаритов подвижного узла.
Технический результат получен за счет того, что в оптическом дефлекторе, содержащем корпус, в котором установлено зеркало в подвесе, исполнительный привод, включающий магнитные системы и катушки, датчики угла, арретир и систему управления, подвес может быть выполнен в виде крестообразной упругой пластины, два противоположных конца которой закреплены на зеркале, а два других конца закреплены на корпусе, пяти круглых торсионов, двух плоских торсионов и четырех штоков, противоположные концы которых закреплены на четырех вершинах двух плоских торсионов, центральные части которых закреплены на корпусе, четыре из пяти круглых торсионов одними концами закреплены по периферии зеркала с его обратной стороны, а другими концами закреплены на торцах каждого их четырех штоков, один конец пятого круглого торсиона закреплен в центре зеркала на его обратной стороне, а другой конец закреплен на корпусе. Исполнительный привод может быть выполнен из четырех электромагнитов, причем все четыре магнитные системы закреплены на корпусе, а каждая из четырех катушек закреплена на одном из четырех штоков подвеса зеркала. Четыре датчика угла, каждый из которых содержит закрепленный на корпусе трехполюсный статор, на среднем полюсе которого закреплена катушка с обмоткой возбуждения, а на крайних полюсах закреплены катушки с сигнальными обмотками, и якорь, закрепленный на одном из четырех штоков подвеса зеркала. Арретир может быть выполнен в виде постоянного магнита, закрепленного на корпусе, и катушки, закрепленной на оси, установленной на двух плоских пружинах, свободные концы которых закреплены на корпусе, а их центральные части закреплены на противоположных концах оси. Система управления может быть выполнена в виде отдельного блока, содержащего плату управления, плату сопряжения с модулем питания и плату интерфейса.
При исполнении оптического дефлектора, у которого угловые развороты зеркала обеспечиваются поступательными перемещениями катушек исполнительного привода и подвижных частей датчиков угла, достигается повышение точности, повышение надежности, увеличение быстродействия, а также уменьшение массы и габаритов подвижного узла.
Сущность изобретения отражена на чертежах.
На фиг.1 представлен общий вид оптического дефлектора.
На фиг.2 представлено зеркало с крестообразной упругой пластиной.
На фиг.3 представлена система подвеса подвижных штоков.
На фиг.4 представлена конструкция штока с датчиком угла и исполнительным приводом.
На фиг.5 представлена кинематическая схема упругого подвеса зеркала (крестообразная упругая пластина с целью упрощения на схеме не показана).
Оптический дефлектор (фиг.1, 2, 3, 4, 5) содержит корпус 1, в котором установлено зеркало 2 в упругом подвесе. Подвес выполнен в виде крестообразной упругой пластины 5, два противоположных конца которой закреплены на зеркале 2, а два других конца закреплены на корпусе 1, пяти круглых торсионов 6, двух плоских торсионов 7 и четырех штоков 8, противоположные концы которых закреплены на четырех вершинах двух плоских торсионов 7, центральные части которых закреплены на корпусе 1. Четыре из пяти круглых торсиона 6 одними концами закреплены по периферии зеркала 2 с его обратной стороны, а другими концами закреплены на торцах каждого их четырех штоков 8. Один конец пятого круглого торсиона 6 закреплен в центре зеркала 2 на его обратной стороне, а другой конец закреплен на корпусе 1 в центре плоского торсиона 7. Исполнительный привод содержит четыре электромагнита 3, каждый из которых содержит магнитную систему и катушку 4. Все четыре магнитные системы закреплены на корпусе 1, а каждая из четырех катушек 4 закреплена на одном из четырех штоков 8 подвеса зеркала 2. Каждый из четырех датчиков угла (фиг.4) содержит закрепленный на корпусе 1 трехполюсный статор 9, на среднем полюсе которого закреплена катушка с обмоткой возбуждения 10. На крайних полюсах статора 9 закреплены катушки с сигнальными обмотками 11. Якорь 12 каждого из четырех датчиков угла закреплен на одном из четырех штоков 8 подвеса зеркала 2. Арретир содержит постоянный магнит 13, закрепленный на корпусе 1, и катушку, закрепленную на оси 14, установленной на двух плоских пружинах 15, свободные концы которых закреплены на корпусе 1, а их центральные части закреплены на противоположных концах оси 14. Система управления на чертежах не показана и выполнена в виде отдельного блока, содержащего плату управления, плату сопряжения с модулем питания и плату интерфейса.
Предложенный оптический дефлектор работает следующим образом. До начала работы дефлектора зеркало 2 зафиксировано с помощью подпружиненной оси 14 арретира. Перед началом работы на катушку электромагнита 13 арретира подается электрический сигнал из блока управления. Ось 14 арретира втягивается, сжимая пружину, и зеркало 2 получает возможность отклоняться вокруг двух взаимноперпендикулярных осей. Для поворота зеркала 2 вокруг одной из осей управляющие сигналы поступают на катушки двух соответствующих электромагнитов 3 исполнительного привода. При этом происходит линейное перемещение ΔZ (фиг.5) штоков 8 относительно корпуса 1. При этом происходит изгиб плоских торсионов 7 и круглых торсионов 6. Зеркало 2 поворачивается на угол β (фиг.5). Аналогичным образом для разворота зеркала 2 по другой оси управляющие сигналы должны поступать на две другие катушки соответствующих электромагнитов 3 исполнительного привода. Таким образом поступательные перемещения штоков 8 приводят к угловым перемещениям зеркала 2. Измерение углов разворота зеркала 2 осуществляется с использованием четырех датчиков углов 4 (фиг.4). Сигналы с датчиков углов 4 поступают также в систему управления для формирования контуров обратной связи в системе управления зеркалом 2. Предлагаемое устройство позволяет достичь минимальных габаритов и массы. Так, масса подвижного зеркала в изготовленном опытном образце не превышает 10 грамм. Оптическая отражающая поверхность зеркала может быть выполнена в форме эллипса с размерами 20×33 мм. Предлагаемый дефлектор может работать как в режиме установки луча на заданные углы, так и в режиме сканирования. В первом случае дефлектор работает в диапазоне ±0,1 рад. с временем отработки и временем возврата в исходное положение за 1-4 мс. В режиме сканирования дефлектор обеспечивает колебание луча с амплитудой ±0,3 мрад. и частотами до 2 кГц. Погрешности отработки задаваемых углов, удержания в нулевом положении и выдачи информации не превышают 150 мкрад. Функционирование дефлектора осуществляется с помощью блока управления, основным элементом которого является плата управления, обеспечивающая выполнение всех вычислительных и управляющих алгоритмов работы дефлектора.
Таким образом, может быть осуществлено управление положением луча в пространстве.
Заявленный оптический дефлектор позволяет увеличить быстродействие, повысить точность при отработке углов отклонения зеркала, повысить надежность, а также уменьшить массу и габариты подвижного узла.

Claims (5)

1. Оптический дефлектор, содержащий корпус, в котором установлено зеркало в подвесе, исполнительный привод, включающий магнитные системы и катушки, датчики угла, арретир и систему управления, отличающийся тем, что подвес выполнен в виде крестообразной упругой пластины, два противоположных конца которой закреплены на зеркале, а два других конца закреплены на корпусе, пяти круглых торсионов, двух плоских торсионов и четырех штоков, противоположные концы которых закреплены на четырех вершинах двух плоских торсионов, центральные части которых закреплены на корпусе, четыре из пяти круглых торсионов одними концами закреплены по периферии зеркала с его обратной стороны, а другими концами закреплены на торцах каждого их четырех штоков, один конец пятого круглого торсиона закреплен в центре зеркала на его обратной стороне, а другой конец закреплен на корпусе.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что исполнительный привод выполнен из четырех электромагнитов, причем все четыре магнитные системы закреплены на корпусе, а каждая из четырех катушек закреплена на одном из четырех штоков подвеса зеркала.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что введены четыре датчика угла, каждый из которых содержит закрепленный на корпусе трехполюсный статор, на среднем полюсе которого закреплена катушка с обмоткой возбуждения, а на крайних полюсах закреплены катушки с сигнальными обмотками, и якорь, закрепленный на одном из четырех штоков подвеса зеркала.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что арретир выполнен в виде постоянного магнита, закрепленного на корпусе, и катушки, закрепленной на оси, установленной на двух плоских пружинах, свободные концы которых закреплены на корпусе, а их центральные части закреплены на противоположных концах оси.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что система управления выполнена в виде отдельного блока, содержащего плату управления, плату сопряжения с модулем питания и плату интерфейса.
Figure 00000001
RU2009114453/22U 2009-04-16 2009-04-16 Оптический дефлектор RU86324U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009114453/22U RU86324U1 (ru) 2009-04-16 2009-04-16 Оптический дефлектор

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009114453/22U RU86324U1 (ru) 2009-04-16 2009-04-16 Оптический дефлектор

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU86324U1 true RU86324U1 (ru) 2009-08-27

Family

ID=41150362

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009114453/22U RU86324U1 (ru) 2009-04-16 2009-04-16 Оптический дефлектор

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU86324U1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2606520C1 (ru) * 2015-07-07 2017-01-10 Закрытое акционерное общество "Научно-технический центр "Реагент" Пьезоэлектрический двухкоординатный однозеркальный оптический дефлектор
RU181166U1 (ru) * 2017-12-08 2018-07-05 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук (ИОА СО РАН) Двухкоординатный пьзокерамический корректор углов наклона волнового фронта
RU190404U1 (ru) * 2018-08-10 2019-07-01 Акционерное общество "ГИРООПТИКА" (АО "ГИРООПТИКА") Оптический дефлектор

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2606520C1 (ru) * 2015-07-07 2017-01-10 Закрытое акционерное общество "Научно-технический центр "Реагент" Пьезоэлектрический двухкоординатный однозеркальный оптический дефлектор
RU181166U1 (ru) * 2017-12-08 2018-07-05 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук (ИОА СО РАН) Двухкоординатный пьзокерамический корректор углов наклона волнового фронта
RU181166U9 (ru) * 2017-12-08 2018-09-03 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук (ИОА СО РАН) Двухкоординатный пьезокерамический корректор углов наклона волнового фронта
RU190404U1 (ru) * 2018-08-10 2019-07-01 Акционерное общество "ГИРООПТИКА" (АО "ГИРООПТИКА") Оптический дефлектор

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6101017A (en) Gyrating programmable scanner
EP3698169A1 (en) Methods and apparatuses for scanning a lidar system in two dimensions
KR102581631B1 (ko) 회전 왕복 구동 액추에이터
US20080238592A1 (en) Two-axis driving electromagnetic micro-actuator
JP2016085299A (ja) 二軸光偏向器及びその製造方法
WO2008052365A1 (en) Scanning system for lidar
US9772490B2 (en) Optical scanner, image display device, head mount display, and heads-up display
RU86324U1 (ru) Оптический дефлектор
US10878984B2 (en) Actuator, light scanning apparatus and object detecting apparatus
US5097355A (en) Scanning device
KR101385600B1 (ko) 에너지 하베스터
US20180304482A1 (en) Oscillatory linear actuator and hair cutting device
CN113885035A (zh) 用于激光雷达的扫描装置及其控制方法、激光雷达
KR20160042321A (ko) 광빔 떨림 광학 모듈
JP4144840B2 (ja) 揺動体装置、光偏向器、及び光偏向器を用いた光学機器
CN110726984B (zh) 一种振镜和激光雷达
US6612192B2 (en) Scanning apparatus and method that avoids unwanted reactions
CN116500776A (zh) 动磁式电磁驱动双轴光学扫描镜、阵列及其应用
RU131507U1 (ru) Оптический дефлектор
CN115343825A (zh) 一种高带宽动铁式音圈电机快反镜装置
RU190404U1 (ru) Оптический дефлектор
RU2606520C1 (ru) Пьезоэлектрический двухкоординатный однозеркальный оптический дефлектор
JP2002174794A (ja) 光スキャナ
CN216209896U (zh) 用于激光雷达的扫描装置、激光雷达
US20220269068A1 (en) Rotary reciprocating drive actuator

Legal Events

Date Code Title Description
PD1K Correction of name of utility model owner
PD1K Correction of name of utility model owner
MM9K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20180417

NF9K Utility model reinstated

Effective date: 20190305