RU84111U1 - Датчик разности давлений - Google Patents
Датчик разности давлений Download PDFInfo
- Publication number
- RU84111U1 RU84111U1 RU2009102931/22U RU2009102931U RU84111U1 RU 84111 U1 RU84111 U1 RU 84111U1 RU 2009102931/22 U RU2009102931/22 U RU 2009102931/22U RU 2009102931 U RU2009102931 U RU 2009102931U RU 84111 U1 RU84111 U1 RU 84111U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cavities
- pressure
- housing
- sensor
- semiconductor
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Датчик разности давлений, содержащий корпус, в котором выполнены две полости, заполненные малосжимаемой электроизоляционной жидкостью, при этом каждая полость загерметизирована воспринимающей давление профилированной мембраной, расположенной с зазором относительно корпуса, между полостями в корпусе герметично закреплен полупроводниковый тензорезистивный чувствительный элемент, отличающийся тем, что в него введен второй полупроводниковый тензорезистивный чувствительный элемент, установленный между полостями встречно первому полупроводниковому тензорезистивному чувствительному элементу относительно измеряемых давлений.
Description
Полезная модель относится к измерительной технике, а, именно, к тензорезистивным датчикам давления и предназначена для измерения разности давлений жидкости и газов.
Известен датчик разности давлений (см., например, патент РФ №2098785, кл. G01L 13/02, 1996), содержащий корпус с двумя полостями, заполненными малосжимаемой электроизоляционной жидкостью и загерметизированными воспринимающими давление профилированными мембранами, полупроводниковый чувствительный элемент, установленный между полостями, два сильфона, герметично закрепленные между полостями.
В этом датчике в процессе измерения гофры сильфона, подпружиненные пружиной сжатия, сжаты до упора, при этом изменения геометрических размеров сильфона не происходит, эффективная площадь его остается постоянной, т.е. остается постоянным объем полостей, что увеличивает точность измерения
Известен датчик разности давлений (см., например, патент РФ №2325623, кл. G01L 13/02, 1996), содержащий корпус, в котором выполнены две полости, заполненные электроизоляционной жидкостью, при этом полости загерметизированы воспринимающими давление профилированными мембранами, расположенными с зазором относительно корпуса, а между полостями в корпусе герметично закреплены
полупроводниковый тензорезистивный чувствительный элемент и мембрана, два диска, расположенные по обеим сторонам мембраны и пружины, которые прижимают диски к мембране.
Этот датчик является наиболее близким к предложенному.
В известном датчике мембрана, закрепленная между полостями в корпусе, при увеличении разности давлений перемещается, не позволяя разности давлений превысить допустимую величину, так как при определенной разности давлений одна из профилированных мембран ложится на корпус, предотвращая дальнейшее увеличение разности давлений между полостями, что исключает разрушение чувствительного элемента.
Однако известный датчик разности давлений обеспечивает измерение с ограниченным уровнем стабильности, который зависит в основном от стабильности характеристик полупроводникового тензорезистивного чувствительного элемента.
Предложенная полезная модель решает задачу повышения стабильности датчика разности давлений.
Для этого в датчик разности давлений, содержащий корпус, в котором выполнены две полости, заполненные малосжимаемой электроизоляционной (жидкостью, при этом каждая полость загерметизирована воспринимающей давление профилированной мембраной, расположенной с зазором относительно корпуса, между полостями в корпусе герметично закреплен полупроводниковый тензорезистивный чувствительный элемент, введен второй полупроводниковый тензорезистивный чувствительный элемент, установленный между полостями встречно первому полупроводниковому тензорезистивному чувствительному элементу относительно измеряемых давлений.
На чертеже представлена схема предложенного датчика разности давлений.
Датчик разности давлений содержит корпус 1; в котором выполнены две полости 2, 3, два полупроводниковых тензорезистивных чувствительных элемента 4 и 5, установленные между полостями 2 и 3, соединенные с полостями профилированные мембраны 6 и 7; воспринимающие давление, сильфоны 8, 9 и пружины сжатия 10, 11, предохраняющие чувствительные элементы от разрушения при превышении рабочего давления величины предельно-допустимого давления, разъем 12 для вывода выходного электрического сигнала S1 с полупроводникового тензорезистивного чувствительного элемента 5 и разъем 13 для вывода выходного электрического сигнала S2 с полупроводникового тензорезистивного чувствительного элемента 4, соединительные провода 14.
Работает датчик следующим образом.
При воздействии давления P1 на мембрану 7 и давления Р2 на мембрану 6 (в случае, если величина разности давлений ΔР=P1-Р2 не превышает предельно-допустимого рабочего давления) разность давлений между полостями 3 и 2, равная ΔР, воздействует на полупроводниковые тензорезистивные элементы 5 и 4, вырабатывающие электрические сигналы S1 и S2, пропорциональные величине ΔР. Сигнал S1 возрастает при увеличении ΔР, а сигнал S2 уменьшается при увеличении ΔР.
Из-за нестабильности полупроводниковых тензорезистивных чувствительных элементов происходит изменение сигналов S1 и S2 на ΔS1 и ΔS2, что соответствует относительной погрешности нестабильности
Эта погрешность при совместной работе двух полупроводниковых тензорезистивных чувствительных элементов уменьшается за счет использования сигналов с обоих полупроводниковых тензорезистивных чувствительных элементов с преобразованием их в разность S, равную (S1-S2).
Величина разности сигналов (S1-S2) возрастает до двух раз по сравнению с сигналами S1 и S2 из-за того, что сигнал S1 возрастает, a S2 уменьшается.
Погрешность нестабильности для разности сигналов равна .
Эта погрешность при достаточно близких значениях характеристик стабильности с разбросом до 20% снижается в 5410 раз по сравнению с аналогичной погрешностью для каждого отдельного полупроводникового тензорезистивного чувствительного элемента, поскольку разность (ΔS1-ΔS2) меньше каждого ΔS1 и ΔS2, а S больше S1 и S2.
Датчик с двумя полупроводниковыми тензорезистивными чувствительными элементами имеет возможность работать совместно как со встроенной электронной схемой вычисления разности сигналов, так и с различными вариантами автономных вычислительных систем, обеспечивая при этом повышенную стабильность измерения разности давлений.
Claims (1)
- Датчик разности давлений, содержащий корпус, в котором выполнены две полости, заполненные малосжимаемой электроизоляционной жидкостью, при этом каждая полость загерметизирована воспринимающей давление профилированной мембраной, расположенной с зазором относительно корпуса, между полостями в корпусе герметично закреплен полупроводниковый тензорезистивный чувствительный элемент, отличающийся тем, что в него введен второй полупроводниковый тензорезистивный чувствительный элемент, установленный между полостями встречно первому полупроводниковому тензорезистивному чувствительному элементу относительно измеряемых давлений.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009102931/22U RU84111U1 (ru) | 2009-01-29 | 2009-01-29 | Датчик разности давлений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009102931/22U RU84111U1 (ru) | 2009-01-29 | 2009-01-29 | Датчик разности давлений |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU84111U1 true RU84111U1 (ru) | 2009-06-27 |
Family
ID=41027637
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2009102931/22U RU84111U1 (ru) | 2009-01-29 | 2009-01-29 | Датчик разности давлений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU84111U1 (ru) |
-
2009
- 2009-01-29 RU RU2009102931/22U patent/RU84111U1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2804458C (en) | Differential pressure transmitter with complimentary dual absolute pressure sensors | |
US7401522B2 (en) | Pressure sensor using compressible sensor body | |
EP2824438A1 (en) | Pressure sensor | |
CN203163913U (zh) | 具有温度补偿的膜片型光纤光栅压力传感器 | |
US7347098B2 (en) | Apparatus for providing an output proportional to pressure divided by temperature (P/T) | |
US20180172534A1 (en) | Pressure detecting device | |
RU2395793C1 (ru) | Датчик разности давлений | |
RU84111U1 (ru) | Датчик разности давлений | |
CN201628542U (zh) | 高度测量器 | |
CN203534742U (zh) | 一体化抽油机井光杆轴向力及扭矩传感器 | |
CN1105907C (zh) | 一种压力传感器 | |
CN112985654B (zh) | 压力传感器及其装配方法 | |
RU172269U1 (ru) | Датчик дифференциального давления | |
RU2386115C1 (ru) | Датчик избыточного давления | |
US2984109A (en) | Device for the protection of pressure measuring elements | |
RU2477846C1 (ru) | Датчик абсолютного давления | |
RU82325U1 (ru) | Датчик избыточного давления | |
RU2325623C1 (ru) | Датчик разности давлений | |
CN220871978U (zh) | 压力倍减装置 | |
RU2559299C2 (ru) | Датчик дифференциального давления | |
KR20080078314A (ko) | 평면형 정전용량 센서를 이용한 복합형 압력/온도 전송기 | |
CN103968995A (zh) | 基于弹性测压的流体压力传感器 | |
CN203534732U (zh) | 应变远传压力表 | |
CN105277308A (zh) | 一种测量密闭空间内的土压传感装置 | |
CN204085771U (zh) | 压力变送器 |