RU71763U1

RU71763U1 - TEMPERATURE LIQUID CONTROL SYSTEM CONTAINING A TEMPERATURE CONTROL UNIT

Info

Publication number: RU71763U1
Application number: RU2007129036/22U
Authority: RU
Inventors: Чуан-Чанг ФЕНГ; Пен-Хсиех ХСУ; Хунг-Лианг ХСИЕХ; Мао-Лин ЛИУ; Чиа-Юан ЧЕНГ; Шенг-Хаи ЛИН
Original assignee: Сциентеч Корпоратион
Priority date: 2007-07-24
Filing date: 2007-07-24
Publication date: 2008-03-20

Abstract

Ванна с реакционной жидкостью, объединенная с установкой для регулирования температуры, содержит ванну с реакционной жидкостью, измеритель температуры, установку для регулирования температуры, первый выпускной трубопровод и первый впускной трубопровод, которые соединяют между собой ванну и установку для регулирования, чтобы регулировать температуру реакционной жидкости в ванне; реакционной жидкость поступает через первый выпускной трубопровод в установку для регулирования температуры, в которой осуществляется повышение или понижение температуры жидкости; как только температура жидкости достигнет заданного значения, жидкость течет обратно в ванну через первый впускной трубопровод, чтобы осуществить следующий технологический процесс.The reaction liquid bath combined with the temperature control apparatus comprises a reaction liquid bath, a temperature meter, a temperature control apparatus, a first exhaust pipe and a first inlet pipe that interconnect the bath and a control device to control the temperature of the reaction liquid in a bath; the reaction liquid enters through the first exhaust pipe into a temperature control unit at which the temperature of the liquid is raised or lowered; as soon as the temperature of the liquid reaches the set value, the liquid flows back into the bath through the first inlet pipe to carry out the next process.

Description

Предпосылки создания полезной моделиPrerequisites for creating a utility model

(а) Область техники(a) Technical Field

Данная полезная модель относится к установке для регулирования температуры, а конкретнее - к подобной установке для системы управления температурой жидкости.This utility model relates to a device for controlling temperature, and more specifically, to a similar installation for a temperature control system for a liquid.

(в) Описание уровня техники(c) Description of the Related Art

При изготовлении полупроводникового прибора полупроводниковые устройства, включая интегральные схемы (ИС), обычно изготавливаются на полупроводниковых пластинах. Производственный процесс включает шаг промывания и травления полупроводниковой пластины, и подобный шаг обычно осуществляется в реакционной ванне, содержащей химически активную жидкость для промывания или травления полупроводниковой пластины или другого устройства. Шаг промывания или травления должен выполняться при заданной температуре, чтобы осуществить химическую реакцию. Следовательно, в известных установках, необходимо иметь нагревательную ванну и охлаждающую ванну. Когда полупроводниковую пластину необходимо нагреть, ее перемещают в нагревательную ванну, а когда требуется снизить температуру, полупроводниковую пластину необходимо переместить в охлаждающую ванну. Однако, перемещение полупроводниковой пластины между нагревательной и охлаждающими ваннами не является оптимальным производственным процессом, поскольку во время перемещения полупроводниковая пластина может быть загрязнена или повреждена.In the manufacture of a semiconductor device, semiconductor devices, including integrated circuits (ICs), are usually made on semiconductor wafers. The manufacturing process includes a step of washing and etching the semiconductor wafer, and a similar step is usually carried out in a reaction bath containing a reactive liquid for washing or etching the semiconductor wafer or other device. A washing or etching step must be performed at a predetermined temperature in order to carry out a chemical reaction. Therefore, in known installations, it is necessary to have a heating bath and a cooling bath. When the semiconductor wafer needs to be heated, it is transferred to the heating bath, and when it is necessary to lower the temperature, the semiconductor wafer must be moved to the cooling bath. However, moving the semiconductor wafer between the heating and cooling baths is not an optimal manufacturing process, since the semiconductor wafer may be dirty or damaged during the movement.

Краткое изложение сущности полезной моделиSummary of utility model essence

Основной целью данной полезной модели является создание системы управления температурой жидкости и установки для регулирования температуры, чтобы решить проблему челночного перемещения между нагревающей и охлаждающей ваннами, которые присутствуют в известных технических решениях.The main objective of this utility model is the creation of a liquid temperature control system and a temperature control unit to solve the problem of shuttle movement between the heating and cooling baths, which are present in known technical solutions.

Для достижения этой цели данная полезная модель, содержащая, главным образом, ванну с реакционной жидкостью, объединенную с установкой для регулирования температуры, включает ванну с реакционной жидкостью, измеритель температуры, первый выпускной трубопровод и первый впускной трубопровод; при этом как первый выпускной трубопровод так и первый впускной трубопровод соединяют между собой To achieve this, this utility model, comprising mainly a reaction liquid bath combined with a temperature control apparatus, includes a reaction liquid bath, a temperature meter, a first exhaust pipe and a first inlet pipe; while both the first exhaust pipe and the first inlet pipe are interconnected

ванну с реакционной жидкостью и установку для регулирования температуры с целью регулировать температуру реакционной жидкости в ванне с реакционной жидкостью. Например, реакционная жидкость поступает через первый выпускной трубопровод в установку для регулирования температуры, в которой осуществляется повышение или понижение температуры реакционной жидкости; как только реакционная жидкость достигнет заданной температуры, она потечет через первый впускной трубопровод обратно в ванну с реакционной жидкостью для следующего технологического процесса.a bath with a reaction liquid; and a temperature control apparatus for controlling the temperature of the reaction liquid in the bath with the reaction liquid. For example, the reaction liquid enters through a first exhaust pipe into a temperature control unit at which the temperature of the reaction liquid is raised or lowered; as soon as the reaction liquid reaches a predetermined temperature, it will flow through the first inlet pipe back into the bath with the reaction liquid for the next process.

Следовательно, целью данной полезной модели является создание таких системы управления температурой жидкости и установки для регулирования температуры, которые бы позволили повышать, либо понижать температуру реакционной жидкости, участвующей в операции промывания или травления полупроводниковой пластины, в одной и той же установке, и добиваться установления заданной температуры.Therefore, the purpose of this utility model is to create such a liquid temperature control system and a temperature control unit that would increase or decrease the temperature of the reaction liquid participating in the washing or etching of the semiconductor wafer in the same installation and achieve the desired temperature.

Краткое описание чертежейBrief Description of the Drawings

Фиг.1 - схематическое изображение, показывающее систему управления температурой жидкости и установку для регулирования температуры в ней, согласно предпочтительному варианту выполнения данной полезной модели.FIG. 1 is a schematic diagram showing a temperature control system for a liquid and an apparatus for controlling a temperature therein, according to a preferred embodiment of the present utility model.

Фиг.2 - перспективный вид предпочтительного варианта установки для регулирования температуры в предпочтительном варианте выполнения данной полезной модели.Figure 2 is a perspective view of a preferred embodiment of a temperature control apparatus in a preferred embodiment of this utility model.

Фиг.3 - покомпонентное изображение конструкции установки для регулирования температуры в предпочтительном варианте выполнения данной полезной модели.Figure 3 - exploded view of the design of the installation for temperature control in a preferred embodiment of this utility model.

Фиг.4 - вид в разрезе, показывающий установку для регулирования температуры в предпочтительном варианте выполнения данной полезной модели.4 is a sectional view showing a temperature control apparatus in a preferred embodiment of the present utility model.

Подробное описание предпочтительного варианта выполненияDetailed Description of a Preferred Embodiment

Из Фиг.1 видно, что система управления температурой жидкости, согласно данной полезной модели, включает ванну 10 с реакционной жидкостью, измеритель 20 температуры, установку 30 для регулирования температуры, первый выпускной трубопровод 40, первый впускной трубопровод 50. При этом, как первый выпускной трубопровод 40, так и первый впускной трубопровод 50 соединяют между собой ванну 10 с реакционной жидкостью и установку 30 для регулирования температуры; в ванне 10 с реакционной жидкостью имеется измеритель 20 температуры, который непрерывно Figure 1 shows that the liquid temperature control system according to this utility model includes a reaction liquid bath 10, a temperature meter 20, a temperature control unit 30, a first exhaust pipe 40, a first intake pipe 50. Moreover, as the first exhaust pipe conduit 40 and a first inlet conduit 50 connect the bath 10 to the reaction liquid and the temperature control unit 30; in the bath 10 with the reaction liquid there is a temperature meter 20, which is continuously

измеряет температуру реакционной жидкости в ванне с реакционной жидкостью; установка 30 для регулирования температуры регулирует температуру реакционной жидкости в ванне с реакционной жидкостью. Реакционная жидкость поступает через первый выпускной трубопровод 40 в установку 30 для регулирования температуры, в которой температура реакционной жидкости либо повышается, либо понижается, в зависимости от требований. Как только температура реакционной жидкости достигнет заданного значения, реакционная жидкость течет обратно в ванну 10 с реакционной жидкостью через первый впускной трубопровод 50, чтобы перейти к следующему технологическому процессу.measures the temperature of the reaction liquid in the bath with the reaction liquid; a temperature control unit 30 controls the temperature of the reaction liquid in the bath of the reaction liquid. The reaction liquid enters through a first outlet line 40 to a temperature control unit 30 at which the temperature of the reaction liquid either rises or falls, depending on requirements. Once the temperature of the reaction liquid reaches a predetermined value, the reaction liquid flows back into the bath 10 with the reaction liquid through the first inlet pipe 50 to proceed to the next process.

Предпочтительный вариант выполнения содержит, кроме того, второй выпускной трубопровод 41 и второй впускной трубопровод 51, также соединяющие между собой ванну 10 с реакционной жидкостью и установку 30 для регулирования температуры, чтобы создать больше трубопроводов для протекания реакционной жидкости и, тем самым увеличить ее расход между ванной 10 с реакционной жидкостью и установкой 30 для регулирования температуры для скорейшего достижения заданной рабочей температуры.The preferred embodiment further comprises a second outlet conduit 41 and a second inlet conduit 51, also connecting the bath 10 to the reaction liquid and the temperature control unit 30 to create more pipelines for the reaction liquid to flow and thereby increase its flow rate between a bath 10 with a reaction liquid and an apparatus 30 for controlling the temperature in order to achieve the set operating temperature as soon as possible.

Как показано на Фиг.2 и 3, предпочтительный вариант выполнения установки 30 для регулирования температуры содержит цилиндр 31, крышку 32, нагревательное устройство 33, охлаждающее устройство 34, блок 35 управления, первую трубу 37 для отвода реакционной жидкости и вторую трубу 36 для отвода реакционной жидкости. Также, как показано на Фиг.4, в верхней части цилиндра 31 имеется отверстие 317; крышка 32 закрывает отверстие 317; и первый ввод 311 для реакционной жидкости, первый выпуск 312 для реакционной жидкости, ввод 313 для холодной воды, выпуск 314 для холодной воды, второй ввод 315 для реакционной жидкости и второй выпуск 316 для реакционной жидкости проходят сквозь боковую стенку цилиндра 31. При этом первый ввод 311 для реакционной жидкости соединен с первым выпускным трубопроводом 40; второй ввод 315 для реакционной жидкости - со вторым выпускным трубопроводом 41; первый выпуск 312 для реакционной жидкости - с первым впускным трубопроводом 50, а второй выпуск 316 для реакционной жидкости - со вторым впускным трубопроводом 51. Нагревательное устройство 33 содержит несколько электротермических трубок 331, и один конец нагревательного устройства 33 соединен с крышкой 32, а второй его конец проходит внутрь цилиндра 31. Охлаждающее устройство 34 подает охлаждающую воду и может быть, например, устройством, подающим холодную воду, расположенным вне As shown in FIGS. 2 and 3, a preferred embodiment of the temperature control apparatus 30 comprises a cylinder 31, a cover 32, a heating device 33, a cooling device 34, a control unit 35, a first pipe 37 for draining the reaction liquid and a second pipe 36 for draining the reaction liquids. Also, as shown in FIG. 4, there is an opening 317 at the top of the cylinder 31; lid 32 closes hole 317; and the first inlet 311 for the reaction liquid, the first outlet 312 for the reaction liquid, the inlet 313 for cold water, the outlet 314 for cold water, the second inlet 315 for the reaction liquid and the second outlet 316 for the reaction liquid pass through the side wall of the cylinder 31. The first the inlet for the reaction liquid 311 is connected to the first exhaust pipe 40; a second inlet 315 for the reaction liquid with a second outlet pipe 41; the first reaction liquid outlet 312 with a first inlet conduit 50, and the second reaction liquid outlet 316 with a second inlet conduit 51. The heating device 33 comprises several electrothermal tubes 331, and one end of the heating device 33 is connected to the cap 32, and the second the end extends into the cylinder 31. The cooling device 34 supplies cooling water, and may be, for example, a cold water supply device located outside

цилиндра 31 и соединенным, соответственно, с вводом 313 для холодной воды и выпуском 314 для холодной воды. Блок управления 35, расположенный на крышке 32 соединен, соответственно, с нагревательным устройством 33 и охлаждающим устройством 34 и обеспечивает состояние включено или выключено как для нагревательного устройства 33, так и для охлаждающего устройства 34, которые находятся под управлением блока управления 35. Как первая труба 37 для отвода реакционной жидкости, так и вторая труба 36 для отвода реакционной жидкости, выполнены в форме спирального трубопровода; и оба спиральных трубопровода установлены чередующимся образом между внутренней стенкой цилиндра 31 и нагревательным устройством 33. Оба конца первой трубы 37 для отвода реакционной жидкости соединены, соответственно, с первым вводом 311 для реакционной жидкости и первым выпуском 312 для реакционной жидкости; а оба конца второй трубы 36 для отвода реакционной жидкости соединены, соответственно, со вторым впуском 315 для реакционной жидкости и вторым выпуском 316 для реакционной жидкости.cylinder 31 and connected, respectively, with the inlet 313 for cold water and the outlet 314 for cold water. The control unit 35 located on the lid 32 is connected, respectively, with the heating device 33 and the cooling device 34 and provides an on or off state for both the heating device 33 and the cooling device 34, which are controlled by the control unit 35. Like the first pipe 37 for draining the reaction liquid, and the second pipe 36 for draining the reaction liquid is made in the form of a spiral pipe; and both spiral pipelines are mounted alternately between the inner wall of the cylinder 31 and the heating device 33. Both ends of the first reaction liquid outlet pipe 37 are connected respectively to a first reaction liquid inlet 311 and a first reaction liquid outlet 312; and both ends of the second reaction liquid outlet pipe 36 are connected, respectively, to the second reaction liquid inlet 315 and the second reaction liquid outlet 316.

Кроме того, установка 30 для регулирования температуры содержит изолирующий элемент 38 и установочный элемент 39. На изолирующем элементе 38 имеется множество сквозных отверстий 381, и изолирующий элемент 38 расположен таким образом, что он изолирует первую трубу 37 для отвода реакционной жидкости, вторую трубу 36 для отвода реакционной жидкости и электротермическую трубку 331 нагревательного устройства 33, чтобы не допустить непосредственного соприкосновения первой трубы 37 для отвода реакционной жидкости и второй трубы 36 для отвода реакционной жидкости с нагревательным элементом 33. Установочный элемент 39 соединен с наружной стенкой цилиндра 31 и содержит два расположенных напротив друг друга установочных полукольца 391, 392. Оба установочных полукольца 391, 392 обеспечивают крепление установки для регулирования температуры в нужном положении к заданному объекту.In addition, the temperature control apparatus 30 includes an insulating element 38 and a mounting element 39. On the insulating element 38 there are many through holes 381, and the insulating element 38 is arranged so that it insulates the first pipe 37 for draining the reaction liquid, the second pipe 36 for the removal of the reaction liquid and the electrothermal tube 331 of the heating device 33 so as to prevent direct contact of the first pipe 37 for removal of the reaction liquid and the second pipe 36 for removal of the reaction liquids with a heating element 33. The installation element 39 is connected to the outer wall of the cylinder 31 and contains two opposed to each other installation half rings 391, 392. Both installation half rings 391, 392 provide mounting of the unit for controlling the temperature in the desired position to a given object.

В соответствии с выше сказанным, установка 30 для регулирования температуры в системе управления температурой жидкости, согласно данной полезной модели, регулирует температуру реакционной жидкости в ванне 10 с реакционной жидкостью. Когда необходимо понизить температуру реакционной жидкости, блок управления 35 включает охлаждающее устройство 34 и выключает в то же время нагревательное устройство 33, и охлаждающее устройство 34 нагнетает холодную воду, поступающую из ввода 313 для холодной воды, в цилиндр, чтобы осуществить теплообмен с реакционной жидкостью, находящейся в первой трубе 37 для отбора реакционной жидкости и во In accordance with the foregoing, the apparatus 30 for controlling the temperature in the liquid temperature control system, according to this utility model, controls the temperature of the reaction liquid in the bath 10 with the reaction liquid. When it is necessary to lower the temperature of the reaction liquid, the control unit 35 turns on the cooling device 34 and turns off the heating device 33 at the same time, and the cooling device 34 pumps cold water coming from the cold water inlet 313 into the cylinder to exchange heat with the reaction liquid, located in the first pipe 37 for the selection of the reaction liquid and in

второй трубе 36 для отбора реакционной жидкости. При этом тепловая энергия реакционной жидкости поглощается во время теплообмена, чем достигается цель снижения ее температуры; в то же время вода, имеющая после теплообмена более высокую температуру, протекает через выпуск 314 для холодной воды обратно в охлаждающее устройство 34, чтобы охладиться до заданной температуры для холодной воды. Цикл повторяется до тех пор, пока температура реакционной жидкости в ванне 10 с реакционной жидкостью не достигнет заданного значения. Измеритель 20 температуры, обнаружив, что температура реакционной жидкости достигла заданного значения, немедленно дает команду блоку 35 управления остановить работу охлаждающего устройства 34.a second pipe 36 for sampling the reaction liquid. In this case, the thermal energy of the reaction liquid is absorbed during heat transfer, thereby achieving the goal of lowering its temperature; at the same time, water having a higher temperature after heat exchange flows through the cold water outlet 314 back to the cooling device 34 to cool to a predetermined temperature for cold water. The cycle is repeated until the temperature of the reaction liquid in the bath 10 with the reaction liquid reaches a predetermined value. The temperature meter 20, having detected that the temperature of the reaction liquid has reached a predetermined value, immediately instructs the control unit 35 to stop the operation of the cooling device 34.

Напротив, если необходимо повысить температуру реакционной жидкости, блок 35 управления активизирует нагревательное устройство 33 и подтверждает отключение охлаждающего устройства 34. Цилиндр 31 остается полностью наполненным водой, и термоэлектрическая трубка 331 нагревательного устройства 33 начинает нагревать воду, горячая вода поглощает тепловую энергию, и диффундирует наружу через множество сквозных отверстий 381 изолирующего элемента 38 и осуществляет теплообмен с реакционной жидкостью в первой трубе 37 для отбора реакционной жидкости и во второй трубе 36 для отбора реакционной жидкости, чтобы повысить температуру реакционной жидкости. После нескольких циклов теплообмена температура реакционной жидкости в ванне 10 с реакционной жидкостью достигает заданного значения. Снова, как только измеритель температуры обнаружит, что температура реакционной жидкости достигла заданного значения, он немедленно даст команду блоку 35 управления остановить работу нагревательного устройства 33. Конструкция установки 30 для регулирования температуры осуществляет цель управлять температурой реакционной жидкости в ванне 10 с реакционной жидкостью.On the contrary, if it is necessary to increase the temperature of the reaction liquid, the control unit 35 activates the heating device 33 and confirms that the cooling device 34 is turned off. The cylinder 31 remains completely filled with water, and the thermoelectric tube 331 of the heating device 33 starts to heat the water, hot water absorbs thermal energy, and diffuses outwardly through a plurality of through holes 381 of the insulating element 38 and exchanges heat with the reaction liquid in the first pipe 37 for collecting the reaction liquid and a second tube 36 for the selection of the reaction fluid to increase the temperature of the reaction liquid. After several cycles of heat transfer, the temperature of the reaction liquid in the bath 10 with the reaction liquid reaches a predetermined value. Again, as soon as the temperature meter detects that the temperature of the reaction liquid has reached a predetermined value, it will immediately command the control unit 35 to stop the operation of the heating device 33. The design of the temperature control unit 30 is intended to control the temperature of the reaction liquid in the bath 10 with the reaction liquid.

Кроме того, предпочтительный вариант выполнения данной полезной модели может содержать два комплекта труб для отбора реакционной жидкости, чтобы ускорить теплообмен без ограничения количества труб для реакционной жидкости. Использование только одного комплекта труб для реакционной жидкости достаточно для достижения необходимого теплообмена.In addition, a preferred embodiment of this utility model may comprise two sets of tubes for collecting a reaction liquid in order to accelerate heat transfer without limiting the number of tubes for the reaction liquid. The use of only one set of tubes for the reaction liquid is sufficient to achieve the necessary heat transfer.

В данной полезной модели предлагается система управления температурой жидкости, содержащая установку для регулирования температуры, и в соответствии с этим была должным образом подана заявка на патент. Однако, необходимо отметить, что This utility model proposes a fluid temperature control system comprising an apparatus for controlling temperature, and in accordance with this, a patent application has been duly filed. However, it should be noted that

предпочтительные варианты выполнения, раскрытые в данном описании и сопровождающих чертежах, не ограничивают данную полезную модель и что любая конструкция, установка или характеристики совпадающие или подобные тем, которые раскрыты в данной полезной модели, будут считаться входящими в объем целей и патентных притязаний данной полезной модели.the preferred embodiments disclosed in this description and the accompanying drawings do not limit this utility model and that any design, installation, or characteristics matching or similar to those disclosed in this utility model will be considered to be within the scope of the purposes and patent claims of this utility model.

Claims

1. A temperature control apparatus comprising a cylinder with an opening in the upper part, a first inlet for the reaction liquid, a first outlet for the reaction liquid, an inlet for cold water and an outlet for cold water passing through the side wall of the cylinder, a lid covering the opening, a heating device connected to the cover and extending inside the cylinder, a cooling device located outside the cylinder and connected respectively to the inlet for cold water and the outlet for cold water, the control unit is located on the cover and connected respectively to a heating device and a cooling device, a first pipe for draining the reaction liquid, which is located inside the cylinder between the heating element and the inner wall of the cylinder and at which both ends are connected respectively to the first inlet for the reaction liquid and the first outlet for the reaction liquid .

2. The installation according to claim 1, in which the installation for temperature control contains, in addition, an insulating element located between the first pipe for draining the reaction liquid and the heating device.

3. The installation according to claim 2, in which the insulating element has many through holes.

4. The installation according to claim 1, in which the heating device contains several electrothermal tubes.

5. Installation according to claim 1, in which in the side wall of the cylinder there is a second inlet for the reaction liquid and a second outlet for the reaction liquid, wherein both the first inlet for the reaction liquid and the second inlet for the reaction liquid are located on both sides at the bottom the side wall of the cylinder, and the first outlet for the reaction liquid and the second outlet for the reaction liquid are located respectively on both sides of the upper part of the side wall of the cylinder.

6. The apparatus of claim 5, wherein the temperature control apparatus further comprises a second pipe for discharging the reaction liquid located inside the cylinder between the heating device and the inner wall of the cylinder, both ends of the second pipe for discharging the reaction liquid being connected respectively to the second an inlet for the reaction liquid; and a second outlet for the reaction liquid.

7. The installation according to claim 6, in which both the first pipe for discharging the reaction liquid and the second pipe for discharging the reaction liquid are made in the form of a spiral pipe, wherein the first pipe for discharging the reaction liquid and the second pipe for discharging the reaction liquid are installed in an alternating manner relative to each other.

8. The installation according to claim 1, in which the installation for temperature control contains, in addition, a mounting element located on the outer wall of the cylinder.

9. The installation of claim 8, in which the installation element comprises two opposite installation half rings, connected to the outer wall of the cylinder.

10. The installation according to claim 1, in which the cooling device is a device for supplying cold water to provide cold water for cooling.

11. A liquid temperature control system comprising a bath with a reaction liquid, a temperature meter located in the bath with the reaction liquid, a temperature control apparatus according to claim 1, a first exhaust pipe connecting the bath to the reaction liquid and a first input for the reaction liquid, and a first inlet conduit connecting the bath to the reaction liquid; and a first outlet for the reaction liquid.

12. The control system according to claim 11, in which the installation for temperature control contains, in addition, an insulating element located between the first pipe for draining the reaction liquid and the heating device.

13. The control system according to item 12, in which the insulating element of the installation for temperature control has many through holes.

14. The control system according to claim 11, in which the heating device of the temperature control installation comprises several electrothermal tubes.

15. The control system according to claim 11, in which the liquid temperature control system further comprises a second exhaust pipe and a second inlet pipe, in the temperature control unit there is a second input for the reaction liquid and a second outlet for the reaction liquid located in the side wall a cylinder of the temperature control apparatus, wherein the second exhaust pipe is connected to the first inlet of the reaction liquid, the second intake pipe is connected to the second outlet of the reaction liquid, and both the first inlet of the reaction liquid and the second inlet of the reaction liquid are located respectively on both sides of the lower side of the cylinder, and the first outlet of the reaction liquid and the second outlet of the reaction liquid are located on both sides of the upper side of the cylinder.

16. The control system of Claim 15, wherein the temperature control apparatus further comprises a second pipe for discharging the reaction liquid located inside the cylinder between the heating device and the inner wall of the cylinder, both ends of the second pipe for discharging the reaction liquid being connected respectively to the second an inlet for the reaction liquid; and a second outlet for the reaction liquid.

17. The control system according to clause 16, in which both the first pipe for discharging the reaction liquid and the second pipe for discharging the reaction liquid of the temperature control apparatus are made in the form of a spiral pipeline, wherein the first pipe for discharging the reaction liquid and the second pipe for discharging the reaction liquid is mounted alternately relative to each other.

18. The control system according to claim 11, in which the installation for regulating the temperature contains, in addition, the installation element located on the outer wall of the cylinder.

19. The control system of claim 18, wherein the mounting element comprises two opposing mounting half rings connected to the outer wall of the cylinder.

20. The control system according to claim 11, in which the cooling device of the temperature control installation includes a device for supplying cold water to provide cold water for cooling.