RU2833103C1 - Пьезоэлектрический актюатор - Google Patents

Пьезоэлектрический актюатор Download PDF

Info

Publication number
RU2833103C1
RU2833103C1 RU2024100389A RU2024100389A RU2833103C1 RU 2833103 C1 RU2833103 C1 RU 2833103C1 RU 2024100389 A RU2024100389 A RU 2024100389A RU 2024100389 A RU2024100389 A RU 2024100389A RU 2833103 C1 RU2833103 C1 RU 2833103C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric
piezoelectric actuator
layer
electrodes
electrically insulating
Prior art date
Application number
RU2024100389A
Other languages
English (en)
Inventor
Андрей Анатольевич Паньков
Original Assignee
федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет"
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" filed Critical федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет"
Application granted granted Critical
Publication of RU2833103C1 publication Critical patent/RU2833103C1/ru

Links

Abstract

Изобретение относится к области электротехники, в частности к пьезоэлектрическим актюаторам сложных контролируемых форм деформирования, и предназначено для использования в микромеханике, управляемой оптике, сенсорной и медицинской технике, акустике, в частности, при изготовлении пьезоэлектрических акустических элементов мембранного типа. Технический результат – повышение эффективности пьезоэлектрического актюатора - расширение спектра возможных управляемых деформационных форм. Пьезоэлектрический актюатор включает в себя пьезоэлектрический слой, токопроводящую линию в виде спиралей взаимодействующих электродов, расположенных на одной или обеих сторонах пьезоэлектрического слоя. Токопроводящая линия выполнена в виде одной или двух многозаходных спиралей взаимодействующих электродов, расположенных соответственно на одной или обеих сторонах пьезоэлектрического слоя. 6 з.п. ф-лы, 5 ил.

Description

Изобретение относится к устройствам на основе пьезоматериалов, а именно к пьезоэлектрическим актюаторам сложных контролируемых форм деформирования и предназначено для использования в микромеханике, управляемой оптике, сенсорной и медицинской технике, акустике, в частности, при изготовлении пьезоэлектрических акустических элементов мембранного типа.
Наиболее близким устройством того же назначения к заявленному изобретению по совокупности признаков является пьезоэлектрический актюатор, включающий в себя пьезоэлектрический слой, токопроводящую линию в виде одной или двух противолежащих друг другу двухзаходных (двойных) спиралей взаимодействующих электродов, расположенных соответственно на одной или обеих сторонах пьезоэлектрического слоя (Патент RU №2803015 от 05.09.2023). Данное устройство принято за прототип.
Недостатком известного устройства, принятого за прототип, является небольшой спектр контролируемых форм деформирования, ограниченный лишь осесимметричными деформациями пьезоэлектрического актюатора.
Признаки прототипа, совпадающие с существенными признаками заявляемого изобретения, - пьезоэлектрический слой, токопроводящая линия в виде спиралей взаимодействующих электродов, расположенных на одной или обеих сторонах пьезоэлектрического слоя.
Задачей, на решение которой направлено изобретение, является создание пьезоэлектрического актюатора с повышенной эффективностью - возможностью создания сложных контролируемых форм деформирования.
Поставленная задача была решена за счет того, что в известном пьезоэлектрическом актюаторе, включающем в себя пьезоэлектрический слой, токопроводящую линию в виде спиралей взаимодействующих электродов, расположенных на одной или обеих сторонах пьезоэлектрического слоя, согласно изобретению токопроводящая линия выполнена в виде одной или двух многозаходных спиралей взаимодействующих электродов, расположенных соответственно на одной или обеих сторонах пьезоэлектрического слоя.
Пьезоэлектрический слой и токопроводящая линия могут быть выполнены пространственной криволинейной формы, в частности: цилиндрической, конической, параболоидной, сферической, тороидальной, эллиптической или плоской.
Эквипотенциальные электроды многозаходных спиралей, расположенных противоположно друг другу на обеих сторонах пьезоэлектрического слоя, могут быть соединены между собой с образованием ленточных спиральных электродов с шириной пьезоэлектрического слоя.
Пьезоэлектрический актюатор может являться частью составного пьезоэлектрического актюатора, включающего в себя электрически не связанные между собой два или более пьезоэлектрических актюатора, в частности, в виде плоских концентрических пьезоэлектрических актюаторов эллиптической кольцевой формы или в виде концентрических полых цилиндрических или эллипсоидальных пьезоэлектрических актюаторов, соединенных своими смежными боковыми поверхностями посредством электроизолирующей клеевой прослойки, направления закручивания спиралей токопроводящих линий пьезоэлектрических актюаторов одинаковое или взаимообратное.
Поляризация пьезоэлектрического слоя может быть осуществлена посредством приложения поляризующих электрических напряжений к электродам токопроводящей линии.
Пьезоэлектрический актюатор может включать в себя электроизоляционную подложку, в частности, подложку в виде тонкой пластины, на боковой поверхности которой установлен посредством электроизоляционной клеевой прослойки плоский пьезоэлектрический актюатор или подложку в виде тела вращения, на боковой поверхности которого установлен посредством электроизоляционной клеевой прослойки пьезоэлектрический актюатор соответствующей формы.
Пьезоэлектрический актюатор может включать в себя внешнее электроизоляционное защитное покрытие.
Признаки заявляемого технического решения, отличительные от прототипа, - токопроводящая линия выполнена в виде одной или двух многозаходных спиралей взаимодействующих электродов, расположенных соответственно на одной или обеих сторонах пьезоэлектрического слоя; пьезоэлектрический слой и токопроводящая линия выполнены пространственной криволинейной формы, в частности: цилиндрической, конической, параболоидной, сферической, тороидальной, эллиптической или плоской; эквипотенциальные электроды многозаходных спиралей, расположенных противоположно друг другу на обеих сторонах пьезоэлектрического слоя, соединены между собой с образованием ленточных спиральных электродов с шириной пьезоэлектрического слоя; пьезоэлектрический актюатор является частью составного пьезоэлектрического актюатора, включающего в себя электрически не связанные между собой два или более пьезоэлектрических актюатора, в частности, в виде плоских концентрических пьезоэлектрических актюаторов эллиптической кольцевой формы или в виде концентрических полых цилиндрических или эллипсоидальных пьезоэлектрических актюаторов, соединенных своими смежными боковыми поверхностями посредством электроизолирующей клеевой прослойки, направления закручивания спиралей токопроводящих линий пьезоэлектрических актюаторов одинаковое или взаимообратное; поляризация пьезоэлектрического слоя осуществлена посредством приложения поляризующих электрических напряжений к электродам токопроводящей линии; пьезоэлектрический актюатор включает в себя электроизоляционную подложку, в частности, подложку в виде тонкой пластины, на боковой поверхности которой установлен посредством электроизоляционной клеевой прослойки плоский пьезоэлектрический актюатор или подложку в виде тела вращения, на боковой поверхности которого установлен посредством электроизоляционной клеевой прослойки пьезоэлектрический актюатор соответствующей формы; пьезоэлектрический актюатор включает в себя внешнее электроизоляционное защитное покрытие.
Отличительные признаки, в совокупности с известными, позволяют увеличить эффективность пьезоэлектрического актюатора.
Заявителю неизвестно использование в науке и технике отличительных признаков заявленного пьезоэлектрического актюатора с получением указанного технического результата.
Предлагаемый пьезоэлектрический актюатор иллюстрируется чертежами, представленными на фиг. 1- фиг. 5.
На фиг. 1 изображен эллипсоидальный пьезоэлектрический актюатор с трехзаходной спиралью поверхностных или встроенных (в пьезоэлектрический элемент - слой в виде эллипсоидальной оболочки) электродов.
На фиг. 2, фиг. 3 изображены фрагменты поперечного сечения пьезоэлектрического элемента в виде слоя с протяженными электродными ленточными покрытиями для случая двухзаходной (фиг. 2) и трехзаходной (фиг. 3) спирали токопроводящей линии на его боковых поверхностях и криволинейные направления поляризаций слоя вдоль силовых линий электрического поля.
На фиг. 4 изображен мембранный пьезоэлектрический актюатор с двухзаходной спиралью поверхностных или встроенных (в пьезоэлектрический слой) электродов.
На фиг. 5 изображен мембранный пьезоэлектрический актюатор с трехзаходной спиралью поверхностных или встроенных (в пьезоэлектрический слой) электродов.
Пьезоэлектрический актюатор включает пьезоэлектрический слой 1 и токопроводящую линию взаимодействующих электродов 2,3, расположенных на одной или обеих сторонах пьезоэлектрического слоя 1, при этом токопроводящая линия выполнена в виде одной, например, «верхней» 2 или двух: «верхней» 2 и «нижней» 3 многозаходных (например, двух- или трехзаходной) спиралей взаимодействующих электродов (со значениями электрических потенциалов ϕ1, ϕ2, или ϕ1, ϕ2, ϕ3 соответственно), расположенных на одной или обеих сторонах пьезоэлектрического слоя 1.
Пьезоэлектрический слой 1 и токопроводящая линия взаимодействующих электродов 2,3 могут быть выполнены пространственной криволинейной формы, в частности: цилиндрической, конической, параболоидной, сферической, тороидальной, эллиптической или плоской.
Эквипотенциальные электроды 2,3 многозаходных спиралей, расположенных противоположно друг другу на обеих («верхней» и «нижней») сторонах пьезоэлектрического слоя 1, могут быть соединены между собой с образованием ленточных спиральных электродов с шириной пьезоэлектрического слоя 1.
Пьезоэлектрический актюатор может являться частью составного пьезоэлектрического актюатора, включающего в себя электрически не связанные между собой два или более пьезоэлектрических актюаторов, в частности, в виде плоских концентрических пьезоэлектрических актюаторов эллиптической кольцевой формы или в виде концентрических полых цилиндрических или эллипсоидальных (фиг. 1) пьезоэлектрических актюаторов, соединенных своими смежными боковыми поверхностями посредством электроизолирующей клеевой прослойки, направления закручивания спиралей токопроводящих линий пьезоэлектрических актюаторов одинаковое или взаимообратное.
Поляризация пьезоэлектрического слоя 1 осуществлена посредством приложения поляризующих электрических напряжений к электродам 2,3 токопроводящей линии.
Пьезоэлектрический актюатор может включать в себя электроизоляционную подложку, в частности, подложку в виде тонкой пластины, на боковой поверхности которой установлен посредством электроизоляционной клеевой прослойки плоский пьезоэлектрический актюатор или подложку в виде тела вращения, на боковой поверхности которого установлен посредством электроизоляционной клеевой прослойки пьезоэлектрический актюатор соответствующей формы (например, эллипсоидальной формы, см. фиг. 1).
Пьезоэлектрический актюатор может включать в себя внешнее электроизоляционное защитное покрытие (на фиг. 1 - фиг. 3 не показано) для электроизоляции и защиты актюатора от механических повреждений.
Устройство работает следующим образом.
Пьезоэлектрический актюатор, в частности, оболочечной эллипсоидальной формы (см. фиг. 1) устанавливается (приклеивается) на одной (например, внешней) или обеих (внешней и внутренней) поверхностях полой упругой оболочки (подложки) соответствующей формы. Осуществляется подключение различных управляющих электрических потенциалов к выходам спиралей многоэлектродной криволинейной токопроводящей линии пьезоэлектрического актюатора, например, трех потенциалов ϕ1, ϕ2, ϕ3 к выходам спиралей трехэлектродной токопроводящей линии (см. фиг. 1, фиг. 3).
При этом силовые линии электрического поля локальных областей пьезоэлектрического слоя 1 (см. фиг. 1 - фиг. 3) направлены сонаправленно или противоположно направленно направлениям поляризаций этих локальных областей пьезоэлектрического слоя 1 в зависимости от значений задаваемых потенциалов ϕ1, ϕ2, ϕ3 на электродах трехэлектродной токопроводящей линии.
В локальных областях пьезоэлектрического слоя 1, расположенных между соседними парами (витками) электродов, возникают высокие значения напряженности электрического поля, что обусловлено малыми значениями шага спиралей и большими значениями управляющих электрических напряжений между различными витками электродов 2, 3.
В результате обратного пьезоэффекта в локальных областях пьезоэлектрического слоя 1, расположенных между соседними парами (витками) электродов 2,3, возникают относительно большие величины осевых деформаций (сжимающих или растягивающих в зависимости от полярности управляющих электрических напряжений) вдоль силовых линий (см. фиг. 2, фиг. 3) электрического поля.
Полярность управляющих электрических напряжений между различными электродами 2,3 пьезоэлектрического актюатора устанавливается с учетом функционального назначения актюатора.
С увеличением числа электродов (т.е. числа «заходов» в многозаходной спирали) многоэлектродной криволинейной токопроводящей линии расширяется спектр управляемых деформационных форм пьезоэлектрического актюатора.
Пьезоэлектрический актюатор также может функционировать в режиме электрогенератора (в частности, для сбора и преобразования побочной механической энергии из окружающей среды) на основе преобразования действующих на него внешних динамических (ударных) механических воздействий в электрическую энергию на выходах его спиральных электродов.
Пьезоэлектрический актюатор также может функционировать в режиме пьезоэлектрического датчика - электромеханического преобразователя диагностируемых деформаций в информативные электрические сигналы на выходах электродов токопроводящей линии.
Таким образом, предложенное техническое решение позволяет значительно повысить эффективность пьезоэлектрического актюатора - расширить спектр возможных управляемых деформационных форм. Указанный технический результат подтвержден результатами численного моделирования изгибных форм круглой упругой мембраны (подложки) с установленными по типу «биморф» на ее обеих боковых поверхностях круглыми (пленочными) пьезоэлектрическими актюаторами.

Claims (7)

1. Пьезоэлектрический актюатор, включающий пьезоэлектрический слой, токопроводящую линию в виде спиралей взаимодействующих электродов, расположенных на одной или обеих сторонах пьезоэлектрического слоя, отличающийся тем, что токопроводящая линия выполнена в виде одной или двух многозаходных спиралей взаимодействующих электродов, расположенных соответственно на одной или обеих сторонах пьезоэлектрического слоя.
2. Пьезоэлектрический актюатор по п.1, отличающийся тем, что пьезоэлектрический слой и токопроводящая линия выполнены пространственной криволинейной формы, в частности: цилиндрической, конической, параболоидной, сферической, тороидальной, эллиптической или плоской.
3. Пьезоэлектрический актюатор по п.1, отличающийся тем, что эквипотенциальные электроды многозаходных спиралей, расположенных противоположно друг другу на обеих сторонах пьезоэлектрического слоя, соединены между собой с образованием ленточных спиральных электродов с шириной пьезоэлектрического слоя.
4. Пьезоэлектрический актюатор по п.1, отличающийся тем, что пьезоэлектрический актюатор является частью составного пьезоэлектрического актюатора, включающего в себя электрически не связанные между собой два или более пьезоэлектрических актюатора, в частности, в виде плоских концентрических пьезоэлектрических актюаторов эллиптической кольцевой формы или в виде концентрических полых цилиндрических или эллипсоидальных пьезоэлектрических актюаторов, соединенных своими смежными боковыми поверхностями посредством электроизолирующей клеевой прослойки, направление закручивания спиралей токопроводящих линий пьезоэлектрических актюаторов одинаковое или взаимообратное.
5. Пьезоэлектрический актюатор по п.1, отличающийся тем, что поляризация пьезоэлектрического слоя осуществлена посредством приложения поляризующих электрических напряжений к электродам токопроводящей линии.
6. Пьезоэлектрический актюатор по п.1, отличающийся тем, что пьезоэлектрический актюатор включает в себя электроизоляционную подложку, в частности подложку в виде тонкой пластины, на боковой поверхности которой установлен посредством электроизоляционной клеевой прослойки плоский пьезоэлектрический актюатор, или подложку в виде тела вращения, на боковой поверхности которого установлен посредством электроизоляционной клеевой прослойки пьезоэлектрический актюатор соответствующей формы.
7. Пьезоэлектрический актюатор по п.1, отличающийся тем, что включает в себя внешнее электроизоляционное защитное покрытие.
RU2024100389A 2024-01-11 Пьезоэлектрический актюатор RU2833103C1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2833103C1 true RU2833103C1 (ru) 2025-01-15

Family

ID=

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2365206A (en) * 1997-09-05 2002-02-13 1 Ltd Piezoelectric driver device with integral piezoresistive sensing layer
US6919669B2 (en) * 2002-03-15 2005-07-19 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Electro-active device using radial electric field piezo-diaphragm for sonic applications
DE102004056754A1 (de) * 2004-11-24 2006-06-01 Hoerbiger Automatisierungstechnik Holding Gmbh Piezoelektrisches Biegeelement
US20130342083A1 (en) * 2010-12-22 2013-12-26 Epcos Ag Actuator, actuator system, and control of an actuator
RU2793564C1 (ru) * 2022-11-16 2023-04-04 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" Пьезоэлектрический биморф изгибного типа

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2365206A (en) * 1997-09-05 2002-02-13 1 Ltd Piezoelectric driver device with integral piezoresistive sensing layer
US6919669B2 (en) * 2002-03-15 2005-07-19 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Electro-active device using radial electric field piezo-diaphragm for sonic applications
DE102004056754A1 (de) * 2004-11-24 2006-06-01 Hoerbiger Automatisierungstechnik Holding Gmbh Piezoelektrisches Biegeelement
US20130342083A1 (en) * 2010-12-22 2013-12-26 Epcos Ag Actuator, actuator system, and control of an actuator
RU2793564C1 (ru) * 2022-11-16 2023-04-04 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" Пьезоэлектрический биморф изгибного типа
RU2803015C1 (ru) * 2023-04-11 2023-09-05 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" Пьезоэлектрический актюатор

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20090230820A1 (en) Multi-element piezoelectric transducers
JP2018529209A (ja) 非熱プラズマを生成するための電極列、プラズマ源及びプラズマ源の操作方法
CN102215905A (zh) 可植入医疗系统
CN116919408B (zh) 植入式可拉伸柔性神经电极、电极组及电极阵列
KR100664395B1 (ko) 수축 변위를 정밀 제어하기 위한 폴리머 액추에이터 및 그제어 방법
CN105676293B (zh) 一种基于微孔电极结构的等离子体震源发射阵
RU2833103C1 (ru) Пьезоэлектрический актюатор
CN104184367A (zh) 柱状多方向叠堆式压电能量采集装置
CN102263199B (zh) 分布电极式含芯压电棒弹簧
JP6770589B2 (ja) 電気活性ポリマーアクチュエータを組み込んだアクチュエータ装置および駆動方法
RU2818079C1 (ru) Пьезоэлектрический актюатор
RU2821960C1 (ru) Пьезоэлектрический актюатор
RU2811455C1 (ru) Пьезоэлектрический актюатор
JP7502995B2 (ja) 誘電エラストマートランスデューサー
RU2803015C1 (ru) Пьезоэлектрический актюатор
RU2822349C1 (ru) Способ изготовления пьезоэлектрического актюатора
WO2004109817A3 (en) Electroactive polymer contractible actuator
RU2811499C1 (ru) Пьезоэлектрический актюатор
JP4954783B2 (ja) 圧電素子及び振動型アクチュエータ
RU2817399C1 (ru) Способ изготовления пьезоэлектрического актюатора
Zhang et al. Mechanism and optimal design of self-separating multilayer composite triboelectric nanogenerators
US10727764B2 (en) Piezoelectric generator, pushbutton, radio module and method for producing a piezoelectric generator
RU2839713C1 (ru) Способ изготовления пьезоэлектрического актюатора
RU2801619C1 (ru) Пьезоэлектрический актюатор
RU2837440C1 (ru) Способ изготовления пьезоэлектрического актюатора