RU2811392C1 - Device for forming laser beam with rectangular cross-section and uniform intensity distribution - Google Patents
Device for forming laser beam with rectangular cross-section and uniform intensity distribution Download PDFInfo
- Publication number
- RU2811392C1 RU2811392C1 RU2023121655A RU2023121655A RU2811392C1 RU 2811392 C1 RU2811392 C1 RU 2811392C1 RU 2023121655 A RU2023121655 A RU 2023121655A RU 2023121655 A RU2023121655 A RU 2023121655A RU 2811392 C1 RU2811392 C1 RU 2811392C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- optical
- focusing prism
- section
- raster
- intensity distribution
- Prior art date
Links
- 238000009826 distribution Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 41
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 37
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005542 laser surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003913 materials processing Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к оптическим устройствам и может быть использовано в оптических формирователях лазерных пучков в тех направлениях науки и техники, где требуется высокая степень равномерности освещенности объектов, подвергающихся облучению, например:The invention relates to optical devices and can be used in optical laser beam formers in those areas of science and technology that require a high degree of uniformity of illumination of objects exposed to irradiation, for example:
- при разработке лазерных комплексов в части формирования и фокусировки лазерного излучения на удаленный объект;- in the development of laser complexes in terms of the formation and focusing of laser radiation on a remote object;
- для наиболее полного заполнения объема рабочей среды активного элемента твердотельного или жидкостного лазеров излучением накачки диодных источников накачки;- for the most complete filling of the volume of the working medium of the active element of solid-state or liquid lasers with pump radiation from diode pump sources;
- в экспериментальной физике при исследованиях воздействия мощного оптического излучения на материалы;- in experimental physics when studying the effect of powerful optical radiation on materials;
- в технологии обработки материалов при лазерной поверхностной обработке, при лазерной фотолитографии и т.д.;- in materials processing technology for laser surface processing, laser photolithography, etc.;
- в электронной технике, в электронных системах записи или воспроизведения телевизионных изображений.- in electronic technology, in electronic systems for recording or reproducing television images.
Известно осветительное устройство в [1], содержащее последовательно установленные вдоль оптической оси источник света, коллектор, линзовый растр и конденсор, при этом задняя фокальная плоскость линзового растра совмещена с передней фокальной плоскостью конденсора, источник света установлен в переднем фокусе коллектора. Существенными недостатками этого устройства являются:A lighting device is known in [1], containing a light source, a collector, a lens raster and a condenser installed sequentially along the optical axis, with the rear focal plane of the lens raster aligned with the front focal plane of the condenser, the light source installed at the front focus of the collector. The significant disadvantages of this device are:
- высокая трудоемкость изготовления линзовых растров, связанная с высокоточным изготовлением большого числа оптических элементов;- high complexity of manufacturing lens rasters associated with high-precision manufacturing of a large number of optical elements;
- сложность юстировки осветительного устройства, особенно в инфракрасной области спектра, связанная с одновременным совмещением фокусов линз и нескольких фокальных плоскостей;- the difficulty of adjusting the lighting device, especially in the infrared region of the spectrum, associated with the simultaneous combination of lens foci and several focal planes;
- ухудшение равномерности распределения интенсивности в пятне, за счет использования большого количества сферических оптических поверхностей, вносящих искажения в итоговое распределение за счет аберраций;- deterioration in the uniformity of intensity distribution in the spot, due to the use of a large number of spherical optical surfaces, introducing distortions into the final distribution due to aberrations;
- формирование формы сечения лазерного излучения с равномерной интенсивностью только с фиксированными размерами и только на фиксированной дальности. Это устройство не позволяет получать излучение с сечением прямоугольной формы с переменными размерами сечения и переменной дальностью.- formation of a cross-sectional shape of laser radiation with uniform intensity only with fixed dimensions and only at a fixed range. This device does not allow receiving radiation with a rectangular cross-section with variable cross-sectional dimensions and variable range.
Известно устройство для формирования оптического пучка [2], содержащее два линзовых растра, первый из которых сферический, второй - цилиндрический, за которым установлены две цилиндрические линзы, развернутые одна относительно другой на 90°, причем задняя фокальная плоскость линз сферического растра в сагиттальной плоскости совмещена с передней фокальной плоскостью первой цилиндрической линзы, а в меридиональной плоскости - с передней фокальной плоскостью линз цилиндрического растра.A device is known for forming an optical beam [2], containing two lens rasters, the first of which is spherical, the second is cylindrical, behind which two cylindrical lenses are installed, rotated one relative to the other by 90°, and the rear focal plane of the spherical raster lenses in the sagittal plane is aligned with the front focal plane of the first cylindrical lens, and in the meridional plane - with the front focal plane of the cylindrical raster lenses.
Существенными недостатками этого устройства являются:The significant disadvantages of this device are:
- высокая трудоемкость изготовления линзовых растров, связанная с высокоточным изготовлением и сборкой на оптическом контакте большого числа оптических элементов;- high complexity of manufacturing lens rasters associated with high-precision manufacturing and assembly of a large number of optical elements on the optical contact;
- сложность юстировки оптического устройства, особенно в инфракрасной области спектра, связанная с одновременным совмещением фокусов линз и нескольких фокальных плоскостей;- the difficulty of adjusting an optical device, especially in the infrared region of the spectrum, associated with the simultaneous combination of lens foci and several focal planes;
- наличие сферических аберраций;- presence of spherical aberrations;
- формирование формы сечения лазерного излучения с равномерной интенсивностью только в виде узкой световой полосы заданных фиксированных размеров и только на фиксированной дальности. Это устройство не позволяет получить излучение с сечением прямоугольной формы с переменными размерами сечения и переменной дальностью.- formation of a cross-sectional shape of laser radiation with uniform intensity only in the form of a narrow light strip of given fixed dimensions and only at a fixed range. This device does not allow receiving radiation with a rectangular cross-section with variable cross-sectional dimensions and variable range.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому устройству является устройство для создания равномерной освещенности прямоугольной площадки заданных размеров [3], содержащее расширяющую телескопическую систему и формирующий оптический элемент, выполненный в виде двух выпуклых, образованных плоскими прямоугольными гранями поверхностей, развернутых одна относительно другой на 90°, при том число граней N на каждой поверхности нечетно, центральные грани параллельны.The closest in technical essence to the proposed device is a device for creating uniform illumination of a rectangular area of given dimensions [3], containing an expanding telescopic system and a forming optical element, made in the form of two convex surfaces formed by flat rectangular edges, rotated one relative to the other by 90° , while the number of faces N on each surface is odd, the central faces are parallel.
К недостаткам этого устройства можно отнести:The disadvantages of this device include:
- формирование формы сечения лазерного излучения с равномерной интенсивностью только в виде фиксированного квадрата и только на фиксированной дальности. Это устройство не позволяет получать излучение с сечением прямоугольной формы с переменными размерами сечения и переменной дальностью;- formation of a cross-sectional shape of laser radiation with uniform intensity only in the form of a fixed square and only at a fixed range. This device does not allow receiving radiation with a rectangular cross-section with variable cross-sectional dimensions and variable range;
- существование ограничений на минимальные и максимальные размеры квадратного сечения с равномерной интенсивностью лазерного пучка, равные ширине грани формирующего оптического элемента, связанных с технологией его изготовления.- the existence of restrictions on the minimum and maximum dimensions of a square section with uniform laser beam intensity, equal to the width of the edge of the forming optical element, associated with its manufacturing technology.
Задачей изобретения является создание устройства формирования пучка лазерного излучения с сечением прямоугольной формы с переменными размерами и равномерным распределением интенсивности на заданных переменных дальностях.The objective of the invention is to create a device for forming a laser radiation beam with a rectangular cross-section with variable dimensions and uniform intensity distribution at given variable ranges.
Поставленная задача решается тем, что в известном устройстве формирования пучка лазерного излучения с сечением прямоугольной формы и равномерным распределением интенсивности, содержащем излучатель, оптическую систему формирования излучения, два фокусирующих призменных растра с нечетным числом граней и скрещенных под углом 90°, за оптической системой формирования излучения устройство выполнено в виде двух цилиндрических систем, установленных друг за другом и скрещенных под углом 90° с единой совмещенной плоскостью изображений, в каждой цилиндрической системе установлен фокусирующий призменный растр, снабженный приводом продольного перемещения, за которым установлена система преобразования с регулируемыми фокусным расстоянием и оптическим увеличением, равным отношению заданных размеров сечения пучка лазерного излучения прямоугольной формы к ширине грани фокусирующего призменного растра, при этом ее передняя фокальная плоскость совмещена с задней фокальной плоскостью фокусирующего призменного растра, а фокусное расстояние равно отношению расстояния до плоскости изображения устройства к оптическому увеличению.The problem is solved by the fact that in the known device for forming a beam of laser radiation with a rectangular cross-section and a uniform intensity distribution, containing an emitter, an optical system for generating radiation, two focusing prism rasters with an odd number of edges and crossed at an angle of 90°, behind the optical system for generating radiation the device is made in the form of two cylindrical systems installed one after another and crossed at an angle of 90° with a single combined image plane; in each cylindrical system a focusing prism raster is installed, equipped with a longitudinal movement drive, behind which a conversion system with adjustable focal length and optical zoom is installed , equal to the ratio of the specified cross-sectional dimensions of a rectangular laser radiation beam to the width of the edge of the focusing prism raster, while its front focal plane is combined with the rear focal plane of the focusing prism raster, and the focal length is equal to the ratio of the distance to the image plane of the device to the optical magnification.
На рисунке показана принципиальная оптическая схема для реализации предложенного устройства, где: 1 - излучатель; 2 - оптическая система формирования излучения; 3(1), 3(2) - цилиндрическая система; 3.1(1), 3.1(2) - фокусирующий призменный растр; 3.2(1), 3.2(2) - привод продольного перемещения фокусирующего призменного растра; 3.3(1), 3.3(2) - система преобразования с регулируемым фокусным расстоянием; L - плоскость изображений.The figure shows a basic optical circuit for the implementation of the proposed device, where: 1 - emitter; 2 - optical system for generating radiation; 3(1), 3(2) - cylindrical system; 3.1(1), 3.1(2) - focusing prism raster; 3.2(1), 3.2(2) - drive for longitudinal movement of the focusing prism raster; 3.3(1), 3.3(2) - conversion system with adjustable focal length; L - image plane.
Излучатель 1 предназначен для создания лазерного излучения. Оптическая система формирования излучения 2 предназначена для формирования лазерного излучения. В качестве излучателя может быть излучатель с оптоволоконным выводом, а в качестве оптической системы формирования излучения - коллиматор. Коллиматор представляет собой двух- или трехлинзовую систему со стандартными сферическими поверхностями. При расположении торца сердцевины оптоволоконного вывода в фокальной плоскости коллиматора через него выходит пучок, сфокусированный на бесконечность.
В качестве излучателя также может быть и любой импульсный или непрерывный лазерный излучатель с параллельным оптическим пучком на выходе из его резонатора. В качестве оптической системы формирования -расширяющая телескопическая система.The emitter can also be any pulsed or continuous laser emitter with a parallel optical beam at the exit from its resonator. The optical formation system is an expanding telescopic system.
Цилиндрические системы 3(1) и 3(2), установленные друг за другом и скрещенные под углом 90°, имеют единую совмещенную плоскость изображений на дальности L. Цилиндрическая система 3(1) содержит фокусирующий призменный растр 3.1(1), снабженный приводом продольного перемещения 3.2(1), и систему преобразования 3.3(1) с регулируемым фокусным расстоянием. Цилиндрическая система 3(2) аналогична по составу: фокусирующий призменный растр 3.1(2), снабженный приводом продольного перемещения 3.2(2), и система преобразования 3.3(2) с регулируемым фокусным расстоянием.Cylindrical systems 3(1) and 3(2), installed one behind the other and crossed at an angle of 90°, have a single combined image plane at a distance L. Cylindrical system 3(1) contains a focusing prism raster 3.1(1), equipped with a longitudinal drive movement 3.2(1), and conversion system 3.3(1) with adjustable focal length. The cylindrical system 3(2) is similar in composition: a focusing prism raster 3.1(2), equipped with a longitudinal movement drive 3.2(2), and a conversion system 3.3(2) with an adjustable focal length.
Цилиндрические системы 3(1) и 3(2) предназначены для преобразования круглого сечения лазерного пучка излучения в сечение прямоугольной формы с заданными размерами и равномерным распределением интенсивности в общей единой плоскости изображений.Cylindrical systems 3(1) and 3(2) are designed to convert a circular cross-section of a laser beam into a rectangular cross-section with specified dimensions and uniform intensity distribution in a common single image plane.
Фокусирующие призменные растры 3.1(1), 3.1(2) выполнены в виде двух выпуклых образованных равными плоскими прямоугольными гранями поверхностей, развернутых друг относительно друга на 90°, при этом число граней N на каждой поверхности нечетно, центральные грани параллельны. Привод продольного перемещения фокусирующего призменного растра 3.2(1) или 3.2(2) предназначен для изменения расстояния между призменным растром и системой преобразования 3.3(1) или соответственно 3.3(2).Focusing prism rasters 3.1(1), 3.1(2) are made in the form of two convex surfaces formed by equal flat rectangular faces, rotated 90° relative to each other, while the number of faces N on each surface is odd, the central faces are parallel. The drive for longitudinal movement of the focusing prism raster 3.2(1) or 3.2(2) is designed to change the distance between the prism raster and the conversion system 3.3(1) or 3.3(2), respectively.
Система преобразования 3.3(1), 3.3(2) с регулируемым фокусным расстоянием представляет собой цилиндрическую телескопическую систему. При изменении базы между его окуляром и объективом меняется эффективное фокусное расстояние телескопической системы.The 3.3(1), 3.3(2) variable focal length conversion system is a cylindrical telescopic system. By changing the base between its eyepiece and the lens, the effective focal length of the telescopic system changes.
Устройство формирования пучка лазерного излучения с сечением прямоугольной формы и равномерным распределением интенсивности работает следующим образом.A device for forming a laser beam with a rectangular cross-section and uniform intensity distribution operates as follows.
Торец сердцевины оптоволоконного вывода излучателя 1 располагают в фокальной плоскости оптической системы формирования излучения коллиматора 2.The end of the core of the fiber optic output of the
При подаче управляющей команды на подачу электропитания излучателю 1 он начинает генерировать когерентные электромагнитные волны, передаваемые по оптоволоконному выводу, торец сердцевины которого является источником излучения, откуда выходит лазерный пучок.When a control command is given to supply power to the
Выходное лазерное излучение излучателя 1, исходящее из торца сердцевины оптоволоконного вывода, проходит сферические линзы коллиматора 2, формируя лазерное излучение с сечением круглой формы, и выходит сфокусированным на бесконечность при расположении торца сердцевины оптоволоконного вывода в фокальной плоскости коллиматора 2.The output laser radiation of the
Преобразование круглого сечения лазерного излучения в сечение прямоугольной формы с заданными размерами осуществляется последовательно двумя цилиндрическими системами 3(1) и 3(2), установленными друг за другом и скрещенными под углом 90°.The transformation of a circular cross-section of laser radiation into a rectangular cross-section with given dimensions is carried out sequentially by two cylindrical systems 3(1) and 3(2), installed one after another and crossed at an angle of 90°.
Выходное излучение коллиматора 2 с сечением круглой формы поступает на фокусирующий призменный растр 3.1(1), размеры которого не меньше диаметра выходящего из коллиматора оптического пучка Dкол., и, проходя его, разбивается в вертикальной плоскости на число граней N оптических пучков, при этом все пучки имеют одинаковые, определяемые конструкцией фокусирующего призменного растра, сечения в вертикальной плоскости и все они фокусируются в его фокальной плоскости. При их статическом суммировании происходит усреднение интенсивности лазерного излучения по плоскости фокального пятна фокусирующего призменного растра 3.1(1), приводящее к существенному повышению равномерности распределения интенсивности света в фокальном пятне. Круглое сечение лазерного излучения в фокальной плоскости фокусирующего призменного растра преобразуется в вертикальной плоскости в виде полоски с шириной, равной ширине грани r фокусирующего призменного растра. Размер апертуры на выходе коллиматора Dкол. и число граней N связаны соотношением Dкол.=r×N.The output radiation of the
Из заданных размеров сечения пучка лазерного излучения прямоугольной формы а×b на дальности L определяют оптическое увеличение системы преобразования каждой цилиндрической системы, равное отношению заданных размеров сечения пучка лазерного излучения прямоугольной формы к ширине грани фокусирующего призменного растра:From the given cross-sectional dimensions of a rectangular laser beam a×b at a distance L, the optical magnification of the conversion system of each cylindrical system is determined, equal to the ratio of the given cross-sectional dimensions of a rectangular laser beam to the width of the edge of the focusing prism raster:
Далее вычисляют фокусное расстояние системы преобразования каждой цилиндрической системы, равное отношению расстояния до плоскости изображения устройства к оптическому увеличению:Next, calculate the focal length of the conversion system of each cylindrical system, equal to the ratio of the distance to the image plane of the device to the optical magnification:
Выставляют расчетные фокусные расстояния систем преобразования 3.3(1) и 3.3(2) перемещением их объективов относительно окуляра.The calculated focal lengths of conversion systems 3.3(1) and 3.3(2) are set by moving their lenses relative to the eyepiece.
В каждой цилиндрической системе переднюю фокальную плоскость системы преобразования совмещают с задней фокальной плоскостью фокусирующего призменного растра, изменяя расстояние между ними с помощью его привода продольного перемещения.In each cylindrical system, the front focal plane of the conversion system is combined with the rear focal plane of the focusing prism raster, changing the distance between them using its longitudinal movement drive.
Система преобразования 3.3(1) цилиндрической системы 3(1) преобразует размер пятна в задней фокальной плоскости фокусирующего призменного растра 3.1(1), равный ширине его грани r, в размер а на дальности L, поскольку задняя фокальная плоскость фокусирующего призменного растра 3.1(1) совмещена с передней фокальной плоскостью системы преобразования 3.3(1). А система преобразования 3.3(2) цилиндрической системы 3(2) преобразует размер пятна в задней фокальной плоскости фокусирующего призменного растра 3.1(2), равный ширине его грани r, в размер b на дальности L.The conversion system 3.3(1) of the cylindrical system 3(1) converts the spot size in the rear focal plane of the focusing prism raster 3.1(1), equal to the width of its edge r, into size a at a distance L, since the rear focal plane of the focusing prism raster 3.1(1 ) is aligned with the front focal plane of the 3.3(1) conversion system. And the conversion system 3.3(2) of the cylindrical system 3(2) converts the spot size in the rear focal plane of the focusing prism raster 3.1(2), equal to the width of its face r, into size b at a distance L.
При этом задние фокальные плоскости систем преобразования 3.3(1) и 3.3(2) цилиндрических систем 3(1) и 3(2) лежат в единой совмещенной плоскости изображений устройства на дальности L, где и образуется пучок лазерного излучения с сечением прямоугольный формы с размерами a×b и равномерным распределением интенсивности.In this case, the rear focal planes of the conversion systems 3.3(1) and 3.3(2) of the cylindrical systems 3(1) and 3(2) lie in a single combined image plane of the device at a distance L, where a beam of laser radiation is formed with a rectangular cross section with dimensions a×b and uniform intensity distribution.
Меняя базу между окуляром и объективом телескопической системы, можно регулировать ее эффективное фокусное расстояние и таким образом изменять размеры сечения пучка лазерного излучения прямоугольной формы на дальности L. Также можно менять дальность и получать заданные размеры сечения пучка лазерного излучения прямоугольной формы на заданной дальности, изменяя фокусное расстояние телескопической системы.By changing the base between the eyepiece and the lens of the telescopic system, you can adjust its effective focal length and thus change the cross-sectional dimensions of a rectangular laser radiation beam at a distance L. You can also change the range and obtain the specified cross-sectional dimensions of a rectangular laser radiation beam at a given range by changing the focal length distance of the telescopic system.
В предложенном устройстве формирования пучка лазерного излучения с сечением прямоугольной формы и равномерным распределением интенсивности использование двух цилиндрических систем, установленных друг за другом и скрещенных под углом 90° с единой совмещенной плоскостью изображений, и с размещенными в каждой из них фокусирующего призменного растра с приводом продольного перемещения и системы преобразования с регулируемым фокусным расстоянием позволяет:The proposed device for forming a laser radiation beam with a rectangular cross-section and uniform intensity distribution uses two cylindrical systems installed one behind the other and crossed at an angle of 90° with a single combined image plane, and with a focusing prism raster placed in each of them with a drive for longitudinal movement and conversion systems with adjustable focal length allows:
- формировать пучок лазерного излучения с сечением прямоугольной формы с переменными размерами и равномерным распределением интенсивности на заданных переменных дальностях;- form a beam of laser radiation with a rectangular cross-section with variable dimensions and uniform intensity distribution at given variable ranges;
- при разработке лазерных комплексов эффективно доставлять лазерное излучение с равномерным распределением интенсивности по сечению на объекты с переменной дальностью;- when developing laser complexes, it is effective to deliver laser radiation with a uniform intensity distribution over the cross section to objects with a variable range;
- наиболее полно заполнять объем рабочей среды активного элемента твердотельного или жидкостного лазеров излучением накачки диодных источников накачки;- to most completely fill the volume of the working medium of the active element of solid-state or liquid lasers with pump radiation from diode pump sources;
- эффективно проводить исследования воздействия мощного оптического излучения на материалы;- effectively conduct research into the effects of powerful optical radiation on materials;
- с высокой технологичностью проводить лазерную поверхностную обработку материалов любых размеров на любой дальности.- carry out laser surface treatment of materials of any size at any distance with high technology.
Источники информации:Information sources:
1. Авторское свидетельство SU 1118948, МПК G02B 21/06; дата публикации: 15.10.1984.1. Copyright certificate SU 1118948, IPC G02B 21/06; publication date: 10/15/1984.
2. Патент RU 2004008, МПК: G02B 19/00, G03B 27/16; дата публикации: 30.11.1993.2. Patent RU 2004008, IPC: G02B 19/00, G03B 27/16; publication date: 11/30/1993.
3. Патент RU 2208822 С1, МПК: G02B 19/00; дата публикации: 20.07.2003 - прототип.3. Patent RU 2208822 C1, IPC: G02B 19/00; publication date: 07/20/2003 - prototype.
Claims (1)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2811392C1 true RU2811392C1 (en) | 2024-01-11 |
Family
ID=
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2004008C1 (en) * | 1990-10-18 | 1993-11-30 | Санкт-Петербургский институт кино и телевидени | Device for forming optical beam |
| US5317450A (en) * | 1991-12-17 | 1994-05-31 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Projection exposure apparatus |
| RU2149435C1 (en) * | 1998-06-01 | 2000-05-20 | Конструкторское бюро приборостроения | Optical system for correction of shape of rectangular laser beam |
| RU2208822C1 (en) * | 2001-11-02 | 2003-07-20 | Государственное Унитарное Дочернее Предприятие Государственного Предприятия "Нпо Астрофизика" Особое Конструкторское Бюро "Солнечная И Точная Оптика" | Device forming uniform illumination intensity of rectangular site of specified dimensions ( homogenizer ) |
| RU2477914C2 (en) * | 2011-03-24 | 2013-03-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Laser radiation modulator |
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2004008C1 (en) * | 1990-10-18 | 1993-11-30 | Санкт-Петербургский институт кино и телевидени | Device for forming optical beam |
| US5317450A (en) * | 1991-12-17 | 1994-05-31 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Projection exposure apparatus |
| RU2149435C1 (en) * | 1998-06-01 | 2000-05-20 | Конструкторское бюро приборостроения | Optical system for correction of shape of rectangular laser beam |
| RU2208822C1 (en) * | 2001-11-02 | 2003-07-20 | Государственное Унитарное Дочернее Предприятие Государственного Предприятия "Нпо Астрофизика" Особое Конструкторское Бюро "Солнечная И Точная Оптика" | Device forming uniform illumination intensity of rectangular site of specified dimensions ( homogenizer ) |
| RU2477914C2 (en) * | 2011-03-24 | 2013-03-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Laser radiation modulator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4996029B2 (en) | Waveguide display | |
| US5631721A (en) | Hybrid illumination system for use in photolithography | |
| US7210820B2 (en) | Methods and apparatuses for homogenizing light | |
| Zimmermann et al. | Microlens laser beam homogenizer: from theory to application | |
| US8270084B2 (en) | Device for beam shaping | |
| JP3338028B2 (en) | Illumination design for scanning microlithography systems | |
| US9766442B2 (en) | Confocal scanner and confocal microscope | |
| KR101029926B1 (en) | Duplication type doe homogenizer optical system | |
| JP2006065348A (en) | Method for shaping irradiance profile using optical element having positive and negative optical power | |
| EP0476931A2 (en) | Phase shift device and laser apparatus utilizing the same | |
| JP2011048361A (en) | Diffractive laser beam homogenizer including photosensitive material and method for fabricating the same | |
| WO2017187609A1 (en) | Parallel light generation device | |
| CN109283805A (en) | Laser direct-writing device based on Darman raster | |
| RU2811392C1 (en) | Device for forming laser beam with rectangular cross-section and uniform intensity distribution | |
| CN109343162A (en) | Laser direct-writing device and its laser direct writing method based on super lens | |
| RU2811390C1 (en) | Method for forming laser beam with rectangular cross-section and uniform intensity distribution | |
| JP2022523598A (en) | A device for forming a homogeneous intensity distribution with bright or dark edges | |
| JPH0744141B2 (en) | Lighting optics | |
| TWI485431B (en) | Apparatus for homogenizing coherent radiation | |
| TW202043849A (en) | Device for generating a linear intensity distribution in a working plane | |
| RU2208822C1 (en) | Device forming uniform illumination intensity of rectangular site of specified dimensions ( homogenizer ) | |
| RU2814149C1 (en) | Method for generating and focusing laser radiation of emitter with fibre-optical output to remote object | |
| KR101845292B1 (en) | Laser beam shaping device | |
| RU20180U1 (en) | DEVICE FOR FORMING AN OPTICAL BEAM | |
| Wippermann et al. | Fly’s eye condenser based on chirped microlens arrays |