RU2803675C1 - Payload block for studying contamination inside cubesat satellite instruments - Google Patents
Payload block for studying contamination inside cubesat satellite instruments Download PDFInfo
- Publication number
- RU2803675C1 RU2803675C1 RU2023114767A RU2023114767A RU2803675C1 RU 2803675 C1 RU2803675 C1 RU 2803675C1 RU 2023114767 A RU2023114767 A RU 2023114767A RU 2023114767 A RU2023114767 A RU 2023114767A RU 2803675 C1 RU2803675 C1 RU 2803675C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- contamination
- sensor
- microcontroller
- studying
- signal
- Prior art date
Links
Abstract
Description
Изобретение относится к космической технике, а именно к устройствам для проведения научных исследований внутри приборов спутников стандарта CubeSat. Устройство позволяет осуществлять исследование явления контаминации, проявляющегося в виде образований тонких пленок сублимированных веществ на поверхности компонентов приборов.The invention relates to space technology, namely to devices for conducting scientific research inside the instruments of CubeSat standard satellites. The device makes it possible to study the phenomenon of contamination, which manifests itself in the form of the formation of thin films of sublimated substances on the surface of device components.
Наиболее чувствительными к контаминации являются поверхности оптических приборов. Пленки контаминантов толщиной всего лишь в несколько десятков нанометров существенно ухудшают пропускную способность оптики. Поэтому одной из важных задач при исследовании контаминации является измерение толщины пленки сублимированных веществ на поверхности компонентов оптических приборов за определенный промежуток времени.The surfaces of optical devices are the most sensitive to contamination. Films of contaminants only a few tens of nanometers thick significantly impair the throughput of the optics. Therefore, one of the important tasks when studying contamination is to measure the thickness of the film of sublimated substances on the surface of components of optical devices over a certain period of time.
Из уровня техники известны разные способы измерения толщины тонких пленок. Так, в RU 2727762 предлагается для измерения их толщины применять метод атомно-силовой микроскопии, регистрацию аналитических сигналов от элементов пленки и подложки, построение градуировочной зависимости ослабления сигнала от элемента-маркера, входящего только в состав подложки, от толщины нанесенной пленки. В RU 2672820 предлагается осуществлять измерение толщины тонких полимерных пленок путем анализа диэлектрических характеристик образцов и их зависимостей от толщины с использованием линейной зависимости температуры смены характера проводимости от толщины пленок ПДФ (температура, при которой меняется характер проводимости диэлектрика, уменьшается с ростом толщины полимерной пленки). В RU 2641639 предлагается измерять толщину тонких прозрачных пленок бесконтактным способом с помощью интерферометра.Various methods are known in the art for measuring the thickness of thin films. Thus, RU 2727762 proposes to use the method of atomic force microscopy to measure their thickness, register analytical signals from film and substrate elements, and construct a calibration dependence of the signal attenuation from a marker element, which is included only in the substrate, on the thickness of the applied film. RU 2672820 proposes to measure the thickness of thin polymer films by analyzing the dielectric characteristics of samples and their dependence on thickness using the linear dependence of the temperature of the change in the nature of conductivity on the thickness of the PDF films (the temperature at which the nature of the conductivity of the dielectric changes decreases with increasing thickness of the polymer film). RU 2641639 proposes to measure the thickness of thin transparent films in a non-contact manner using an interferometer.
Описанные выше способы измерения толщины пленок либо не являются универсальными, поскольку рассчитаны на измерение толщины определенных по свойствам пленок (полимерных, прозрачных, диэлектрических), либо требуют использования громоздкой аппаратуры (атомно-силовой микроскоп, интерферометр и т.п.), которую сложно разместить на спутниках стандарта CubeSat.The methods described above for measuring film thickness are either not universal, since they are designed to measure the thickness of films with certain properties (polymer, transparent, dielectric), or require the use of bulky equipment (atomic force microscope, interferometer, etc.), which is difficult to place on CubeSat satellites.
В RU 180725 для измерения толщины пленок предлагается применять высокотемпературный масс-чувствительный элемент для пьезорезонансных датчиков, который преобразует неэлектрические физические величины в электрические сигналы. Достоинствами такого датчика и его аналогов являются малые размеры, безинерционность и пассивный принцип действия (не требуется внешний источник электрической энергии). В основе работы масс-чувствительных элементов для пьезорезонансных чувствительных датчиков лежит обратный пьезоэлектрический эффект, который заключается в преобразовании электрического напряжения подводимого к электродам, расположенным на противоположных поверхностях пьезоэлектрической пластины, в механические деформации пластины. Принцип работы пьезорезонансного масс-чувствительного элемента основан на зависимости собственной резонансной частоты механических колебаний чувствительного элемента от величины, присоединяемой к его поверхности массы вещества, причем относительное изменение собственной резонансной частоты механических колебаний чувствительного элемента пропорционально относительному изменению массы чувствительного элемента. Изменение массы чувствительного элемента в течение процесса нанесения пленок материалов приводит к изменению его резонансной частоты, что обеспечивает возможность расчета толщины нанесенной пленки и скорости ее нанесения при известной плотности материала пленки. В RU 180725, не смотря на подробное описание принципа работы массы чувствительного элемента, не дается детальное описание прибора, в котором будет использоваться предлагаемый масс-чувствительный элемент. Пример реализации такого прибора рассмотрен в справочнике Майссела Л., Глэнга Р. «Технология тонких пленок. Том 1» (перевод с англ. под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко - М.: "Сов. Радио", 1977, 664 с.). Построен он на основе сравнения частоты сигнала получаемого от эталонного генератора, с частотой сигнала, получаемого от измерительного генератора, в цепь которого включен пьезорезонансный датчик, используемый в качестве масс-чувствительного элемента. Следует отметить, что прибор, предлагаемый в источнике, выполнен на основе устаревшей элементной базы.In RU 180725, to measure film thickness, it is proposed to use a high-temperature mass-sensitive element for piezoresonant sensors, which converts non-electrical physical quantities into electrical signals. The advantages of such a sensor and its analogues are small size, inertia-free and passive operating principle (no external source of electrical energy is required). The operation of mass-sensitive elements for piezoresonant sensitive sensors is based on the inverse piezoelectric effect, which consists in converting the electrical voltage supplied to the electrodes located on opposite surfaces of the piezoelectric plate into mechanical deformations of the plate. The operating principle of a piezoresonant mass-sensitive element is based on the dependence of the natural resonant frequency of the mechanical vibrations of the sensitive element on the value of the mass of the substance attached to its surface, and the relative change in the natural resonant frequency of the mechanical vibrations of the sensitive element is proportional to the relative change in the mass of the sensitive element. A change in the mass of the sensitive element during the process of deposition of films of materials leads to a change in its resonant frequency, which makes it possible to calculate the thickness of the deposited film and the speed of its deposition at a known density of the film material. RU 180725, despite a detailed description of the operating principle of the mass sensitive element, does not provide a detailed description of the device in which the proposed mass sensitive element will be used. An example of the implementation of such a device is discussed in the reference book by Meissel L., Glang R. “Technology of thin films. Volume 1" (translation from English edited by M.I. Elinson, G.G. Smolko - M.: "Sov. Radio", 1977, 664 pp.). It is built on the basis of comparing the frequency of the signal received from the reference generator with the frequency of the signal received from the measuring generator, in the circuit of which a piezoresonant sensor is included, used as a mass-sensitive element. It should be noted that the device proposed in the source is made on the basis of an outdated element base.
Ближайшим аналогом изобретения является универсальный блок полезной нагрузки для наноспутников формата CubeSat из RU 2764047, состоящий из модуля датчиков и образцов, установленного снаружи корпуса наноспутника на панеле крепления, и связанного с ним аналитического модуля, установленного внутри корпуса наноспутника по стандарту PC/104, включающий микроконтроллер, связанный прямой и обратной связями с бортовым компьютером (БК), мультиплексором и входным усилителем, постоянным запоминающим устройством, а также часами реального времени и источником опорного напряжения, выходы которых связаны со входами микроконтроллера, сам микроконтроллер дополнительно связан прямой и обратной связями со вспомогательным микроконтроллером, который, в свою очередь, связан прямой и обратной связями с дополнительным постоянным запоминающим устройством, а бортовой компьютер дополнительно связан прямой и обратной связями с приемно-передающим устройством и модулем питания, причем выход последнего связан со входом источника опорного напряжения. Универсальный блок полезной нагрузки предназначен для исследования разработчиками полупроводниковых приборов влияния факторов космического пространства на электрические свойства приборов микро- и нано- электроники на околоземных орбитах без возврата их на Землю.The closest analogue of the invention is a universal payload unit for nanosatellites of the CubeSat format from RU 2764047, consisting of a sensor and sample module installed outside the nanosatellite body on the mounting panel, and an associated analytical module installed inside the nanosatellite body according to the PC/104 standard, including a microcontroller , connected by direct and feedback connections to the on-board computer (BC), a multiplexer and an input amplifier, a read-only memory device, as well as a real-time clock and a reference voltage source, the outputs of which are connected to the inputs of the microcontroller, the microcontroller itself is additionally connected by direct and feedback connections to an auxiliary microcontroller , which, in turn, is connected by direct and feedback connections to an additional read-only memory device, and the on-board computer is additionally connected by direct and feedback connections to the transceiver and the power module, the output of the latter being connected to the input of the reference voltage source. The universal payload unit is designed for semiconductor device developers to study the influence of outer space factors on the electrical properties of micro- and nanoelectronics devices in low-Earth orbits without returning them to Earth.
Техническая проблема, решаемая предлагаемым изобретением, заключается в создании блока полезной нагрузки для спутников стандарта CubeSat, позволяющего осуществлять исследование явления контаминации путем определения толщины пленки сублимированных веществ (контаминантов) на поверхностях внутри приборов, в течение заданного интервала времени. Устройство должно отвечать требованиям компактности и эффективности проводимых измерений, выполнено на основе современной приборной базы.The technical problem solved by the proposed invention is to create a payload unit for satellites of the CubeSat standard, which makes it possible to study the phenomenon of contamination by determining the thickness of the film of sublimated substances (contaminants) on the surfaces inside the devices for a given time interval. The device must meet the requirements of compactness and efficiency of measurements, and is based on modern instrumentation.
Необходимость решения такой технической проблемы продиктована тем, что у используемых на борту спутников приборов, особенно оптических, из-за контаминации происходит необратимое ухудшение их свойств. Так, о серьезности данной проблемы говорится в статье «Особенности разработки и использования аппаратуры для проведения космических экспериментов в ВУФ диапазоне спектра» / Кузин, С.А. // Труды школы молодых ученых «Современная рентгеновская оптика - 2022» (Нижний Новгород, 19-22 сентября 2022 г.), С.38.The need to solve such a technical problem is dictated by the fact that the instruments used on board satellites, especially optical ones, suffer irreversible deterioration in their properties due to contamination. Thus, the seriousness of this problem is discussed in the article “Features of the development and use of equipment for conducting space experiments in the VUV range of the spectrum” / Kuzin, S.A. // Proceedings of the school of young scientists “Modern X-ray optics - 2022” (Nizhny Novgorod, September 19-22, 2022), P.38.
В предлагаемом нами изобретении исследование воздействия явления контаминации на компоненты приборов спутников осуществляется непосредственно в космосе, т.е. является натурным.In our proposed invention, the study of the impact of the contamination phenomenon on the components of satellite instruments is carried out directly in space, i.e. is natural.
Устройство состоит из двух модулей, выполненных на отдельных платах. Больший по размеру, аналитический модуль, содержит систему управления, анализа и взаимодействия с пьезорезонансным датчиком. Меньший по размеру модуль содержит пьезорезонансный датчик, который подключается к первому модулю коаксиальным кабелем.The device consists of two modules, made on separate boards. The larger analytical module contains a control system, analysis and interaction with a piezoresonant sensor. The smaller module contains a piezoresonant sensor, which is connected to the first module via a coaxial cable.
Отличие от ближайшего аналога заключается:The difference from the closest analogue is:
1. В состав аналитического модуля включены два генератора: измерительный - к нему подключается открытый кварцевый резонатор, выступающий в роли пьезорезонансного датчика, и эталонный - к нему подключается изолированный кварцевый резонатор.1. The analytical module includes two generators: a measuring one - an open quartz resonator is connected to it, acting as a piezoresonant sensor, and a reference one - an isolated quartz resonator is connected to it.
2. Пьезорезонансный датчик размещается внутри корпуса прибора исследуемого на контаминацию.2. The piezoresonant sensor is placed inside the body of the device being tested for contamination.
3. Для первичной обработки сигналов от генераторов используется смеситель.3. A mixer is used for primary processing of signals from generators.
Сущность изобретения заключается в том, что блок полезной нагрузки для исследования явления контаминации внутри приборов спутников стандарта CubeSat включает в себя модуль пьезорезонансного датчика, размещаемый в корпусе прибора, исследуемого на контаминацию. Пьезорезонансный датчик, представляющий из себя открытый кварцевый резонатор, подключается экранированным кабелем к измерительному генератору, входящему в состав аналитического модуля, выполненного по размерам (ширина и длина) принятым в спецификации PC/104 для спутников стандарта CubeSat. В аналитический модуль помимо измерительного генератора входит эталонный генератор, подключенным к кварцевому резонатору, изолированному от внешних воздействий собственным корпусом. Сигналы от измерительного генератора и от эталонного генератора поступают на смеситель, а затем на обработку в микроконтроллер, также входящие с состав аналитического модуля полезной нагрузки. Микроконтроллер соединен и взаимодействует с постоянным запоминающим устройством, часами реального времени и источником опорного напряжения. Для связи с бортовым компьютером используется интерфейс связи.The essence of the invention lies in the fact that the payload unit for studying the phenomenon of contamination inside the instruments of CubeSat standard satellites includes a piezoresonance sensor module placed in the body of the instrument being studied for contamination. The piezoresonant sensor, which is an open quartz resonator, is connected by a shielded cable to the measuring generator, which is part of the analytical module, made according to the dimensions (width and length) adopted in the PC/104 specification for CubeSat standard satellites. In addition to the measuring generator, the analytical module includes a reference generator connected to a quartz resonator, isolated from external influences by its own housing. Signals from the measuring generator and from the reference generator are sent to the mixer, and then processed by the microcontroller, which is also part of the payload analytical module. The microcontroller is connected to and interfaces with a read-only memory, a real-time clock, and a voltage reference. A communication interface is used to communicate with the on-board computer.
В данной полезной нагрузке применяются: кварцевые резонаторы (пьезорезонансный датчик и резонатор в составе эталонного генератора) с рабочей частотой 6 МГц; смеситель сигналов; 32-разрядный микроконтроллер серии STM32 для обработки данных; постоянное запоминающее устройство для хранения полученных данных объемом 512 Кбит (64К x 8); часы реального времени для маркирования и синхронизации измерений; источник опорного напряжения для обеспечения точности измерений; интерфейс связи, поддерживающий протоколы UART, SPI, I2C.This payload uses: quartz resonators (piezoresonant sensor and resonator as part of the reference oscillator) with an operating frequency of 6 MHz; signal mixer; 32-bit STM32 series microcontroller for data processing; permanent storage device for storing received data with a capacity of 512 Kbit (64K x 8); real-time clock for marking and synchronizing measurements; reference voltage source to ensure measurement accuracy; communication interface supporting UART, SPI, I2C protocols.
Устройство представлено на следующих чертежах:The device is shown in the following drawings:
фиг. 1 - Структурная схема блока полезной нагрузки для исследования явления контаминации;fig. 1 - Block diagram of the payload block for studying the contamination phenomenon;
фиг. 2 - Вид лабораторного прототипа: аналитический модуль (больший по размеру) и модуль пьезорезонансного датчика (меньший по размеру) блока полезной нагрузки для исследования явления контаминации.fig. 2 - View of the laboratory prototype: analytical module (larger in size) and piezoresonance sensor module (smaller in size) of the payload unit for studying the contamination phenomenon.
Структурная схема (см. фиг. 1) определяет основные функциональные части устройства, их назначение и взаимосвязи. Принятые сокращения на структурной схеме: П - пьезорезонансного датчика модуль, ему присвоен номер 1; ПН - полезной нагрузки основная часть - аналитический модуль, ему присвоен номер 2; КА - космический аппарат стандарта CubeSat, ему присвоен номер 3.The block diagram (see Fig. 1) defines the main functional parts of the device, their purpose and relationships. Accepted abbreviations in the block diagram: P - piezoresonant sensor module, it is assigned the number 1; PN - the main part of the payload is the analytical module, it is assigned the number 2; KA is a spacecraft of the CubeSat standard, it is assigned the number 3.
На виде лабораторного прототипа (см. фиг. 2) аналитический модуль (больший по размеру) помечен цифрой 2, в соответствии со структурной схемой, а модуль пьезорезонансного датчика (меньший по размеру) - цифрой 1. Тестирование лабораторного прототипа осуществляется в высоковакуумной камере.In the laboratory prototype view (see Fig. 2), the analytical module (larger in size) is marked with number 2, in accordance with the block diagram, and the piezoresonance sensor module (smaller in size) is marked with number 1. Testing of the laboratory prototype is carried out in a high-vacuum chamber.
Устройство работает следующим образом.The device works as follows.
Модуль с пьезорезонансным датчиком, представляющим из себя открытый кварцевый резонатор, размещается в корпусе прибора, исследуемого на контаминацию. Экранированным кабелем пьезорезонансный датчик подключается к измерительному генератору в составе аналитического модуля. Изменение массы пьезорезонансного датчика в результате осаждения на него контаминантов с течением времени, приводит к изменению его резонансной частоты, в результате чего изменяется частота сигнала измерительного генератора. Сигнал от него и эталонного генератора через смеситель поступают в микроконтроллер, запрограммированный с учетом значений плотности материалов корпуса и внутренних деталей исследуемого на контаминацию прибора. Далее микроконтроллер рассчитывает толщину слоя контаминантов, полученные значения маркируются данными часов реального времени, и сохраняются в постоянное запоминающее устройство до запроса от бортового компьютера с целью передачи их на Землю.A module with a piezoresonance sensor, which is an open quartz resonator, is placed in the body of the device being tested for contamination. The piezoresonant sensor is connected with a shielded cable to the measuring generator as part of the analytical module. A change in the mass of the piezoresonant sensor as a result of the deposition of contaminants on it over time leads to a change in its resonant frequency, as a result of which the frequency of the measuring generator signal changes. The signal from it and the reference generator is sent through a mixer to a microcontroller programmed taking into account the density values of the body materials and internal parts of the device being tested for contamination. Next, the microcontroller calculates the thickness of the contaminant layer, the resulting values are marked with real-time clock data and stored in a permanent storage device before a request from the on-board computer for the purpose of transmitting them to Earth.
Технический результат использования изобретения заключается в том, что позволяет на платформе наноспутников формата CubeSat осуществлять натурные исследование явления контаминации внутри приборов чувствительных к образованию пленок сублимированных веществ с течением времени.The technical result of using the invention is that it allows, on the platform of nanosatellites of the CubeSat format, to carry out full-scale studies of the phenomenon of contamination inside devices of sublimated substances sensitive to the formation of films over time.
Список использованных источников:List of sources used:
1. Патент № 2727762.1. Patent No. 2727762.
2. Патент № 2672820.2. Patent No. 2672820.
3. Патент № 2641639.3. Patent No. 2641639.
4. Патент № 180725.4. Patent No. 180725.
5. Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок. Справочник. Том 1 / Перевод с англ. под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко - М.: "Сов. Радио", 1977, 664 с.5. Maissel L., Glang R. Thin film technology. Directory. Volume 1 / Translation from English. edited by M.I. Elinson, G.G. Smolko - M.: "Sov. Radio", 1977, 664 p.
6. Патент № 2764047.6. Patent No. 2764047.
7. Кузин, С.А. Особенности разработки и использования аппаратуры для проведения космических экспериментов в ВУФ диапазоне спектра / Труды школы молодых ученых «Современная рентгеновская оптика - 2022» (Нижний Новгород, 19-22 сентября 2022 г.), С.38.7. Kuzin, S.A. Features of the development and use of equipment for conducting space experiments in the VUV range of the spectrum / Proceedings of the school of young scientists “Modern X-ray Optics - 2022” (Nizhny Novgorod, September 19-22, 2022), P.38.
Claims (1)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2803675C1 true RU2803675C1 (en) | 2023-09-19 |
Family
ID=
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU255728A1 (en) * | METHOD OF CONTROLLING THE FILM THICKNESS IN THE PROCESS | |||
| RU2402466C1 (en) * | 2009-07-03 | 2010-10-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт машиностроения" (ФГУП ЦНИИмаш) | Method of controlling contaminants of spacecraft surface elements brought about by low-thrust rocket engine operation and device to this end |
| RU2454717C1 (en) * | 2011-06-09 | 2012-06-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-технический центр "Альфа-1" | Object identification system |
| RU2716608C1 (en) * | 2019-02-27 | 2020-03-13 | Публичное акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" | System for monitoring state of outer surface of hermetically enclosed shell of space object under screen-vacuum heat insulation, used by astronaut in process of extravehicular activity, and method for operation thereof |
| CN112697081A (en) * | 2020-12-15 | 2021-04-23 | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 | Film thickness measuring system and method |
| RU2764047C1 (en) * | 2020-12-10 | 2022-01-13 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Амурский государственный университет" | UNIVERSAL PAYLOAD UNIT FOR CubeSat FORMAT NANOSATELLITES |
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU255728A1 (en) * | METHOD OF CONTROLLING THE FILM THICKNESS IN THE PROCESS | |||
| RU2402466C1 (en) * | 2009-07-03 | 2010-10-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт машиностроения" (ФГУП ЦНИИмаш) | Method of controlling contaminants of spacecraft surface elements brought about by low-thrust rocket engine operation and device to this end |
| RU2454717C1 (en) * | 2011-06-09 | 2012-06-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-технический центр "Альфа-1" | Object identification system |
| RU2716608C1 (en) * | 2019-02-27 | 2020-03-13 | Публичное акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" имени С.П. Королева" | System for monitoring state of outer surface of hermetically enclosed shell of space object under screen-vacuum heat insulation, used by astronaut in process of extravehicular activity, and method for operation thereof |
| RU2764047C1 (en) * | 2020-12-10 | 2022-01-13 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Амурский государственный университет" | UNIVERSAL PAYLOAD UNIT FOR CubeSat FORMAT NANOSATELLITES |
| CN112697081A (en) * | 2020-12-15 | 2021-04-23 | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 | Film thickness measuring system and method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Northrop | Introduction to instrumentation and measurements | |
| Kaatze et al. | Dielectric relaxation spectroscopy of liquids: frequency domain and time domain experimental methods | |
| Ulaby et al. | Microwave dielectric properties of dry rocks | |
| RU2803675C1 (en) | Payload block for studying contamination inside cubesat satellite instruments | |
| Campbell et al. | The multi-mode acoustic gravitational wave experiment: MAGE | |
| Beeley et al. | All-digital interface ASIC for a QCM-based electronic nose | |
| Matko et al. | Quartz sensor for water absorption measurement in glass-fiber resins | |
| Spilker | Laboratory measurements of microwave absorptivity and refractivity spectra of gas mixtures applicable to giant planet atmospheres | |
| Collins et al. | Determination of Optical Constants of Metals by Reflectivity Measurements | |
| Wang et al. | Novel full range vacuum pressure sensing technique using free decay of trapezoid micro-cantilever beam deflected by electrostatic force | |
| Oyama et al. | Electron temperature probe experiments on the satellite “TAIYO” | |
| Khelifa et al. | Traceability of small force measurements and the future international system of units (SI) | |
| Richter et al. | Integrated high temperature gas sensor system based on bulk acoustic wave resonators | |
| Grasdijk et al. | Electro-optic sensor for static fields | |
| Raitt et al. | A satellite-borne positive ion mass spectrometer | |
| Flatscher et al. | Spectroscopic impedance measurement front-end for applications in industrial processes | |
| Daseler et al. | A new method for the determination of the permittivity of small samples in the microwave range and its application to hemoglobin single crystals | |
| Casalnuovo et al. | Monolithic integration of GaAs SAW chemical microsensor arrays and detection electronics | |
| Wang et al. | Electronic noise analysis and in-orbit resolution verification of an electrostatic accelerometer | |
| Day et al. | Phase calibration of displacement-sensitive vibration transducer systems | |
| Kakimoto et al. | Measurement of the Dielectric Constant and Loss Tangent of Multilayer Specimen and Its Application | |
| Schaefer et al. | Single board impedance analyzer and transient analysis of QCR sensor response | |
| Koga et al. | A new type of instrument to measure the complex piezoelectric stress constant and the complex tensile modulus of polymers | |
| Zhang et al. | 1/f noise | |
| SU1681279A1 (en) | Method for measuring dielectric permittivity of liquids |