RU2779112C1 - Способ прецизионного бесклеевого соединения прозрачных диэлектриков с металлами - Google Patents
Способ прецизионного бесклеевого соединения прозрачных диэлектриков с металлами Download PDFInfo
- Publication number
- RU2779112C1 RU2779112C1 RU2021137498A RU2021137498A RU2779112C1 RU 2779112 C1 RU2779112 C1 RU 2779112C1 RU 2021137498 A RU2021137498 A RU 2021137498A RU 2021137498 A RU2021137498 A RU 2021137498A RU 2779112 C1 RU2779112 C1 RU 2779112C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- metals
- materials
- laser
- focused
- glass
- Prior art date
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 title claims abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 15
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 8
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical class [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000005398 lithium aluminium silicate glass-ceramic Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000005382 thermal cycling Methods 0.000 description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 210000001503 Joints Anatomy 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000023298 conjugation with cellular fusion Effects 0.000 description 2
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 2
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 2
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 2
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 2
- 230000021037 unidirectional conjugation Effects 0.000 description 2
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N Benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000001624 Hip Anatomy 0.000 description 1
- 229910000502 Li-aluminosilicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006093 Sitall Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000006112 glass ceramic composition Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing Effects 0.000 description 1
- 238000009864 tensile test Methods 0.000 description 1
Abstract
Изобретение относится к способу прецизионного бесклеевого соединения прозрачных диэлектриков с металлами, основанному на локальном размягчении и сварке стекол с металлами под действием сфокусированного излучения лазера. Осуществляют фокусировку фемтосекундных лазерных импульсов вблизи поверхности раздела свариваемых материалов и перемещение сфокусированного пучка по заданной траектории. В качестве лазера используют фемтосекундный лазер, генерирующий импульсы в ближнем ИК диапазоне, длительностью 180÷1200 фс, с частотой следования 200÷1000 кГц, энергией 200÷1500 нДж. Фокусировку выполняют асферической линзой с числовой апертурой 0,16÷0,65 в область контакта материалов и перемещают в плоскости контакта материалов со скоростью 0,5÷1 мм/с. В качестве прозрачного диэлектрика используют кварцевое стекло или литиевоалюмосиликатный ситалл, а в качестве металла инварный сплав 64Fe36Ni. Сварной шов представляет собой серию параллельных треков с шагом 10÷100 мкм между треками. Технический результат изобретения состоит в создании прочного термостойкого соединения прозрачных диэлектриков с металлами. 4 пр.
Description
Изобретение относится к области лазерной обработки материалов, в частности к способу прецизионного бесклеевого соединения прозрачных диэлектриков с металлами, основанный на локальном размягчении и сварке стекол с металлами под действием сфокусированного излучения лазера. Полученный результат может быть использован для создания прочного термостабильного, вакуумплотного химически стойкого бесклеевого соединения стекол с металлами, в том числе материалами с близкими температурными коэффициентами линейного расширения (ТКЛР).
В некоторых отраслях промышленности, особенно в области производства датчиков, микроэлектромеханике и оптоэлектронике востребованы прочные, вакуумплотные соединения стекла и стеклокристаллических материалов с металлами. В патенте US 5,563,084 описана склейка металлизированной подложки и оксида кремния путем нанесения клеевого раствора на подложку оксида кремния, позиционирования ответной детали и соединения с подложкой. Основными недостатками метода является сложность локального нанесения слоя клея равномерной толщины и частые нарушения герметичности подобных соединений, склонность к возникновению напряжений при перепадах температур и нестабильность клея, который в процессе эксплуатации может разрушаться с выделением газов. Эти недостатки частично устранены в патенте US 11/915,630, в котором в качестве связующего компонента выступает полимерное кольцо заданной формы, которое помещают между соединяемыми материалами и локально размягчают под действием лазерного излучения. Таким образом, становится возможным локальное герметичное соединение различных материалов. Однако полимерные композиции, используемые в патенте, в том числе бензоциклобутен, отличаются низкой стойкостью к перепадам температур и низкой химической стойкостью, которые не позволяют подобным соединениям выдерживать температуры выше 100°С.
В то же время использование припоев позволяет значительно улучшить эксплуатационные характеристики изделий. В патенте US 6,501,044 описан способ лазерного спаивания разнородных материалов, одним из которых является стекло, за счет локального расплавления слоя припоя между соединяемыми поверхностями под действием лазерного пучка. В качестве припоя в патенте было предложено легкоплавкое (Тпл=450°С) свинцовое стекло с высоким содержанием оксида свинца - до 92 мас.% PbO. Пучок лазера точно фокусируется на измельченное припоечное стекло, помещенное между соединяемыми материалами, и плавит его, перемещаясь вдоль плоскости поверхности формируемой спайки. Преимуществом данного способа является локализация спаянного шва, что снижает величину и количество напряженных областей и дает возможность отказаться от стадии отжига конечного изделия. Однако внесение припоя значительно снижает термическую и химическую стойкость формируемого соединения по сравнению со свойствами исходных материалов, ограничивая ее значениями, характерными для использованного припоя.
Этих недостатков лишен способ низкотемпературного бесклеевого и бесприпойного соединения металлизированной подложки с оксидом кремния, заявленный в патенте US 7,602,070 и позволяющий получить надежное механическое соединение и стабильный электрический контакт. Соединение достигается за счет обеспечения минимального зазора между совмещаемыми материалами, что приводит к высокой энергии связи между соединяемыми материалами. Однако данный способ не позволяет управлять геометрией соединения и требует длительной подготовки поверхности оксида кремния с достижением шероховатости менее 10 нм, а толщина металлического слоя ограничена 100 нм для обеспечения максимальной прочности связи.
Более перспективным с точки зрения создания соединений сложной геометрии является способ бесклеевой и бесприпойной лазерной сварки, в процессе которой сварной шов формируется благодаря локальному лазерно-индуцированному нагреву и размягчению материалов. В патенте JP002005066629A предложена прецизионная сварка двух образцов кварцевых стекол под действием титан-сапфирового лазера с длиной волны излучения 800 нм, длительностью импульсов 130 фс, частотой следования импульсов 1 кГц и энергией импульса 1 мкДж. Лазерный пучок фокусировался на поверхности раздела свариваемых образцов объективом 10х (NA=0.3) и перемещался относительно поверхности образца со скоростью 5 мкм/с. Поглощение энергии лазерного излучения стеклами в области фокусировки обеспечило локальное плавление и соединение стекол друг с другом согласно траектории движения сфокусированного пучка. Стекла соединялись без использования дополнительных клеев или припоев, что повышает химическую и термическую стойкость соединения. Использование низкой частоты следования импульсов ведет к необходимости снижения скорости перемещения пучка для достижения достаточных для расплавления стекол температур вблизи перетяжки лазерного пучка, что является основным недостатком описанного способа. Кроме того низкая частота следования импульсов не позволяет реализовать эффект накопления тепла, обеспечивающий более равномерное прогревание области воздействия лазерных импульсов и формирование более прочного соединения.
Наиболее близким аналогом к заявляемому изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ формирования бесклеевого соединения стекол с металлами, заявленный в статье Carter et al. «Towards industrial ultrafast laser microwelding: SiO2 and BK7 to aluminum alloy», который выбран в качестве прототипа. В данной статье произведена высокопрецизионная сварка кварцевого стекла и стекла марки БК7 с алюминиемым сплавом Al6082 под действием твердотельного пикосекундного лазера с длиной волны излучения 1030 нм, длительностью импульсов 5,9 пс, частотой следования 400 кГц и мощностью 3-6,5 Вт. Лазерный пучок фокусировался плосковыпуклой линзой с фокусным расстоянием 20 мм в плоскости контакта свариваемых образцов, либо ниже на 31-331 мкм и перемещался относительно поверхности образца со скоростью 5 мкм/с. Для обеспечения прочного соединения лазерный пучок перемещали дважды по одной и той же траектории, представляющей собой спираль диаметром 2.5 мм. Прочность соединения алюминиевого сплава Al6082 со стеклом марки БК7 составила 13 МПа, для соединения с кварцевым стеклом подобных данных не приводится. Соединение Al6082-БК7 выдерживало 6 циклов термоциклирования от -50 до +90°С. Недостатком данного способа является индуцирование напряжений, возникающих при охлаждении от температур сварки до комнатных, поэтому соединение кварцевого стекла с металлическим сплавом не было термостойким и прочным. Также к настоящему времени не запатентован метод лазерной сварки стекол или ситаллов с металлами.
Техническим результатом изобретения является создание прочного термостойкого соединения прозрачных диэлектриков с металлами.
Указанный технический результат достигается способом прецизионного бесклеевого соединения прозрачных диэлектриков с металлами, основанном на локальном размягчении и сварке стекол с металлами под действием сфокусированного излучения лазера, включающим фокусировку фемтосекундных лазерных импульсов вблизи поверхности раздела свариваемых материалов, движение сфокусированного пучка по заданной траектории, при этом в качестве лазера используют фемтосекундный лазер, генерирующий импульсы в ближнем ИК диапазоне, длительностью 180÷1200 фс, с частотой следования 200÷1000 кГц, энергией 200÷1500 нДж, пучок которого фокусируют асферической линзой с числовой апертурой 0,16÷0,65 в область контакта материалов и перемещают в плоскости контакта материалов со скоростью 0,5÷1 мм/с, в качестве прозрачного диэлектрика используют кварцевое стекло или литиевоалюмосиликатный ситалл, в качестве металла инварный сплав 64Fe36Ni и сварной шов представляет собой серию параллельных треков с шагом 10÷100 мкм между треками.
В заявляемой работе применен метод локального плавления диэлектрика для инициирования диффузии металла в расплав. Метод основан на нагреве и плавлении диэлектрика под действием сфокусированного фемтосекундного лазерного пучка, что приводит к нагреву металла в месте контакта с диэлектриком и последующей диффузии металла в расплав. После перемещения лазерного пучка относительно свариваемых материалов или его выключения происходит остывание области сварного шва и формируется термически стойкое бесклеевое соединение при условии применения материалов с близкими ТКЛР.
Для сварки использовалась установка на основе фемтосекундного лазера Pharos SP (Light Conversion Ltd), работающего в тепловом режиме и излучающего импульсы на длине волны 1030 нм, длительностью 180÷1200 фс, с частотой следования 200÷1000 кГц, энергией 200÷1500 нДж. Пучок лазера фокусировался асферической линзой с числовой апертурой 0,16÷0,65 на глубину 108-362 мкм ниже поверхности металла и перемещался в плоскости контакта материалов со скоростью 0,5÷1 мм/с, с шагом 10÷100 мкм между треками, формирующими сварной шов. Для минимизации зазора полированные образцы очищали ацетоном и помещали в зажимную оправку. Перемещение относительно лазерного пучка происходило на прецизионном трехкоординатном трансляционном столе Aerotech ABL1000. Сварное соединение представляло собой площадку 3×3 мм, содержащую 30÷300 параллельных прямолинейных сварных швов длиной 3 мм.
Анализ прочностных характеристик сварного шва проводился на испытательной разрывной машине Shimadzu AGS-X при постоянной скорости нагружения 1 мм/мин методом измерения прочности на сдвиг σ, определяемой по формуле σ=Fmax/S, где Fmax - сила нагружения, Н; S - площадь сварного шва, мм2. Для измерений использовалась оправка, по конструкции аналогичная оправке, применявшейся в прототипе. Стойкость к перепадам температур определяли термоциклированием в климатической камере КТХМ-60-150 в течение 25 циклов термоциклирования в диапазоне 20÷100°С.
Достижение заявляемого технического результата подтверждается следующими примерами.
Пример 1. Проведена локальная лазерная сварка пластины кварцевого стекла марки КУ-1 (α0-100=0,55⋅10-6 K-1) с размерами 12×14×4,4 мм и цилиндра из инварного сплава 64Fe36Ni (α0-100=1,2⋅10-6 K-1) диаметром 12,2 мм и высотой 3 мм. Сфокусированным лазерным излучением на длине волны 1030 нм, с длительностью импульсов 1200 фс, частотой следования 1000 кГц, энергией импульсов 200 нДж была сформирована сварная площадка, содержащая 30 параллельных прямолинейных сварных швов длиной 3 мм с шагом 100 мкм. Для фокусировки лазерного пучка использовали асферическую линзу с числовой апертурой 0,25 на глубину 108 мкм ниже поверхности металла, скорость перемещения относительно лазерного пучка составила 0,5 мм/с. Прочность на сдвиг сформированного соединения составила 32 МПа. Соединение выдержало 25 циклов термоциклирования в диапазоне 20÷100°С.
Пример 2. Проведена локальная лазерная сварка пластины кварцевого стекла марки КУ-1 (α0-100=0,55⋅10-6 K-1) с размерами 12×14×4,4 мм и цилиндра из инварного сплава 64Fe36Ni (α0-100=1,2⋅10-6 K-1) диаметром 12,2 мм и высотой 3 мм. Сфокусированным лазерным излучением на длине волны 1030 нм, с длительностью импульсов 180 фс, частотой следования 500 кГц, энергией импульсов 1500 нДж была сформирована сварная площадка, содержащая 600 параллельных прямолинейных сварных швов длиной 3 мм с шагом 50 мкм. Для фокусировки лазерного пучка использовали асферическую линзу с числовой апертурой 0,16 на глубину 362 мкм ниже поверхности металла, скорость перемещения относительно лазерного пучка составила 1 мм/с. Прочность на сдвиг сформированного соединения составила 39 МПа. Соединение выдержало 25 циклов термоциклирования в диапазоне 20÷100°С.
Пример 3. Проведена локальная лазерная сварка пластины литиевоалюмосиликатного ситалла (α0-100=18⋅10-6 K-1) с размерами 10,2×8×3,2 мм, содержащего нанокристаллы β-эвкриптитоподобных твердых растворов и цилиндра из инварного сплава 64Fe36Ni (α0-100=1,2⋅10-6 K-1) диаметром 12,2 мм и высотой 3 мм. Методика синтеза и режимы ситаллизации описаны в патенте RU 2,569,703 С1. Сфокусированным лазерным излучением на длине волны 1030 нм, с длительностью импульсов 600 фс, частотой следования 200 кГц, энергией импульсов 1500 нДж была сформирована сварная площадка, содержащая 150 параллельных прямолинейных сварных швов длиной 3 мм с шагом 20 мкм. Для фокусировки лазерного пучка использовали асферическую линзу с числовой апертурой 0,65 на глубину 56 мкм ниже поверхности металла, скорость перемещения относительно лазерного пучка составила 0,5 мм/с. Прочность на сдвиг сформированного соединения составила 16 МПа. Соединение выдержало 25 циклов термоциклирования в диапазоне 20÷100°С.
Пример 4. Проведена локальная лазерная сварка пластины литиевоалюмосиликатного ситалла (α0-100=18⋅10-6 K-1) с размерами 10,2×8×3,2 мм, содержащего нанокристаллы β-эвкриптитоподобных твердых растворов и цилиндра из инварного сплава 64Fe36Ni (α0-100=1,2⋅10-6 K-1) диаметром 12,2 мм и высотой 3 мм. Сфокусированным лазерным излучением на длине волны 1030 нм, с длительностью импульсов 180 фс, частотой следования 500 кГц, энергией импульсов 1500 нДж была сформирована сварная площадка, содержащая 300 параллельных прямолинейных сварных швов длиной 3 мм с шагом 10 мкм. Для фокусировки лазерного пучка использовали асферическую линзу с числовой апертурой 0,4 на глубину 56 мкм ниже поверхности металла, скорость перемещения относительно лазерного пучка составила 0,5 мм/с. Прочность на сдвиг сформированного соединения составила 24 МПа. Соединение выдержало 25 циклов термоциклирования в диапазоне 20÷100°С.
Заявляемые пределы изменения параметров фемтосекундного лазерного излучения позволяют производить сварку кварцевого стекла или литиевоалюмосиликатного ситалла с инварным сплавом, а использование материалов с близкими и низкими ТКЛР дает возможность создавать высокопрочное термостойкое соединение. Нижние границы указанных пределов параметров лазерной сварки обусловлены минимальной дозой лазерного излучения, достаточной для локального плавления и образования стеклофазы и взаимной диффузии материалов, верхние обусловлены возникновением трещин и разрушением сварного шва.
Claims (1)
- Способ прецизионного бесклеевого соединения прозрачных диэлектриков с металлами, включающий локальное размягчение и сварку стекол с металлами под действием сфокусированного излучения лазера, при этом осуществляют фокусировку лазерных импульсов в область контакта свариваемых материалов и перемещение сфокусированного пучка по заданной траектории, отличающийся тем, что в качестве лазера используют фемтосекундный лазер, генерирующий импульсы в ближнем ИК диапазоне длительностью 180÷1200 фс, с частотой следования 200÷1000 кГц и энергией 200÷1500 нДж, при этом пучок лазерного излучения фокусируют в область контакта свариваемых материалов асферической линзой с числовой апертурой 0,16÷0,65 и перемещают в плоскости контакта материалов со скоростью 0,5÷1 мм/с, причем в качестве прозрачного диэлектрика используют кварцевое стекло или литиевоалюмосиликатный ситалл, а в качестве металла инварный сплав 64Fe36Ni, при этом сварной шов выполняют в виде серии параллельных треков с шагом 10÷100 мкм между треками.
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2779112C1 true RU2779112C1 (ru) | 2022-08-31 |
Family
ID=
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1090671A1 (ru) * | 1980-05-23 | 1984-05-07 | Предприятие П/Я Р-6681 | Способ изготовлени стержневого спа металла с кварцевым стеклом |
| SU1152941A1 (ru) * | 1982-09-22 | 1985-04-30 | Предприятие П/Я В-2769 | Способ соединени деталей |
| US6501044B1 (en) * | 1999-04-23 | 2002-12-31 | Institut Fur Angewandte Photovoltaik Gmbh | Method for welding the surfaces of materials |
| RU2215313C1 (ru) * | 2002-04-01 | 2003-10-27 | Федеральное Государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем" | Проекционный объектив для фокусировки лазерного излучения |
| JP2005066629A (ja) * | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Human Design Authority Inc | 超短光パルスによる透明材料の接合方法、物質接合装置、接合物質 |
| RU2013121193A (ru) * | 2010-10-13 | 2014-11-20 | Керамтек Гмбх | Способ соединения двух соединяемых компонентов, то есть керамики с металлом/керамикой, с помощью лазерного луча |
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1090671A1 (ru) * | 1980-05-23 | 1984-05-07 | Предприятие П/Я Р-6681 | Способ изготовлени стержневого спа металла с кварцевым стеклом |
| SU1152941A1 (ru) * | 1982-09-22 | 1985-04-30 | Предприятие П/Я В-2769 | Способ соединени деталей |
| US6501044B1 (en) * | 1999-04-23 | 2002-12-31 | Institut Fur Angewandte Photovoltaik Gmbh | Method for welding the surfaces of materials |
| RU2215313C1 (ru) * | 2002-04-01 | 2003-10-27 | Федеральное Государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем" | Проекционный объектив для фокусировки лазерного излучения |
| JP2005066629A (ja) * | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Human Design Authority Inc | 超短光パルスによる透明材料の接合方法、物質接合装置、接合物質 |
| RU2013121193A (ru) * | 2010-10-13 | 2014-11-20 | Керамтек Гмбх | Способ соединения двух соединяемых компонентов, то есть керамики с металлом/керамикой, с помощью лазерного луча |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Richard M. Carter et al. "Towards industrial ultrafast laser microwelding: SiO2 and BK7 to aluminum alloy", Applied optics, vol.56, N16, 01.07.2017, p. 4873-4881. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI737690B (zh) | 包含透明雷射焊接區之密封裝置 | |
| CN108609841B (zh) | 一种适用于玻璃的焊接方法 | |
| Richter et al. | Bonding of glass with femtosecond laser pulses at high repetition rates | |
| US5407119A (en) | Laser brazing for ceramic-to-metal joining | |
| CN107892469A (zh) | 一种多激光束合束焊接玻璃材料的方法及装备 | |
| CN106449439A (zh) | 一种玻璃芯片封装方法 | |
| Okamoto et al. | Evaluation of molten zone in micro-welding of glass by picosecond pulsed laser | |
| CN108581188B (zh) | 一种复合激光焊接透明脆性材料的方法及装置 | |
| US20100065536A1 (en) | Micro Laser Assisted Machining | |
| CN207811563U (zh) | 一种多激光束合束焊接玻璃材料的装置 | |
| Miyamoto et al. | Advances of Laser Welding Technology of Glass-Science and Technology-. | |
| CN109909610A (zh) | 一种硅片和玻璃的焊接方法及焊接系统 | |
| RU2779112C1 (ru) | Способ прецизионного бесклеевого соединения прозрачных диэлектриков с металлами | |
| Richter et al. | Welding of transparent materials with ultrashort laser pulses | |
| US20030071269A1 (en) | Apparatus and method for laser selective bonding technique for making sealed or enclosed microchannel structures | |
| CN102140036B (zh) | 陶瓷与金属双激光束部分瞬间液相焊接方法 | |
| JP6141715B2 (ja) | レーザ光によるガラス基板融着方法 | |
| CN116890168A (zh) | 用于焊接透明材料与金属材料的方法及设备 | |
| CN107552962B (zh) | 一种蓝宝石与金属的准同步活性焊接方法 | |
| Roth et al. | Glass welding technology using ultra short laser pulses | |
| Fedotov et al. | Femtosecond Laser Welding of Glass and Sitall with Substantially Different Values of the LTEC | |
| RU2818355C1 (ru) | Способ локального бесклеевого соединения стекол со стеклокристаллическими материалами | |
| Zimmermann et al. | Towards industrial usage of ultrashort pulse welding | |
| JP7119806B2 (ja) | 複合物品製造方法 | |
| Ham et al. | Jig-free laser welding of Eagle XG glasses by using a picosecond pulsed laser |