RU2749149C1 - Two-way velocity ellipsometer - Google Patents
Two-way velocity ellipsometer Download PDFInfo
- Publication number
- RU2749149C1 RU2749149C1 RU2020132069A RU2020132069A RU2749149C1 RU 2749149 C1 RU2749149 C1 RU 2749149C1 RU 2020132069 A RU2020132069 A RU 2020132069A RU 2020132069 A RU2020132069 A RU 2020132069A RU 2749149 C1 RU2749149 C1 RU 2749149C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- ellipsometer
- polarizer
- radiation
- photodetectors
- glan
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910021532 Calcite Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- PCTMTFRHKVHKIS-BMFZQQSSSA-N (1s,3r,4e,6e,8e,10e,12e,14e,16e,18s,19r,20r,21s,25r,27r,30r,31r,33s,35r,37s,38r)-3-[(2r,3s,4s,5s,6r)-4-amino-3,5-dihydroxy-6-methyloxan-2-yl]oxy-19,25,27,30,31,33,35,37-octahydroxy-18,20,21-trimethyl-23-oxo-22,39-dioxabicyclo[33.3.1]nonatriaconta-4,6,8,10 Chemical compound C1C=C2C[C@@H](OS(O)(=O)=O)CC[C@]2(C)[C@@H]2[C@@H]1[C@@H]1CC[C@H]([C@H](C)CCCC(C)C)[C@@]1(C)CC2.O[C@H]1[C@@H](N)[C@H](O)[C@@H](C)O[C@H]1O[C@H]1/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/[C@H](C)[C@@H](O)[C@@H](C)[C@H](C)OC(=O)C[C@H](O)C[C@H](O)CC[C@@H](O)[C@H](O)C[C@H](O)C[C@](O)(C[C@H](O)[C@H]2C(O)=O)O[C@H]2C1 PCTMTFRHKVHKIS-BMFZQQSSSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 1
- 230000004313 glare Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J4/00—Measuring polarisation of light
- G01J4/04—Polarimeters using electric detection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
- G01N21/211—Ellipsometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к оптическим поляризационным приборам и может использоваться для экспрессного неразрушающего определения спектров оптических констант различных материалов и толщин тонких пленок. В научных и технических измерениях широко используются эллипсометры с вращающимися поляризационными элементами (поляризаторами, анализаторами или компенсаторами).The invention relates to optical polarizing devices and can be used for express non-destructive determination of the spectra of optical constants of various materials and thicknesses of thin films. Ellipsometers with rotating polarizing elements (polarizers, analyzers or compensators) are widely used in scientific and technical measurements.
Известен эллипсометр с дискретной модуляцией состояния поляризации (Патент РФ №1695145, опубл. 30.11.1991), который не имеет движущихся поляризационных элементов. Эллипсометр содержит источник монохроматического излучения, расположенные последовательно по ходу пучка систему формирования пучка, элемент разделения пучков, модулятор и элемент объединения пучков, держатель образца, анализатор и приемно-регистрирующую систему, содержащую фотоприемник и блок усиления, обработки и отображения информации.Known ellipsometer with discrete modulation of the state of polarization (RF Patent No. 1695145, publ. 30.11.1991), which has no moving polarizing elements. The ellipsometer contains a source of monochromatic radiation, a beam forming system, a beam separation element, a modulator and a beam combining element, a sample holder, an analyzer and a receiving and recording system containing a photodetector and a unit for amplifying, processing and displaying information, located in series along the beam.
Недостатком данного аналога является то, что на величину ошибки измерения негативно влияет работа переключателя поляризации, а также потери интенсивности поляризованных пучков при прохождении переключателя. Точное разделение и совмещение пучков может зависеть от точности ориентации осей в поляризационном клине, существенно ограничена скорость механического переключения пучков, а при измерении слабых сигналов возможно влияние световых бликов от движущегося механического прерывателя.The disadvantage of this analogue is that the magnitude of the measurement error is negatively affected by the operation of the polarization switch, as well as the loss of the intensity of polarized beams when passing through the switch. The exact separation and alignment of beams can depend on the accuracy of the orientation of the axes in the polarization wedge, the speed of mechanical switching of beams is significantly limited, and when measuring weak signals, the influence of light glare from a moving mechanical chopper is possible.
Известен светодиодный эллипсометр (Ковалев В.И. и др. Светодиодный многоканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации // Приборы и техника эксперимента. - 2014. - №.5. - С. 99-102), который содержит набор из 8 светодиодов, систему коллимирования пучков, переключатель состояния поляризации (ПСП), на выходе которого реализуются последовательно во времени коллимированные пучки излучения с азимутами поляризации Р1 и P1+90° (Р1 - фиксированный азимут поляризации), падающие на исследуемый образец под заданным углом падения. Отраженное от образца излучение направляют на второй ПСП, переключающий ортогонально поляризованные пучки с азимутами А1 и А1+90°, падающие на 512-элементную линейку фотоприемников, измеряют отношения интенсивностей на фотоприемниках для переключаемых пучков с азимутами Р1 и Р1+90° и определяют по отношениям интенсивностей спектры эллипсометрических параметров образца Т и А.Known LED ellipsometer (Kovalev VI et al. LED multichannel spectral ellipsometer with binary modulation of the polarization state // Instruments and Experiment Technique. - 2014. - No. 5. - P. 99-102), which contains a set of 8 LEDs , a system for collimating beams, a polarization state switch (PSP), at the output of which collimated radiation beams with polarization azimuths P 1 and P 1 + 90 ° (P 1 is a fixed polarization azimuth) are realized sequentially in time, incident on the sample under study at a given angle of incidence ... Reflected from the sample radiation is directed to the second memory bandwidth, the switching orthogonally polarized beams with the azimuths A 1 and A 1 + 90 °, falling into 512-cell line photodetectors measure the ratio of intensities at the photodetector for switching beams with the azimuths P 1 and P 1 + 90 ° and the spectra of the ellipsometric parameters of the sample T and A are determined from the intensity ratios.
Недостатком данного аналога является то, что необходимость механической последовательной установки 8 светодиодов на место излучателя и наличие двух механических устройств переключения ортогонально поляризованных пучков увеличивает минимальное время измерения спектров Т и А в диапазоне от 360 нм до 800 нм до 5 сек.The disadvantage of this analogue is that the need for mechanical sequential installation of 8 LEDs in place of the emitter and the presence of two mechanical devices for switching orthogonally polarized beams increase the minimum measurement time for the T and A spectra in the range from 360 nm to 800 nm up to 5 sec.
В спектральном эллипсометре (Ковалев В.И. и др. Широкодиапазонный спектральный эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации на базе монохроматора МДР-41 // Приборы и техника эксперимента. - 2019. - №.6. - С. 71-75) также используется метод эллипсометрии с переключением ортогональных состояний поляризации. Эллипсометр содержит галогенную лампу в качестве излучателя, монохроматор, в котором входная и выходная щели выполнены в виде двух, смещенных по вертикали, диафрагм, дисковый прерыватель пучков вблизи выходной щели, устройство коллимации пучков за выходной щелью. Пучки с частотой прерывания поступают на два входа призмы Глана-Томпсона (ГТ), на выходе которой реализуются попеременно ортогонально поляризованные пучки (Р1=30°), падающие под углом 70° на образец. Отраженные от образца пучки проходят через вторую призму ГТ, направляющую пучки с азимутами A1 и А1+90° (А1=10°) на фотоприемники.In the spectral ellipsometer (Kovalev V.I. et al. A wide-range spectral ellipsometer with switching orthogonal polarization states based on the MDR-41 monochromator // Instruments and Experimental Techniques. - 2019. - No. 6. - P. 71-75) is also used ellipsometry method with switching orthogonal polarization states. The ellipsometer contains a halogen lamp as an emitter, a monochromator in which the entrance and exit slits are made in the form of two vertically displaced diaphragms, a disk beam chopper near the exit slit, a beam collimator behind the exit slit. Beams with a chopping frequency enter two inputs of a Glan-Thompson (GT) prism, at the output of which alternately orthogonally polarized beams (P 1 = 30 °) are realized, incident at an angle of 70 ° on the sample. The reflected beams from the sample pass through the second prism HT guide beams with the azimuths A and A 1 1 + 90 ° (1 A = 10 °) to photodetectors.
Высокие точность и воспроизводимость измерений эллипсометрических параметров подтверждают возможность точных измерений без ПСП и без механической модуляции, но с попеременным включением-выключением одинаковых светодиодов или других импульсных источников излучения с высокой частотой.High accuracy and reproducibility of measurements of ellipsometric parameters confirm the possibility of accurate measurements without PSP and without mechanical modulation, but with alternating on / off of identical LEDs or other pulsed radiation sources with a high frequency.
Описанный эллипсометр наиболее близок по совокупности существенных признаков к заявляемому эллипсометру и является прототипом двухстороннего скоростного эллипсометра.The described ellipsometer is the closest in terms of the set of essential features to the claimed ellipsometer and is a prototype of a double-sided high-speed ellipsometer.
Из недостатков приведенной конструкции прототипа можно отметить наличие громоздкого решеточного монохроматора с механическим управлением, который при медленном сканировании спектра не позволяет проводить быстрые кинетические исследования в реальном времени.Among the disadvantages of the above design of the prototype, it is possible to note the presence of a bulky grating monochromator with mechanical control, which, when the spectrum is slowly scanned, does not allow fast kinetic studies in real time.
Задачей настоящего изобретения является упрощение конструкции спектрального эллипсометра и удвоение количества используемых длин волн путем эффективного использования полупроводниковых источников излучения.The object of the present invention is to simplify the design of a spectral ellipsometer and to double the number of used wavelengths by efficiently using semiconductor radiation sources.
Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности и воспроизводимости эллипсометрических параметров, а также значительное повышение скорости измерений спектрального эллипсометра с полупроводниковыми источниками излучения (ПИИ).The technical result of the invention is an increase in the sensitivity and reproducibility of ellipsometric parameters, as well as a significant increase in the measurement speed of a spectral ellipsometer with semiconductor radiation sources (PII).
Данный результат достигается существенным упрощением конструкции спектрального эллипсометра и отсутствием движущихся элементов.This result is achieved by a significant simplification of the design of the spectral ellipsometer and the absence of moving elements.
Технический результат достигается тем, что в эллипсометре, включающем последовательно расположенные вдоль оптической оси блок поляризатора с источником излучения и блок анализатора, содержащие призмы Глана-Томпсона, в поляризаторе в качестве источника излучения используют два идентичных набора полупроводниковых источников излучения в выбранном спектральном диапазоне, поляризатор дополнительно содержит два фотоприемника и два светоделителя, расположенных перед призмой Глана-Томпсона, направляющих излучение на фотоприемники, при этом блок анализатора конструктивно полностью идентичен блоку поляризатора. В качестве источников импульсного излучения в эллипсометре могут быть использованы как светодиоды, так и лазерные диоды.The technical result is achieved by the fact that in an ellipsometer, which includes a polarizer unit with a radiation source and an analyzer unit sequentially located along the optical axis, containing Glan-Thompson prisms, two identical sets of semiconductor radiation sources in the selected spectral range are used in the polarizer as a radiation source, the polarizer is additionally contains two photodetectors and two beam splitters located in front of the Glan-Thompson prism, directing radiation to the photodetectors, while the analyzer unit is structurally completely identical to the polarizer unit. Both LEDs and laser diodes can be used as sources of pulsed radiation in the ellipsometer.
На фиг. 1 приведена схема двухстороннего светодиодного скоростного эллипсометра с четырьмя наборами из четырех излучателей (светодиодов), где 1, 3, 6, 7, 11, 13, 16, 17, 30, 31, 33, 34, 41, 42, 44, 45 - светодиоды, 8, 18, 27, 38 - линзовые коллиматоры, 2, 4, 5, 9, 12, 14, 15, 19,25, 28, 29, 32, 36, 39, 40, 43 - светоделительные пластины (СП), 21 и 35 - полированные пластины из легированного кремния, 22 и 24 - призмы ГТ из кальцита, 10, 20, 26, 37 -кремниевые фотодиоды, 23 - четырехзеркальный компенсатор, S - образец.FIG. 1 shows a diagram of a double-sided LED speed ellipsometer with four sets of four emitters (LEDs), where 1, 3, 6, 7, 11, 13, 16, 17, 30, 31, 33, 34, 41, 42, 44, 45 - LEDs, 8, 18, 27, 38 - lens collimators, 2, 4, 5, 9, 12, 14, 15, 19,25, 28, 29, 32, 36, 39, 40, 43 - beam splitting plates (SP) , 21 and 35 - polished plates of doped silicon, 22 and 24 - GT prisms made of calcite, 10, 20, 26, 37 - silicon photodiodes, 23 - four-mirror compensator, S - sample.
На фиг. 2 приведена схема блока совмещения коллимированного излучения трех пар идентичных лазерных диодов (46 и 47 с λ1, 48 и 49 с λ2, 50 и 51 с λ3) светоделительным кубом ABCD.FIG. 2 shows a diagram of a block for combining collimated radiation of three pairs of identical laser diodes (46 and 47 with λ 1 , 48 and 49 with λ 2 , 50 and 51 with λ 3 ) with a beam splitting cube ABCD.
Ниже приведен пример работы двухстороннего скоростного эллипсометра со светодиодными источниками излучения.Below is an example of the operation of a double-sided velocity ellipsometer with LED light sources.
Пучки излучения с длиной волны λ1 от последовательно включаемых идентичных светодиодов 1 и 11 (либо 3 и 13 с λ2 6 и 16 с λ3, 7 и 17 с λ4) проходят через линзовые коллиматоры 8 и 18, и СП 9 и 19 и поступают на два входа призмы ГТ из кальцита 22, которая последовательно направляет ортогонально поляризованные пучки с азимутами P1 и Р1+90° на образец S под заданным углом падения. Отраженное излучение второй призмой ГТ 24 разделяется на два ортогонально поляризованных пучка с азимутами поляризации А1 и А1+90° и СП 25 и 36 отражаются на кремниевые фотодиоды 26 и 37, измеряются отношения интенсивностей на фотоприемниках для переключаемых пучков с азимутами Р1 и Р1+90° и определяются по отношениям сигналов на фотоприемниках эллипсометрические параметры образца Т и А. Полированные пластины 21 и 35 из легированного кремния установлены под углом псевдо Брюстера около 75° и повышают степень поляризации отраженных пучков. Четырехзеркальный компенсатор 23 увеличивает чувствительность и точность измерения эллипсометрических параметров в определенных диапазонах значений эллипсометрических параметров. Пучки излучения с длиной волны λ5 от последовательно включаемых идентичных светодиодов 34 и 45 (либо 33 и 44 с λ6, 30 и 41 с λ7, 31 и 42 с λ8) проходят через линзовые коллиматоры 27 и 38, и СП 25 и 36 и поступают на два входа призмы ГТ из кальцита 24, которая последовательно направляет ортогонально поляризованные пучки с азимутами A1 и А1+90° на образец S под заданным углом падения. Отраженное излучение призмой ГТ 22 разделяется на два ортогонально поляризованных пучка с азимутами поляризации Р1 и Р1+90° и СП 9 и 19 отражаются на кремниевые фотодиоды 10 и 19, измеряются отношения интенсивностей на фотоприемниках для переключаемых пучков с азимутами Р1 и Р1+90° и определяются по отношениям интенсивностей спектры эллипсометрических параметров образца Ψ и Δ. Таким образом, одновременно могут быть определены эллипсометрические параметры образца на двух длинах волн. λ1 и λ5. Аналогично могут быть выполнены измерения эллипсометрических параметров на длинах волн λ2 и λ6 одновременно переключая светодиоды 3 и 13 и 33 и 44. Набор светодиодов 30, 31, 33, 34 идентичен набору светодиодов 41, 42, 44, 45.Radiation beams with a wavelength λ 1 from sequentially connected identical LEDs 1 and 11 (or 3 and 13 with λ 2 6 and 16 with λ 3 , 7 and 17 with λ 4 ) pass through
В случае использования лазерных диодов предлагается установка блока совмещения коллимированного излучения, схема которого представлена на фиг. 2. В этом варианте пучки В1 и В2 поступают на СП 19 и 9 соответственно, а аналогичный блок совмещения с тремя парами идентичных лазерных диодов устанавливается в анализаторе перед СП 36 и 25.In the case of using laser diodes, it is proposed to install a unit for aligning collimated radiation, the diagram of which is shown in Fig. 2. In this embodiment, beams B1 and B2 are fed to SPs 19 and 9, respectively, and a similar alignment unit with three pairs of identical laser diodes is installed in the analyzer in front of
Симметрия конструкции эллипсометра позволяет использовать отражение от образца в противоположном направлении при удвоении используемых длин волн. Заметим, что минимальное время измерения Ψ и Δ, например, на длине волны пика светодиодов 1 и 11 определяется двойным временем включения и выключения светодиодов и может быть очень малым.The symmetry of the ellipsometer design allows the reflection from the sample to be used in the opposite direction while doubling the wavelengths used. Note that the minimum measurement time Ψ and Δ, for example, at the peak wavelength of LEDs 1 and 11 is determined by the double on and off times of the LEDs and can be very short.
Формирование пар одинаковых ПИИ позволяет полностью исключить движущиеся элементы в эллипсометре с переключением ортогональных состояний поляризации и не использовать модуляторы состояния поляризации. Простые методы калибровки в положении «на просвет» и по измерениям на эталонных образцах легко реализуются.The formation of pairs of identical FDIs makes it possible to completely exclude moving elements in an ellipsometer with switching of orthogonal states of polarization and not to use modulators of the state of polarization. Simple calibration methods in the “through” position and from measurements on reference specimens are easy to implement.
Сам метод переключения ортогональных состояний поляризации естественно реализуется при использовании малогабаритных призм ГТ. Следует отметить строгое сохранение геометрии пучков при прохождении этих призм в спектральном диапазоне 360-2300 нм, что наряду с отсутствием движущихся элементов обеспечивает повышение чувствительности и воспроизводимости измерений эллипсометрических параметров Ψ и Δ.The method of switching orthogonal polarization states itself is naturally realized when using small-sized HT prisms. It should be noted that the geometry of the beams is strictly preserved during the passage of these prisms in the spectral range of 360-2300 nm, which, along with the absence of moving elements, provides an increase in the sensitivity and reproducibility of measurements of the ellipsometric parameters Ψ and Δ.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2020132069A RU2749149C1 (en) | 2020-09-28 | 2020-09-28 | Two-way velocity ellipsometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2020132069A RU2749149C1 (en) | 2020-09-28 | 2020-09-28 | Two-way velocity ellipsometer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2749149C1 true RU2749149C1 (en) | 2021-06-07 |
Family
ID=76301551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2020132069A RU2749149C1 (en) | 2020-09-28 | 2020-09-28 | Two-way velocity ellipsometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2749149C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2787807C1 (en) * | 2021-09-09 | 2023-01-12 | Сергей Александрович Филин | Method for determining film thickness |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0179016A1 (en) * | 1984-09-25 | 1986-04-23 | Richard Distl | Double-beam real time polarimeter |
| RU2148814C1 (en) * | 1998-08-11 | 2000-05-10 | Российский Университет Дружбы Народов | Method and device for detection of optical parameters of conducting samples |
| US7298480B2 (en) * | 2005-12-23 | 2007-11-20 | Ecole Polytechnique | Broadband ellipsometer / polarimeter system |
-
2020
- 2020-09-28 RU RU2020132069A patent/RU2749149C1/en active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0179016A1 (en) * | 1984-09-25 | 1986-04-23 | Richard Distl | Double-beam real time polarimeter |
| RU2148814C1 (en) * | 1998-08-11 | 2000-05-10 | Российский Университет Дружбы Народов | Method and device for detection of optical parameters of conducting samples |
| US7298480B2 (en) * | 2005-12-23 | 2007-11-20 | Ecole Polytechnique | Broadband ellipsometer / polarimeter system |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Ковалев В.И. и др. "Широкодиапазонный спектральный эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации на базе монохроматора МДР-41", ПРИБОРЫ И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА, No 6, 2019 г., стр. 71-75. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2787807C1 (en) * | 2021-09-09 | 2023-01-12 | Сергей Александрович Филин | Method for determining film thickness |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4589776A (en) | Method and apparatus for measuring optical properties of materials | |
| US6184984B1 (en) | System for measuring polarimetric spectrum and other properties of a sample | |
| US5877859A (en) | Broadband spectroscopic rotating compensator ellipsometer | |
| KR102696735B1 (en) | Instantaneous ellipsometer or scatterometer and related measuring methods | |
| US7619725B1 (en) | Optically amplified critical wavelength refractometer | |
| US4822169A (en) | Measuring assembly for analyzing electromagnetic radiation | |
| US7889339B1 (en) | Complementary waveplate rotating compensator ellipsometer | |
| CN109115690B (en) | Terahertz time domain ellipsometer sensitive to real-time polarization and optical constant measurement method | |
| CN110411952B (en) | Elliptical polarization spectrum acquisition system and method for multi-polarization channel surface array detection | |
| CN111542734B (en) | Snapshot ellipsometer | |
| US2829555A (en) | Polarimetric method and apparatus | |
| KR930703594A (en) | Simultaneous Multi-Angle / Multi-wavelength Elliptical Polarimeter and Measurement Method | |
| EP0075689A1 (en) | Optical instruments for viewing a sample surface | |
| RU2749149C1 (en) | Two-way velocity ellipsometer | |
| CN208847653U (en) | Real-time polarization sensitive terahertz time-domain ellipsometer | |
| US3481671A (en) | Apparatus and method for obtaining optical rotatory dispersion measurements | |
| US4166697A (en) | Spectrophotometer employing magneto-optic effect | |
| KR100395442B1 (en) | Ultra high speed spectroscopic ellipsometer | |
| US6373569B1 (en) | Method and device for the spectral analysis of light | |
| CN116804588A (en) | Grating diffraction efficiency measuring device | |
| Kovalev et al. | A wide-range spectroscopic ellipsometer with switching of orthogonal polarization states based on the MDR-41 monochromator | |
| CN113654996A (en) | Device and method for measuring phase retardation of composite achromatic wave plate | |
| RU2638092C1 (en) | Ellipsometer | |
| JPH11101739A (en) | Ellipsometry apparatus | |
| US6646743B2 (en) | Method and device for the spectral analysis of light |