RU2745919C1 - Способ упрочнения инструмента из быстрорежущей стали - Google Patents

Способ упрочнения инструмента из быстрорежущей стали Download PDF

Info

Publication number
RU2745919C1
RU2745919C1 RU2019136949A RU2019136949A RU2745919C1 RU 2745919 C1 RU2745919 C1 RU 2745919C1 RU 2019136949 A RU2019136949 A RU 2019136949A RU 2019136949 A RU2019136949 A RU 2019136949A RU 2745919 C1 RU2745919 C1 RU 2745919C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
cutting plate
titanium
cathode
titanide
Prior art date
Application number
RU2019136949A
Other languages
English (en)
Inventor
Эдуард Леонидович Варданян
Рустем Шамилевич Нагимов
Алмаз Юнирович Назаров
Камиль Нуруллаевич Рамазанов
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Priority to RU2019136949A priority Critical patent/RU2745919C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2745919C1 publication Critical patent/RU2745919C1/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B27/00Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B27/00Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/148Composition of the cutting inserts
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0635Carbides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области металлургии, в частности к получению износо-, ударо-, тепло-, трещино- и коррозионностойких покрытий и может быть использовано для повышения надежности и долговечности широкого ассортимента инструмента. Способ получения покрытия на поверхности режущей пластины из быстрорежущей стали включает размещение режущей пластины в вакуумной камере установки, в которой размещены источник с накальным катодом и два испарителя в виде однокомпонентных катодов, один из которых выполнен из титана, ионную очистку в среде инертного газа, нагрев поверхности режущей пластины, азотирование в атмосфере азотсодержащего газа, нанесение в среде инертного газа слоя из титана посредством испарителя в виде катода из титана и нанесение покрытия из интерметаллида. Осуществляют нагрев режущей пластины до 450-500°С, азотирование проводят при ассистировании плазменного источника с накальным катодом, а на слой из титана наносят покрытие из интерметаллида на основе титанида. Наносят покрытие из интерметаллида на основе титанида системы Ti-Zr, Ti-Mo, Ti-Cr или Ti-Al. Обеспечивается повышение физико-механических свойств инструмента. 4 з.п. ф-лы, 4 пр., 2 ил.

Description

Изобретение относится к области машиностроения, в частности к получению износо-, ударо-, тепло-, трещино- и коррозионностойких покрытий и может быть использовано для повышения надежности и долговечности широкого ассортимента инструмента.
Известен способ упрочнения инструмента из быстрорежущей стали, включающий в себя объемную термообработку, состоящую из закалки и низкотемпературного отпуска, упрочнение рабочих поверхностей инструмента лазерной закалкой, кратковременный отпуск путем нагрева инструмента в печи в течение от 3 до 5 минут при температуре от 550 до 560°С и чистовую механическую обработку оплавленных поверхностей. (RU №2620656 С1, МПК C21D 9/22, C21D 1/09, 29.05.2017).
Недостатком известного способа является то, что для получения необходимой микротвердости нужно провести множество различных операций.
Известен способ ионно-плазменной обработки, включающий очистку, нагрев поверхности инструмента до температуры насыщения порошковой быстрорежущей стали, ионное азотирование в атмосфере азота или в азотсодержащем газе и нанесение сложнолегированного покрытия из нитридов тугоплавких металлов. Очистку проводят с прогревом поверхности инструмента до 220-260°С, нагрев поверхности инструмента до температуры насыщения порошковой быстрорежущей стали проводят таким образом, чтобы она не превышала температуру отпуска стали, а после азотирования проводят ионное травление в течение 5-7 мин. Ионно-плазменную обработку инструмента проводят в едином технологическом цикле. (RU №2241782, МПК С23С 26/00, С23С 14/06, 10.03.2011).
Недостатком известного аналога является водородное охрупчивание и незначительный прирост твердости.
Известен способ вакуумной ионно-плазменной обработки, при котором предварительно очищенные от органических загрязнений детали загружают в камеру, получают в ней рабочий вакуум и проводят ионную очистку в среде инертного газа с помощью источника газовой плазмы на основе дугового разряда с накаленным катодом и вакуумное ионно-плазменное упрочнение. (RU №96117192A, МПК С23С 14/48, 27.11.1998).
Недостатком аналога является то, что деталь перед обработкой недостаточно нагревается.
Известен способ ионно-плазменной обработки стальной поверхности режущего инструмента, при котором инструмент нагревают до температуры 250-350°С и поддерживают ее на всех стадиях обработки. Ионную очистку поверхности ведут при давлении газа не выше 0,01 Па в течение 0,1-0,5 ч путем создания электродугового разряда между эмиссионным катодом и вспомогательным анодом с образованием в межэлектродном пространстве плазмы, подачи отрицательного напряжения 500-1500 В на обрабатываемую деталь с последующей обработкой ее поверхности положительно заряженными ионами. После этого подают положительное напряжение на анод основного разряда, затем отсекают от обрабатываемой поверхности поток ионов металла, исходящий от электродугового разряда, и одновременно пропускают поток электронов на анод основного разряда, возбуждая и поддерживая в камере тлеющий разряд. Подают отрицательное напряжение 200-500 В на обрабатываемый инструмент и ведут азотирование в течение 0,5-2,0 ч при давлении азота или азотсодержащего газа 0,1-1,0 Па. Температуру инструмента при этом поддерживают постоянной в течение всего процесса или меняют периодически в пределах 250-350°С от верхнего значения к нижнему и обратно с цикличностью в пределах 0,25 ч. После азотирования создают в камере давление не более 0,0015 Па. Подают отрицательное напряжение 200-500 В на обрабатываемый инструмент.(RU №2241782, МПК С23С 14/48, 10.12.2004).
Недостатком аналога является недостаточно высокая температура при азотировании, в результате чего не обеспечивается существенное повышение микротвердости инструмента.
Наиболее близким к заявляемому изобретению по совокупности существенных признаков является способ ионно-плазменной обработки поверхности металлорежущего инструмента, изготовленного из порошковой быстрорежущей стали. Способ включает очистку, нагрев поверхности инструмента до температуры насыщения порошковой быстрорежущей стали, ионное азотирование в атмосфере азота или в азотсодержащем газе и нанесение сложнолегированного покрытия из нитридов тугоплавких металлов. Очистку проводят с прогревом поверхности инструмента до 220-260°С, нагрев поверхности инструмента до температуры насыщения порошковой быстрорежущей стали проводят таким образом, чтобы она не превышала температуру отпуска стали, а после азотирования проводят ионное травление в течение 5-7 мин. (RU №2413793, МПК С23С 26/00, С23С 14/06, 10.06.2009).
Недостатком способа, принятого за прототип, является то, что нанесение покрытия осуществляется при помощи составного катода, что повышает сложность изменения стехиометрического состава, кроме того, катод является сложным в изготовлении и дорогим.
Задача, на решение которой направлено заявляемое изобретение, - улучшение качества поверхности и увеличение износостойкости инструмента из быстрорежущей стали.
Технический результат, на решение которого направлено заявляемое изобретение - повышение физико-механических свойств инструмента путем азотирования плазменным источником и последующего нанесения композиционного мультислойного покрытия.
Поставленная задача и технический результат достигаются тем, что в способе получения покрытия на поверхности режущей пластины из быстрорежущей стали, включающем размещение режущей пластины в вакуумной камере установки, в которой размещены источник с накальным катодом и два испарителя в виде однокомпонентных катодов, один из которых выполнен из титана, ионную очистку в среде инертного газа, нагрев поверхности режущей пластины, азотирование в атмосфере азотсодержащего газа, нанесение в среде инертного газа слоя из титана посредством испарителя в виде катода из титана и нанесение покрытия из интерметаллида согласно изобретению осуществляют нагрев режущей пластины до 450-500°С, азотирование проводят при ассистировании плазменного источника с накальным катодом, а на слой из титана наносят покрытие из интерметаллида на основе титанида.
Кроме того, могут наносить покрытие из интерметаллида на основе титанида системы Ti-Zr.
Кроме того, могут наносить покрытие из интерметаллида на основе титанида системы Ti-Mo.
Кроме того, могут наносить покрытие из интерметаллида на основе титанида системы Ti-Cr.
Кроме того, могут наносить покрытие из интерметаллида на основе титанида системы Ti-Al.
Сущность изобретения поясняется чертежами. На фигуре 1 показана схема реализации азотирования при помощи плазменного источника с накальным катодом, где 1 - это плазменный источник с накальным катодом, 2 - стенки камеры, 3 - инструмент из быстрорежущей стали, 4 - рабочий стол установки, 5 - накальный катод, 6 - титановый катод, 7 - катод из алюминия/циркония/молибдена/хрома. На фигуре 2 изображена схема нанесения покрытия двумя однокомпонентными катодами, где 1 - это плазменный источник с накальным катодом, 2 - стенки камеры, 3 - инструмент из быстрорежущей стали, 4 - рабочий стол установки, 5 - накальный катод, 6 - титановый катод, 7 - катод из алюминия/циркония/молибдена/хрома.
Примеры конкретной реализации способа
Пример 1. В вакуумной камере устанавливают обрабатываемый инструмент, например, режущую пластину из инструментальной стали Р6М5. Затем в камере создают рабочее давление, равное 2⋅10-4 мм рт.ст. На первом этапе проводят ионную очистку в среде инертного газа Ar, при этом инструменты нагревают до температуры 450-500°С. Следующим этапом является азотирование плазменным источником с накальным катодом в течение одного часа. Далее, в среде инертного газа при том же давлении наносят первый слой из Ti дуговым испарителем с титановым катодом для лучшей адгезии в течение 5 минут. После этого на поверхности детали формируют фазы интерметаллидов системы Ti-Al в среде инертного газа аргона и реакционного газа азота при давлении 2⋅10-3 мм рт.ст.
Пример 2. В вакуумной камере устанавливают обрабатываемый инструмент, например, режущую пластину из инструментальной стали Р6М5. Затем в камере создают рабочее давление, равное 2⋅10-4 мм рт.ст. На первом этапе проводят ионную очистку в среде инертного газа Ar, при этом инструменты нагревают до температуры 450-500°С. Следующим этапом является азотирование плазменным источником с накальным катодом в течение одного часа. Далее, в среде инертного газа при том же давлении наносят первый слой из Ti дуговым испарителем с титановым катодом для лучшей адгезии в течение 5 минут. После этого на поверхности детали формируют фазы интерметаллидов системы Ti-Zr в среде инертного газа аргона и реакционного газа азота при давлении 2⋅10-3 мм рт.ст.
Пример 3. В вакуумной камере устанавливают обрабатываемый инструмент, например, режущую пластину из инструментальной стали Р6М5. Затем в камере создают рабочее давление, равное 2⋅10-4 мм рт.ст. На первом этапе проводят ионную очистку в среде инертного газа Ar, при этом инструменты нагревают до температуры 450-500°С. Следующим этапом является азотирование плазменным источником с накальным катодом в течение одного часа. Далее, в среде инертного газа при том же давлении наносят первый слой из Ti дуговым испарителем с титановым катодом для лучшей адгезии в течение 5 минут. После этого на поверхности детали формируют фазы интерметаллидов системы Ti-Cr в среде инертного газа аргона и реакционного газа азота при давлении 2⋅10-3 мм рт.ст.
Пример 4. В вакуумной камере устанавливают обрабатываемый инструмент, например, режущую пластину из инструментальной стали Р6М5. Затем в камере создают рабочее давление, равное 2⋅10-4 мм рт.ст. На первом этапе проводят ионную очистку в среде инертного газа Ar, при этом инструменты нагревают до температуры 450-500°С. Следующим этапом является азотирование плазменным источником с накальным катодом в течение одного часа. Далее, в среде инертного газа при том же давлении наносят первый слой из Ti дуговым испарителем с титановым катодом для лучшей адгезии в течение 5 минут. После этого на поверхности детали формируют фазы интерметаллидов системы Ti-Mo в среде инертного газа аргона и реакционного газа азота при давлении 2⋅10-3 мм рт.ст.
Итак, заявляемое изобретение позволяет повысить физико-механические свойства инструмента путем азотирования плазменным источником и последующим нанесением композиционного мультислойного покрытия.

Claims (5)

1. Способ получения покрытия на поверхности режущей пластины из быстрорежущей стали, включающий размещение режущей пластины в вакуумной камере установки, в которой размещены источник с накальным катодом и два испарителя в виде однокомпонентных катодов, один из которых выполнен из титана, ионную очистку в среде инертного газа, нагрев поверхности режущей пластины, азотирование в атмосфере азотсодержащего газа, нанесение в среде инертного газа слоя из титана посредством испарителя в виде катода из титана и нанесение покрытия из интерметаллида, отличающийся тем, что осуществляют нагрев режущей пластины до 450-500°С, азотирование проводят при ассистировании плазменного источника с накальным катодом, а на слой из титана наносят покрытие из интерметаллида на основе титанида.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что наносят покрытие из интерметаллида на основе титанида системы Ti-Zr.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что наносят покрытие из интерметаллида на основе титанида системы Ti-Mo.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что наносят покрытие из интерметаллида на основе титанида системы Ti-Cr.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что наносят покрытие из интерметаллида на основе титанида системы Ti-Al.
RU2019136949A 2019-11-18 2019-11-18 Способ упрочнения инструмента из быстрорежущей стали RU2745919C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019136949A RU2745919C1 (ru) 2019-11-18 2019-11-18 Способ упрочнения инструмента из быстрорежущей стали

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019136949A RU2745919C1 (ru) 2019-11-18 2019-11-18 Способ упрочнения инструмента из быстрорежущей стали

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2745919C1 true RU2745919C1 (ru) 2021-04-02

Family

ID=75353483

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019136949A RU2745919C1 (ru) 2019-11-18 2019-11-18 Способ упрочнения инструмента из быстрорежущей стали

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2745919C1 (ru)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2413793C2 (ru) * 2009-06-10 2011-03-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "САЛЮТ" (ФГУП "ММПП "САЛЮТ") Способ ионно-плазменной обработки поверхности металлорежущего инструмента, изготовленного из порошковой быстрорежущей стали
RU2489514C1 (ru) * 2012-03-22 2013-08-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ ИНТЕРМЕТАЛЛИДА СИСТЕМЫ Ti-Al
RU2677043C1 (ru) * 2017-12-05 2019-01-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия на основе интерметаллида системы Ti-Al
RU2689474C1 (ru) * 2018-11-19 2019-05-28 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ получения покрытия на основе интерметаллидов системы ti-al, синтезированного в среде азота
RU2694857C1 (ru) * 2018-08-06 2019-07-18 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ нанесения износостойкого покрытия ионно-плазменным методом

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2413793C2 (ru) * 2009-06-10 2011-03-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "САЛЮТ" (ФГУП "ММПП "САЛЮТ") Способ ионно-плазменной обработки поверхности металлорежущего инструмента, изготовленного из порошковой быстрорежущей стали
RU2489514C1 (ru) * 2012-03-22 2013-08-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ ИНТЕРМЕТАЛЛИДА СИСТЕМЫ Ti-Al
RU2677043C1 (ru) * 2017-12-05 2019-01-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия на основе интерметаллида системы Ti-Al
RU2694857C1 (ru) * 2018-08-06 2019-07-18 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ нанесения износостойкого покрытия ионно-плазменным методом
RU2689474C1 (ru) * 2018-11-19 2019-05-28 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ получения покрытия на основе интерметаллидов системы ti-al, синтезированного в среде азота

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL194551C (nl) Werkwijze voor het thermochemisch behandelen van materiaaloppervlakken; aldus behandelde vormstukken.
RU2489514C1 (ru) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ ИНТЕРМЕТАЛЛИДА СИСТЕМЫ Ti-Al
CN106244986B (zh) 功能梯度的类金刚石碳薄膜及其制备方法和制品
Constantin et al. Magnetron sputtering technique used for coatings deposition; technologies and applications
Sharipov et al. Increasing the resistance of the cutting tool during heat treatment and coating
US20160186306A1 (en) TiB2 LAYERS AND MANUFACTURE THEREOF
EP2829635B1 (en) Method for controlled production of diffusion based coatings by vacuum cathodic arc systems
CN103658790A (zh) 一种镀制超硬涂层的新型高速钢铣刀
RU2689474C1 (ru) Способ получения покрытия на основе интерметаллидов системы ti-al, синтезированного в среде азота
CN103243306B (zh) 一种钛合金表面Cu掺杂TiN合金层的制备方法
RU2745919C1 (ru) Способ упрочнения инструмента из быстрорежущей стали
JP2018003046A (ja) 硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具および硬質皮膜の成膜方法
RU2415966C1 (ru) Способ нанесения покрытия на изделия из твердых сплавов
JPH08296064A (ja) 耐酸化性・耐摩耗性被膜付き物品
JP5720996B2 (ja) 皮膜密着性に優れた被覆部材およびその製造方法
RU2694857C1 (ru) Способ нанесения износостойкого покрытия ионно-плазменным методом
RU2413793C2 (ru) Способ ионно-плазменной обработки поверхности металлорежущего инструмента, изготовленного из порошковой быстрорежущей стали
RU2769142C1 (ru) Способ получения покрытий на основе системы Ti-Al, синтезированных в среде реакционных газов
JP2001192861A (ja) 表面処理方法及び表面処理装置
CN114411098A (zh) 一种TiNb涂层的镀膜方法
CN105385992A (zh) 一种刀具表面氮铝钛涂层制备方法
US7033682B1 (en) Coating solutions for titanium and titanium alloy machining
RU2241782C1 (ru) Способ ионно-плазменной обработки стальной поверхности режущего инструмента
RU2677043C1 (ru) Способ получения износостойкого покрытия на основе интерметаллида системы Ti-Al
CN110938803A (zh) 一种制备Ti-Mo-N润滑涂层的镀膜处理方法