RU2739195C1 - Vacuum sputtering plant with pallet laser cleaning system (embodiments) - Google Patents

Vacuum sputtering plant with pallet laser cleaning system (embodiments) Download PDF

Info

Publication number
RU2739195C1
RU2739195C1 RU2020114303A RU2020114303A RU2739195C1 RU 2739195 C1 RU2739195 C1 RU 2739195C1 RU 2020114303 A RU2020114303 A RU 2020114303A RU 2020114303 A RU2020114303 A RU 2020114303A RU 2739195 C1 RU2739195 C1 RU 2739195C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pallets
laser
pallet
cleaning
plates
Prior art date
Application number
RU2020114303A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Илья Александрович Няпшаев
Федор Сергеевич Егоров
Original Assignee
Общество С Ограниченной Ответственностью "Нтц Тонкопленочных Технологий В Энергетике"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество С Ограниченной Ответственностью "Нтц Тонкопленочных Технологий В Энергетике" filed Critical Общество С Ограниченной Ответственностью "Нтц Тонкопленочных Технологий В Энергетике"
Priority to RU2020114303A priority Critical patent/RU2739195C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2739195C1 publication Critical patent/RU2739195C1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/70—Maintenance
    • B29C33/72—Cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C71/00—After-treatment of articles without altering their shape; Apparatus therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

FIELD: technological processes.
SUBSTANCE: invention relates to embodiments of installation for deposition of thin layers with different properties on silicon-based or glass-based plates arranged in pallets from one material. Proposed plant comprises in-series components: unit for loading plates on pallets, inlet sluice and buffer chambers, units of vacuum chambers for sputtering on at least one of sides of plates of thin layers in appropriate process equipment, outlet sluice and buffer chambers, unit for unloading plates with sputtering from pallets, which are combined with control system and automated system for internal transportation of plates in pallets, and also comprises a system for return transportation of pallets without plates outside the vacuum chambers from the unloading assembly of plates with sputtering from the pallets to the loading unit of plates on pallets, wherein pallet reverse transportation system is equipped with pallet passing cycles counter by system, modules of laser pallet cleaning from sputtering from one or two sputtered sides, and is also equipped with pallet position sensors relative to laser cleaning modules, wherein each laser head has a built-in scanner with a scanning region of the beam d = (0.1–0.12) m and a local drawing unit of laser cleaning products located near the cleaning area. At that, in the first embodiment of unit installation each module of laser cleaning of pallets contains one laser head with radiation power of not less than 1.6 kW, is equipped with automatic system of its movement along width of pallet after each passage by modulus of cleaning per step "k", equal to k = d, and local drawing unit is installed with possibility of its movement together with laser head. In the second embodiment of the installation, each module of laser cleaning of pallets contains a group of "n" laser heads located along width of ply "B" at 2 <n <10, each of which has power of radiation of not less than 1.6 kW wherein module is equipped with automatic system of synchronous step-by-step movement along width of ply "B" of all laser heads of group in intervals between their inclusions, and units for local extraction of cleaning products are located near the cleaning area of one or more laser heads of the group and are installed with possibility of movement together with the whole group of "n" laser heads. In one particular case of the second embodiment, the group laser heads are located over the width of the pallet at a distance of the laser beam scanning region of one laser head, wherein system of heads displacement provides their movement along pallets width with pitch "k" equal to k = nd. In another particular case, the group heads are arranged uniformly over the width of the pallet at a distance "b" = B/n from each other, wherein the head movement system provides their simultaneous movement across the width of the pallet part "b" with pitch "k" equal to k = d. In the third embodiment of the installation each module of laser cleaning of pallets contains unit of "N" laser heads at N≥10, radiation power of not less than 1 kW each arranged uniformly over the entire width of the pallet at a distance from each other b = B/N at b≤d. In this case, the total area of scanning beams of the block of "N" laser heads covers the entire width of the plywood "B", therefore, movement of the laser heads over the width of the pallets is not required.
EFFECT: technical result is the creation of a vacuum sputtering system, combined with a system for laser cleaning of pallets, adapted to the process of deposition.
5 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к установкам для напыления в вакууме тонких слоев с различными свойствами на размещенные в паллетах пластины на основе кремния или стекла, а также к системам лазерной очистки паллет от напыления.SUBSTANCE: invention relates to installations for vacuum spraying of thin layers with different properties on plates based on silicon or glass placed in pallets, as well as to systems for laser cleaning of pallets from spraying.

Известен патент РФ №2554838 на изобретение «Способ очистки для установок нанесения покрытий» с конвенционным приоритетом от 25.01.2010 г., зарегистрированный на имя ЭРЛИКОН СЕРФИЗ СОЛЮШНЗ АГ, ТРЮББАХ (СН), МПК В08В 7/00, С23С 14/04, С23С 14/56, С23С 16/04, С23С 16/44, В24С 1/00, опубликовано 27.06.2015 г.Known RF patent No. 2554838 for the invention "Method of cleaning for coating installations" with conventional priority dated 01/25/2010, registered in the name of ERLIKON SURFIZ SOLUTIONS AG, TRUBBAH (SN), IPC В08В 7/00, С23С 14/04, С23С 14/56, С23С 16/04, С23С 16/44, В24С 1/00, published on June 27, 2015

Изобретение относится к способу очистки вспомогательных поверхностей установок для нанесения покрытий с камерой для нанесения покрытия. Перед нанесением покрытия наносят антиадгезионный слой на вспомогательные поверхности камеры для нанесения покрытия. После нанесения покрытия осуществляют обработку вспомогательных поверхностей с помощью струйной обработки сухим льдом и/или снегом из CO2. В результате упрощается очистка поверхности детали и исключается их износ.SUBSTANCE: invention relates to a method for cleaning auxiliary surfaces of coating installations with a coating chamber. Before coating, a release layer is applied to the secondary surfaces of the coating booth. After coating, the secondary surfaces are blasted with dry ice and / or CO2 snow. As a result, cleaning the surface of the part is simplified and wear is excluded.

Известен патент РФ №155957 на полезную модель «Устройство очистки полупроводниковых структур ультрафиолетом» с приоритетом от 25.05.2015 г., зарегистрированный на имя ОАО "Центральный научно-исследовательский институт "Электрон", МПК В08В 7/00, опубликовано 20.10.2015 г.Known RF patent No. 155957 for a useful model "Device for cleaning semiconductor structures with ultraviolet" with a priority of 05.25.2015, registered in the name of JSC "Central Research Institute" Electron ", IPC В08В 7/00, published on 20.10.2015

Полезная модель относится к устройствам очистки полупроводниковых структур от микрозагрязнений. Очистку проводят без дополнительного нагрева и специальной камеры, на открытом воздухе, с использованием УФ излучения в разных диапазонах длин волн. Устройство очистки полупроводниковых структур ультрафиолетом включает ультрафиолетовую лампу, расположенную на расстоянии от держателя, закрепленного на оси и соединенного с мотором, обеспечивающим вращения держателя для равномерного облучения детали, штатив, соединяющий лампу и держатель, и обеспечивающий регулировку положения лампы по высоте для задания расстояния между лампой и облучаемой деталью 1-10 мм, при этом держатель соединен с вытяжной вентиляцией, обеспечивающей откачку микрозагрязнений и излишков озона, образующегося под действием ультрафиолета.The utility model relates to devices for cleaning semiconductor structures from micro-pollution. Cleaning is carried out without additional heating and a special chamber, in the open air, using UV radiation in different wavelength ranges. The device for cleaning semiconductor structures with ultraviolet light includes an ultraviolet lamp located at a distance from the holder, fixed on the axis and connected to a motor that rotates the holder for uniform irradiation of the part, a tripod that connects the lamp and the holder, and provides height adjustment of the lamp position to set the distance between the lamp and the irradiated part 1-10 mm, while the holder is connected to the exhaust ventilation, which ensures the pumping out of micro-contaminants and excess ozone formed under the action of ultraviolet radiation.

Известен патент РФ №2037342 на изобретение «Способ очистки поверхности материалов и устройство для его осуществления» с приоритетом от 17.09.1990 г., зарегистрированный на имя Ажанс Режьональ де Девелопман Текноложик (FR), МПК В08В 7/00, опубликовано 19.06.1995 г.Known RF patent No. 2037342 for the invention "A method for cleaning the surface of materials and a device for its implementation" with a priority of 09/17/1990, registered in the name of Ajans Regional de Developer Teknolozhik (FR), IPC В08В 7/00, published 06/19/1995 ...

Способ очистки поверхности материалов осуществляется путем воздействия на нее лазерного источника света. Устройство содержит лазер с блоком питания и снабжено оптической системой разделения основного лазерного пучка света на энергетически равные лазерные пучки света, оптическими волокнами, оптическим средством для рекомбинации лазерных пучков света и оптическим регулятором диаметра лазерного пучка света.The method of cleaning the surface of materials is carried out by exposing it to a laser light source. The device contains a laser with a power supply and is equipped with an optical system for dividing the main laser light beam into energetically equal laser light beams, optical fibers, optical means for recombining laser light beams and an optical regulator of the laser light beam diameter.

В патенте РФ №2037342, опубликованном 19.06.1995 (патент US №5151134 от 14.09.1990) для удаления загрязняющих веществ с поверхности материалов используют лазер с длиной волны излучения 1,06 мкм, работающий также в режиме модулированной добротности. При этом обеспечивается эффект улетучивания поверхностных слоев при воздействии коротких высокомощных импульсов, вызывающих на границе раздела материалов детали и внешнего покрытия ударную волну, которая приводит к отслаиванию по меньшей мере части поверхностного слоя покрытия. Обработка ведется лазерными импульсами длительностью от 10 до 30 наносекунд с плотностью мощности в диапазоне значений (22÷53)⋅106 Вт/см2 и частотой следования импульсов 30 Гц. Максимальная энергия в импульсе близка к 0,5 Дж, а средний диаметр лазерного пятна на очищаемой поверхности составляет менее 10 мм. Высокомощные импульсы излучения доставляются в зону обработки посредством оптических волокон несмотря на наличие у последних относительно низкой пороговой величины «пиковой» мощности передаваемого излучения тесно связанной с длительностью лазерных импульсов. Возможность передачи мощного излучения по оптическому волокну в патенте обеспечена разделением исходного лазерного пучка на несколько по энергии примерно равных между собой пучков с меньшей энергией в импульсе и использованием для каждого из них отдельного оптического волокна, т.е. с помощью жгута оптических кварцевых волокон.In RF patent No. 2037342, published on June 19, 1995 (US patent No. 5151134 dated September 14, 1990), a laser with a radiation wavelength of 1.06 μm is used to remove contaminants from the surface of materials, which also operates in a Q-switched mode. In this case, the effect of volatilization of the surface layers is provided when exposed to short high-power pulses, which cause a shock wave at the interface between the materials of the part and the outer coating, which leads to peeling of at least part of the surface layer of the coating. The processing is carried out by laser pulses with a duration of 10 to 30 nanoseconds with a power density in the range of values (22 ÷ 53) ⋅106 W / cm2 and a pulse repetition rate of 30 Hz. The maximum pulse energy is close to 0.5 J, and the average diameter of the laser spot on the cleaned surface is less than 10 mm. High-power radiation pulses are delivered to the treatment area by means of optical fibers, despite the presence of a relatively low threshold value of the "peak" power of the transmitted radiation in the latter, which is closely related to the duration of the laser pulses. The possibility of transmitting high-power radiation through an optical fiber in the patent is provided by dividing the initial laser beam into several beams of approximately equal energy with each other with lower pulse energy and using a separate optical fiber for each of them, i.e. using a bundle of optical quartz fibers.

Известен патент РФ №2445175 на изобретение «Способ поверхностной лазерной обработки и устройство для его осуществления» с приоритетом от 28.06.2010 г., зарегистрированный на имя ООО «Центр лазерных технологий», МПК В08В 7/00, опубликовано 20.03.2012 г.Known RF patent No. 2445175 for the invention "Method of surface laser treatment and a device for its implementation" with a priority of 06/28/2010, registered in the name of LLC "Center for Laser Technologies", IPC В08В 7/00, published 03/20/2012

Изобретение относится к области лазерной обработки поверхности материалов для использования в машиностроении и приборостроении для очистки поверхности от нежелательных слоев и загрязнений. Способ включает в себя следующие этапы: воздействие на обрабатываемую поверхность сканирующим пучком импульсно-периодического лазерного излучения, формирование пучка лазерного излучения с временной структурой в виде периодически повторяющихся серий световых импульсов, циклический разворот каждой серии импульсов в полосу, обеспечение смыкания полос, образованных разверткой каждой из периодически повторяющихся серий импульсов. Устройство включает взаимосвязанные лазер и оптико-механическую систему (система формирования однородной пространственной структуры лазерного пучка и сканирующая система, на выходе которой расположен фокусирующий объектив), связанные с компьютером через блок синхронизации.The invention relates to the field of laser surface treatment of materials for use in mechanical engineering and instrument making for cleaning the surface from unwanted layers and contaminants. The method includes the following stages: exposure of the treated surface to a scanning beam of repetitively pulsed laser radiation, formation of a laser beam with a temporal structure in the form of periodically repeating series of light pulses, cyclic rotation of each pulse train into a strip, ensuring the closure of the stripes formed by the scan of each of periodically repeating series of impulses. The device includes an interconnected laser and an optical-mechanical system (a system for forming a homogeneous spatial structure of a laser beam and a scanning system, at the output of which a focusing lens is located), connected to a computer through a synchronization unit.

Известен патент РФ №2538161 изобретение «Способ лазерной очистки поверхности» с приоритетом от 28.12.2012 г., зарегистрированный на имя ФГАОУВО «Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики», МПК B23K 26/36, опубликовано 10.07.2014 г.Known RF patent No. 2538161 invention "Method for laser surface cleaning" with a priority of 12/28/2012, registered in the name of FGAOUVO "St. Petersburg National Research University of Information Technologies, Mechanics and Optics", IPC B23K 26/36, published 07/10/2014 g.

Способ используется при удалении различного рода загрязнений с поверхности промышленных и технологических объектов. Способ включает в себя следующие этапы. Проводят сканирование в многоимпульсном режиме сформированным пучком лазерного излучения по корродированной поверхности объекта в несколько проходов. Регистрируют в непрерывном режиме спектр плазмы, образующейся в процессе удаления загрязнений. В полученном спектре плазмы для очищаемой поверхности и/или для загрязнителя регистрируют линии железа и линии кислорода. Измеряют значения интенсивностей указанных спектральных линий и вычисляют отношение интенсивностей спектральной линии кислорода к спектральной линии железа. При значении величины отношения интенсивностей выбранных спектральных линий больше 0,5 мощность пучка лазерного излучения уменьшают, а при значении меньше 0,5 поверхность считают очищенной. Контроль качества очистки осуществляется в реальном времени и для этого используют датчик, регистрирующий спектр плазмы. Недостатком является то, что данное устройство является отдельным механизмом.The method is used to remove various types of contaminants from the surface of industrial and technological facilities. The method includes the following steps. Scanning is carried out in a multi-pulse mode with a generated beam of laser radiation over the corroded surface of the object in several passes. The spectrum of the plasma generated during the removal of contaminants is recorded in a continuous mode. Iron and oxygen lines are recorded in the obtained plasma spectrum for the surface to be cleaned and / or for the contaminant. The values of the intensities of these spectral lines are measured and the ratio of the intensities of the oxygen spectral line to the iron spectral line is calculated. When the value of the ratio of the intensities of the selected spectral lines is greater than 0.5, the power of the laser radiation beam is reduced, and when the value is less than 0.5, the surface is considered clean. The quality control of cleaning is carried out in real time and for this a sensor is used that records the spectrum of the plasma. The disadvantage is that this device is a separate mechanism.

Известен патент РФ №2619692 на изобретение «Способ лазерной очистки металлов» с приоритетом от 24.05.2016 г., зарегистрированный на имя ООО «Научно-производственное предприятие Волоконно-Оптического и Лазерного Оборудования», МПК В08В 7/00, опубликовано 17.05.2017 г.Known RF patent No. 2619692 for the invention "Method for laser cleaning of metals" with a priority of 05.24.2016, registered in the name of LLC Scientific and Production Enterprise of Fiber Optic and Laser Equipment, IPC В08В 7/00, published on 05.17.2017 ...

Способ очистки металлов заключается в использовании на очищаемой поверхности пятна с плотностью мощности лазерного излучения, достаточной для возникновения процессов терморазрушения покрытия. Для этого используют непрерывное лазерное излучение, пятно которого на поверхности изделия непрерывно перемещают по замкнутой круговой траектории, центр кривизны которой при этом линейно перемещают по траектории любой конфигурации для получения непрерывной полосы обработки.The method of cleaning metals consists in using a spot on the surface to be cleaned with a laser power density sufficient for the occurrence of processes of thermal destruction of the coating. For this, continuous laser radiation is used, the spot of which on the surface of the product is continuously moved along a closed circular path, the center of curvature of which is linearly moved along a trajectory of any configuration to obtain a continuous processing strip.

Известна патентная заявка Китая CN 107755362 А на изобретение, «Оборудование для лазерной очистки» с приоритетом от 25.09.2017 г., МПК В08В 13/00; В08В 7/00; B23K 26/36; B23K 26/70, опубликовано 06.03.2018 г.Known patent application of China CN 107755362 A for the invention, "Equipment for laser cleaning" with a priority of 09.25.2017, IPC В08В 13/00; В08В 7/00; B23K 26/36; B23K 26/70, published 03/06/2018

Изобретение относится к оборудованию для лазерной очистки, содержащему стойку, устройство для транспортировки заготовок, расположенное на стойке, корпус и систему лазерной очистки, расположенную на стойке. Корпус расположен на стойке и закрывает часть устройства транспортировки заготовки. Система используется для проведения лазерной очистки на обрабатываемой заготовке, транспортируемой специальным устройством. Согласно оборудованию для лазерной очистки, поверхность металла очищается с помощью лазерного излучения от жирной грязи, пятен и слоя ржавчины.The invention relates to equipment for laser cleaning, comprising a rack, a device for transporting workpieces located on the rack, a housing and a laser cleaning system located on the rack. The body is located on the stand and covers part of the workpiece transport device. The system is used to carry out laser cleaning on a processed workpiece transported by a special device. According to the laser cleaning equipment, the metal surface is cleaned by laser radiation from greasy dirt, stains and rust layers.

Известна патентная заявка Китая CN 104999183 на изобретение «Устройство и способ лазерной очистки оксидных слоев на поверхности стальных пластин» с пр. от 24.07.2015 г., МПК B23K 26/064; -/067; -/12; -/16; -/36; B23K 101/18; B23K 103/04, опубл. 28.10.2015 г.Known patent application of China CN 104999183 for the invention "Device and method for laser cleaning of oxide layers on the surface of steel plates" with ave. From 07.24.2015, IPC B23K 26/064; - / 067; -/12; -/16; - / 36; B23K 101/18; B23K 103/04, publ. 28.10.2015

Изобретение относится к устройству лазерной очистки оксидных слоев на поверхностях стальных пластин. Устройство лазерной очистки содержит систему подшипников, лазер, несколько спектроскопов, головки для удаления ржавчины, систему удаления пыли, систему защиты и центральную систему управления, причем система подшипников используется для горизонтального хранения стальных пластин и может приводить в движение пластины для перемещения в направлении вперед и назад; лазер может излучать горизонтальные лазерные лучи; спектроскопы используются для расщепления горизонтальных лазерных лучей и проведения нисходящего отражения; головки для удаления ржавчины находятся в однозначном соответствии со спектроскопами, собирают отраженный свет и затем рассеивают его по поверхности стальных пластин; система удаления пыли используется для сбора удаленных оксидных слоев, а система защиты используется для подачи инертного газа на поверхность очищенных стальных пластин; Центральная система управления используется для управления системой подшипников, лазером, системой удаления пыли и системой защиты для работы.The invention relates to a device for laser cleaning of oxide layers on the surfaces of steel plates. The laser cleaning device contains a bearing system, a laser, several spectroscopes, rust removal heads, a dust removal system, a protection system and a central control system, with the bearing system being used to store the steel plates horizontally and can drive the plates to move back and forth ; the laser can emit horizontal laser beams; spectroscopes are used to split horizontal laser beams and conduct downward reflections; The rust removal heads are in one-to-one correspondence with the spectroscopes, collect the reflected light and then scatter it over the surface of the steel plates; The dust removal system is used to collect the removed oxide layers, and the protection system is used to supply inert gas to the surface of the cleaned steel plates; The central control system is used to control the bearing system, laser, dust removal system and protection system for operation.

Головки для удаления ржавчины распределены в виде массива в направлении влево-вправо от стальных пластин, так что все поверхности стальных пластин покрываются лазерным излучением, рассеянным головками для удаления ржавчины в процессе движения. В соответствии с устройством лазерной очистки оксидные слои на поверхностях стальных пластин газифицируются или десорбируются в дискретном режиме абляции за счет высокой энергии лазерного излучения.The rust removal heads are arrayed in the left-right direction of the steel plates, so that all surfaces of the steel plates are coated with laser light scattered by the rust removal heads in motion. In accordance with a laser cleaning device, oxide layers on the surfaces of steel plates are gasified or desorbed in a discrete ablation mode due to the high energy of laser radiation.

Известен патент США №6369353 на изобретение «Роботизированная лазерная система очистки формовочной поверхности и способ ее использования» с приоритетом от 20.02.1998 г., зарегистрированный на имя The Goodyear Tire & Rubber Company (US), МПК B08B 7/00; B23K 26/067, -/073, -/08, - /10; B29C 33/72; опубликовано 09.04.2002 г.Known US patent No. 6369353 for the invention "Robotic laser system for cleaning the molding surface and method of its use" with priority from 20.02.1998, registered in the name of The Goodyear Tire & Rubber Company (US), IPC B08B 7/00; B23K 26/067, - / 073, - / 08, - / 10; B29C 33/72; published on 09.04.2002

Очистительное устройство для удаления остаточного материала из формы, имеющей формовочную поверхность, выполнено в виде робота, включающего в себя подвижный рычаг с множеством степеней свободы и свободным концом. При этом лазер соединен с роботом и имеет выходной конец, прикрепленный к рычагу, ближайший к свободному концу, чтобы робот мог устанавливать его. Система оптической доставки включает в себя множество оптических волокон, каждое из которых имеет один конец, соединенный с лазером, и второй выходной конец, прикрепленный к свободному концу рычага робота. Выходные концы оптических волокон выровнены так, что лазер формирует полосу света на формовочной поверхности. Контроллер соединен с роботом так, что позволяет направлять роботизированную руку посредством, по меньшей мере, одного заранее определенного набора движений. Узел (деталь) с формовочной поверхностью расположен на вращающейся опоре вблизи робота. Робот позиционирует выходной конец лазера относительно формовочной поверхности так, что свет от лазера падает на поверхность и удаляет остаточный материал с поверхности при вращении опоры.A cleaning device for removing residual material from a mold having a molding surface is made in the form of a robot that includes a movable arm with multiple degrees of freedom and a free end. In this case, the laser is connected to the robot and has an output end attached to the arm closest to the free end so that the robot can install it. The optical delivery system includes a plurality of optical fibers, each with one end connected to a laser and a second output end attached to the free end of a robot arm. The output ends of the optical fibers are aligned so that the laser forms a strip of light on the forming surface. The controller is coupled to the robot to guide the robotic arm through at least one predetermined set of movements. A unit (part) with a forming surface is located on a rotating support near the robot. The robot positions the laser exit end with respect to the forming surface so that the light from the laser hits the surface and removes residual material from the surface as the support rotates.

Роботизированная лазерная очистка загрязненной паллеты осуществляется вне эксплуатируемых вакуумных камер PVD, в которых происходит загрязнения паллет. Для очистки загрязненной паллеты с использованием роботизированной лазерной установки необходимо провести подготовительные работы, к которым относятся выгрузка паллеты и ее позиционирование на месте лазерной очистки.Robotic laser cleaning of a dirty pallet is carried out outside the operated PVD vacuum chambers, in which the pallets are dirty. To clean a dirty pallet using a robotic laser system, preparatory work must be carried out, which includes unloading the pallet and positioning it at the laser cleaning site.

Недостатком такого метода является простой эксплуатируемого оборудования PVD из-за процессов выгрузки и загрузки паллет.The disadvantage of this method is the simple operation of the PVD equipment due to the processes of unloading and loading pallets.

В системе Интернет на сайте https://www.meyerburger.com/fileadmin/user_upload/product_downloads/01_pv/99_old/FS_HELiA_EN_2018-02.pdf (февраль 2018) описана установка «HELIA PVD» для нанесения покрытия в вакууме (прототип).The HELIA PVD installation for vacuum coating is described on the Internet at https://www.meyerburger.com/fileadmin/user_upload/product_downloads/01_pv/99_old/FS_HELiA _ EN_2018-02.pdf (February 2018) ...

Данная установка представляет собой модульную поточную систему, состоящую из вакуумных камер с непрерывными процессами для осаждения тонких слоев с различными свойствами из плазмы. Кремниевые пластины перемещаются на плоских держателях (лотках - паллетах) и обрабатываются в вакуумных камерах в ходе поточного способа обработки. Вакуумные камеры делятся на следующие функциональные группы:This plant is a modular in-line system consisting of vacuum chambers with continuous processes for the deposition of thin layers with different properties from plasma. Silicon wafers are moved on flat holders (trays - pallets) and processed in vacuum chambers during the in-line processing method. Vacuum chambers are divided into the following functional groups:

1. Шлюзовые камеры с соответствующими шлюзовыми (перепускными) клапанами для:1. Lock chambers with appropriate lock (bypass) valves for:

- впуска лотков. Входная шлюзовая камера представляет собой место перехода между атмосферной средой и вакуумной системой;- inlet trays. The inlet lock is the transition point between the atmospheric environment and the vacuum system;

- обмена лотков. Трансферная камера служит для пространственного разделения двух различных процессов, происходящих в двух соседних технологических камерах;- exchange of trays. The transfer chamber serves for spatial separation of two different processes taking place in two adjacent process chambers;

- вывода лотков. Выходная шлюзовая камера представляет собой место перехода между вакуумной системой и атмосферной средой.- trays output. The outlet lock chamber is the transition point between the vacuum system and the atmosphere.

2. Буферные камеры между шлюзовыми и технологическими камерами служат для регулирования скорости перемещения (транспортировки) лотков между шлюзовыми и технологическими камерами. Транспортировка лотков в шлюзовых камерах происходит с прерываниями и циклично, в технологических камерах - непрерывно.2. Buffer chambers between the lock and process chambers are used to control the speed of movement (transportation) of the trays between the lock and process chambers. Trays are transported in lock chambers intermittently and cyclically, in technological chambers - continuously.

3. Технологические камеры для нанесения покрытия на лотки/пластины.3. Process chambers for coating trays / plates.

Установка для нанесения покрытия HELIA PVD состоит из следующих основных компонентов: вакуумные камеры, клапаны и комбинации вакуумных насосов; источники покрытий в технологических камерах; генератор высоковольтного напряжения; автоматизированная система внутренней транспортировки лотков; газовая система; система охлаждения (охлаждающая и деионизированная вода); пневматическая система для подачи сжатого воздуха и технического азота; электропитание; система управления установкой; система обратной транспортировки лотков; компоненты периферии: система внешней транспортировки лотков (система загрузки и выгрузки) с различной степенью автоматизации. Установка работает в полностью автоматическом режиме. Скорость перемещения лотков адаптирована к длительности такта технологического процесса нанесения покрытия.The HELIA PVD coating plant consists of the following main components: vacuum chambers, valves and vacuum pump combinations; sources of coatings in technological chambers; high voltage generator; automated system for internal transportation of trays; gas system; cooling system (cooling and deionized water); pneumatic system for supplying compressed air and technical nitrogen; power supply; plant control system; back transport system for trays; Peripheral components: external tray transport system (loading and unloading system) with varying degrees of automation. The installation works in a fully automatic mode. The speed of movement of the trays is adapted to the cycle time of the technological process of coating.

Система обратной транспортировки лотков (TRS) вне вакуумных камер перемещает лотки в атмосферных условиях в противоход направлению технологического процесса: от выходной шлюзовой камеры по направлению к входной. При этом обратное перемещение лотков не адаптировано к длительности такта технологического процесса нанесения покрытия.The Tray Reverse Transport System (TRS) outside the vacuum chambers moves the trays in atmospheric conditions in the opposite direction to the process direction: from the outlet sluice chamber towards the inlet. In this case, the reverse movement of the trays is not adapted to the cycle time of the technological process of coating.

В зависимости от автоматизации, в установке могут быть периферийные компоненты: подъемники, соединяющие систему обратной транспортировки лотков с выходной и входной шлюзовыми камерами; станции (пункты) загрузки пластин в лотки и выгрузки из них.Depending on the automation, the installation may have peripheral components: lifts connecting the system of return transport of trays with the exit and entrance sluice chambers; stations (points) for loading plates into trays and unloading from them.

Процесс изготовления фотоэлектрических преобразователей (ФЭП) на основе кремния предполагает осаждение прозрачного проводящего оксида (ППО), например ITO, ZnO, IO:Н, на поверхность кремниевой пластины. Осаждение происходит внутри вакуумной камеры установки PVD. Кремниевые пластины транспортируются через вакуумную камеру, где происходит магнетронное распыление ITO и тем самым на поверхность кремниевых пластин напыляется слой ITO фиксированной толщины. Транспортировка кремниевых пластин через вакуумную систему осуществляется с использованием паллет вафельного типа с открытыми слотами для кремниевых пластин. При движении паллеты внутри вакуумной камеры, где происходит распыление ITO, происходит осаждение ITO на поверхность пластин, а также на поверхность паллеты в той части, которая не перекрывается пластинами. При каждом заходе в вакуумною камеру увеличивается толщина ITO на фиксированное значение. На выходе из вакуумной системы с паллеты выгружаются пластины с осажденным ITO. После этого паллета возвращается через возвратный транспортный конвейер на вход вакуумной системы, где перед заходом в вакуумную систему на паллету загружаются кремниевые пластины. Таким образом происходит циркуляция паллет на вакуумном оборудовании. В результате, по мере увеличения количества циклов прохода паллет через вакуумную систему, на их поверхности увеличивается толщина слоя ITO, в котором при по возвратном движении паллет вне вакуумной камеры происходит поглощение газа из атмосферы. В связи с этим, по мере увеличения толщины слоя ITO на поверхности паллеты, внутри вакуумных камер начинает все больше проявляться эффект паразитной газации из слоя ITO, что приводит к постепенному понижению уровня вакуума, ухудшению электрофизических характеристик слоя ITO, напыляемого на кремниевые пластины, а также к увеличению времени откачки вакуумных камер, что негативно сказывается на производительности оборудования (установки PVD).The process of manufacturing silicon-based photovoltaic converters (PECs) involves the deposition of a transparent conductive oxide (TPO), such as ITO, ZnO, IO: H, on the surface of a silicon wafer. Deposition takes place inside the vacuum chamber of the PVD plant. Silicon wafers are transported through a vacuum chamber, where ITO magnetron sputtering takes place, and thus a fixed thickness ITO layer is deposited on the surface of the silicon wafers. The transportation of silicon wafers through the vacuum system is carried out using wafer-type pallets with open slots for silicon wafers. When the pallet moves inside the vacuum chamber, where ITO is sprayed, ITO is deposited on the surface of the plates, as well as on the surface of the pallet in the part that is not covered by the plates. With each entry into the vacuum chamber, the ITO thickness increases by a fixed value. At the exit from the vacuum system, deposited ITO plates are unloaded from the pallet. After that, the pallet returns through the return transport conveyor to the inlet of the vacuum system, where silicon wafers are loaded onto the pallet before entering the vacuum system. Thus, the pallets are circulated on the vacuum equipment. As a result, as the number of cycles of pallet passage through the vacuum system increases, the thickness of the ITO layer increases on their surface, in which gas is absorbed from the atmosphere during the return movement of the pallets outside the vacuum chamber. In this regard, as the thickness of the ITO layer on the surface of the pallet increases, the effect of parasitic gassing from the ITO layer begins to manifest itself more and more, which leads to a gradual decrease in the vacuum level, deterioration of the electrophysical characteristics of the ITO layer sprayed onto silicon wafers, as well as to an increase in the pumping time of the vacuum chambers, which negatively affects the performance of the equipment (PVD installations).

В данном случае очистка загрязненных паллет осуществляется вне эксплуатируемых вакуумных камер оборудования PVD, в которых из-за напыления происходит их загрязнение. Для проведения очистки загрязненных паллет, в т.ч. с помощью лазерной установки, необходимо провести их выгрузку из системы PVD и позиционирование на месте очистки, после чего очищенные паллеты необходимо снова загрузить в систему PVD.In this case, the cleaning of contaminated pallets is carried out outside the operated vacuum chambers of the PVD equipment, in which they become contaminated due to spraying. For cleaning contaminated pallets, incl. using a laser system, they must be unloaded from the PVD system and positioned at the cleaning site, after which the cleaned pallets must be loaded back into the PVD system.

Таким образом, в описанных аналогах для очистки паллет в вакуумных установках необходимо их выгружать из установки, что приводит к остановке технологического процесса.Thus, in the described analogs, for cleaning pallets in vacuum installations, it is necessary to unload them from the installation, which leads to a halt in the technological process.

Задачей изобретения является создание вакуумной напылительной установки, в которой часть для напыления тонких слоев прозрачного проводящего оксида (ППО) на размещенные в паллетах пластины на основе кремния или стекла, совмещена с системой лазерной очистки паллет и адаптирована к режиму технологического процесса напыления.The objective of the invention is to create a vacuum spraying unit, in which a part for spraying thin layers of transparent conductive oxide (PPO) onto plates based on silicon or glass placed in pallets is combined with a system for laser cleaning of pallets and adapted to the mode of the spraying process.

К рассматриваемым вакуумным установкам относятся: система PVD (физическое осаждение из газовой фазы), LPCVD (химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении), PECVD (плазмохимическое осаждение из газовой фазы).The considered vacuum installations include: PVD (Physical Vapor Deposition), LPCVD (Chemical Vapor Deposition under Reduced Pressure), PECVD (Plasma Chemical Vapor Deposition).

В данном случае под пластинами на основе кремния понимаются фотоэлектрические преобразователи (ФЭП) на основе монокристаллического, мульти- или поликристаллического кремния, а под пластинами на основе стекла - стекла для дисплеев жидкокристаллических экранов, органических светодиодов (OLED) и сенсорных экранов.In this case, silicon-based wafers are understood as photovoltaic converters (PECs) based on monocrystalline, multi- or polycrystalline silicon, and glass-based wafers - glass for LCD displays, organic light-emitting diodes (OLED) and touch screens.

При этом процесс изготовления фотоэлектрических преобразователей (ФЭП) на основе кремния предполагает осаждение на поверхность кремниевой пластины слоя прозрачного проводящего оксида (ППО), например ITO, ZnO, IO:Н, а на стекла - слоев ITO, ZnO.In this case, the process of manufacturing photovoltaic converters (PECs) based on silicon involves the deposition of a layer of transparent conducting oxide (PPO), for example ITO, ZnO, IO: H, on the surface of a silicon wafer, and layers of ITO, ZnO on glass.

Задача решается за счет того, что установка для напыления тонких слоев прозрачного проводящего оксида (ППО) на размещенные в паллетах пластины на основе кремния или стекла, включающая последовательно расположенные компоненты: узел загрузки пластин на паллеты; входную шлюзовую и буферную камеры; блоки вакуумных камер для напыления тонких слоев, с одной или с двух сторон пластин, образующие разные функциональные модули в соответствующем технологическом оснащении (клапаны, комбинации вакуумных насосов, источники покрытия кремниевых пластин; пневматическая система для подачи сжатого воздуха и технического азота; система охлаждения с охлаждающей и деионизированной водой; газовая система; система электропитания с генератором высоковольтного напряжения), выходную шлюзовую и буферную камеры, узел выгрузки пластин с напылением из паллет, объединенные системой управления и автоматизированной системой внутренней транспортировки пластин в паллетах, а также содержащая систему обратной транспортировки паллет без пластин вне вакуумных камер от узла выгрузки пластин с напылением из паллет к узлу загрузки пластин на паллеты, согласно изобретению паллеты выполнены из одного материала; при этом система обратной транспортировки паллет дополнительно снабжена счетчиком циклов прохождения паллет по системе, модулями лазерной очистки от напыления паллет с одной или двух подвергшихся напылению сторон, а также снабжена датчиками положения паллет относительно модулей лазерной очистки, причем каждая лазерная головка модуля лазерной очистки содержит встроенный сканатор с областью сканирования луча d=(0,1-0,12) м и расположенный вблизи области очистки узел локальной вытяжки продуктов лазерной очистки.The problem is solved due to the fact that the installation for spraying thin layers of transparent conductive oxide (PPO) on plates placed in pallets based on silicon or glass, including sequentially located components: unit for loading plates on pallets; entrance lock and buffer chambers; blocks of vacuum chambers for deposition of thin layers, from one or both sides of the plates, forming different functional modules in the corresponding technological equipment (valves, combinations of vacuum pumps, sources of coating silicon wafers; pneumatic system for supplying compressed air and technical nitrogen; cooling system with cooling and deionized water; gas system; power supply system with a high-voltage generator), an outlet sluice and buffer chambers, a plate unloading unit with sputtering from pallets, combined by a control system and an automated system for internal transport of plates in pallets, as well as containing a system of reverse transport of pallets without plates outside the vacuum chambers from the unit for unloading plates with spraying from pallets to the unit for loading plates on pallets, according to the invention, the pallets are made of one material; at the same time, the system of reverse transport of pallets is additionally equipped with a counter of cycles of pallets passing through the system, modules for laser cleaning of pallets from dusting from one or two sides that have been sprayed, and also equipped with sensors for the position of pallets relative to laser cleaning modules, and each laser head of the laser cleaning module contains a built-in scanner with a scanning area of the beam d = (0.1-0.12) m and a unit for local extraction of laser cleaning products located near the cleaning area.

Паллеты без пластин по системе обратной их транспортировки перемещаются с одинаковой скоростью.Pallets without plates move at the same speed in the reverse transport system.

При этом в первом варианте выполнения установки, каждый модуль лазерной очистки паллет в системе обратной их транспортировки содержит одну лазерную головку мощностью излучения не менее 1,6 кВт, снабжен автоматической системой перемещения по ширине паллеты после каждого ее прохода по модулю очистки на шаг «k», равный области сканирования лазерного луча «d», т.е. k=d; а узел локальной вытяжки продуктов очистки установлен с возможностью его перемещения вместе с лазерной головкой.At the same time, in the first embodiment of the installation, each module for laser cleaning of pallets in the system of their reverse transportation contains one laser head with a radiation power of at least 1.6 kW, equipped with an automatic system for moving along the width of the pallet after each pass through the cleaning module by step "k" equal to the scanning area of the laser beam "d", i.e. k = d; and the unit for local extraction of cleaning products is installed so that it can be moved together with the laser head.

В этом варианте установки каждый модуль лазерной очистки паллет содержит только одну лазерную головку, область сканирования лазерного луча которой «d» меньше ширины паллеты «В», т.е. за один проход у паллеты очищается полоса шириной «d». После прохода паллеты по модулю очистки, лазерный луч выключается, и лазерная головка в интервалах между процессами очистки автоматически перемещается по ширине паллеты на шаг «k», равный области сканирования лазерного луча «d» до полного охвата лазерным лучом всей ширины паллеты «В». То есть вся паллета подвергается очистке за количество ее проходов (циклов) по системе, равное B/d.In this installation variant, each module for laser cleaning of pallets contains only one laser head, the scanning area of the laser beam of which "d" is less than the width of the pallet "B", i.e. in one pass, a strip of width "d" is cleared at the pallet. After the pallet passes through the cleaning module, the laser beam is turned off, and the laser head automatically moves along the pallet width by step "k", equal to the scanning area of the laser beam "d", until the laser beam completely covers the entire pallet width "B" in the intervals between cleaning processes. That is, the entire pallet is cleaned for the number of passes (cycles) through the system equal to B / d.

При этом во втором варианте выполнения установки, каждый модуль лазерной очистки паллет содержит группу из «n» лазерных головок, расположенных по ширине паллеты «В» при 2<n<10, каждая из которых имеет мощность излучения не менее 1,6 кВт со встроенным сканатором с областью сканирования d=(0,1-0,12) м, снабжен автоматической системой синхронного перемещения по ширине паллеты «В» всех лазерных головок группы, выполненной с возможностью их перемещения пошагово в интервалах между включениями лазерных головок по всей ширине паллеты «В», и содержит «m» узлов локальной вытяжки продуктов очистки при 1<m<n, каждый из которых расположен вблизи области очистки одной или нескольких лазерных головок в группе.In this case, in the second embodiment of the installation, each module for laser cleaning of pallets contains a group of "n" laser heads located along the width of the pallet "B" at 2 <n <10, each of which has a radiation power of at least 1.6 kW with a built-in a scanner with a scanning area d = (0.1-0.12) m, equipped with an automatic system for synchronous movement along the width of the pallet "B" of all laser heads of the group, made with the possibility of moving them step by step in the intervals between the switching on of the laser heads along the entire width of the pallet " B ", and contains" m "nodes for local extraction of cleaning products at 1 <m <n, each of which is located near the cleaning area of one or more laser heads in the group.

Таким образом, во втором варианте установки, когда очистка паллеты осуществляется группой из «n» связанных лазерных головок, перемещающихся по ширине паллеты синхронно пошагово, очистка всей паллеты в зависимости от количества лазерных головок в группе и их мощности, может осуществляться либо за несколько ее проходов (циклов) по системе, либо за один проход по модулю очистки.Thus, in the second version of the installation, when the pallet is cleaned by a group of "n" connected laser heads moving along the width of the pallet step by step synchronously, the cleaning of the entire pallet, depending on the number of laser heads in the group and their power, can be carried out either in several passes (cycles) through the system, or in one pass through the cleaning module.

Причем количество узлов локальной вытяжки продуктов очистки в зависимости от конструкции может варьироваться от «n», когда у каждой лазерной головки свой узел вытяжки, до «1», когда узел локальной вытяжки продуктов очистки всей группы из «n» лазерных головок выполнен конструктивно в виде единого блока.Moreover, the number of units for local extraction of cleaning products, depending on the design, can vary from "n", when each laser head has its own extraction unit, to "1", when the unit for local extraction of cleaning products of the entire group of "n" laser heads is structurally made in the form a single block.

В частном случае второго варианта выполнения установки, в каждом модуле лазерной очистки лазерные головки в группе из «n» лазерных головок, расположены по ширине паллеты «В» на расстоянии друг от друга, равном области сканирования луча «d» одной лазерной головки, с возможностью совместного перемещения группы головок по ширине паллеты «В» с шагом «k», равным обшей области сканирования лучей всей группы.In the particular case of the second embodiment of the installation, in each laser cleaning module, the laser heads in a group of "n" laser heads are located along the width of the pallet "B" at a distance from each other equal to the scanning area of the beam "d" of one laser head, with the possibility joint movement of a group of heads along the width of the pallet "B" with a step "k" equal to the total scanning area of the rays of the entire group.

То есть в этом частном случае второго варианта выполнения установки, очистка паллеты осуществляется группой из связанных «n» лазерных головок, формирующих общую область очистки, не перекрывающую всю ширину паллеты, т.е. (n⋅d)<В. Поэтому для очистки паллеты по всей ширине, группа лазерных головок, в интервалах между их включениями, перемещается по ширине паллеты синхронно каждый раз на шаг «k», равный обшей области сканирования лучей «n» лазерных головок, т.е. k=n⋅d. При этом очистка всей паллеты в зависимости от количества «n» лазерных головок в группе и их мощности, может осуществляться либо за несколько ее проходов (циклов) по системе, количество которых, равно B/n⋅d, либо за один проход по модулю очистки.That is, in this particular case of the second embodiment of the installation, the pallet is cleaned by a group of connected "n" laser heads forming a common cleaning area that does not cover the entire width of the pallet, i.e. (n⋅d) <B. Therefore, to clean the pallet along the entire width, the group of laser heads, in the intervals between their switching on, moves along the width of the pallet synchronously each time by step "k", equal to the total scanning area of the beams "n" laser heads, i.e. k = n⋅d. At the same time, depending on the number of "n" laser heads in the group and their power, the cleaning of the entire pallet can be carried out either in several passes (cycles) through the system, the number of which is equal to B / n⋅d, or in one pass through the cleaning module ...

В другом частном случае второго варианта выполнения установки, в каждом модуле лазерной очистки лазерные головки в группе из «n» лазерных головок расположены равномерно по всей по ширине паллеты «В» на расстоянии «b» друг от друга, равном b=В/n, которое превышает область сканирования луча одной лазерной головки «d», т.е. d<b, причем автоматическая система каждого модуля обеспечивает одновременное перемещение всей группы из «n» лазерных головок по ширине части паллеты b=В/n с шагом, равным области сканирования луча одной лазерной головки k=d.In another particular case of the second embodiment of the installation, in each laser cleaning module, the laser heads in a group of "n" laser heads are arranged evenly over the entire width of the pallet "B" at a distance "b" from each other equal to b = B / n, which exceeds the scanning area of the beam of one laser head "d", i.e. d <b, and the automatic system of each module provides simultaneous movement of the entire group of "n" laser heads along the width of the pallet part b = B / n with a step equal to the scanning area of the beam of one laser head k = d.

То есть в этом частном случае очистка паллеты осуществляется группой из «n» лазерных головок, расположенных равномерно по всей ширине паллеты, т.е. на расстоянии «b» друг от друга, делящем паллету по ширине на равные части b=В/n. При этом область сканирования луча одной лазерной головки «d» в группе составляет меньше расстояния до соседней головки, т.е. части ширины «b» паллеты (b=В/n). Поэтому все «n» лазерных головок группы в интервалах между их включениями перемещается синхронно на шаг «k», равный области сканирования лазерного луча «d» одной головки, только в пределах части ширины «b» паллеты, равной В/n. При этом очистка паллеты по всей ширине, в зависимости от количества «n» лазерных головок в группе и их мощности, может осуществляться либо за несколько ее проходов (циклов) по системе, количество которых равно B⋅d /n, либо за один проход по модулю очистки.That is, in this particular case, the pallet is cleaned by a group of "n" laser heads, located evenly over the entire width of the pallet, i.e. at a distance "b" from each other, dividing the pallet in width into equal parts b = B / n. In this case, the scanning area of the beam of one laser head "d" in the group is less than the distance to the neighboring head, i.e. parts of the width "b" of the pallet (b = B / n). Therefore, all "n" laser heads of the group in the intervals between their inclusions move synchronously to a step "k" equal to the scanning area of the laser beam "d" of one head, only within the part of the width "b" of the pallet equal to B / n. At the same time, the pallet can be cleaned over the entire width, depending on the number of "n" laser heads in the group and their power, either in several passes (cycles) through the system, the number of which is equal to B⋅d / n, or in one pass through cleaning module.

При этом в третьем варианте выполнения установки, каждый модуль лазерной очистки паллет в системе обратной их транспортировки содержит блок из «N» лазерных головок при N≥10, мощностью излучения каждой не менее 1 кВт, расположенных равномерно по всей ширине «В» паллеты на расстоянии «b» друг от друга (b=B/N), не превышающем область сканирования луча одной лазерной головки «d», т.е. b≤d. При этом количество узлов локальной вытяжки продуктов очистки может варьироваться от «N», когда у каждой головки свой узел вытяжки, до «1», когда этот узел выполнен конструктивно в виде единого блока для всей группы из «N» лазерных головок.At the same time, in the third embodiment of the installation, each module for laser cleaning of pallets in the system of their reverse transportation contains a block of "N" laser heads with N≥10, with a radiation power of at least 1 kW, located evenly over the entire width "B" of the pallet at a distance "B" from each other (b = B / N), not exceeding the scanning area of the beam of one laser head "d", i.e. b≤d. In this case, the number of units for local extraction of cleaning products can vary from "N", when each head has its own exhaust unit, to "1", when this unit is structurally made in the form of a single unit for the entire group of “N” laser heads.

Таким образом, в третьем варианте очистка паллеты осуществляется блоком из «N» лазерных головок, расположенных друг от друга на расстоянии, не превышающем область сканирования луча одной лазерной головки, и образующих общую область сканирования, покрывающую полностью ширину паллеты «В», в связи с чем перемещения лазерных головок по ширине паллеты не требуется. Во время очистки лазерные головки включаются одновременно, обеспечивая очистку всей ширины паллеты за один ее проход.Thus, in the third version, the pallet is cleaned by a block of "N" laser heads located at a distance not exceeding the scanning area of the beam of one laser head, and forming a common scanning area covering the entire width of the "B" pallet, due to than moving the laser heads across the pallet width is not required. During cleaning, the laser heads are turned on simultaneously, ensuring that the entire width of the pallet is cleaned in one single pass.

Заявляемое изобретение - вакуумная напылительная установка с системой лазерной очистки паллет поясняется функциональной схемой, приведенной на фиг.1.The claimed invention - a vacuum spraying unit with a laser pallet cleaning system is illustrated by the functional diagram shown in Fig. 1.

Установка для напыления тонких слоев ППО на размещенные в паллетах пластины на основе кремния или стекла содержит последовательно расположенные компоненты: узел загрузки 1 пластин на паллеты; входную шлюзовую и буферную камеры 2; блоки вакуумных камер 3 для напыления тонких слоев, по крайней мере, на одну сторону пластин, в соответствующем технологическом оснащении (не показано), выходную шлюзовую и буферную камеры 4, узел выгрузки 5 пластин с напылением из паллет, которые объединены системой управления (не показано) и автоматизированной системой внутренней транспортировки пластин в паллетах (не показано), а также содержит систему обратной транспортировки паллет 6 без пластин, вне вакуумных камер, от узла выгрузки пластин с напылением из паллет 5 к узлу загрузки 1 пластин на паллеты, при этом система обратной транспортировки паллет 6 снабжена счетчиком циклов прохождения паллет 7 по системе, датчиком положения паллет 8 относительно модуля лазерной очистки 9 от напыления паллет с одной стороны и, в случае, если пластины в паллетах подвергались напылению с двух сторон, датчиком положения паллет 10 относительно модуля лазерной очистки 11 от напыления паллет с обратной стороны, причем модули лазерной очистки 8 и 10 оснащены (не показано) лазерными головками, каждая из которых содержит встроенный сканатор с областью сканирования луча d=(0,1-0,12)M и расположенный вблизи области очистки узел локальной вытяжки продуктов очистки.The installation for spraying thin layers of PPO on plates based on silicon or glass placed in pallets contains sequentially located components: unit for loading 1 plates per pallets; entrance lock and buffer chamber 2; blocks of vacuum chambers 3 for spraying thin layers, at least on one side of the plates, in appropriate technological equipment (not shown), outlet lock and buffer chambers 4, unit for unloading 5 plates with sputtering from pallets, which are combined by a control system (not shown ) and an automated system for internal transportation of plates in pallets (not shown), and also contains a system for reverse transportation of pallets 6 without plates, outside the vacuum chambers, from the unit for unloading plates with spraying from pallets 5 to the unit for loading 1 plates on pallets, while the reverse system transportation of pallets 6 is equipped with a counter of cycles of passage of pallets 7 through the system, a sensor for the position of pallets 8 relative to the laser cleaning module 9 from spraying pallets on one side and, if the plates in pallets were sprayed on both sides, a sensor for the position of pallets 10 relative to the laser cleaning module 11 from spraying pallets from the back side, with laser cleaning modules 8 and 10 equipped (not shown) with laser heads, each of which contains a built-in scanner with a beam scanning area d = (0.1-0.12) M and a unit for local extraction of cleaning products located near the cleaning area.

При этом в первом варианте выполнения установки, каждый модуль лазерной очистки паллет 8, 10 в системе обратной их транспортировки 6 содержит (не показано) одну лазерную головку мощностью излучения не менее 1,6 кВт и областью сканирования луча «d», меньше ширины паллеты «В», с автоматической системой ее перемещения по ширине паллеты с шагом «k», равным области сканирования луча «d», т.е. k=d; причем узел локальной вытяжки продуктов очистки установлен с возможностью его перемещения вместе с лазерной головкой.Moreover, in the first embodiment of the installation, each module for laser cleaning of pallets 8, 10 in the system of their return transportation 6 contains (not shown) one laser head with a radiation power of at least 1.6 kW and a beam scanning area "d", less than the width of the pallet " В ", with an automatic system of its movement along the width of the pallet with a step" k "equal to the scanning area of the beam" d ", i.e. k = d; moreover, the unit for local extraction of cleaning products is installed so that it can be moved together with the laser head.

То есть в первом варианте установки каждый модуль лазерной очистки паллет содержит только одну лазерную головку с областью сканирования луча «d», меньше ширины «В» паллеты. Поэтому для охвата лазерным лучом всей ширины паллеты, лазерная головка в интервалах между циклами очистки, когда лазерный луч выключен, автоматически перемещается по ширине паллеты на шаг «k», равный области сканирования луча «d».That is, in the first version of the installation, each module for laser cleaning of pallets contains only one laser head with a beam scanning area "d" less than the width "B" of the pallet. Therefore, in order to cover the entire width of the pallet with the laser beam, the laser head automatically moves along the width of the pallet by step "k" equal to the scanning area of the beam "d" in the intervals between cleaning cycles, when the laser beam is turned off.

При этом во втором варианте выполнения установки, каждый модуль лазерной очистки паллет 8, 10 в системе обратной их транспортировки 6 содержит (не показано) группу из «n» лазерных головок, расположенных по ширине «В» паллеты при 2<n<10, каждая из которых имеет мощность излучения не менее 1,6 кВт и снабжена встроенным сканатором с областью сканирования d=(0,1-0,12) м, выполнен с автоматической системой синхронного перемещения всех лазерных головок группы и содержит «m» узлов локальной вытяжки продуктов очистки при 1<m<n, каждый из которых расположен вблизи области очистки одной или нескольких лазерных головок из «n» группы и установлен с возможностью перемещения вместе со всей группой из «n» лазерных головок.Moreover, in the second embodiment of the installation, each module for laser cleaning of pallets 8, 10 in the system of their return transportation 6 contains (not shown) a group of "n" laser heads located along the width "B" of the pallet at 2 <n <10, each of which has a radiation power of at least 1.6 kW and is equipped with a built-in scanner with a scanning area d = (0.1-0.12) m, is made with an automatic system for synchronous movement of all laser heads of the group and contains "m" nodes for local product extraction cleaning at 1 <m <n, each of which is located near the cleaning area of one or more laser heads from the "n" group and installed with the ability to move together with the entire group of "n" laser heads.

Таким образом, во втором варианте очистка паллеты осуществляется группой из «n» связанных лазерных головок, синхронно перемещающихся по ширине паллеты, причем количество узлов локальной вытяжки продуктов очистки в зависимости от конструкции может варьироваться от «n», когда у каждой лазерной головки свой узел вытяжки, до «1», когда узел локальной вытяжки продуктов очистки для всей группы из «n» лазерных головок выполнен конструктивно в виде единого блока.Thus, in the second variant, the pallet is cleaned by a group of "n" connected laser heads, synchronously moving along the width of the pallet, and the number of units for local extraction of cleaning products, depending on the design, can vary from “n”, when each laser head has its own extraction unit , to "1", when the unit for local extraction of cleaning products for the entire group of "n" laser heads is structurally made in the form of a single unit.

При этом, в частном случае, лазерные головки в группе из «n» головок, расположены по ширине «В» паллеты на расстоянии друг от друга, равном области сканирования луча одной лазерной головки «d», причем автоматическая система каждого модуля обеспечивает одновременное перемещение всей группы из «n» лазерных головок по ширине паллеты с шагом «k», равным обшей области сканирования лучей всей группы k=n⋅d.In this case, in a particular case, the laser heads in a group of "n" heads are located along the width "B" of the pallet at a distance from each other equal to the scanning area of the beam of one laser head "d", and the automatic system of each module ensures the simultaneous movement of the entire groups of "n" laser heads along the width of the pallet with a step "k" equal to the total scanning area of the beams of the entire group k = n⋅d.

То есть в этом частном случае очистка паллеты осуществляется группой из «n» лазерных головок, формирующих общую область очистки, не перекрывающую всю ширину паллеты, т.е. (n⋅d)<В. Поэтому для охвата всей ширины паллеты, в интервалах между процессами очистки, группа лазерных головок перемещается по ширине паллеты на шаг, равный обшей области сканирования лучей «n» лазерных головок.That is, in this particular case, the pallet is cleaned by a group of "n" laser heads that form a common cleaning area that does not cover the entire width of the pallet, i.e. (n⋅d) <B. Therefore, in order to cover the entire width of the pallet, in the intervals between cleaning processes, the group of laser heads moves along the width of the pallet by a step equal to the total scanning area of the beams "n" laser heads.

В другом частном случае, лазерные головки в группе из «n» лазерных головок, расположены равномерно по всей по ширине «В» паллеты на расстоянии «b» друг от друга, равном b=В/n, которое превышает область сканирования луча одной лазерной головки «d», причем автоматическая система каждого модуля обеспечивает одновременное перемещение всей группы из «n» лазерных головок по ширине части паллеты b=В/n с шагом «k», равным области сканирования луча одной лазерной головки, т.е. k=d.In another particular case, the laser heads in a group of "n" laser heads are located evenly along the entire width "B" of the pallet at a distance "b" from each other equal to b = B / n, which exceeds the scanning area of the beam of one laser head "D", and the automatic system of each module ensures the simultaneous movement of the entire group of "n" laser heads along the width of the pallet part b = B / n with a step "k" equal to the scanning area of the beam of one laser head, i.e. k = d.

То есть, в этом частном случае очистка паллеты осуществляется группой из «n» лазерных головок, расположенных равномерно по всей ширине паллеты на расстоянии друг от друга b=В/n, которое больше области сканирования луча одной лазерной головки «d», т.е. d≤b. Поэтому для охвата всей ширины паллеты лазерным лучом, в интервалах между процессами очистки, все «n» лазерных головок группы синхронно перемещаются на шаг «k», равный области сканирования лазерного луча «d», только в пределах части ширины паллеты b=В/n.That is, in this particular case, the pallet is cleaned by a group of "n" laser heads located evenly over the entire width of the pallet at a distance from each other b = B / n, which is larger than the scanning area of the beam of one laser head "d", i.e. ... d≤b. Therefore, to cover the entire width of the pallet with a laser beam, in the intervals between cleaning processes, all "n" laser heads of the group are synchronously moved to step "k", equal to the scanning area of the laser beam "d", only within a part of the pallet width b = B / n ...

При этом в третьем варианте выполнения установки, каждый модуль лазерной очистки паллет 8, 10 в системе обратной их транспортировки 6 содержит (не показано) блок из «N» лазерных головок при N≥10, каждая из которых имеет мощность излучения не менее 1 кВт и снабжена встроенным сканатором с областью сканирования d=(0,1-0,12) м, причем лазерные головки в блоке расположены равномерно по всей ширине «В» паллеты на расстоянии «b» друг от друга b=B/N, не превышающем область сканирования луча одной лазерной головки «d», т.е. b≤d; а также содержит «М» узлов локальной вытяжки продуктов очистки при 1<M<N, каждый из которых расположен вблизи области очистки одной или нескольких лазерных головок в блоке из «N» лазерных головок.Moreover, in the third embodiment of the installation, each module for laser cleaning of pallets 8, 10 in the system of their return transportation 6 contains (not shown) a block of "N" laser heads with N≥10, each of which has a radiation power of at least 1 kW and equipped with a built-in scanner with a scanning area d = (0.1-0.12) m, and the laser heads in the block are located evenly over the entire width "B" of the pallet at a distance "b" from each other b = B / N, not exceeding the area scanning the beam of one laser head "d", i.e. b≤d; and also contains "M" nodes for local extraction of cleaning products at 1 <M <N, each of which is located near the cleaning area of one or more laser heads in a block of "N" laser heads.

То есть в третьем варианте очистка паллеты осуществляется блоком из «N» лазерных головок, расположенных по ширине паллеты друг от друга на расстоянии, не превышающем область сканирования луча одной лазерной головки, поэтому общая область сканирования всего блока из «N» лазерных головок покрывает полностью ширину паллеты «В», в связи с чем перемещения лазерных головок по ширине паллеты не требуется.That is, in the third variant, the pallet is cleaned by a block of "N" laser heads located along the pallet width from each other at a distance not exceeding the scanning area of the beam of one laser head, therefore the total scanning area of the entire block of "N" laser heads covers the entire width pallets "B", and therefore no movement of laser heads along the pallet width is required.

Заявляемая вакуумная напылительная установка с системой лазерной очистки паллет работает следующим образом (Фиг. 1).The claimed vacuum spraying installation with a laser pallet cleaning system operates as follows (Fig. 1).

На узле загрузки 1 чистые пластины без напыления загружаются (укладываются) на паллеты (плоские держатели - лотки), на которых они благодаря системе управления и автоматизированной системе внутренней транспортировки перемещаются и обрабатываются в вакуумных камерах в ходе поточного способа обработки. Сначала паллеты с пластинами проходят через входные камеры 2: шлюзовую (место перехода между атмосферной средой и вакуумной системой) и буферную (для регулирования скорости перемещения (транспортировки) паллет между шлюзовыми и технологическими камерами.). Далее они поступают в блоки вакуумных камер 3 с процессными модулями для напыления тонких слоев ППО на пластины с одной или с двух сторон (пунктир), образующие разные функциональные модули в соответствующем технологическом оснащении (клапаны, комбинации вакуумных насосов, источники покрытия кремниевых пластин; пневматическая система для подачи сжатого воздуха и технического азота; система охлаждения с охлаждающей и деионизированной водой; газовая система; система электропитания с генератором высоковольтного напряжения). Затем паллеты с пластинами, на которые нанесено напыление, через выходные камеры 4: буферную (для регулирования скорости перемещения (транспортировки) паллет между технологическими камерами) и шлюзовую (место перехода между вакуумной системой и атмосферной средой), поступают на узел выгрузки 5 пластин с напылением из паллет.At the loading unit 1, clean plates without spraying are loaded (stacked) on pallets (flat holders - trays), on which, thanks to a control system and an automated internal transport system, they are moved and processed in vacuum chambers during the in-line processing method. First, pallets with plates pass through input chambers 2: a sluice (the place of transition between the atmospheric environment and a vacuum system) and a buffer (to regulate the speed of movement (transportation) of pallets between the sluice and technological chambers.). Then they enter the blocks of vacuum chambers 3 with process modules for spraying thin layers of PPO on plates from one or both sides (dotted line), forming different functional modules in the appropriate technological equipment (valves, combinations of vacuum pumps, sources of coating silicon wafers; pneumatic system for the supply of compressed air and technical nitrogen; cooling system with cooling and deionized water; gas system; power supply system with a high-voltage generator). Then, pallets with plates, on which spraying is applied, through output chambers 4: a buffer (to regulate the speed of movement (transportation) of pallets between technological chambers) and a sluice (a place of transition between the vacuum system and the atmospheric environment), enter the unloading unit 5 plates with spraying from pallets.

После этого пластины с напылением выводят из установки, а загрязненные этим же напылением паллеты без пластин попадают в систему обратной транспортировки паллет 6 вне вакуумных камер 3, по которой они перемещаются с равномерной скоростью от узла выгрузки 5 пластин с напылением из паллет к узлу загрузки 1 пластин на паллеты.After that, the sprayed plates are removed from the installation, and the pallets without plates contaminated with the same spraying enter the pallet 6 reverse transportation system outside the vacuum chambers 3, along which they move at a uniform speed from the 5 plates unloading unit with spraying from the pallets to the plate loading unit 1 on pallets.

Сначала в системе обратной транспортировки 6 счетчик циклов 7 автоматически определяет количество пройденных загрязненными паллетами циклов по системе. В том случае, если количество циклов превышает заданную величину, при которой слой напыления на паллетах превышает допустимую толщину, запускаются остальные блоки и узлы в системе обратной транспортировки 6 паллет.First, in the return transport system 6, the cycle counter 7 automatically determines the number of cycles passed by the contaminated pallets in the system. In the event that the number of cycles exceeds the predetermined value at which the spray layer on the pallets exceeds the permissible thickness, the remaining blocks and nodes in the 6 pallet return transport system are started.

Модули лазерной очистки паллет 9 и 11 располагаются на обратном конвейере 6. В зависимости от того, с одной или с двух сторон производится напыление на пластины, процесс лазерной очистки паллет осуществляется с одной или с двух сторон, подвергшихся также напылению (пунктир). Информация о приближении паллеты к модулю лазерной очистки 9 или 11 распознается датчиком положения 8 или 10 (пунктир) соответственно, на основе сигнала которого лазерный луч включается и выключается. Для очистки паллет с двух сторон первый модуль лазерной очистки 9 очищает одну сторону паллеты (например, верхнюю часть), а второй модуль лазерной очистки 11 (пунктир) - обратную сторону паллеты (например, нижнюю часть). При этом модули лазерной очистки паллет 9 и 11 в системе обратной транспортировки 6 паллет могут иметь одну или несколько лазерных головок. Кроме того, модули лазерной очистки паллет 9 и 11 содержат один или несколько узлов локальной вытяжки продуктов очистки, каждый из которых расположен вблизи области очистки одной или нескольких лазерных головок.Modules for laser cleaning of pallets 9 and 11 are located on the return conveyor 6. Depending on whether the plates are sprayed on one or both sides, the process of laser cleaning of pallets is carried out on one or both sides, which are also sprayed (dotted line). Information about the approach of the pallet to the laser cleaning module 9 or 11 is recognized by the position sensor 8 or 10 (dotted line), respectively, based on the signal from which the laser beam is switched on and off. To clean pallets on both sides, the first laser cleaning module 9 cleans one side of the pallet (for example, the top), and the second laser cleaning module 11 (dotted line) cleans the back of the pallet (for example, the bottom). In this case, the modules for laser cleaning of pallets 9 and 11 in the return transport system 6 pallets can have one or more laser heads. In addition, the modules for laser cleaning of pallets 9 and 11 contain one or more units for local extraction of cleaning products, each of which is located near the cleaning area of one or more laser heads.

После соответствующей лазерной очистки паллеты поступают на узел загрузки 1, где на них вновь загружаются (укладываются) чистые пластины без напыления и начинается следующий цикл работы установки.After the appropriate laser cleaning, the pallets arrive at the loading unit 1, where they are again loaded (stacked) clean plates without spraying and the next cycle of the installation begins.

При этом, при реализации установки в первом варианте каждый модуль лазерной очистки паллет содержит одну лазерную головку мощностью излучения не менее 1,6 кВт со встроенным сканатором с областью сканирования луча «d», меньшей чем ширина паллеты. В этом случае у паллеты за один проход по системе (цикл) очищается полоса шириной «d». После прохода паллеты по модулю очистки лазерный луч выключается, и лазерная головка в интервалах между процессами очистки автоматически перемещается по ширине паллеты на шаг «k», равный области сканирования лазерного луча «d», т.е. k=d, до полного охвата лазерным лучом всей ширины паллеты «В», причем узел локальной вытяжки продуктов очистки также перемещается вместе с лазерной головкой. То есть вся паллета подвергается очистке за количество ее проходов (циклов) по системе, равное B/d.At the same time, when implementing the installation in the first embodiment, each module for laser cleaning of pallets contains one laser head with a radiation power of at least 1.6 kW with a built-in scanner with a beam scanning area "d" less than the width of the pallet. In this case, a strip of width "d" is cleared at the pallet in one pass through the system (cycle). After the pallet has passed through the cleaning module, the laser beam is turned off, and the laser head automatically moves along the pallet width by step "k", equal to the scanning area of the laser beam "d", in the intervals between cleaning processes. k = d, until the laser beam completely covers the entire width of the pallet "B", and the unit for local extraction of cleaning products also moves along with the laser head. That is, the entire pallet is cleaned for the number of passes (cycles) through the system equal to B / d.

При этом, при реализации установки во втором варианте, каждый модуль лазерной очистки паллет содержит группу из «n» лазерных головок, при 2<n<10, расположенных по ширине паллеты «В», с мощностью излучения каждой не менее 1,6 кВт и со встроенным сканатором с областью сканирования «d», причем вся группа лазерных головок имеет возможность в интервалах между включениями лазерных головок синхронного пошагового перемещения по ширине паллеты «В». Кроме того, каждый модуль лазерной очистки содержит узлы локальной вытяжки продуктов очистки, расположенные вблизи области очистки с возможностью их перемещения вместе со всей группой из «n» лазерных головок, что позволяет эффективно уносить продукты удаления от области лазерной очистки.At the same time, when implementing the installation in the second version, each module for laser cleaning of pallets contains a group of "n" laser heads, with 2 <n <10, located along the width of the pallet "B", each with a radiation power of at least 1.6 kW and with a built-in scanner with a scanning area "d", and the entire group of laser heads has the ability in the intervals between the laser heads to move synchronously along the width of the pallet "B". In addition, each laser cleaning module contains units for local extraction of cleaning products located near the cleaning area with the possibility of moving them together with the entire group of "n" laser heads, which makes it possible to effectively carry away the removal products from the laser cleaning area.

В этом случае очищение паллеты по всей ширине «В» осуществляется в зависимости от количества «n» лазерных головок в группе и их мощности либо за несколько ее проходов (циклов) по системе, либо за один проход.In this case, the pallet is cleared across the entire width "B", depending on the number "n" of laser heads in the group and their power, either in several passes (cycles) through the system, or in one pass.

В частном случае второго варианта выполнения установки, когда в каждом модуле лазерной очистки лазерные головки в группе из «n» лазерных головок, расположены по ширине паллеты «В» на расстоянии друг от друга, равном области сканирования луча «d» одной лазерной головки, при работе формируется общая область очистки, не перекрывающая всю ширину паллеты, т.е. (n⋅d)<В.In the particular case of the second embodiment of the installation, when in each laser cleaning module the laser heads in a group of "n" laser heads are located along the width of the pallet "B" at a distance from each other equal to the scanning area of the beam "d" of one laser head, when work, a common cleaning area is formed that does not cover the entire width of the pallet, i.e. (n⋅d) <B.

Если при этом количество «n» лазерных головок в группе и их мощность невелики, то у паллеты за один проход по системе (цикл) очищается полоса шириной «n⋅d». После прохода паллеты по модулю очистки лазерный луч выключается, и «n» головок в интервалах между процессами очистки автоматически синхронно перемещаются по ширине паллеты на шаг «k», равный общей области сканирования всей группы, т.е. k=n⋅d, до полного охвата всей ширины паллеты «В». То есть в этом случае вся паллета подвергается очистке за количество ее проходов (циклов) по системе, равное B/n⋅d.If the number "n" of laser heads in the group and their power is low, then a strip of width "n⋅d" is cleared at the pallet in one pass through the system (cycle). After the pallet passes through the cleaning module, the laser beam is turned off, and "n" heads in the intervals between cleaning processes automatically move synchronously along the width of the pallet by step "k" equal to the total scanning area of the entire group, i.e. k = n⋅d, until the full coverage of the entire width of the pallet "B". That is, in this case, the entire pallet is cleaned for the number of passes (cycles) through the system equal to B / n⋅d.

Если количество «n» лазерных головок в группе достаточно велико, и для полного охвата всей ширины паллеты «В» требуется немного шагов k=n⋅d (1-3 шага) группы головок, то их мощность, влияющая на время очистки, может быть подобрана таким образом, что очистка всей паллеты будет осуществляется за один проход по модулю очистки.If the number of "n" laser heads in a group is large enough, and a few steps k = n⋅d (1-3 steps) of a group of heads are required to completely cover the entire width of the "B" pallet, then their power, which affects the cleaning time, can be selected in such a way that the cleaning of the entire pallet will be carried out in one pass through the cleaning module.

В другом частном случае второго варианта выполнения установки, когда в каждом модуле лазерной очистки лазерные головки в группе из «n» головок расположены равномерно по всей по ширине паллеты «В» на расстоянии друг от друга «b», которое делит паллету по ширине на равные части b=В/n, превышающие область сканирования луча одной головки, т.е. при b>d.In another particular case of the second embodiment of the installation, when in each laser cleaning module the laser heads in a group of "n" heads are located evenly over the entire width of the pallet "B" at a distance "b" from each other, which divides the pallet in width into equal parts b = B / n exceeding the scanning area of the beam of one head, i.e. for b> d.

Если при этом количество «n» лазерных головок в группе и их мощность невелики, то у паллеты за один проход по системе (цикл) очищается «n» полос шириной «d». После прохода паллеты по модулю очистки лазерный луч выключается, и вся группа из «n» головок в интервалах между процессами очистки автоматически синхронно перемещается на шаг «k», равный области сканирования лазерного луча одной головки «d», т.е. k=d, но только в пределах части ширины паллеты «b», равной В/n, до полного охвата всей ширины паллеты «В». То есть в этом случае вся паллета подвергается очистке за количество ее проходов (циклов) по системе, равное B⋅d /n.If the number "n" of laser heads in the group and their power are low, then "n" strips of width "d" are cleared from the pallet in one pass through the system (cycle). After the pallet passes through the cleaning module, the laser beam is turned off, and the entire group of "n" heads in the intervals between cleaning processes automatically moves synchronously to step "k" equal to the scanning area of the laser beam of one head "d", i.e. k = d, but only within the part of the width of the pallet "b", equal to B / n, until it completely covers the entire width of the pallet "B". That is, in this case, the entire pallet is cleaned for the number of passes (cycles) through the system equal to B⋅d / n.

Если количество «n» лазерных головок в группе достаточно велико и для полного охвата всей ширины паллеты «В» группе головок требуется немного шагов k=d (1-3 шага), то их мощность, влияющая на время очистки, может быть подобрана таким образом, что очистка всей паллеты будет осуществляется за один проход по модулю очистки.If the number of "n" laser heads in a group is large enough and few steps k = d (1-3 steps) are required to completely cover the entire width of the "B" pallet in group of heads, then their power, which affects the cleaning time, can be selected in this way that the cleaning of the entire pallet will be carried out in one pass through the cleaning module.

При этом в третьем варианте выполнения установки, когда каждый модуль лазерной очистки паллет в системе обратной их транспортировки содержит блок из «N» лазерных головок при N≥10, мощностью излучения каждой не менее 1 кВт, расположенных по всей ширине «В» паллеты равномерно на расстоянии «b» друг от друга (b=B/N), не превышающем область сканирования луча одной лазерной головки «d», т.е. b≤d, общая область сканирования всего блока из «N» лазерных головок покрывает полностью ширину паллеты «В», в связи с чем перемещения блока лазерных головок по ширине паллеты не требуется. Во время очистки все «N» лазерных головок блока включаются одновременно, обеспечивая очистку всей ширины паллеты за один ее проход по модулю очистки. Причем узлы локальной вытяжки продуктов очистки, расположенные вблизи области лазерной очистки одной или нескольких лазерных головок блока из «N» лазерных головок, позволяют эффективно уносить продукты удаления от области лазерной очистки.At the same time, in the third embodiment of the installation, when each module for laser cleaning of pallets in the system of their reverse transportation contains a block of "N" laser heads with N≥10, each with a radiation power of at least 1 kW, located along the entire width "B" of the pallet evenly on distance "b" from each other (b = B / N), not exceeding the scanning area of the beam of one laser head "d", i.e. b≤d, the total scanning area of the entire block of "N" laser heads covers the entire width of the pallet "B", and therefore there is no need to move the block of laser heads along the width of the pallet. During cleaning, all "N" laser heads of the unit are turned on simultaneously, ensuring that the entire width of the pallet is cleaned in one pass through the cleaning module. Moreover, the units for local extraction of cleaning products located near the area of laser cleaning of one or more laser heads of the block of "N" laser heads allow effectively removing the products of removal from the area of laser cleaning.

Данное ИЗ применяется для паллет, циркулирующих на вакуумной установке, выполненных из одинакового материала и перемещающихся по установке с одинаковой скоростью.This IZ is used for pallets circulating in a vacuum unit, made of the same material and moving through the unit at the same speed.

Для уноса продуктов удаления на месте лазерной очистки применяются узлы локальной вытяжки. Данные узлы находятся в непосредственной близости от области лазерной очистки и перемещаются (при необходимости) вместе с одной или группой лазерных головок, что позволяет эффективно уносить продукты удаления от области лазерной очистки.Local extraction units are used to carry away the removal products at the laser cleaning site. These units are located in the immediate vicinity of the laser cleaning area and move (if necessary) together with one or a group of laser heads, which makes it possible to effectively carry the removed products away from the laser cleaning area.

При использовании данного изобретения вакуумное оборудования используется с малым уровнем паразитной газации внутри вакуумных камер из толщи слоев ППО, образуемых на поверхности паллет, и без остановки технологического процесса для выгрузки паллет из установки для их очистки и обратной их загрузки в установку.When using this invention, the vacuum equipment is used with a low level of parasitic gassing inside the vacuum chambers from the thickness of the PPO layers formed on the surface of the pallets, and without stopping the technological process for unloading the pallets from the installation for cleaning and reloading them into the installation.

Этот результат достигается за счет того, что вакуумная установка для напыления тонких слоев прозрачного проводящего оксида (ППО) с различными свойствами на размещенные в паллетах пластины на основе кремния или стекла, содержит в системе обратной транспортировки паллет без пластин, блоки лазерной очистки паллет от напыления, работа которых адаптирована к режиму технологического процесса напыления.This result is achieved due to the fact that a vacuum installation for spraying thin layers of transparent conductive oxide (PPO) with different properties on pallet-based silicon or glass plates contains, in the system of reverse transport of pallets without plates, units for laser cleaning of pallets from spraying, whose work is adapted to the mode of the spraying technological process.

Заявляемая вакуумная напылительная установка с системой лазерной очистки паллет, может быть собрана из готовых составных частей, блоков, узлов с использованием известных материалов, крепежа и технологий.The claimed vacuum spraying unit with a system for laser cleaning of pallets can be assembled from ready-made components, blocks, assemblies using known materials, fasteners and technologies.

Так, паллеты могут быть выполнены из коррозионностойкой стали или из алюминиевых сплавов, например, марки АМг 5, 5083, 6061, АД 31, АД 33, Д 16.So, pallets can be made of corrosion-resistant steel or aluminum alloys, for example, grade AMg 5, 5083, 6061, AD 31, AD 33, D 16.

В качестве элементов установки: узла загрузки 1 пластин на паллеты, входной шлюзовой и буферной камер 2, блоков вакуумных камер для напыления 3, по крайней мере, на одну сторону пластин тонких слоев, в соответствующем технологическом оснащении, выходной шлюзовой и буферной камер 4, узла выгрузки 5 пластин с напылением из паллет, которые объединены системой управления и автоматизированной системой внутренней транспортировки пластин в паллетах (не показано), а также системы обратной транспортировки паллет без пластин 6 вне вакуумных камер, может быть использована, например, установка «HELIA PVD» для нанесения покрытия в вакууме, описанная в Интернете на сайте: https://www.meyerburger.com/en/product/helia/.As elements of the installation: unit for loading 1 plates on pallets, inlet sluice and buffer chambers 2, blocks of vacuum chambers for spraying 3, at least on one side of plates of thin layers, in appropriate technological equipment, outlet sluice and buffer chambers 4, unit unloading 5 plates with spraying from pallets, which are combined by a control system and an automated system for internal transport of plates in pallets (not shown), as well as a system of return transport of pallets without plates 6 outside the vacuum chambers, for example, the HELIA PVD installation can be used for vacuum coating described on the Internet at: https://www.meyerburger.com/en/product/helia/.

Счетчик циклов прохождения паллет 7 по системе может, например, состоять из светодиода, например, модели SEP8706-003 фирмы Honeywell (США), и фотоприемника, например, модели «OS AC42A-32P-10-LZS4» фирмы ТЕКО (Россия). При прохождении между светодиодом и фотоприемником (датчиком) паллеты с нанесенной ID меткой в виде ряда отверстий по краю, фотодатчик считывает ее и формирует сигнал, соответствующий количеству прохода паллет на установке.The counter of cycles of passage of pallets 7 through the system can, for example, consist of a LED, for example, model SEP8706-003 from Honeywell (USA), and a photodetector, for example, model OS AC42A-32P-10-LZS4 from TEKO (Russia). When a pallet with an ID mark applied in the form of a row of holes along the edge passes between the LED and the photodetector (sensor), the photosensor reads it and generates a signal corresponding to the number of pallets passed through the installation.

В качестве датчиков положения паллет относительно модулей лазерной очистки 8 и 10 может быть использован, например, датчик модели BA2M-DDT, описанный на сайте в Интернете: https://www.autonics.com/model/A1650000572, в котором также имеется источник света и фотоприемник.As sensors for the position of pallets relative to laser cleaning modules 8 and 10, one can use, for example, the sensor model BA2M-DDT, described on the Internet site: https://www.autonics.com/model/A1650000572, which also has a light source and a photodetector.

В первом и втором вариантах установки, в качестве модулей лазерной очистки паллет 9 и 11, содержащих 1 или «n» лазерных головок при 2<n<10, каждая из которых имеет мощность излучения не менее 1,6 кВт со встроенным сканатором с областью сканирования 0,1-0,12 м, снабженных автоматической системой пошагового перемещения головок по ширине паллеты, а также содержащих узел/узлы локальной вытяжки продуктов лазерной очистки, расположенные вблизи области очистки и установленные с возможностью его/их перемещения вместе с лазерными головками, могут быть использованы, например, модули типа CL-2000 фирмы CleanLASER, а в третьем варианте в качестве модулей лазерной очистки 9 и 11, содержащих блок из «N» лазерных головок при N≥10 с мощностью излучения каждой не менее 1 кВт, снабженной сканатором с областью сканирования 0,1-0,12 м и узлом локальной вытяжки продуктов очистки, могут быть использованы, например, модули типа CL-1000 фирмы CleanLASER. Оба типа модулей описаны в Интернете на сайте https://www.cleanlaser.de/en/products/lasers/high-power-laser-systems/.In the first and second installation options, as modules for laser cleaning of pallets 9 and 11, containing 1 or "n" laser heads with 2 <n <10, each of which has a radiation power of at least 1.6 kW with a built-in scanner with a scanning area 0.1-0.12 m, equipped with an automatic system of step-by-step movement of the heads along the width of the pallet, as well as containing a unit / units for local extraction of laser cleaning products located near the cleaning area and installed with the possibility of moving him / them along with the laser heads, can be For example, modules of the CL-2000 type from CleanLASER were used, and in the third version, as laser cleaning modules 9 and 11, containing a block of "N" laser heads at N≥10 with a radiation power of at least 1 kW each, equipped with a scanner with an area scanning 0.1-0.12 m and a unit for local extraction of cleaning products, for example, modules of the CL-1000 type from CleanLASER can be used. Both types of modules are described on the Internet at https://www.cleanlaser.de/en/products/lasers/high-power-laser-systems/.

Claims (8)

1. Установка для напыления в вакууме тонких слоев с различными свойствами на размещенные в паллетах пластины на основе кремния или стекла, включающая последовательно расположенные компоненты: узел загрузки пластин на паллеты, входную шлюзовую и буферную камеры, блоки вакуумных камер для напыления по крайней мере на одну из сторон пластин тонких слоев в соответствующем технологическом оснащении, выходную шлюзовую и буферную камеры, узел выгрузки пластин с напылением из паллет, которые объединены системой управления и автоматизированной системой внутренней транспортировки пластин в паллетах, а также содержащая систему обратной транспортировки паллет без пластин вне вакуумных камер от узла выгрузки пластин с напылением из паллет к узлу загрузки пластин на паллеты, отличающаяся тем, что1. Installation for vacuum spraying of thin layers with different properties on pallet-based plates based on silicon or glass, including sequentially located components: a unit for loading plates on pallets, an inlet lock and buffer chambers, blocks of vacuum chambers for spraying at least one from the sides of the plates of thin layers in the appropriate technological equipment, an outlet sluice and buffer chambers, a unit for unloading plates with spraying from pallets, which are combined by a control system and an automated system for internal transport of plates in pallets, as well as containing a system for reverse transport of pallets without plates outside the vacuum chambers from a unit for unloading plates with spraying from pallets to a unit for loading plates on pallets, characterized in that паллеты выполнены из одного материала; при этом система обратной транспортировки паллет дополнительно снабжена счетчиком циклов прохождения паллет по системе, модулями лазерной очистки паллет от напыления с одной или двух подвергшихся напылению сторон, а также снабжена датчиками положения паллет относительно модулей лазерной очистки, при этом каждый модуль лазерной очистки паллет содержит лазерную головку мощностью излучения не менее 1,6 кВт со встроенным сканатором с областью сканирования луча «d», равной (0,1-0,12) м, причем модуль снабжен автоматической системой перемещения лазерной головки по ширине паллеты после каждого ее прохода по модулю очистки на шаг «k», равный области сканирования лазерного луча, т.е. k=d; а также содержит узел локальной вытяжки продуктов очистки, расположенный вблизи области лазерной очистки и установленный с возможностью его перемещения вместе с лазерной головкой.pallets are made of one material; at the same time, the system of reverse transport of pallets is additionally equipped with a counter of cycles of pallet passing through the system, modules for laser cleaning of pallets from spraying from one or two sides subjected to spraying, and is also equipped with sensors for the position of pallets relative to laser cleaning modules, while each laser cleaning module for pallets contains a laser head radiation power of at least 1.6 kW with a built-in scanner with a beam scanning area "d" equal to (0.1-0.12) m, and the module is equipped with an automatic system for moving the laser head along the width of the pallet after each pass through the cleaning module by step "k" equal to the scanning area of the laser beam, i.e. k = d; and also contains a unit for local extraction of cleaning products, located near the area of laser cleaning and installed with the possibility of moving it together with the laser head. 2. Установка для напыления в вакууме тонких слоев с различными свойствами на размещенные в паллетах пластины на основе кремния или стекла, включающая последовательно расположенные компоненты: узел загрузки пластин на паллеты, входную шлюзовую и буферную камеры, блоки вакуумных камер для напыления по крайней мере на одну из сторон пластин тонких слоев в соответствующем технологическом оснащении, выходную шлюзовую и буферную камеры, узел выгрузки пластин с напылением из паллет, которые объединены системой управления и автоматизированной системой внутренней транспортировки пластин в паллетах, а также содержащая систему обратной транспортировки паллет без пластин вне вакуумных камер от узла выгрузки пластин с напылением из паллет к узлу загрузки пластин на паллеты, отличающаяся тем, что2. Installation for vacuum spraying of thin layers with different properties on pallet-based plates based on silicon or glass, including sequentially located components: a unit for loading plates on pallets, inlet lock and buffer chambers, blocks of vacuum chambers for spraying at least one from the sides of the plates of thin layers in the appropriate technological equipment, an outlet sluice and buffer chambers, a unit for unloading plates with spraying from pallets, which are combined by a control system and an automated system for internal transport of plates in pallets, as well as containing a system for reverse transport of pallets without plates outside the vacuum chambers from a unit for unloading plates with spraying from pallets to a unit for loading plates on pallets, characterized in that паллеты выполнены из одного материала; при этом система обратной транспортировки паллет дополнительно снабжена счетчиком циклов прохождения паллет по системе, модулями лазерной очистки паллет от напыления с одной или двух подвергшихся напылению сторон, а также снабжена датчиками положения паллет относительно модулей лазерной очистки, при этом каждый модуль лазерной очистки паллет содержит группу из «n» лазерных головок, расположенных по ширине паллеты «В» при 2<n<10, каждая из которых имеет мощность излучения не менее 1,6 кВт со встроенным сканатором с областью сканирования d=(0,1-0,12) м, причем модуль снабжен автоматической системой синхронного пошагового перемещения по ширине паллеты «В» всех лазерных головок группы в интервалах между их включениями, а также содержит узлы локальной вытяжки продуктов очистки, каждый из которых расположен вблизи области очистки одной или нескольких лазерных головок группы и установлен с возможностью перемещения вместе со всей группой головок.pallets are made of one material; at the same time, the system of reverse transport of pallets is additionally equipped with a counter of cycles of pallet passage through the system, modules for laser cleaning of pallets from spraying from one or two sides subjected to spraying, and is also equipped with sensors for the position of pallets relative to laser cleaning modules, while each laser cleaning module for pallets contains a group of "N" laser heads located along the width of the "B" pallet at 2 <n <10, each of which has a radiation power of at least 1.6 kW with a built-in scanner with a scanning area d = (0.1-0.12) m , moreover, the module is equipped with an automatic system for synchronous step-by-step movement along the width of the pallet "B" of all laser heads of the group in the intervals between their turns on, and also contains units for local extraction of cleaning products, each of which is located near the cleaning area of one or more laser heads of the group and is installed with the ability to move along with the entire group of heads. 3. Установка по п. 2, отличающаяся тем, что в каждом модуле лазерной очистки в системе обратной транспортировки паллет «n» лазерных головок группы расположены по ширине паллеты «В» на расстоянии друг от друга, равном области сканирования луча «d» одной лазерной головки, причем автоматическая система перемещения лазерных головок выполнена с возможностью перемещения группы из «n» лазерных головок по ширине паллеты «В» с шагом «k», равным k=n-d.3. Installation according to claim 2, characterized in that in each laser cleaning module in the system of reverse transport of pallets "n" laser heads of the group are located along the width of the pallet "B" at a distance from each other equal to the scanning area of the beam "d" of one laser heads, and the automatic system for moving laser heads is made with the ability to move a group of "n" laser heads along the width of the pallet "B" with a step "k" equal to k = nd. 4. Установка по п. 2, отличающаяся тем, что в каждом модуле лазерной очистки в системе обратной транспортировки паллет «n» лазерных головок группы расположены равномерно по всей по ширине паллеты «В» на расстоянии «b» друг от друга, равном b=В/n, превышающем область сканирования луча одной лазерной головки «d», причем автоматическая система перемещения лазерных головок выполнена с возможностью одновременного перемещения всей группы из «n» лазерных головок по ширине части паллеты «b» с шагом «k», равным области сканирования луча одной лазерной головки, т.е. k=d.4. Installation according to claim 2, characterized in that in each laser cleaning module in the system of reverse transport of pallets "n" laser heads of the group are located evenly over the entire width of the pallet "B" at a distance "b" from each other equal to b = B / n exceeding the scanning area of the beam of one laser head "d", and the automatic system for moving the laser heads is configured to simultaneously move the entire group of "n" laser heads along the width of the pallet part "b" with a step "k" equal to the scanning area beam of one laser head, i.e. k = d. 5. Установка для напыления в вакууме тонких слоев с различными свойствами на размещенные в паллетах пластины на основе кремния или стекла, включающая последовательно расположенные компоненты: узел загрузки пластин на паллеты, входную шлюзовую и буферную камеры, блоки вакуумных камер для напыления по крайней мере на одну из сторон пластин тонких слоев в соответствующем технологическом оснащении, выходную шлюзовую и буферную камеры, узел выгрузки пластин с напылением из паллет, которые объединены системой управления и автоматизированной системой внутренней транспортировки пластин в паллетах, а также содержащая систему обратной транспортировки паллет без пластин вне вакуумных камер от узла выгрузки пластин с напылением из паллет к узлу загрузки пластин на паллеты, отличающаяся тем, что5. Installation for vacuum spraying of thin layers with different properties on pallet-based plates based on silicon or glass, including sequential components: a unit for loading plates on pallets, an inlet lock and buffer chambers, blocks of vacuum chambers for spraying at least one from the sides of the plates of thin layers in the appropriate technological equipment, an outlet sluice and buffer chambers, a unit for unloading plates with spraying from pallets, which are combined by a control system and an automated system for internal transport of plates in pallets, as well as containing a system for reverse transport of pallets without plates outside the vacuum chambers from a unit for unloading plates with spraying from pallets to a unit for loading plates on pallets, characterized in that паллеты выполнены из одного материала; система обратной транспортировки паллет дополнительно снабжена счетчиком циклов прохождения паллет по системе, модулями лазерной очистки паллет от напыления с одной или двух подвергшихся напылению сторон, а также снабжена датчиками положения паллет относительно модулей лазерной очистки, при этом каждый модуль лазерной очистки паллет содержит блок из «N» лазерных головок при N≥10, каждая из которых имеет мощность излучения не менее 1 кВт и снабжена встроенным сканатором с областью сканирования d=(0,1-0,12) м, причем лазерные головки в модуле расположены равномерно по всей ширине паллеты «В» на расстоянии «b» друг от друга, равном b=B/N, не превышающем область сканирования луча одной лазерной головки «d», т.е. b≤d; причем модуль содержит узлы локальной вытяжки продуктов очистки, каждый из которых расположен вблизи области очистки одной или нескольких лазерных головок блока из «N» лазерных головок.pallets are made of one material; the system of reverse transport of pallets is additionally equipped with a counter of the cycles of pallets passing through the system, modules for laser cleaning of pallets from spraying from one or two sides subjected to spraying, and also equipped with sensors for the position of pallets relative to laser cleaning modules, while each module for laser cleaning of pallets contains a block of "N "Laser heads with N≥10, each of which has a radiation power of at least 1 kW and is equipped with a built-in scanner with a scanning area d = (0.1-0.12) m, and the laser heads in the module are located evenly over the entire width of the pallet" В "at a distance" b "from each other, equal to b = B / N, not exceeding the scanning area of the beam of one laser head" d ", i.e. b≤d; moreover, the module contains units for local extraction of cleaning products, each of which is located near the cleaning area of one or more laser heads of a block of "N" laser heads.
RU2020114303A 2020-04-07 2020-04-07 Vacuum sputtering plant with pallet laser cleaning system (embodiments) RU2739195C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020114303A RU2739195C1 (en) 2020-04-07 2020-04-07 Vacuum sputtering plant with pallet laser cleaning system (embodiments)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020114303A RU2739195C1 (en) 2020-04-07 2020-04-07 Vacuum sputtering plant with pallet laser cleaning system (embodiments)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2739195C1 true RU2739195C1 (en) 2020-12-21

Family

ID=74063122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020114303A RU2739195C1 (en) 2020-04-07 2020-04-07 Vacuum sputtering plant with pallet laser cleaning system (embodiments)

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2739195C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2796026C1 (en) * 2022-10-21 2023-05-16 Общество с ограниченной ответственностью "Промышленная механика" Welding chamber

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2037342C1 (en) * 1989-01-17 1995-06-19 Ажанс Режьональ де Девелопман Текноложик Method of cleaning surfaces of materials, device used
RU2114486C1 (en) * 1992-03-31 1998-06-27 Колдрэн Лимитед Партнершип Device for cleaning substrate surface from unwanted impurities
US6369353B1 (en) * 1998-02-20 2002-04-09 The Goodyear Tire & Rubber Company Robotic laser tire mold cleaning system and method of use
RU2308546C2 (en) * 2002-02-19 2007-10-20 Юзинор Method for cleaning surface of material coated with organic matter, generator and apparatus for performing the method
RU2328364C2 (en) * 2006-08-21 2008-07-10 Общество с ограниченной ответственностью "АГРОЭЛ" Laser surface treatment device
RU2445175C1 (en) * 2010-06-28 2012-03-20 Общество с ограниченной ответственностью "Центр лазерных технологий" (ООО "ЦЛТ") Method of laser surface processing and device to this end
RU2471015C2 (en) * 2007-03-02 2012-12-27 Эрликон Солар АГ Vacuum unit for application of coatings
RU2538161C2 (en) * 2012-12-28 2015-01-10 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" Laser surface cleaning method
RU155957U1 (en) * 2015-05-25 2015-10-20 Открытое акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" DEVICE FOR CLEANING SEMICONDUCTOR STRUCTURES BY UV
CN104999183A (en) * 2015-07-24 2015-10-28 苏州市星科四达激光科技有限公司 Laser cleaning device and method for oxide layers on surfaces of steel plates
RU2619692C1 (en) * 2016-05-24 2017-05-17 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие Волоконно-Оптического и Лазерного Оборудования" Method of laser cleaning metals
CN107755362A (en) * 2017-09-25 2018-03-06 北京奥依特科技有限责任公司 Laser cleaning equipment

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2037342C1 (en) * 1989-01-17 1995-06-19 Ажанс Режьональ де Девелопман Текноложик Method of cleaning surfaces of materials, device used
RU2114486C1 (en) * 1992-03-31 1998-06-27 Колдрэн Лимитед Партнершип Device for cleaning substrate surface from unwanted impurities
US6369353B1 (en) * 1998-02-20 2002-04-09 The Goodyear Tire & Rubber Company Robotic laser tire mold cleaning system and method of use
RU2308546C2 (en) * 2002-02-19 2007-10-20 Юзинор Method for cleaning surface of material coated with organic matter, generator and apparatus for performing the method
RU2328364C2 (en) * 2006-08-21 2008-07-10 Общество с ограниченной ответственностью "АГРОЭЛ" Laser surface treatment device
RU2471015C2 (en) * 2007-03-02 2012-12-27 Эрликон Солар АГ Vacuum unit for application of coatings
RU2445175C1 (en) * 2010-06-28 2012-03-20 Общество с ограниченной ответственностью "Центр лазерных технологий" (ООО "ЦЛТ") Method of laser surface processing and device to this end
RU2538161C2 (en) * 2012-12-28 2015-01-10 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" Laser surface cleaning method
RU155957U1 (en) * 2015-05-25 2015-10-20 Открытое акционерное общество "Центральный научно-исследовательский институт "Электрон" DEVICE FOR CLEANING SEMICONDUCTOR STRUCTURES BY UV
CN104999183A (en) * 2015-07-24 2015-10-28 苏州市星科四达激光科技有限公司 Laser cleaning device and method for oxide layers on surfaces of steel plates
RU2619692C1 (en) * 2016-05-24 2017-05-17 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие Волоконно-Оптического и Лазерного Оборудования" Method of laser cleaning metals
CN107755362A (en) * 2017-09-25 2018-03-06 北京奥依特科技有限责任公司 Laser cleaning equipment

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
https://www.meyerburger.com/fileadmin/user_upload/product_downloads/01_pv/99_old/FS_HELiA_EN_2018-02.pdf, 02.2018. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2796026C1 (en) * 2022-10-21 2023-05-16 Общество с ограниченной ответственностью "Промышленная механика" Welding chamber
RU2796026C9 (en) * 2022-10-21 2023-07-12 Общество с ограниченной ответственностью "Промышленная механика" Welding chamber

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102483666B1 (en) Gas cushion apparatus and techniques for substrate coating
CN1840279B (en) Wafer laser processing method and laser processing device
US20100047954A1 (en) Photovoltaic production line
KR100304147B1 (en) Cleaning device and cleaning method of conveying chuck
US6827816B1 (en) In situ module for particle removal from solid-state surfaces
US20090077805A1 (en) Photovoltaic production line
CN105960698A (en) Device and method for cleaning backside or edge of wafer
TW201546904A (en) Laser annealing device, serial conveyance path for laser annealing, laser beam radiation means, and laser annealing method
KR20110020272A (en) Next generation screen printing system
KR20080046583A (en) Resin molding machine and method of resin molding
US20120219725A1 (en) Substrate Processing Apparatus And Method
CN1210113C (en) Method for removing surface contaminants on moulds used in semiconductor packaging tools
US20100195096A1 (en) High efficiency multi wavelength line light source
WO2014158346A1 (en) Laser ablation platform for solar cells
RU2739195C1 (en) Vacuum sputtering plant with pallet laser cleaning system (embodiments)
TW201351064A (en) Light collector mirror cleaning
CN1163947C (en) Processor, method and robot device therefor
US20110139755A1 (en) Multi-wavelength laser-scribing tool
CN111408587A (en) Laser cleaning device and laser cleaning method
KR101340422B1 (en) Apparatus for treating substrates
CN212442384U (en) Laser cleaning device
KR101061863B1 (en) Laser processing method and apparatus using surfactant film
Lovoi Laser paint stripping offers control and flexibility
KR100935401B1 (en) Substrate cleaning module using ultraviolet rays and operating method the same
KR20180124015A (en) A vacuum plant for applying a thin film coating and a method for applying an optical coating to the vacuum plant