RU2722975C1 - Пьезорезонансный сенсор микроконцентрации веществ - Google Patents

Пьезорезонансный сенсор микроконцентрации веществ Download PDF

Info

Publication number
RU2722975C1
RU2722975C1 RU2019131591A RU2019131591A RU2722975C1 RU 2722975 C1 RU2722975 C1 RU 2722975C1 RU 2019131591 A RU2019131591 A RU 2019131591A RU 2019131591 A RU2019131591 A RU 2019131591A RU 2722975 C1 RU2722975 C1 RU 2722975C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric element
adsorbent
fragments
standing waves
microconcentration
Prior art date
Application number
RU2019131591A
Other languages
English (en)
Inventor
Анатолий Алексеевич Фомкин
Валерий Николаевич Симонов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН (ИФХЭ РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН (ИФХЭ РАН) filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН (ИФХЭ РАН)
Priority to RU2019131591A priority Critical patent/RU2722975C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2722975C1 publication Critical patent/RU2722975C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22Details, e.g. general constructional or apparatus details

Abstract

Изобретение относится к аналитическому приборостроению, в частности к области измерения микроконцентрации тех или иных веществ в газах или жидкостях. Пьезорезонансный сенсор микроконцентрации веществ содержит пьезоэлемент, в котором возбуждены стоячие волны механических колебаний вдоль длины пьезоэлемента, и адсорбент, присоединенный к поверхности пьезоэлемента, при этом адсорбент в виде одного или нескольких фрагментов присоединен ограниченной частью своей поверхности в области пучности стоячих волн к тем граням пьезоэлемента, которые перпендикулярны направлению колебательных смещений в месте присоединения. Техническим результатом изобретения является снижение порога чувствительности и селективности сенсоров микроконцентраций веществ. 4 з.п. ф-лы, 6 ил.

Description

Изобретение относится к аналитическому приборостроению, в частности к области измерения концентрации тех или иных веществ в газах или жидкостях. Оно может применяться, в медицине для определения заболеваний на ранней стадии путем анализа выдыхаемого человеком воздуха, например, ацетона и других маркеров, а также в промышленности, например, для предупреждения пожароопасных и взрывоопасных ситуаций в производстве, химических исследованиях и т.д..
Существует класс пьезорезонансных измерительных устройств для измерения концентрации химических веществ (Малов В.В., Пьезорезонансные датчики, Энергоатомиздат, Москва, 1989 г.). Эти устройства представляют собой измерительный комплекс, в состав которого входят пьезорезонансный сенсор (далее просто сенсор), схема возбуждения в нем механических колебаний и устройство, которое формирует выходной сигнал, пропорциональный измеряемой концентрации. Сенсор представляет собой резонатор, обычно кварцевый пьезоэлемент в форме пластины или стержня (ПР), на которую нанесен материал, являющийся адсорбентом к веществу, концентрацию которого необходимо измерять (аналиту). При изменении концентрации аналита изменяется количество поглощенного адсорбентом вещества, что приводит к изменению параметров ПР. Обычно таким параметром является резонансная частота колебаний пьезоэлемента, которая с увеличением массы адсорбента - уменьшается. Разработчики рассматриваемых сенсоров работают над подбором адсорбента с максимальной для данного аналита сорбционной емкостью. Примером такого технического решения является химический сенсор паров ацетона, в котором в качестве адсорбента используется полимерная пленка С-этилкаликс[4]резорцинарена, нанесенная на поверхность кварцевого резонатора (Zhong Caol, Kazutaka Murayama, Katsuyuki Aoki, «Thickness-shear-mode acoustic wave sensor for acetone vapour coated with C-ethylcalix[4]resorcinarene and C-H π interactions as a molecular recognition mechanism» // Analytica Chimica Acta 448, 2001, pp. 47-59). Пленка нанесена на ПР частотой 9 МГц. Масса пленки сенсора-прототипа составляет 18,4 мкг. По данным авторов сенсор с такой пленкой обладает максимальным для устройств данного класса коэффициентом преобразования 0,036 Гц/ppm.
Однако, даже при таком значении коэффициента преобразования рабочей характеристики сенсора его чувствительности порой недостаточно для определения критической концентрации аналита, как это имеет место, например, в задаче контроля паров ацетона в выдыхаемом воздухе больного сахарным диабетом. Имеется и ряд других недостатков сенсоров на полимерных пленочных адсорбентах. Это низкая селективность сенсоров в условиях, когда производится анализ многокомпонентной смеси.
Такими недостатками не обладают или обладают в значительно меньшей мере активированные угли (АУ), минеральные адсорбенты (цеолиты, силикагели, алюмогели) (МА), ионообменные смолы (ИС), метал-органические каркасные структуры (МОКС). Их изотерма адсорбции - зависимость адсорбируемой массы аналита от его концентрации - имеет в сотни раз более высокую крутизну в области малых концентраций, чем у полимеров. Их поры имеют незначительный разброс по размерам, что позволяет повысить селективность сенсоров. Однако имеются определенные трудности с их нанесением на пластину: их сложно нанести на ПР в виде тонкой пленки так, как полимерный адсорбент.
Существует техническое решение, являющееся прототипом предлагаемого (L.Matsiev, J.Bennett, E.McFarland, Method and apparatus for characterizing materials by using a mechanical resonator. Patent USA №US 6,494,079 В1). В нем используются резонаторы с колебаниями, образованными стоячими волнами вдоль длины пластины (см. Фиг. 10b). Это камертонные резонаторы колебаний изгиба пластины, выполненной в форме камертона (см. позиции 108, 110, 112 этого патента), резонаторы колебаний расширения-сжатия вдоль длины пластины (позиция 114) и резонаторы крутильных колебаний (позиция 116). Однако, эти резонаторы используются в прототипе в сочетании с пленочным адсорбентом (см. Фиг. 10с и текст в колонке 13, строки от 52-55), который имеет описанные выше недостатки и не может обеспечить достаточно низкий порог чувствительности и селективность.
Технический результат предлагаемого изобретения заключается в снижении порога чувствительности и повышении селективности сенсоров микроконцентраций. Достижение указанного результата обеспечивается тем, что в пьезорезонансном сенсоре микроконцентрации веществ, содержащем пьезоэлемент, в котором возбуждены стоячие волны вдоль длины пьезоэлемента, и адсорбент, присоединенный к поверхности пьезоэлемента, адсорбент выполнен в виде одного или нескольких фрагментов и присоединен ограниченной частью своей поверхности в области пучности стоячих волн к тем граням пьезоэлемента, которые перпендикулярны направлению колебательных смещений в месте присоединения.
В развитие данного технического решения могут быть использованы следующие конструктивные варианты исполнения, которые позволяют достичь и увеличить полезный эффект технического результата:
- фрагменты изготовлены из гранул активированного угля, или минерального адсорбента, или ионообменных смол, или металл-органических каркасных структур;
- фрагменты присоединены к пьезоэлементу компаундом;
- фрагментам придана обтекаемая форма;
- фрагментам придана форма пластин, они присоединены к торцам пьезоэлемента и не выходят за границы торцов.
Суть предлагаемого технического решения заключается в следующем.
Использование пьезоэлемента, в котором возбуждены стоячие волны колебаний вдоль длины пьезоэлемента, позволяет увеличить размеры используемого адсорбента, позволяет перейти от пленочного адсорбента к объемным (каковыми являются адсорбенты из АУ, МА, ИС и МОКС). Этот переход возможен, благодаря тому, что длина стоячей волны, образующей колебания пластины, пропорциональна длине того размера, вдоль которого она образована. Чем больше длина стоячей волны, тем больше может быть размер адсорбента, т.к. его допустимый размер не должен превышать нескольких процентов от длины стоячей волны, на пути которой она расположена, чтобы не демпфировать колебания пьезоэлемента. В результате использования таких типов колебаний при довольно больших размерах адсорбента колебания происходят практически только в объеме пьезоэлемента, не проникают в адсорбент и не демпфируются им. Адсорбент в виде относительно небольшого (но уже не пленочного, а скорее объемного) фрагмента влияет на колебания просто, как нагрузочная (условно) «точечная» масса. Благодаря присоединению фрагмента адсорбента по ограниченной поверхности, влияние компаунда на адсорбционную емкость сенсора снижается, поскольку компаунд перекрывает не всю поверхность адсорбента, а лишь некоторую его часть. Размещение адсорбента в областях пучности стоячих волн повышает эффективность технического решения потому, что, чем больше амплитуда перемещений массы адсорбента, тем сильнее он перестраивает частоту пьезоэлемента. Поскольку пьезоэлемент совершает колебания в газовой или жидкой среде, то газо- или гидродинамическое сопротивление среды снижает добротность колебаний пьезоэлемента и, как следствие, повышает значение порога чувствительности сенсора. Присоединение адсорбента к той грани пьезоэлемента, которая перпендикулярна направлению колебательных смещений, придание фрагментам гранул обтекаемой формы и размещение их так, чтобы площадь их проекции на плоскость, перпендикулярную направлению колебательных смещений, не выходила за границы торцов пьезоэлемента - снижает «парусность» грани с адсорбентом, уменьшая тем самым газо- или гидродинамическое сопротивление среды и снижая отрицательное влияние этого эффекта. Подобный же результат снижения «парусности» достигается, если фрагменту придается форма пластины, и она присоединена к торцу пьезоэлемента одной из своих граней так, что не выходит за границы торца. В этом случае геометрическая форма и размеры пьезоэлемента практически изменяется после присоединения адсорбента незначительно, и его демпфирование внешней средой остается таким же.
Использование АУ, МА, ИС и МОКС позволяет существенно понизить порог чувствительности, т.к. все они имеют крутые изотермы по отношению к микроконцентрациям большинства промышленных газообразных и жидких химических ингредиентов. Аналогично повышается селективность сенсоров, выполненных по данному техническому решению по сравнению с сенсором-прототипом, поскольку такие адсорбенты, как, например, МА, ИС и МОКС имеет строго определенные размеры пор. Они могут адсорбировать только те вещества, молекулы которых имеют меньшие размеры, чем размеры пор адсорбента.
Кроме того, они выпускаются промышленно, некоторые в удобных для данного технического решения обтекаемых формах (например, в виде гранул в форме шариков, цилиндров) и стоят относительно недорого по сравнению с адсорбентами, получаемыми для сенсоров упомянутых выше аналогов и прототипа. Гранулы легко поддаются механической обработке, если необходимо изменить их размеры и/или придать им, например, форму пластины.
Предлагаемое изобретение иллюстрируется Фиг. 1-6.
На Фиг. 1 и 2 изображены два варианта конструкции сенсора с пьезоэлементом, выполненным в форме прямоугольной пластины со стоячими волнами колебаний растяжения-сжатия вдоль длины пьезоэлемента: соответственно с одним (Фиг. 1) и с двумя (Фиг. 2) фрагментами адсорбента. На Фиг. 3 изображена конструкция сенсора на пьезоэлементе, выполненном в форме камертона, со стоячими волнами изгибных колебаний вдоль длины пьезоэлемента. На Фиг. 4 изображена конструкция сенсора на пьезоэлементе со стоячими волнами крутильных колебаний вдоль длины пьезоэлемента. На Фиг. 5 изображен сенсор со стоячими волнами колебаний растяжения-сжатия вдоль длины пьезоэлемента и с фрагментом адсорбента в форме пластины, присоединенной к торцу пьезоэлемента. На Фиг. 6 изображены для качественного сравнения изотермы пленочного полимерного и промышленного адсорбента из числа минеральных адсорбентов или активированного угля.
На фигурах используются следующие обозначения: 1 - пьезоэлемент, 2 - электроды для возбуждения стоячих волн, 3 - проводники, 4 - электропроводящий клей или припой, 5 - фрагмент гранулы адсорбента, 6 - соединительный компаунд, 7 - направления колебательных смещений пьезоэлемента, 8 - отклонение ветви камертона при изгибном колебании, 9 - изотерма адсорбции паров ацетона пленочного адсорбента из полиметилметакрилата (ПММА), 10 - изотерма адсорбции паров ацетона адсорбентом из активированного угля.
Предлагаемый сенсор устроен следующим образом. Пьезоэлемент имеет прямоугольную форму (Фиг. 1, 2 или 5) или форму камертона (Фиг. 3), или форму стержня (Фиг. 4). Поверхность пьезоэлемента покрыта металлическими пленочными электродами 2 для возбуждения колебаний. (По причине сложности конфигурации электроды на Фиг. 3 не показаны, а на фигуре Фиг. 4 показаны условно). К электродам 2 подсоединены металлические проводники 3 посредством электропроводящего клея или припоя 4. Каждый фрагмент гранулы адсорбента 5 присоединен в областях пучностей стоячих волн к граням пьезоэлемента, перпендикулярным направлениям колебательных смещений 7 (как известно, в случае крутильных колебаний вектор вращения направлен перпендикулярно плоскости, в которой происходит вращение). Т.е. либо к торцам пьезоэлемента 1 в варианте Фиг. 1, 2, 4, 5 либо к боковым поверхностям вблизи концов ветвей камертона в варианте Фиг. 3. Такое присоединение обеспечивает минимальное влияние вносимой адсорбентом дополнительной парусности на добротность колебаний сенсора, работающего в анализируемых воздухе, газе или жидкости. Такую же цель имеют другие конструктивные признаки, обозначенные в дополнительных пунктах формулы изобретения: обтекаемая форма фрагментов гранул адсорбента, размещение их так, чтобы площадь проекции на плоскость, перпендикулярную направлению колебательных смещений, не выходила за границы грани пьезоэлемента, пластинчатая форма фрагмента гранулы, повторяющая форму торца пьезоэлемента (и таким образом не изменяющая обтекаемость пьезоэлемента), и размещение фрагмента такой формы на торце пьезоэлемента в пределах границ торца. Каждый из указанных признаков, как по отдельности, так и в сочетаниях позволяет снизить отрицательное демпфирующее влияние адсорбента на добротность пьезоэлемента, т.е. работает на достижение технического результата и может быть использован применительно к конкретной технической реализации сенсора.
Преимущество использования АУ, МА, ИС и МОКС перед специально разработанными пленочными полимерными адсорбентами хорошо иллюстрирует сравнительный график изотерм адсорбции этих материалов, изображенный на Фиг. 6. В области малых и сверхмалых концентраций крутизна изотермы (поз. 9) полимерных адсорбентов (полиметилметакрилата, пектинов, целлюлозы и т.д.) на несколько порядков ниже крутизны изотермы (поз. 10) предлагаемых адсорбентов.
Устройство работает следующим образом. В пьезоэлементе 1 посредством подачи переменного электрического напряжения на электроды 2 через проводники 3 возбуждаются стоячие волны механических колебаний, распространяющиеся вдоль длины пластины (Фиг. 1-5). Сенсор своими электродами подключен к схеме измерения резонансной частоты пьезоэлемента (на фигурах не показана). При увеличении (уменьшении) концентрации аналита происходит адсорбция (десорбция) аналита адсорбентом. В результате увеличивается (уменьшается) масса адсорбента и, как следствие, уменьшается (увеличивается) частота пьезоэлемента. Эти изменения частоты на выходе схемы измерения являются мерой изменения концентрации аналита.
Снижение добротности сенсора из-за присоединения адсорбента с использованием предлагаемых по данному изобретению конструктивных признаков составляет в 2-3 раза по сравнению с добротностью прототипа. Коэффициент же преобразования предлагаемого сенсора увеличивается по сравнению с аналогичным параметром прототипа во столько же раз, во сколько раз крутизна изотермы адсорбции промышленного гранулированного адсорбента выше, чем крутизна изотермы полимерного пленочного адсорбента, т.е. в сотни раз. Конкретные количественные показатели повышения характеристик сенсоров по данной заявке зависят от используемых в сенсорах материалов адсорбентов. Например, для противопоставляемой пары сенсоров - прототипа на кварцевом резонаторе толщинно-сдвиговых колебаний с частотой 5 МГц с пленкой ПММА и сенсора по данному техническому решению на кварцевом резонаторе продольных колебаний с частотой 100 кГц с адсорбентом из активированного угля марки ФАС-3 - выигрыш составляет: по порогу чувствительности 30-40 раз, по селективности к водяному пару 100-200 раз, по себестоимости в 3-4 раза.

Claims (5)

1. Пьезорезонансный сенсор микроконцентрации веществ, содержащий пьезоэлемент, в котором возбуждены стоячие волны механических колебаний вдоль длины пьезоэлемента, и адсорбент, присоединенный к поверхности пьезоэлемента, отличающийся тем, что адсорбент в виде одного или нескольких фрагментов присоединен ограниченной частью своей поверхности в области пучности стоячих волн к тем граням пьезоэлемента, которые перпендикулярны направлению колебательных смещений в месте присоединения.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что фрагменты изготовлены из гранул активированного угля, или минерального адсорбента, или ионообменных смол, или металлорганических каркасных структур.
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что фрагменты присоединены к пьезоэлементу компаундом.
4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что фрагментам придана обтекаемая форма.
5. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что фрагментам придана форма пластин, они присоединены к торцам пьезоэлемента и не выходят за границы торцов.
RU2019131591A 2019-10-08 2019-10-08 Пьезорезонансный сенсор микроконцентрации веществ RU2722975C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019131591A RU2722975C1 (ru) 2019-10-08 2019-10-08 Пьезорезонансный сенсор микроконцентрации веществ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019131591A RU2722975C1 (ru) 2019-10-08 2019-10-08 Пьезорезонансный сенсор микроконцентрации веществ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2722975C1 true RU2722975C1 (ru) 2020-06-05

Family

ID=71067969

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019131591A RU2722975C1 (ru) 2019-10-08 2019-10-08 Пьезорезонансный сенсор микроконцентрации веществ

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2722975C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2792594C1 (ru) * 2022-07-04 2023-03-22 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина Российской академии наук (ИФХЭ РАН) Пьезорезонансный сенсор концентрации веществ

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU315113A1 (ru) * Н. Г. Фарзане, Л. В. сов , Ю. В. Трушкин Способ анализа микроконцентраций бинарных
US6494079B1 (en) * 2001-03-07 2002-12-17 Symyx Technologies, Inc. Method and apparatus for characterizing materials by using a mechanical resonator
RU2282185C1 (ru) * 2005-07-11 2006-08-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Воронежская государственная технологическая академия Способ определения глицина в водных растворах
US20180026581A1 (en) * 2016-07-19 2018-01-25 Board Of Regents, The University Of Texas System Piezoelectric Resonance Controlled Terahertz Wave Modulators
RU188186U1 (ru) * 2018-12-07 2019-04-02 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) Пьезорезонансный сорбционный сенсор концентрации веществ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU315113A1 (ru) * Н. Г. Фарзане, Л. В. сов , Ю. В. Трушкин Способ анализа микроконцентраций бинарных
US6494079B1 (en) * 2001-03-07 2002-12-17 Symyx Technologies, Inc. Method and apparatus for characterizing materials by using a mechanical resonator
RU2282185C1 (ru) * 2005-07-11 2006-08-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Воронежская государственная технологическая академия Способ определения глицина в водных растворах
US20180026581A1 (en) * 2016-07-19 2018-01-25 Board Of Regents, The University Of Texas System Piezoelectric Resonance Controlled Terahertz Wave Modulators
RU188186U1 (ru) * 2018-12-07 2019-04-02 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) Пьезорезонансный сорбционный сенсор концентрации веществ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2792594C1 (ru) * 2022-07-04 2023-03-22 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина Российской академии наук (ИФХЭ РАН) Пьезорезонансный сенсор концентрации веществ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Cumpson et al. The quartz crystal microbalance; radial/polar dependence of mass sensitivity both on and off the electrodes
Benes et al. Comparison between BAW and SAW sensor principles
Grate et al. Flexural plate wave devices for chemical analysis
US4055072A (en) Apparatus for measuring a sorbate dispersed in a fluid stream
EP0943091B2 (en) Method and apparatus for characterizing materials by using a mechanical resonator
US6494079B1 (en) Method and apparatus for characterizing materials by using a mechanical resonator
US3327519A (en) Piezoelectric fluid analyzer
US10379093B2 (en) Method and device for detecting odorants in hydrocarbon gases
Oprea et al. Gas sensors based on mass-sensitive transducers part 1: transducers and receptors—basic understanding
RU2722975C1 (ru) Пьезорезонансный сенсор микроконцентрации веществ
JP2009204584A (ja) 化学センサデバイス、及びそれを備えた物質計測装置
Dorozhkin et al. Acoustic wave chemical sensors for gases
JP2001242057A (ja) 簡易小型ガスまたは大気中浮遊微粒子検出装置
WO2012131944A1 (ja) 大気環境測定装置、大気環境測定方法及び大気環境測定システム
US20040244466A1 (en) Ammonia gas sensor and its manufacturing method
US9140668B2 (en) Device and method for detecting at least one substance
RU2792594C1 (ru) Пьезорезонансный сенсор концентрации веществ
JP2009079938A (ja) 水晶振動子、並びに、それを用いた質量・体積測定装置及び質量・体積測定方法
Dong et al. Effects of surface physical sorption on characteristic of coated quartz-crystal humidity sensor
RU188186U1 (ru) Пьезорезонансный сорбционный сенсор концентрации веществ
Ippolito et al. Acoustic wave gas and vapor sensors
Kuchmenko et al. Development of a piezosensor-based transducer, gas analyzer, and ammonia detector
US11857910B2 (en) Metal-organic frameworks for sorption and sensing applications
Turnham et al. Coated piezoelectric quartz crystal monitor for determination of propylene glycol dinitrate vapor levels
JP4247483B2 (ja) ガスセンサー素子の性能評価装置