RU2718701C1 - Способ измерения яркостной температуры объекта - Google Patents

Способ измерения яркостной температуры объекта Download PDF

Info

Publication number
RU2718701C1
RU2718701C1 RU2019124869A RU2019124869A RU2718701C1 RU 2718701 C1 RU2718701 C1 RU 2718701C1 RU 2019124869 A RU2019124869 A RU 2019124869A RU 2019124869 A RU2019124869 A RU 2019124869A RU 2718701 C1 RU2718701 C1 RU 2718701C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
radiation
reference source
energy
source
spectrum
Prior art date
Application number
RU2019124869A
Other languages
English (en)
Inventor
Вячеслав Петрович Ходунков
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева"
Priority to RU2019124869A priority Critical patent/RU2718701C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2718701C1 publication Critical patent/RU2718701C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/52Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области измерительной техники и касается способа измерения яркостной температуры объекта. Способ заключается в том, что используют опорный источник излучения, задают полосу излучения опорного источника, в заданной спектральной полосе излучения компарируют энергетические светимости объекта и опорного источника, регулируют мощность излучения опорного источника до достижения равенства энергетических светимостей источника и объекта, измеряют достигнутую мощность излучения опорного источника и рассчитывают его энергетическую светимость. Далее рассчитывают коэффициент неэквивалентности спектра излучения опорного источника или объекта спектру идеального абсолютно черного тела. Искомую яркостную температуру объекта рассчитывают с учетом энергетической светимости и эффективной ширины спектральной полосы опорного источника, центральной длины волны идеального абсолютно черного тела и коэффициента неэквивалентности. Технический результат заключается в повышении точности измерения яркостной температуры. 2 н.п. ф-лы, 5 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике, а именно - к яркостной пирометрии, и может быть использовано для прецизионных измерений температуры нагретых тел и сред.
Известен способ измерения яркостной температуры объекта по методу исчезающей нити путем сравнения яркости нити накала эталонной лампы пирометра и объекта, в котором температуру объекта определяют по величине тока накала после уравнивания яркостей нити сравнения и объекта (Линевег Ф. Измерение температур в технике. - М.: Металлургия, 1980, с. 384).
Известен также способ измерения яркостной температуры объекта по методу исчезающей нити путем сравнения яркости нити накала эталонной лампы пирометра и объекта, температуру которого определяют после уравнивания яркостей нити накала и объекта, при этом яркость объекта регистрируют многоэлементным фотоприемником, а ток накала на эталонную лампу подают только в режиме калибровки пирометра, кроме того режим калибровки осуществляют по сигналу с устройства, чувствительного к изменению температуры, а изображение нити накала эталонной лампы проецируют на фоточувствительную поверхность фотоприемника только в режиме калибровки (патент РФ №2247338, МПК G01J 5/00, опубл. 27.02.2005).
Общим недостатком перечисленных выше способов является то, что сравнение яркостей нити и объекта осуществляется визуально оператором, выполняющим измерения, поэтому имеет место влияние субъективного фактора, зависящего от навыка оператора и светочувствительности рецепторов его глаза. Из-за этого результаты измерений, выполненные разными операторами, различаются - это снижает достоверность и воспроизводимость результатов измерений и не позволяет измерить температуру объекта с высокой точностью.
Известен способ и система коррекции на основе квантовой теории для повышения точности радиационного термометра, основанные на измерении энергии излучения объекта радиационным термометром, построении адаптированной эффективной физической модели системы и калибровке радиационного термометра (патент РФ №2523775, МПК G01J 5/00, G06F 17/17, опубл. 20.07.2014).
Недостаток способа заключается в том, что при его реализации используется операция подгонки значений параметров, отражающих структуру энергетических уровней объекта, что неизбежно влечет за собой существенное снижение метрологической точности. Кроме того, способ предполагает использование заранее откалиброванных стандартных средств измерений температуры - платинового термометра сопротивления, термопарного преобразователя или ртутного термометра, что дополнительно снижает точность получаемых результатов, так как на неопределенность конечного результата измерений накладывается неопределенность исходной калибровки указанных средств измерений.
Известен также пирометрический способ определения термодинамической температуры металлов, согласно которому при определении температуры используют поочередную подсветку анализируемого элемента поверхности металла тремя лазерами с известными мощностями и длинами волн излучения, при этом определяют возникающие при поочередной подсветке приращения сигналов фотоприемников, каждое из которых нормируют на мощность соответствующего лазера. По нормированным приращениям сигналов фотоприемников вычисляют отношения монохроматических коэффициентов отражения, учитывают отклонение излучательной способности поверхности металлов от константы и определяют термодинамическую температуру металлов при изменении их спектрального коэффициента излучения в процессе нагрева (патент РФ №2381463, МПК G01J 5/00, опубл. 10.02.2010).
Недостатки указанного способа заключаются в невысокой точности получаемых результатов, которая обусловлена тем, что для реализации способа требуется измерение спектральной чувствительности трех фотоприемников, из чего следует 3-х кратное увеличение неопределенности измерений в сравнении с одиночным фотоприемником. Кроме того использование способа для измерения температуры слабоотражающих объектов, например, таких как модели абсолютно черного тела, у которых коэффициент отражения лазерного излучения недостаточен для надежной и точной регистрации отраженного сигнала, - приводит к существенному повышению погрешности измерений.
Наиболее близким к предлагаемому способу по технической сущности является способ измерения термодинамической температуры (прототип) и реализующее его устройство, в котором для измерения термодинамической температуры используют калиброванные по спектру источник излучения и квантовый трап-детектор, измеряют сигнал трап-детектора, сформированный излучением от источника, по измеренному сигналу рассчитывают мощность излучения источника и по формуле М. Планка расчетным путем находят термодинамическую температуру, соответствующую данной яркости источника (заявка на изобретение №2018127133 от 23.07.2018, решение о выдаче патента от 19.06.2019, МПК G01K 15/00, G01N 21/41, G01J 5/00).
Главный недостаток способа заключается в том, что преимущественно он предназначен для измерений температуры моделей абсолютно черного тела. При измерениях температуры реальных тел, у которых спектр излучения отличен от спектра излучения абсолютно черного тела, в получаемый результат измерения вносится дополнительная неопределенность. В результате при использовании способа для измерения температуры реальных объектов достоверность результатов снижается, и в каждом конкретном случае она зависит от типа и вида исследуемого объекта.
Технический результат от применения способа - повышение точности измерения яркостной температуры.
Указанный результат достигается тем, что в способе измерения яркостной температуры объекта используют калиброванный по спектру опорный источник излучения, задают полосу излучения опорного источника, в заданной спектральной полосе излучения компарируют энергетические светимости объекта и опорного источника, регулируют мощность излучения опорного источника до достижения равенства энергетических светимостей источника и объекта, измеряют достигнутую энергетическую светимость опорного источника, рассчитывают коэффициент неэквивалентности спектра излучения опорного источника спектру идеального абсолютно черного тела, а искомую яркостную температуру объекта рассчитывают по соотношению
Figure 00000001
где
ТЯ - яркостная температура объекта,
с1, с2 - первый и второй коэффициенты в формуле М. Планка для спектральной энергетической яркости идеального абсолютно черного тела,
Δλ2 - эффективная ширина спектральной полосы излучения калиброванного опорного источника,
λ03 - центральная длина волны излучения идеального абсолютно черного тела,
Ме (2к) - измеренная энергетическая светимость калиброванного опорного источника,
kNES2 - коэффициент неэквивалентности спектра излучения калиброванного опорного источника спектру идеального абсолютно черного тела.
В другом варианте осуществления способа используют некалиброванный по спектру опорный источник, задают узкую спектральную полосу излучения опорного источника, в заданной спектральной полосе излучения компарируют энергетические светимости объекта и опорного источника, регулируют мощность излучения опорного источника до достижения равенства энергетических светимостей источника и объекта, измеряют достигнутую мощность излучения опорного источника и рассчитывают его энергетическую светимость, в заданной спектральной полосе измеряют спектральное распределение мощности излучения объекта, рассчитывают коэффициент неэквивалентности спектра излучения объекта спектру излучения идеального абсолютно черного тела, а искомую яркостную температуру объекта рассчитывают по соотношению
Figure 00000002
где
Δλ1 - эффективная ширина спектральной полосы излучения объекта,
Me (2нк) - энергетическая светимость некалиброванного опорного источника,
kNES1 - коэффициент неэквивалентности спектров излучения объекта и идеального абсолютно черного тела.
Сущность способа поясняется фиг. 1, 2, 3, 4, 5. На фиг. 1, 2, 3 для заданной спектральной полосы представлены графические примеры спектров излучения различных источников - объекта (фиг. 1), опорного источника (фиг. 2) и идеального абсолютно черного тела (фиг. 3), соответственно, в которых: линия 1 - спектральное распределение мощности излучения соответствующего источника, линия 2 - эквивалентное по площади спектрально-независимое распределение мощности излучения рассматриваемого источника. На фиг. 4 представлена структурная схема устройства 7, с помощью которого измеряется температура объекта 1, в котором: 2 - опорный источник излучения, 3 - фотодиодный приемник, 4 - полосовой оптический фильтр, 5 - оптическая фокусирующая система, 6 - анализатор оптического спектра. На фиг. 5 представлена зависимость абсолютной неопределенности измерений яркостной температуры от уровня измеряемой температуры (при коэффициенте охвата k=1).
Сущность заявленного способа заключается в следующем.
В основу уравнения измерения способа положен закон М. Планка, согласно которому зависимость спектральной энергетической яркости абсолютно черного тела от его термодинамической температуры имеет вид:
Figure 00000003
где
λ - длина волны, м;
c1=2πhc2=3,741771852⋅10-16 - первый коэффициент (первая радиационная постоянная) в законе Планка, Вт⋅м2;
с2=hc/k=1,438776877⋅10-2 - второй коэффициент (вторая радиационная постоянная) в законе Планка, м⋅К;
h=6,62607015⋅10-34 - постоянная М. Планка, Дж⋅с;
е=1,602176634⋅10-19 - элементарный заряд, Кл или (А⋅с);
с=2,99792458⋅108 - скорость света в вакууме, м/с;
k=1,380649⋅10-23 - постоянная Больцмана, Дж/К;
Т - термодинамическая температура, К.
Общеизвестно, что любое нагретое тело или среда, которые далее будем называть объект, излучает в окружающую среду некоторую энергию с мощностью, которую можно измерить, например, с помощью фотодиодного приемника. При таких измерениях фотодиод генерирует фототок, прямо пропорциональный указанной мощности. В общем случае уравнение для расчета мощности излучения по измеренному фототоку имеет вид:
Figure 00000004
где
Р - мощность излучения, Вт,
IFD - измеренный фототок фотодиода, А,
Sλ - спектральная чувствительность фотодиода, А/Вт.
В свою очередь, фототок, генерируемый фотодиодом от излучения объекта для спектральной полосы, задаваемой, например, с помощью полосового оптического фильтра, может быть рассчитан также по известному соотношению:
Figure 00000005
где
IFD (1) - фототок, генерируемый фотодиодом от излучения объекта, А,
Lλ (1) - спектральная энергетическая яркость объекта, Вт/м3,
λ1, λ2 - границы заданной спектральной полосы излучения, м,
τλ - спектральный коэффициент пропускания полосового оптического фильтра,
F - геометрический фактор, который рассчитывают по формуле:
Figure 00000006
r1 - радиус выходного окна источника излучения, м,
r2 - радиус входного окна фотодиодного приемника, м,
d - расстояние между выходным окном источника излучения и входным окном фотодиодного приемника, м. В частном случае, когда фотодиод установлен вплотную к выходному окну источника излучения и r2>r1, геометрический фактор равен площади выходного окна источника излучения.
Подынтегральная функция в соотношении (3)
Figure 00000007
имеет спектральную зависимость, графический пример которой представлен на фиг. 1 (линия 1), при этом площадь под данной графической зависимостью - есть значение интеграла в соотношении (3), которое, в свою очередь, равно произведению энергетической светимости объекта Ме (1) на среднеинтегральную по заданной спектральной полосе чувствительность фотодиода Sλ, т.е.:
Figure 00000008
Для получения уравнения измерения способа заменим спектрально-зависимую подынтегральную функцию I* эквивалентной по площади спектрально-независимой функцией с эффективной шириной спектральной полосы, равной Δλ1, и симметричной относительно центральной длины волны λ01 (линия 2, фиг. 1). Равенство площадей под указанными спектральными зависимостями (линии 1, 2, фиг. 1) означает выполнение следующего условия:
Figure 00000009
в левой части которого значения спектральной чувствительности фотодиода (Sλ), спектральной энергетической яркости объекта (Lλ (1)) взяты для центральной длины волны λ01, а коэффициент пропускания полосового оптического фильтра (τλ) принят равным единице. При этом под центральной длиной волны λ01 понимается длина волны, для которой выполняется условие равенства следующих интегралов (равенство площадей участков 3,4 на фиг. 1):
Figure 00000010
С учетом условия (6) соотношение (3) принимает вид:
Figure 00000011
Рассуждения и математические операции, аналогичные представленным выше, полностью справедливы и могут быть применены для опорного источника излучения, например, построенного на основе лазерного излучателя. Подынтегральная функция
Figure 00000012
для опорного источника показана на фиг. 2 (линия 1), линия 2 - спектрально-независимая и эквивалентная по площади функция. Для такого опорного источника фототок, генерируемый фотодиодом от излучения источника, может быть рассчитан по соотношению, аналогичному полученному для объекта, и имеет вид:
Figure 00000013
где
IFD (2) - фототок, генерируемый фотодиодом излучением, исходящим от опорного источника, А.
В соотношении (9) значение коэффициента пропускания полосового оптического фильтра (τλ) принято равным единице, а значения спектральной чувствительности фотодиода (Sλ) и спектральной энергетической яркости опорного источника (Lλ (2)) взяты для центральной длины волны λ02, которая рассчитывается по соотношению, аналогичному (7):
Figure 00000014
Применим рассуждения и математические операции, аналогичные представленным выше, для идеального абсолютно черного тела. Подынтегральная функция
Figure 00000015
для идеального абсолютно черного тела показана на фиг. 3 (линия 1), линия 2 - спектрально-независимая и эквивалентная по площади функция. В этом случае фототок, генерируемый фотодиодом от АЧТ, может быть рассчитан по соотношению, аналогичному полученному для объекта и для опорного источника, и имеет вид:
Figure 00000016
где
IFD (АЧТ) - фототок, генерируемый фотодиодом излучением от АЧТ,
Lb,λ03,T) - энергетическая яркость идеального абсолютно черного тела на центральной длине волны λ03, описываемая формулой М. Планка (1).
В соотношении (11) значение коэффициента пропускания полосового оптического фильтра (τλ) принято равным единице, а значения спектральной чувствительности фотодиода (Sλ) и спектральной энергетической яркости АЧТ (Lb,λ) взяты для центральной длины волны λ03, которая рассчитывается по соотношению, аналогичному (7):
Figure 00000017
При равенстве энергетических светимостей исследуемого объекта и опорного источника для одной и той же заданной спектральной полосы равны и измеренные фототоки, т.е.:
Figure 00000018
Представим энергетическую яркость объекта L01 (1) на центральной длине волны λ01 в виде произведения энергетической яркости идеального абсолютно черного тела (АЧТ) на центральной длине волны λ03 на коэффициент, учитывающий различие спектров излучения объекта и АЧТ, т.е.:
Figure 00000019
где
kNES1 - коэффициент приведения спектра излучения объекта к спектру излучения идеального абсолютно черного тела, который рассчитывается по соотношению:
Figure 00000020
А с учетом условия (6), распространенного и на АЧТ, принимает вид:
Figure 00000021
Подставим соотношения (16), (14) в (8), получаем:
Figure 00000022
Аналогичные действия, выполненные по отношению к опорному источнику, дают следующие соотношения:
- для коэффициента приведения спектра излучения опорного источника к спектру излучения идеального абсолютно черного тела kNES2:
Figure 00000023
- для фототока:
Figure 00000024
Соотношения (17) и (19) можно равноправно брать за основу уравнения измерения способов. При этом, можно использовать заранее измеренный спектр излучения калиброванного опорного источника (соотношение (19)) - первый способ, либо измерять спектр излучения объекта (соотношение (17)) и при этом использовать некалиброванный опорный источник - второй способ.
Выберем соотношение (19) за основу уравнения измерения первого способа - это предполагает, что спектр излучения опорного источника заранее известен, т.е. опорный источник откалиброван. Для этого видоизменим данное уравнение, для чего используем известное расчетное соотношение для спектральной чувствительности фотодиода, которое имеет вид:
Figure 00000025
где
QED - квантовая эффективность фотодиода,
λ - длина волны,
h - постоянная М. Планка,
е - элементарный заряд,
с - скорость света.
Так как величины h, е, с - постоянные физические константы, а квантовая эффективность фотодиода в узкой спектральной полосе (которая обычно используется при пирометрических измерениях) - величина также постоянная, поэтому отношение спектральных чувствительностей одного и того же фотодиода для разных длин волн может быть записано в виде:
Figure 00000026
С учетом (21) соотношение (19) приобретает вид:
Figure 00000027
где
IFD (2к) - измеренный фототок, генерируемый от излучения калиброванного опорного источника.
Решая (22) совместно с формулой М. Планка (1), используя при этом приближение Вина и выполнив операцию логарифмирования, получаем искомое уравнение измерения для первого способа:
Figure 00000028
где
ТЯ - яркостная температура объекта,
с1, с2 - первый и второй коэффициенты в формуле М. Планка для спектральной энергетической яркости идеального абсолютно черного тела,
Δλ2 - эффективная ширина спектральной полосы излучения калиброванного опорного источника,
λ03 - центральная длина волны излучения идеального АЧТ,
Figure 00000029
- энергетическая светимость калиброванного опорного источника,
kNES2 - коэффициент неэквивалентности спектра излучения калиброванного опорного источника спектру излучения идеального АЧТ.
Из уравнения измерения (23) следует, что в случае, когда калиброванный опорный источник имеет спектр излучения, идентичный спектру АЧТ коэффициент неэквивалентности kNES2=1, а слагаемое в знаменателе уравнения измерения lnkNES2=0.
В случае, если в основу уравнения измерения положено соотношение (17) (используется некалиброванный опорный источник) уравнение измерения второго способа имеет вид:
Figure 00000030
где
Δλ1 - эффективная ширина спектральной полосы излучения объекта,
Figure 00000031
- энергетическая светимость некалиброванного опорного источника,
IFD (2нк) - измеренный фототок, сгенерированный от излучения некалиброванного опорного источника,
Figure 00000032
- коэффициент неэквивалентности спектра излучения объекта спектру идеального АЧТ.
В частном случае, когда исследуемый объект является моделью АЧТ и его спектр идентичен идеальному АЧТ, то согласно уравнениям измерений обоих способов измеряется абсолютная термодинамическая температура. Во всех других случаях, когда спектр излучения объекта отличается от спектра идеального АЧТ, способы обеспечивают измерение яркостной температуры объекта.
В том случае, когда опорный источник имеет спектр излучения, близкий к спектрально-независимому, т.е. спектрально-независимую энергетическую яркость, или Lλ (2)=const, то, как следует из соотношения (10) центральная длина волны опорного источника λ02 будет целиком и полностью определяться спектром пропускания полосового оптического фильтра τλ. Реальные опорные источники излучения всегда имеют незначительную спектральную зависимость своей энергетической яркости. Однако, если использовать их совместно с полосовым оптическим фильтром, обладающим узкой полосой пропускания Гауссова вида, например, шириной 10 нм, то с высокой точностью энергетическую яркость такого источника можно считать спектрально-независимой. Для этого случая расчет спектральной чувствительности фотодиода Sλ02 выполняют по соотношению (20) для центральной длины волны полосового оптического фильтра λФ0, которую, в свою очередь рассчитывают исходя из соотношения:
Figure 00000033
Выбор ширины полосы пропускания полосового оптического фильтра зависит от вида конкретного опорного источника и заданной точности, поэтому для каждого конкретного случая выбор осуществляют индивидуально, а ее значение находят расчетным путем. Поэтому при использовании узкополосного фильтра и уравнения измерения (24) не требуется точно знать спектр излучения опорного источника и его измерять, достаточно лишь измерить спектр излучения объекта, т.е. можно использовать некалиброванный опорный источник.
Таким образом, для измерения яркостной температуры объекта согласно заявленным способам необходимо в заданной спектральной полосе излучения выполнить уравнивание энергетических светимостей объекта и опорного источника путем регулировки мощности опорного источника, затем при достигнутой мощности измерить энергетическую светимость опорного источника, при этом, в зависимости от выбранного способа и соответствующего ему уравнения измерения, использовать либо заранее измеренный спектр излучения калиброванного опорного источника, либо использовать некалиброванный опорный источник и измерять спектр излучения объекта, затем по формуле М. Планка рассчитать спектр излучения идеального абсолютного тела, на основании полученных данных рассчитать эффективную ширину спектральной полосы излучения опорного источника или объекта, центральную длину волны излучения идеального АЧТ, соответствующий коэффициент неэквивалентности спектра и на основании полученных результатов рассчитать искомую яркостную температуру.
В уравнениях измерения (23) и (24) заявленных способов приборно-измеряемой величиной является фототок фотодиода IFD (2к) либо IFD (2нк), а остальные параметры, входящие в уравнения, находятся расчетным путем. При этом, так как изначально температура объекта неизвестна и рассчитать спектр излучения АЧТ и его центральную длину волны не представляется возможным, поэтому необходимо использовать итерационный метод. Для этого на первом шаге итерации задают прогнозируемое значение температуры объекта и для нее выполняют расчет спектра излучения АЧТ и значения центральной длины волны АЧТ, по которым, используя уравнение измерения, рассчитывают температуру. Затем по полученному значению температуры объекта заново выполняют расчет спектра излучения АЧТ, центральной длины волны АЧТ и спектральной чувствительности фотодиода. Операцию итерации используют до тех пор, пока предшествующее и последующее расчетное значение температуры объекта не будут отличаться на заданную величину, например, на 0,1 К или 0,01 К. При этом последнее полученное значение температуры принимают равным искомой яркостной температуре объекта. Указанную итерацию проводят с использованием программных средств и компьютера.
Указанные способы реализуются при помощи устройства, структурная схема которого представлена на фиг. 4. Устройство 7 включает в себя: 2 - опорный источник излучения (либо калиброванный, либо некалиброванный), 3 - фотодиод, 4 - полосовой оптический фильтр, 5 - оптическую фокусирующую систему, 6 - анализатор оптического спектра. Полосу анализируемого излучения задает полосовой оптический фильтр 4, который устанавливается на входном окне фотодиода 3.
Измерение согласно заявленным способам осуществляется следующим образом.
В первом способе при помощи оптической фокусирующей системы 5 направляют излучение от объекта 1 на фотодиод 3 и измеряют фототок IFD (1)*, сгенерированный излучением от объекта. Затем при помощи оптической фокусирующей системы 5 направляют излучение от калиброванного опорного источника 2 на фотодиод 3 и регистрируют его фототок IFD (2к)*, далее регулируют мощность опорного источника 2 до достижения равенства фототоков IFD (1)* и IFD (2к)*, т.е. IFD (1)*=IFD (2к)*, после чего фиксируют достигнутую мощность. Далее перемещают оптическую фокусирующую систему 5 из зоны измерения и измеряют фототок IFD (2r) фототодиода 3, сгенерированный прямым излучением от калиброванного опорного источника 2, прошедшим через диафрагмы, которые установлены на опорном источнике и фотодиоде. По измеренному фототоку IFD (2к) рассчитывают энергетическую светимость калиброванного опорного источника Ме (2к), которая равна энергетической светимости объекта Ме (1), т.е.:
Figure 00000034
При этом, предварительно задают прогнозируемую температуру объекта, по соотношению (4) рассчитывают значение геометрического фактора F, а по соотношению (20) - рассчитывают значение спектральной чувствительности Sλ02 фотодиода на центральной длине волны калиброванного опорного источника λ02, которую, в свою очередь, рассчитывают по соотношению (10) исходя из известного точно спектра излучения калиброванного опорного источника 2 для заданной температуры. На первом шаге итерации рассчитывают эффективную ширину спектральной полосы излучения калиброванного опорного источника Δλ2, центральную длину волны излучения идеального АЧТ λ03 и коэффициент неэквивалентности kNES2 спектра излучения калиброванного опорного источника спектру излучения идеального АЧТ. По соотношению (23) рассчитывают первое значение яркостной температуры объекта. Затем по полученному значению температуры объекта заново выполняют расчет спектра излучения АЧТ, центральной длины волны АЧТ λ03 и спектральной чувствительности фотодиода Sλ02. Операцию итерации используют до тех пор, пока предшествующее и последующее расчетное значение температуры объекта не будут отличаться на заданную величину, например, на 0,1 К или 0,01 К. При этом последнее полученное значение температуры принимают равным искомой яркостной температуре объекта.
Во втором способе, в котором используется некалиброванный опорный источник излучения, задают узкую спектральную полосу, например, шириной 10 нм. При помощи оптической фокусирующей системы 5 направляют излучение от объекта 1 на фотодиод 3 и измеряют фототок IFD (1)*, сгенерированный излучением от объекта. Затем при помощи оптической фокусирующей системы 5 направляют излучение от некалиброванного опорного источника 2 на фотодиод 3 и регистрируют его фототок IFD (2нк)*, далее регулируют мощность некалиброванного опорного источника 2 до достижения равенства фототоков IFD (1)* и IFD (2нк)*, т.е. IFD (1)*=IFD (2нк)*, после чего фиксируют достигнутую мощность. Далее перемещают оптическую фокусирующую систему 5 из зоны измерения и измеряют фототок IFD (2нк) фототодиода 3, сгенерированный прямым излучением от некалиброванного опорного источника 2, прошедшим через диафрагмы, установленные на некалиброванном опорном источнике и фотодиоде. Затем с помощью анализатора оптического спектра 6 измеряют спектр излучения объекта 1. После этого выполняют следующие расчетные операции.
По измеренному фототоку IFD (2нк) рассчитывают энергетическую светимость некалиброванного опорного источника Ме (2нк), которая равна энергетической светимости объекта Ме (1), т.е.:
Figure 00000035
Далее предварительно задают прогнозируемую температуру объекта, по соотношению (4) рассчитывают значение геометрического фактора F, а по соотношению (20) - рассчитывают значение спектральной чувствительности Sλ02 фотодиода на центральной длине полосового оптического фильтра λФ0, которую рассчитывают по соотношению (25) исходя из спектра пропускания фильтра 4. На первом шаге итерации рассчитывают эффективную ширину спектральной полосы излучения объекта Δλ1, центральную длину волны излучения идеального АЧТ λ03 и коэффициент неэквивалентности kNES1 спектра излучения некалиброванного опорного источника спектру излучения идеального АЧТ. По соотношению (24) рассчитывают первое значение яркостной температуры объекта. Затем по полученному значению температуры объекта заново выполняют расчет спектра излучения АЧТ, центральной длины волны АЧТ λ03 и спектральной чувствительности фотодиода Sλ02. Операцию итерации используют до тех пор, пока предшествующее и последующее расчетное значение температуры объекта не будут отличаться на заданную величину, например, на 0,1 К или 0,01 К. При этом последнее полученное значение температуры принимают равным искомой яркостной температуре объекта.
Оценка неопределенности измерений способа.
Оценка ожидаемых значений неисключенной систематической погрешности (НСП) способов (для случая измерения температуры модели абсолютно черного тела) выполнена исходя из уравнений измерения по соотношению:
Figure 00000036
где использованы следующие численные значения параметров:
с1=3,741771852⋅10-16 Вт/м2; Sλ=0,5246 А/Вт; λ03=6,48⋅10-7 м; Δλ=1,542⋅10-8 м; F=2,8493⋅10-10 м2; ITR=6⋅10-10 - 3,9⋅10-6 А и неопределенности измерения параметров: δλ03=δ(Δλ)=0,02 нм = 2⋅10-11 м; δITR=0,0005ITR A; δF=0,0015F м2; δSλ=2⋅10-4Sλ А/Вт.
В результате получена следующая аппроксимирующая зависимость НСП (с коэффициентом охвата k=1) от уровня измеряемой температуры Т (фиг. 5): uk=1=1,991⋅10-11T3+1,967⋅10-7T2-2,214⋅10-4T+0,1362 [К]. Как следует из фиг. 5 даже при высоких температурах способ обеспечивает малую относительную НСП равную uk=1/T, которая, например, при температуре T=5000 К равна uk=1/T=1,95/5000≈4⋅10-4 отн. ед., или 100uk=1/T=100⋅1,95/5000≈0,04%.
Таким образом, по сравнению с известными способами заявленные способы обеспечивают существенно более высокую точность результатов измерений яркостной температуры объекта в широком температурном диапазоне вплоть до температуры 5000 К, при этом оценка относительной неопределенности результатов измерений дает значение не хуже 4⋅10-4.

Claims (15)

1. Способ измерения яркостной температуры объекта, заключающийся в том, что используют калиброванный по спектру опорный источник излучения, задают полосу излучения опорного источника, в заданной спектральной полосе излучения компарируют энергетические светимости объекта и опорного источника, регулируют мощность излучения опорного источника до достижения равенства энергетических светимостей источника и объекта, измеряют достигнутую мощность излучения опорного источника и рассчитывают его энергетическую светимость, рассчитывают коэффициент неэквивалентности спектра излучения опорного источника спектру идеального абсолютно черного тела, а искомую яркостную температуру объекта рассчитывают по соотношению
Figure 00000037
где
ТЯ - яркостная температура объекта,
с1, с2 - первый и второй коэффициенты в формуле М. Планка для спектральной энергетической яркости идеального абсолютно черного тела,
Δλ2 - эффективная ширина спектральной полосы излучения калиброванного опорного источника,
λ03 - центральная длина волны излучения идеального абсолютно черного тела,
Ме (2к) - энергетическая светимость калиброванного опорного источника,
kNES2 - коэффициент неэквивалентности спектров излучения калиброванного опорного источника и идеального абсолютно черного тела.
2. Способ измерения яркостной температуры объекта, заключающийся в том, используют некалиброванный по спектру опорный источник, задают узкую спектральную полосу излучения опорного источника, в заданной спектральной полосе излучения компарируют энергетические светимости объекта и опорного источника, регулируют мощность излучения опорного источника до достижения равенства энергетических светимостей источника и объекта, измеряют достигнутую мощность излучения опорного источника и рассчитывают его энергетическую светимость, в заданной спектральной полосе измеряют спектральное распределение мощности излучения объекта, рассчитывают коэффициент неэквивалентности спектра излучения объекта спектру излучения идеального абсолютно черного тела, а искомую яркостную температуру объекта рассчитывают по соотношению
Figure 00000038
где
Δλ1 - эффективная ширина спектральной полосы излучения объекта,
Ме (2нк) - энергетическая светимость некалиброванного опорного источника,
kNES1 - коэффициент неэквивалентности спектров излучения объекта и идеального абсолютно черного тела.
RU2019124869A 2019-08-05 2019-08-05 Способ измерения яркостной температуры объекта RU2718701C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019124869A RU2718701C1 (ru) 2019-08-05 2019-08-05 Способ измерения яркостной температуры объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019124869A RU2718701C1 (ru) 2019-08-05 2019-08-05 Способ измерения яркостной температуры объекта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2718701C1 true RU2718701C1 (ru) 2020-04-14

Family

ID=70277739

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019124869A RU2718701C1 (ru) 2019-08-05 2019-08-05 Способ измерения яркостной температуры объекта

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2718701C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2752809C1 (ru) * 2020-11-23 2021-08-06 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева" Способ спектротермометрии

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000054017A1 (en) * 1999-03-08 2000-09-14 C.I. Systems Ltd. Method and apparatus for active pyrometric measurement of the temperature of a body whose emissivity varies with wavelength
US6585410B1 (en) * 2001-05-03 2003-07-01 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Radiant temperature nulling radiometer
RU2439510C1 (ru) * 2010-05-11 2012-01-10 Федеральное государственное унитарное предприятие Научно-исследовательский институт промышленного телевидения "РАСТР" Способ измерения яркостной температуры объекта
RU2552599C1 (ru) * 2014-02-24 2015-06-10 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом" Способ бесконтактного измерения яркостной температуры теплового поля исследуемого объекта

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000054017A1 (en) * 1999-03-08 2000-09-14 C.I. Systems Ltd. Method and apparatus for active pyrometric measurement of the temperature of a body whose emissivity varies with wavelength
US6585410B1 (en) * 2001-05-03 2003-07-01 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Radiant temperature nulling radiometer
RU2439510C1 (ru) * 2010-05-11 2012-01-10 Федеральное государственное унитарное предприятие Научно-исследовательский институт промышленного телевидения "РАСТР" Способ измерения яркостной температуры объекта
RU2552599C1 (ru) * 2014-02-24 2015-06-10 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом" Способ бесконтактного измерения яркостной температуры теплового поля исследуемого объекта

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2752809C1 (ru) * 2020-11-23 2021-08-06 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева" Способ спектротермометрии

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5823681A (en) Multipoint temperature monitoring apparatus for semiconductor wafers during processing
US20100103976A1 (en) Infrared target temperature correction system and method
JP6863831B2 (ja) 光検出器の出力補正用演算式の算出方法、及び光検出器の出力補正方法
US20160349113A1 (en) Characterization of absolute spectral radiance of an unknown ir source
Friedrich et al. New spectral radiance scale from 220 nm to 2500 nm
RU2718701C1 (ru) Способ измерения яркостной температуры объекта
RU2697429C1 (ru) Способ воспроизведения, передачи и измерения термодинамической температуры
Tschudi et al. Measuring temperatures in the presence of external radiation by flash assisted multiwavelength pyrometry
JP4417713B2 (ja) 焦点面アレイ較正システム
Ikonen et al. Radiometric realization of the candela with a trap detector
JP4324693B2 (ja) 光検出器の分光応答度測定装置、その測定方法及び光源の分光放射照度校正方法
RU2685548C1 (ru) Способ измерения спектрального коэффициента излучения тела
RU2737606C1 (ru) Способ измерения яркостной температуры и пирометрический преобразователь для его осуществления
Bünger et al. Absolute radiation thermometry in the NIR
US20030225543A1 (en) Two-stage multiwavelength thermal radiation analyzer
RU2718727C1 (ru) Устройство для измерения яркостной температуры
US20220268635A1 (en) Method and device for monitoring radiation
Scharf et al. Four-band fiber-optic radiometry for determining the “true” temperature of gray bodies
RU2739731C1 (ru) Способ и устройство для воспроизведения и передачи единицы температуры в области высоких температур
RU2549331C1 (ru) Инфракрасный коллиматорный комплекс
Pohl et al. Absolute calibration of the spectral responsivity of thermal detectors in the near-infrared (NIR) and mid-infrared (MIR) regions by using blackbody radiation
Campos et al. Spectral responsivity scale in the visible range based on single silicon photodiodes
Gardner Uncertainty propagation for NIST visible spectral standards
JP2000105152A (ja) 温度測定方法及びその装置
Eppeldauer et al. Spectral responsivity determination of a transfer-standard pyroelectric radiometer