RU2717841C1 - Коллинеарный электрод - Google Patents
Коллинеарный электрод Download PDFInfo
- Publication number
- RU2717841C1 RU2717841C1 RU2019132779A RU2019132779A RU2717841C1 RU 2717841 C1 RU2717841 C1 RU 2717841C1 RU 2019132779 A RU2019132779 A RU 2019132779A RU 2019132779 A RU2019132779 A RU 2019132779A RU 2717841 C1 RU2717841 C1 RU 2717841C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- wave
- plasma
- quarter
- electrode
- microwave
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Изобретение относится к плазменной технике, применяемой в электрометаллургии, и может быть использовано для инициирования высокочастотной плазмы на промышленной частоте 2,45 ГГц для плавления металлических порошков и изготовления деталей сложной геометрической формы в атмосфере защитных газов. Технический результат - расширение динамического диапазона работы устройства по мощности СВЧ излучения. Коллинеарный электрический вибратор выполнен из двух полуволновых и одного четвертьволнового отрезков, последовательно соединенных между собой фазирующими катушками, четвертьволновой отрезок служит для согласования с нагрузкой по току. 3 ил.
Description
Изобретение относится к плазменной технике, применяемой в электрометаллургии, и может быть использовано для инициирования высокочастотной плазмы на промышленной частоте 2,45 ГГц для плавления металлических порошков и изготовления деталей сложной геометрической формы в атмосфере защитных газов. К настоящему времени накоплен значительный экспериментальный материал, по физике и технике возбуждения СВЧ-разряда [СВЧ-генераторы плазмы. Физика, техника, применение / Батенин В.М., Климовский И.И., Лысов Г.В., Троицкий В.Н. - М.: Энергоатомиздат, 1988. - 225 с.], имеющего определенные технологические преимущества перед ВЧ, НЧ и разрядами постоянного тока.
Известно устройство для генерации высокочастотного факельного разряда [Д.А. Ижойкини др. // Патент РФ №2499373 от 20.11.2013] - аналог. Технический результат - генерация высокочастотного факельного разряда при пониженных напряжениях возбуждения барьерного разряда достигается за счет внешнего электрода, который установлен на поверхности диэлектрической трубки; на силовом электроде радиально под острым углом к его оси установлен дополнительный электрод, конец которого заострен и направлен к месту соприкосновения диэлектрической трубки и внешнего электрода, который установлен с возможностью перемещения параллельно оси диэлектрической трубки в направлении формирования плазменного потока, перенося барьерный разряд с дополнительного на силовой электрод. Недостатком аналога является сложность конструкции и, как следствие, отсутствие возможности свободного перемещения в пространстве. Эрозия поджигающего электрода ограничивает срок надежной эксплуатации устройства и приводит к деградации изолирующих свойств диэлектрической трубки вследствие осаждения на ее поверхности металлических паров, что приводит к возникновению токов утечки. Устройство непригодно для плавления металлических порошков и изготовления деталей сложной геометрической формы в атмосфере защитных газов.
Известно устройство для инициации СВЧ-разряда и создания плазмы [Л.П. Грачев и др. // Патент РФ №2431242 от 10.10.2011] - прототип. Устройство инициации СВЧ-разряда и создания плазмы содержит линейный вибратор и проводящую поверхность-рефлектор. Вибратор расположен параллельно проводящей поверхности на расстоянии h, существенно меньшем одной четверти длины волны λ. Устройство может содержать произвольное количество параллельных друг другу инициаторов СВЧ-разряда, которые расположены на любом заданном расстоянии друг от друга, но без электрического контакта между собой. Технический результат - обеспечение требуемых характеристик генерируемой плазмы в широком динамическом диапазоне СВЧ излучения. Недостатками прототипа являются: а) наличие диэлектрика между инициатором СВЧ-разряда (вибратором) и проводящей поверхностью рефлектора не позволяет получать плазму в восстановительной атмосфере, необходимой для плавления и сварки некоторых металлов; плазма негативно влияет на изолирующие свойства диэлектрика, что приводит к электрическому пробою и появлению паразитных разрядов между вибратором и рефлектором; б) в случае произвольного количества параллельных друг другу инициаторов СВЧ-разряда устройство служит для одновременной инициации регулярной системы множественных СВЧ-разрядов с заданной пространственной структурой и не пригодно для ведения локальных процессов наплавки порошков; в) в случае произвольного количества параллельных друг другу инициаторов СВЧ-разряда существует критическое расстояние между вибраторами, при котором электромагнитное взаимодействие приводит к возбуждению многомодовой структуры электромагнитного поля и генерации плазмы с сильно неоднородными характеристиками в пространстве. Устройство не пригодно для плавления металлических порошков и изготовления деталей сложной геометрической формы в атмосфере защитных газов.
Задачей настоящего изобретения является разработка электрода для генерации СВЧ плазмы и сварки металлов в среде защитных газов в широком динамическом диапазоне работы устройства по мощности СВЧ излучения и пригодным для плавления металлических порошков и изготовления деталей сложной геометрической формы в атмосфере защитных газов.
Технический результат достигается за счет использования коллинеарного электрического вибратора, выполненного из двух полуволновых и одного четвертьволнового отрезков, последовательно соединенных между собой фазирующими катушками, четвертьволновой отрезок служит для согласования с нагрузкой по току. На фиг. 1 представлен чертеж электрода. На фиг. 2 представлен электрод, изготовленный из вольфрама. Цифрами обозначены: (1) - полуволновые отрезки; (2) - фазирующие катушки; (3) - четвертьволновой отрезок.
Устройство работает следующим образом: поле электромагнитной волны СВЧ-диапазона вызывает протекание индуцированного синфазного тока в каждом полуволновом отрезке (1), благодаря фазирующим катушкам (2) токи усиливают друг друга, что приводит к усилению поля на полюсе со стороны четвертьволнового отрезка (3). При этом динамический диапазон работы устройства по мощности СВЧ излучения существенно повышается. Электрическая дуга зажигается между четвертьволновым отрезком (3) и свариваемой деталью. Электрод может быть закреплен на подвижном штоке через изолирующий кронштейн. Отсутствие водяного охлаждения и силовых кабелей повышает мобильность устройства и позволяет вести процесс сварки или наплавки в любом пространственном положении электрода. Например, из порошка вольфрама была изготовлена фазирующая катушка, представленная на фиг. 3.
Claims (1)
- Коллинеарный электрод для генерации СВЧ плазмы и сварки металлов в среде защитных газов, содержащий линейный электрический вибратор, отличающийся тем, что для увеличения динамического диапазона работы устройства по мощности СВЧ излучения вибратор выполнен из двух полуволновых и одного четвертьволнового отрезков, последовательно соединенных между собой фазирующими катушками, четвертьволновой отрезок служит для согласования с нагрузкой по току.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019132779A RU2717841C1 (ru) | 2019-10-15 | 2019-10-15 | Коллинеарный электрод |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019132779A RU2717841C1 (ru) | 2019-10-15 | 2019-10-15 | Коллинеарный электрод |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2717841C1 true RU2717841C1 (ru) | 2020-03-26 |
Family
ID=69943333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2019132779A RU2717841C1 (ru) | 2019-10-15 | 2019-10-15 | Коллинеарный электрод |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2717841C1 (ru) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5237152A (en) * | 1991-08-08 | 1993-08-17 | Leybold Aktiengesellschaft | Apparatus for thin-coating processes for treating substrates of great surface area |
| WO2006038984A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Tokyo Electron Limited | Surface wave plasma processing system and method of using |
| JP2008198894A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Seiko Epson Corp | プラズマ処理装置 |
| RU2431242C2 (ru) * | 2009-12-30 | 2011-10-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Московский радиотехнический институт РАН" | Устройство для инициации свч-разряда и создания плазмы |
| RU2499373C1 (ru) * | 2012-06-01 | 2013-11-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" | Устройство для возбуждения высокочастотного факельного разряда |
-
2019
- 2019-10-15 RU RU2019132779A patent/RU2717841C1/ru active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5237152A (en) * | 1991-08-08 | 1993-08-17 | Leybold Aktiengesellschaft | Apparatus for thin-coating processes for treating substrates of great surface area |
| WO2006038984A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Tokyo Electron Limited | Surface wave plasma processing system and method of using |
| JP2008198894A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Seiko Epson Corp | プラズマ処理装置 |
| RU2431242C2 (ru) * | 2009-12-30 | 2011-10-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Московский радиотехнический институт РАН" | Устройство для инициации свч-разряда и создания плазмы |
| RU2499373C1 (ru) * | 2012-06-01 | 2013-11-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" | Устройство для возбуждения высокочастотного факельного разряда |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AU2014240387B2 (en) | Microwave plasma spectrometer using dielectric resonator | |
| Lu et al. | Atmospheric pressure nonthermal plasma sources | |
| RU2171554C2 (ru) | Способ генерации плазмы и устройство для его осуществления | |
| CN107801286A (zh) | 一种基于介质阻挡放电预电离的微波等离子体激发系统 | |
| WO2012138311A1 (ru) | Вакуумнодуговой испаритель для генерирования катодной плазмы | |
| CN104411083A (zh) | 一种产生连续低温大截面大气压等离子体羽的装置及方法 | |
| RU134697U1 (ru) | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом | |
| RU2717841C1 (ru) | Коллинеарный электрод | |
| CN109104808A (zh) | 一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置 | |
| JP2018040719A5 (ru) | ||
| Bolotov et al. | Diagnosis of plasma glow discharge energy parameters in the processes of treatment small diameter long tubes | |
| EP3449699B1 (en) | Method of use of a microwave electromagnetic field shaping adapter, which heats a toroidal plasma discharge | |
| US2953718A (en) | Apparatus and method for generating high temperatures | |
| RU2387039C1 (ru) | Высокочастотный генератор на основе разряда с полым катодом | |
| KR20040010898A (ko) | 대기압 마이크로 웨이브 플라즈마 방전시스템의 점화장치 | |
| JP6341690B2 (ja) | 浮遊電極がシールドされた誘導結合型マイクロプラズマ源 | |
| RU2499373C1 (ru) | Устройство для возбуждения высокочастотного факельного разряда | |
| CN208836438U (zh) | 一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置 | |
| US9307626B2 (en) | System for generating electromagnetic waveforms, subatomic paticles, substantially charge-less particles, and/or magnetic waves with substantially no electric field | |
| RU158690U1 (ru) | Свч плазменный реактор | |
| RU2826447C1 (ru) | СВЧ-плазмотрон и способ генерации плазмы | |
| RU2431242C2 (ru) | Устройство для инициации свч-разряда и создания плазмы | |
| RU2569493C1 (ru) | Диод плазменного свч-генератора | |
| JP6261100B2 (ja) | 大気圧誘導結合プラズマ装置 | |
| RU196815U1 (ru) | Отпаянная камера для газоразрядного генератора высокочастотных импульсов |