RU2709706C1 - Frequency sensor of linear accelerations - Google Patents
Frequency sensor of linear accelerations Download PDFInfo
- Publication number
- RU2709706C1 RU2709706C1 RU2019109321A RU2019109321A RU2709706C1 RU 2709706 C1 RU2709706 C1 RU 2709706C1 RU 2019109321 A RU2019109321 A RU 2019109321A RU 2019109321 A RU2019109321 A RU 2019109321A RU 2709706 C1 RU2709706 C1 RU 2709706C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- base
- grooves
- linear acceleration
- attached
- parts
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области измерительной техники, а более конкретно к измерительным элементам линейного ускорения.The invention relates to the field of measuring equipment, and more particularly to measuring elements of linear acceleration.
Известен частотный датчик линейных ускорений (патент РФ №2436106, МПК G01P 15/097 (2006.01), опубликовано 10.12.2011), содержащий основание, закрепленный на нем герметичный кожух, рамочный корпус, внутри которого размещены инерционный груз, соединенный через упругий подвес с рамочным корпусом, балочный резонатор, соединенный с одной стороны с инерционным грузом, а с другой стороны с рамочным корпусом, систему возбуждения и съема сигнала, расположенную на основании, в котором выполнены пазы, образующие плоские пружины.A known linear acceleration sensor (RF patent No. 2436106, IPC G01P 15/097 (2006.01), published December 10, 2011) containing a base, a sealed casing fixed to it, a frame case, inside which an inertial load is placed, connected through an elastic suspension to a frame housing, a beam resonator connected on the one hand with an inertial load, and on the other hand with a frame housing, a system of excitation and signal collection, located on the base, in which the grooves forming flat springs are made.
Пазы разделяют основание на две составные части, причем одна часть выступами прикреплена к рамочному корпусу, а другая - к объекту.The grooves divide the base into two component parts, with one part protruding from the frame body and the other to the object.
Известен датчик наиболее близкий по технической сущности и достигаемому результату к заявляемому, выбранный в качестве прототипа - это датчик линейных ускорений (патент РФ №2 650 715, МПК G01P 15/097 (2006.01), опубликовано 17.04.2018), содержащий основание, закрепленный на нем герметичный кожух, рамочный корпус, внутри которого размещены инерционная масса (инерционный груз), соединенная через упругий подвес с рамочным корпусом, стержневой (балочный) резонатор, соединенный с одной стороны с инерционной массой, а с другой стороны с рамочным корпусом, систему возбуждения и съема сигнала, систему компенсации фона выходного сигнала, а в основании выполнены образующие плоские пружины фигурные пазы, заполненные демпфирующим материалом.A known sensor closest in technical essence and the achieved result to the claimed one, selected as a prototype, is a linear acceleration sensor (
Пазы разделяют основание на две составные части, соединенные между собой плоскими пружинами, причем одна часть выступами прикреплена к рамочному корпусу, а другая - к объекту.The grooves divide the base into two component parts interconnected by flat springs, with one part protruding from the frame body and the other to the object.
Известный датчик, так же как и предыдущий аналог позволяет с высокой точностью преобразовывать ускорение в частотный выходной сигнал.The known sensor, like the previous analogue, allows with high accuracy to convert acceleration into a frequency output signal.
Общим недостатком рассмотренных аналогов является то, что они не обеспечивают устойчивого подавления колебаний системы, что приводит к увеличению погрешности выходного сигнала частотного датчика при воздействии вибрационных нагрузок.A common disadvantage of the considered analogues is that they do not provide stable suppression of system oscillations, which leads to an increase in the error of the output signal of the frequency sensor when exposed to vibrational loads.
Задача предлагаемого изобретения - увеличение надежности работы, точности измерения и стабильности параметров частотного датчика линейных ускорений при воздействии вибрационной нагрузки.The objective of the invention is to increase the reliability, measurement accuracy and stability of the parameters of the frequency sensor of linear accelerations when exposed to vibrational loads.
Технический результат, достигнутый при осуществлении предлагаемого изобретения, заключается в уменьшении погрешности выходного сигнала частотного датчика линейных ускорений при воздействии вибрационной нагрузки путем изменения конфигурации основания, что приводит к увеличению надежности работы, точности измерения и стабильности параметров частотного датчика линейных ускорений, при сохранении массы и габаритов прибора.The technical result achieved by the implementation of the present invention is to reduce the error of the output signal of the frequency sensor of linear accelerations when exposed to vibrational loads by changing the configuration of the base, which leads to an increase in reliability, measurement accuracy and stability of the parameters of the frequency sensor of linear accelerations, while maintaining weight and dimensions instrument.
Указанный технический результат достигается тем, что в частотном датчике линейных ускорений, содержащем основание, закрепленный на нем герметичный кожух, рамочный корпус, внутри которого размещены инерционная масса, соединенная через упругий подвес с рамочным корпусом, стержневой резонатор, соединенный с одной стороны с инерционной массой, а с другой стороны с рамочным корпусом, систему возбуждения и съема сигнала, систему компенсации фона выходного сигнала, а в основании выполнены образующие плоские пружины фигурные пазы, заполненные демпфирующим материалом, согласно изобретению, основание снабжено системой пружин плоскопараллельного подвеса, образованной пазами, выполненными в основании со стороны крепления датчика к объекту, симметричными пазами, выполненными с другой стороны основания и фигурными пазами, а все пазы, разделяют основание на три части, соединенные между собой плоскими пружинами, причем одна часть расположена между двумя другими и к ней крепится рамочный корпус, две другие части крепятся к объекту.The specified technical result is achieved by the fact that in the frequency linear acceleration sensor containing a base, a sealed casing fixed to it, a frame body, inside which an inertial mass is placed, connected through an elastic suspension to the frame body, a rod resonator connected on one side to the inertial mass, and on the other hand with a frame case, a system of excitation and removal of a signal, a system for compensating the background of the output signal, and at the base there are made figured grooves forming flat springs filled the damping material according to the invention, the base is equipped with a system of springs of plane-parallel suspension formed by grooves made in the base from the side of the sensor to the object, symmetrical grooves made on the other side of the base and curly grooves, and all the grooves divide the base into three parts connected between a flat spring, and one part is located between two others and the frame body is attached to it, the other two parts are attached to the object.
Снабжение основания системой пружин плоскопараллельного подвеса, образованной пазами, симметричными пазами и фигурными пазами, разделяющих основание на три части, крепление рамочного корпуса к одной части основания, расположенного между двумя другими, которые крепятся к объекту позволяет обеспечить большую жесткость конструкции частотного датчика линейных ускорений, увеличить надежность работы, точность измерения и стабильность параметров частотного датчика линейных ускорений, при сохранении массы и габаритов прибора. Заполнение фигурных пазов, демпфирующим материалом позволяет основанию выполнять роль амортизирующей опоры, что обеспечивает уменьшение действия вибрации объекта на работу частотного датчика, что в свою очередь обеспечивает увеличение точности преобразования линейного ускорения при внешних воздействиях, уменьшение дополнительной погрешности устройства.Providing the base with a system of springs of a plane-parallel suspension formed by grooves, symmetrical grooves and figured grooves dividing the base into three parts, fixing the frame case to one part of the base located between the other two that are attached to the object allows for greater rigidity of the design of the frequency linear acceleration sensor, increase reliability, measurement accuracy and stability of the parameters of the frequency sensor of linear accelerations, while maintaining the mass and dimensions of the device. Filling the figured grooves with damping material allows the base to play the role of a shock absorbing support, which reduces the effect of vibration of the object on the frequency sensor, which in turn provides an increase in the accuracy of conversion of linear acceleration under external influences, and reduces the additional error of the device.
Кроме того, также для уменьшения погрешности выходного сигнала частотного датчика линейных ускорений при воздействии вибрационной нагрузки и сохранения габаритов и массы две части основания выполнены в виде двух неподвижных вертикальных стоек, крепящихся к объекту, между которыми расположена другая часть основания, выполненная в виде подвижной Т-образной стойки с выступами, на которых крепится рамочный корпус.In addition, also to reduce the error of the output signal of the frequency sensor of linear accelerations when exposed to vibrational loads and to preserve dimensions and mass, the two parts of the base are made in the form of two stationary vertical posts attached to the object, between which the other part of the base, made in the form of a movable T- shaped rack with protrusions on which the frame case is mounted.
Для обеспечения надежности работы и увеличения точности частотного датчика линейных ускорений в условиях вибрационных воздействий в качестве демпфирующего материала используют компаунд КТ-102М.To ensure reliable operation and increase the accuracy of the linear acceleration frequency sensor under vibrational conditions, the KT-102M compound is used as a damping material.
Наличие в заявляемом изобретении признаков, отличающих его от прототипа, позволяет считать его соответствующим условию "новизна".The presence in the claimed invention features that distinguish it from the prototype, allows us to consider it appropriate to the condition of "novelty."
Новые признаки, которые содержит отличительная часть формулы изобретения, не выявлены в технических решениях аналогичного назначения и в технических решениях смежных областей техники. На этом основании можно сделать вывод о соответствии заявляемого изобретения условию "изобретательский уровень".New features that contain a distinctive part of the claims are not identified in the technical solutions for a similar purpose and in the technical solutions of related fields of technology. On this basis, we can conclude that the claimed invention meets the condition of "inventive step".
Изобретение иллюстрируется чертежами.The invention is illustrated by drawings.
На фиг. 1 представлена конструкция предлагаемого частотного датчика линейных ускорений.In FIG. 1 shows the design of the proposed frequency linear acceleration sensor.
На фиг. 2 представлено основание частотного датчика линейных ускорений.In FIG. 2 shows the base of the linear acceleration frequency sensor.
На фиг. 3 представлен разрез А-А на фиг. 1 частотного датчика линейных ускорений.In FIG. 3 shows a section AA in FIG. 1 frequency linear acceleration sensor.
На фиг. 4 представлена обратная сторона конструкции предлагаемого частотного датчика линейных ускорений.In FIG. 4 shows the reverse side of the design of the proposed frequency linear acceleration sensor.
Частотный датчик линейных ускорений содержит прямоугольный рамочный корпус 1, в центральном отверстии которого размещены инерционная масса 2, соединенная с рамочным корпусом 1 с двух противоположных сторон через упругий подвес, выполненный в виде плоскопараллельных пружин 3, стержневой резонатор 4, соединенный с одной стороны с инерционной массой 2, а с другой стороны с рамочным корпусом 1, систему возбуждения и съема сигнала, состоящую из электромагнита возбуждения колебаний 5, электромагнита съема колебаний 6, между которыми расположен стержневой резонатор 4, и автогенератора 7. (фиг. 1).The linear acceleration frequency sensor contains a
Предлагаемый датчик снабжен основанием 8 прямоугольной формы, в котором выполнены: два фигурных паза 9 и 10, заполненные демпфирующим материалом, два симметричных паза 11, расположенные с одной стороны основания 8 и пазы 12 и 13, расположенные с противоположной стороны основания 8.The proposed sensor is equipped with a
Фигурные пазы 9 и 10 расположены зеркально относительно центральной продольной оси. Каждый фигурный паз 9 и 10 содержит центральную часть, расположенную параллельно центральной продольной оси. На концах центральной части расположены верхняя и нижняя перпендикулярные части, обращенные к центральной продольной оси. Причем верхняя перпендикулярная часть имеет ответвление к краю основания 8, равное примерно одной трети от общей длины верхней перпендикулярной части.
Нижняя перпендикулярная часть фигурных пазов 9 и 10 с пазом 13 с одной стороны и пазом 12 с другой стороны образует две пары плоских пружин 14 и 15. Верхняя перпендикулярная часть фигурных пазов 9 и 10 с пазами 11 составляет третью пару пружин 16. Три пары плоских пружин 14, 15 и 16 параллельны друг другу и образуют собой систему пружин плоскопараллельного подвеса (фиг. 2).The lower perpendicular part of the
Фигурные пазы 9 и 10, симметричные пазы 11 и пазы 12, 13 разделяют основание 8 на три части, выполненные в виде двух неподвижных вертикальных стоек 17 и 18, и в виде расположенной между ними подвижной Т-образной стойки 19. В горизонтальной части подвижной Т-образной стойки 19, расположенной выше верхних перпендикулярных частей фигурных пазов 9 и 10, имеются выступы 20, на которых крепится рамочный корпус 1. Вертикальная часть подвижной Т-образной стойки 19 образована центральными частями фигурных пазов 9 и 10, расположена между двумя неподвижными вертикальными стойками 17 и 18, которые соединяются с ней с помощью плоских пружин 14, 15 плоскопараллельного подвеса.
Система пружин 14, 15 и 16 плоскопараллельного подвеса обеспечивает развязку мест крепления стержневого резонатора 4 на выступах 20 от двух неподвижных вертикальных стоек 17 и 18, соединяющихся с объектом 21, создает независимое движение рамочного корпуса 1 от объекта 21, тем самым обеспечивается уменьшение передачи механических возмущений от объекта 21 к стержневому резонатору 4 (фиг. 2, 3).The system of
На подвижной Т-образной стойке 19 и двух неподвижных вертикальных стойках 17 и 18 с противоположной стороны от места крепления рамочного корпуса 1, под верхними перпендикулярными частями фигурных пазов 9 и 10 расположен кронштейн 22, предназначенный для крепления системы компенсации фона выходного сигнала, состоящей из двух поляризованных электромагнитов 23, закрепленных с зазором напротив друг друга. Для защиты внутренних компонентов от внешних механических воздействий частотный датчик линейных ускорений содержит герметичный кожух 24, закрепленный на основании 8 (фиг. 3, 4).On the movable T-
Один из электромагнитов 23 и электромагнит возбуждения колебаний 5 подключены параллельно, а второй электромагнит 23 и электромагнит съема колебаний 6 подключены последовательно.One of the
В качестве демпфирующего материала, заполняющего фигурные пазы 9 и 10, используется компаунд КТ-102М, который гасит резонансные колебания рамочного корпуса 1, вследствие чего уменьшается погрешность выходного сигнала частотного датчика линейных ускорений при воздействии вибрационной нагрузки, а также обеспечивается надежность работы прибора.As a damping material filling the
В основе принципа действия устройства лежит преобразование механических колебаний стержневого резонатора 4 в электрические с помощью системы электромагнитов.The principle of the device’s operation is the conversion of mechanical vibrations of the rod resonator 4 into electrical ones using a system of electromagnets.
При движении устройства с линейным ускорением в направлении оси чувствительности (ось Y, фиг. 1), на инерционную массу 2 будет действовать сила инерции, которая приведет к перемещению инерционной массы 2 в сторону, противоположную действию ускорения, что в свою очередь вызовет растяжение или сжатие стержневого резонатор 4. Такое растяжение или сжатие изменит резонансную частоту колебаний стержневого резонатора 4. При растяжении резонатора 4, его резонансная частота увеличится, при сжатии - уменьшится. По величине изменения резонансной частоты, являющейся выходным сигналом, судят о величине линейного ускорения устройства.When the device is moving with linear acceleration in the direction of the sensitivity axis (Y axis, Fig. 1), the
Измерение резонансной частоты колебаний резонатора 4 выполняет система возбуждения и съема сигнала колебаний резонатора 4. На электромагнит возбуждения колебаний 5 с выхода автогенератора 7 подается переменное напряжение, которое приводит к возникновению переменного магнитного потока, который вызовет колебания резонатора 4 на его собственной резонансной частоте. Колебания стержневого резонатора 4 приведут к переменному изменению магнитного зазора электромагнита съема колебаний 6, что приведет к наведению ЭДС в электромагните съема колебаний 6. Значение наводимой ЭДС будет пропорционально амплитуде и частоте колебаний стержневого резонатора 4. ЭДС, наводимая в электромагните съема колебаний 6, подается на вход автогенератора 7, который подбирает частоту переменного напряжения, вновь подаваемого на электромагнит возбуждения колебаний 5, таким образом, чтобы амплитуда ЭДС, которая наводится в электромагните съема колебаний 6, была максимальной (то есть стержневой резонатор 4 совершал колебания на своей резонансной частоте). По этой максимальной частоте определяют резонансную частоту колебаний стержневого резонатора 4.The resonance frequency of oscillations of the resonator 4 is measured by the excitation and acquisition system of the oscillator of the resonator 4. An alternating voltage is applied to the
Для уменьшения постоянной составляющей выходного сигнала устройства на частотах, отличных от резонансной, и частичной компенсации температурного изменения характеристик электромагнитов 5 и 6 в конструкции устройства применена система компенсации фона выходного сигнала, состоящая из двух электромагнитов 23 и располагающаяся в кронштейне 22.To reduce the constant component of the output signal of the device at frequencies other than the resonant one and partially compensate for the temperature change in the characteristics of the
При действии вибрационной нагрузки две неподвижные вертикальные стойки 17 и 18 и подвижная Т-образная стойка 19, соединенные плоскими пружинами 14, 15 и 16, обеспечивают развязку рамочного корпуса 1 от объекта 21. Крепление двух неподвижных вертикальных стоек 17 и 18 к объекту 21, обеспечивающее большую жесткость конструкции частотного датчика линейных ускорений, и заполнение фигурных пазов 9 и 10 демпфирующим материалом обеспечивают амортизацию рамочного корпуса 1, тем самым достигается уменьшение влияния вибрационного воздействия на инерционную массу 2 и стержневой резонатор 4 и погрешности измерения частотного датчика линейных ускорений.Under the action of vibrational load, two stationary
Выполнение основания 8, состоящего из трех частей в виде: двух неподвижных стоек вертикальных 17 и 18, крепящихся непосредственно к объекту 21, и расположенной между ними подвижной Т-образной стойки 19, соединенными между собой пружинами 14, 15, 16 плоскопараллельного подвеса обеспечивает надежность работы и увеличение точности частотного датчика линейных ускорений в условиях вибрационных воздействий при сохранении его габаритов и массы.The implementation of the
Таким образом, предлагаемое устройство представляет собой частотный датчик линейных ускорений, который позволяет измерять величину действующего линейного ускорения в направлении оси Y, и по сравнению с аналогами, обеспечивает уменьшение погрешности выходного сигнала и стабильности параметров при действии вибрационной нагрузки за счет изменения конструкции основания, которое выполняет роль амортизирующей опоры для рамочного корпуса, что обеспечивает уменьшение действия вибрации, так как основание является демпфирующим устройством, увеличение добротности колебательной системы и точности частотного датчика линейных ускорений, которая достигается путем уменьшения чувствительности к вибрационному ускорению.Thus, the proposed device is a frequency linear acceleration sensor, which allows you to measure the magnitude of the effective linear acceleration in the direction of the Y axis, and in comparison with analogs, reduces the error of the output signal and stability of the parameters under the action of the vibration load due to changes in the design of the base, which performs the role of the shock absorbing support for the frame case, which ensures a reduction in the effect of vibration, since the base is a damping device, an increase in the quality factor of the oscillatory system and the accuracy of the frequency sensor of linear accelerations, which is achieved by reducing the sensitivity to vibrational acceleration.
Представленные данные свидетельствуют о выполнении при использовании заявляемого изобретения следующей совокупности условий:The data presented indicate the fulfillment of the following set of conditions when using the claimed invention:
- средство, воплощающее заявленное изобретение при его осуществлении, предназначено для использования в измерительной технике для измерений линейного ускорения;- a tool embodying the claimed invention in its implementation, is intended for use in measuring technique for measuring linear acceleration;
- для заявленного устройства в том виде, в котором оно охарактеризовано в независимом пункте формулы изобретения, подтверждена возможность его осуществления;- for the claimed device in the form in which it is described in the independent claim, the possibility of its implementation is confirmed;
- средство, воплощающее заявленное изобретение при его осуществлении, способно обеспечить повышение точности и надежности измерения линейного ускорения.- a tool embodying the claimed invention in its implementation is capable of improving the accuracy and reliability of measuring linear acceleration.
Следовательно, заявляемое изобретение соответствует условию "промышленная применимость".Therefore, the claimed invention meets the condition of "industrial applicability".
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019109321A RU2709706C1 (en) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | Frequency sensor of linear accelerations |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019109321A RU2709706C1 (en) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | Frequency sensor of linear accelerations |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2709706C1 true RU2709706C1 (en) | 2019-12-19 |
Family
ID=69006644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2019109321A RU2709706C1 (en) | 2019-03-29 | 2019-03-29 | Frequency sensor of linear accelerations |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2709706C1 (en) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU670896A1 (en) * | 1978-01-25 | 1979-06-30 | Предприятие П/Я А-1891 | Linear accelerometer |
SU1781614A1 (en) * | 1990-06-22 | 1992-12-15 | Azerb Polt I Im Ch Ildryma | Linear accelerometer |
EP1703288A1 (en) * | 2005-03-16 | 2006-09-20 | Delphi Technologies, Inc. | Linear accelerometer |
CN105259370A (en) * | 2015-11-02 | 2016-01-20 | 西北工业大学 | Angular acceleration measuring device based on MEMS linear accelerometer |
RU2650715C1 (en) * | 2016-11-28 | 2018-04-17 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Linear accelerator sensor |
-
2019
- 2019-03-29 RU RU2019109321A patent/RU2709706C1/en active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU670896A1 (en) * | 1978-01-25 | 1979-06-30 | Предприятие П/Я А-1891 | Linear accelerometer |
SU1781614A1 (en) * | 1990-06-22 | 1992-12-15 | Azerb Polt I Im Ch Ildryma | Linear accelerometer |
EP1703288A1 (en) * | 2005-03-16 | 2006-09-20 | Delphi Technologies, Inc. | Linear accelerometer |
CN105259370A (en) * | 2015-11-02 | 2016-01-20 | 西北工业大学 | Angular acceleration measuring device based on MEMS linear accelerometer |
RU2650715C1 (en) * | 2016-11-28 | 2018-04-17 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Linear accelerator sensor |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8616054B2 (en) | High-resolution digital seismic and gravity sensor and method | |
EP3835796B1 (en) | Resonator electrode configuration to avoid capacitive feedthrough for vibrating beam accelerometers | |
JPH0579929B2 (en) | ||
RU2253138C1 (en) | Gravimeter | |
JPH0565806B2 (en) | ||
RU2709706C1 (en) | Frequency sensor of linear accelerations | |
US3303705A (en) | Attitude compensated electromechanical oscillator | |
RU2650715C1 (en) | Linear accelerator sensor | |
RU2436106C2 (en) | Linear acceleration frequency transducer | |
US4383585A (en) | Weighing device with a vibrating string | |
RU160952U1 (en) | RESONATOR MICROMECHANICAL ACCELEROMETER | |
JPS63212823A (en) | Weighing instrument | |
JPH0454912B2 (en) | ||
RU137124U1 (en) | LINEAR ACCELERATION FREQUENCY SENSOR | |
RU180986U1 (en) | Vibration linear acceleration sensor | |
SU726481A1 (en) | Acceleration sensor | |
RU133315U1 (en) | SENSITIVE ELEMENT OF A MICROMECHANICAL ACCELEROMETER | |
RU2550160C2 (en) | Apparatus for suspending block of sensitive elements of inertial navigation system based on solid-state fibre gyroscopes | |
RU142011U1 (en) | FREQUENCY MICROMECHANICAL ACCELEROMETER | |
RU2007103573A (en) | METHOD OF GRAVIMETRIC MEASUREMENTS AND STRING GRAVIMETER | |
RU2749873C1 (en) | Piezoelectric stand | |
RU2758892C1 (en) | Compensation pendulum accelerometer | |
RU136584U1 (en) | RESONANT MICROMECHANICAL ACCELEROMETER | |
RU155338U1 (en) | RESONANT MICROMECHANICAL ACCELEROMETER | |
US3307410A (en) | Accelerometer |