RU2709472C1 - Method of passive adjustment of a correcting plate of a composite refractive lens for x-ray radiation - Google Patents

Method of passive adjustment of a correcting plate of a composite refractive lens for x-ray radiation Download PDF

Info

Publication number
RU2709472C1
RU2709472C1 RU2019111656A RU2019111656A RU2709472C1 RU 2709472 C1 RU2709472 C1 RU 2709472C1 RU 2019111656 A RU2019111656 A RU 2019111656A RU 2019111656 A RU2019111656 A RU 2019111656A RU 2709472 C1 RU2709472 C1 RU 2709472C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
lens
ray
plate
composite
ray radiation
Prior art date
Application number
RU2019111656A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Михаил Андреевич Любомирский
Original Assignee
Михаил Андреевич Любомирский
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Михаил Андреевич Любомирский filed Critical Михаил Андреевич Любомирский
Priority to RU2019111656A priority Critical patent/RU2709472C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2709472C1 publication Critical patent/RU2709472C1/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)

Abstract

FIELD: physics.SUBSTANCE: invention relates to a method of making X-ray refractive lenses and can be used to produce highly focused x-ray microbeams with high photon flux density used in various fields of science and engineering. Composite refraction lens for X-ray radiation is inserted in advance of X-ray radiation beam plate workpiece, X-ray beam is passed through composite refractive lens, X-ray beam is passed through plate workpiece and plate is made considering beam passage point.EFFECT: simple process of adjusting and positioning the correcting plate relative to the apex of the parabolic profile of the lens.4 cl

Description

Изобретение относится к области рентгенотехники, в частности при изготовлении рентгеновских рефракционных линз, и может быть использовано для получения остросфокусированных микропучков рентгеновских лучей с высокой плотностью потока фотонов, применяемы в различных областях науки и техники.The invention relates to the field of x-ray engineering, in particular in the manufacture of x-ray refractive lenses, and can be used to obtain highly focused microparticles of x-rays with a high photon flux density, used in various fields of science and technology.

Известен (RU, патент 2297681, опубл. 27.04.2005) способ изготовления рентгеновских преломляющих линз с профилем вращения. Согласно известному способу для изготовления линзы с требуемым фокусным расстоянием F формируют одну или несколько линз с фокусным расстоянием, определяемым по соотношению

Figure 00000001
, где N - число линз, a F0=Rc/2δ, где Rc - радиус кривизны параболического профиля, δ - декремент показателя преломления материала линзы, относящегося к классу рентгеновских преломляющих материалов, для чего вносят необходимое количество материала линзы
Figure 00000002
, где ρ - плотность материала линзы, R - радиус линзы, в жидком состоянии в оправку цилиндрической формы с тем же внутренним радиусом, материал которой обеспечивает для данной жидкости угол смачивания, определяемый условием
Figure 00000003
, помещают оправку на центрифугу, проводят вращение оправки с материалом линзы до достижения однородности при угловой частоте вращения
Figure 00000004
, где η - вязкость материала линзы в жидком состоянии, Re - число Рейнольдса, затем переводят материал линзы в твердое состояние в процессе вращения, прекращают вращение и проводят сборку линзы в держательKnown (RU, patent 2297681, publ. 04/27/2005) a method of manufacturing an x-ray refractive lens with a rotation profile. According to a known method for manufacturing lenses with the desired focal length F, one or more lenses with a focal length determined by the ratio
Figure 00000001
where N is the number of lenses, a F 0 = R c / 2δ, where R c is the radius of curvature of the parabolic profile, δ is the decrement of the refractive index of the lens material belonging to the class of X-ray refractive materials, for which the required amount of lens material is introduced
Figure 00000002
where ρ is the density of the lens material, R is the radius of the lens, in a liquid state, into a cylindrical mandrel with the same internal radius, the material of which provides a wetting angle for a given liquid, determined by the condition
Figure 00000003
place the mandrel on a centrifuge, rotate the mandrel with the lens material to achieve uniformity at an angular frequency of rotation
Figure 00000004
where η is the viscosity of the lens material in the liquid state, Re is the Reynolds number, then the lens material is transferred to the solid state during rotation, the rotation is stopped and the lens is assembled into the holder

Основным недостатком известного способа следует признать его пригодность только для рентгеновских преломляющих линз.The main disadvantage of this method should be recognized as its suitability only for x-ray refractive lenses.

Известен также (RU, патент 2366015, опубл. 27.08.2009) способ изготовления рентгеновской преломляющей линзы с минимизированным поглощением, имеющей профиль вращения, включающий изготовление матрицы линзы из материала, способного к фотополимеризации, формированием одной или нескольких линз с требуемым фокусным расстоянием F, определяемым по соотношению

Figure 00000005
, где N число двояковогнутых линз, a F0=Rc/2δ, где Rc - радиус кривизны параболического профиля, δ - декремент показателя преломления материала линзы путем внесения необходимого количества материала линзы
Figure 00000006
, где ρ - плотность материала линзы, R - радиус линзы, в жидком состоянии в оправку цилиндрической формы с тем же внутренним радиусом, материал которой обеспечивает для данной жидкости угол смачивания, определяемый условием
Figure 00000007
, помещением оправки на центрифугу и вращением ее с материалом линзы до достижения однородности при угловой частоте вращения
Figure 00000008
, где η - вязкость материала линзы в жидком состоянии, Re - число Рейнольдса, затем переводом материала линзы в твердое состояние в процессе вращения при воздействии потока излучения от источника света и прекращения вращения, причем с использованием полученной матрицы образуют одно или несколько оснований для линз, для чего вносят материал, не имеющий адгезии к материалу матрицы, в количестве М0=kМ, где k<1 - коэффициент, определяемый из условий смачивания, в матрице переводят материал основания в твердую фазу, отделяют полученное основание от матрицы, размещают его в ванне с жидким фотополимером на поршне с прецизионным ходом линейного смещения, затем проводят фотополимеризацию через набор масок с кольцевыми просветами и радиальными щелями, где внутренний радиус кольцевого просвета, определяется, как
Figure 00000009
и внешний радиус как
Figure 00000010
, где m - четное число, сдвигают основание на величину, равную четному числу длин сдвига фазы L=mλ/δ, операции экспонирования через последующие маски и сдвига повторяют до получения заданного числа сегментов, отделяют линзу от основания и проводят сборку линзы в держатель.Also known (RU, patent 2366015, publ. 27.08.2009) is a method of manufacturing an X-ray refractive lens with minimized absorption having a rotation profile, comprising manufacturing a lens matrix of a material capable of photopolymerization by forming one or more lenses with the required focal length F, determined in relation
Figure 00000005
, where N is the number of biconcave lenses, a F 0 = R c / 2δ, where R c is the radius of curvature of the parabolic profile, δ is the decrement of the refractive index of the lens material by introducing the required amount of lens material
Figure 00000006
where ρ is the density of the lens material, R is the radius of the lens, in a liquid state, into a cylindrical mandrel with the same internal radius, the material of which provides a wetting angle for a given liquid, determined by the condition
Figure 00000007
by placing the mandrel on a centrifuge and rotating it with the lens material until uniform at an angular speed
Figure 00000008
where η is the viscosity of the lens material in the liquid state, Re is the Reynolds number, then the lens material is transformed into a solid state during rotation under the influence of the radiation flux from the light source and the rotation ceases, moreover, using the resulting matrix, one or more bases for the lenses are formed, why introduce material that does not adhere to the matrix material, in an amount of M 0 = kM, where k <1 is the coefficient determined from the wetting conditions, the base material is transferred to the solid phase in the matrix, and the obtained base is separated from matrices, place it in a bath with a liquid photopolymer on a piston with a precision linear displacement, then photopolymerization is carried out through a set of masks with annular gaps and radial slots, where the inner radius of the annular gap is defined as
Figure 00000009
and the outer radius as
Figure 00000010
, where m is an even number, the base is shifted by an amount equal to the even number of phase shift lengths L = mλ / δ, the exposure operations through the subsequent masks and the shift are repeated until a given number of segments is obtained, the lens is separated from the base and the lens is assembled into the holder.

Способ также пригоден только для изготовления рентгеновский преломляющих линз.The method is also suitable only for the manufacture of x-ray refractive lenses.

Кроме того, известен (RU, патент 2164311, опубл. 20.03.2001) способ изготовления линз для преобразования излучения, представляющего собой поток нейтральных или заряженных частиц, содержащих каналы транспортировки излучения с использованием в них полного внешнего отражения, включающий две или более стадий получения заготовок, на каждой из которых заполняют трубчатую оболочку ранее изготовленными заготовками, в качестве которых на первой стадии используют капилляры, а на каждой из последующих стадий - заготовки, полученные в результате осуществления предыдущей стадии, затем осуществляют вытягивание трубчатой оболочки вместе с заполняющими ее заготовками в печи, поддерживая скорость подачи в печь более низкой, чем скорость выхода изделия из печи, при постоянном соотношении между этими скоростями, после чего получают заготовки, являющиеся результатом данной стадии, путем разрезания, выходящего из печи изделия по длине, по окончании последней стадии заполняют заготовками, полученными на этой стадии, трубчатую оболочку, которую вместе с заполняющими ее заготовками вытягивают в печи, поддерживая скорость подачи в печь более низкой, чем скорость выхода изделия из печи, и периодически изменяя соотношение между указанными скоростями для образования на выходящем из печи изделии утолщений, затем из этого изделия путем разрезания его по длине получают линзы в виде участков изделия, содержащих только одно утолщение, причем на всех этапах осуществления способа используют трубчатые оболочки, выполненные из того же материала, что и капилляры, либо близкого к нему по коэффициенту температурного расширения, а процессы вытягивания трубчатых оболочек с заполняющими их заготовками ведут при давлении газовой среды в пространстве между ними менее давления внутри каналов заготовок при температуре, достаточной для размягчения материала и сплавления соседних заготовок.In addition, there is known (RU, patent 2164311, publ. 20.03.2001) a method of manufacturing lenses for converting radiation, which is a stream of neutral or charged particles containing radiation transport channels using full external reflection, including two or more stages of preparation of blanks , on each of which the tubular shell is filled with prefabricated preforms, which are used as capillaries in the first stage, and in each of the subsequent stages, preforms obtained as a result of ia of the previous stage, then the tubular shell is pulled together with the blanks filling it in the furnace, maintaining the feed rate into the furnace lower than the output rate of the product from the furnace, with a constant ratio between these speeds, after which blanks resulting from this stage are obtained by cutting, leaving the furnace of the product along the length, at the end of the last stage is filled with blanks obtained at this stage, the tubular shell, which together with the blanks filling it, is pulled into the furnace maintaining the feed rate into the furnace lower than the rate of exit of the product from the furnace, and periodically changing the ratio between the indicated speeds to form bulges on the product leaving the furnace, then from this product by cutting it along the length, lenses are obtained in the form of product sections containing only one thickening, and at all stages of the method use tubular shells made of the same material as the capillaries, or close to it in terms of thermal expansion coefficient, and the processes are pulled The tubular shells with the blanks filling them are conducted at a gas pressure in the space between them less than the pressure inside the channels of the blanks at a temperature sufficient to soften the material and alloy the adjacent blanks.

Недостатком известного технического решения следует признать то, что получившиеся линзы имеют отклонения от идеального параболического профиляA disadvantage of the known technical solution should be recognized that the resulting lenses have deviations from the ideal parabolic profile

По причине того, что рефракционный индекс всех материалов в энергетическом диапазоне 500 эВ - 500 кэВ составляет величину порядка 10-6 или меньше, рефракционные линзы для рентгеновского излучения имеют очень малый радиус кривизны (~50 мкм) параболического профиля, а также большое фокусное расстояние. На практике (М. Lyubomirskiy and С.G. Schroer, "Refractive Lenses for Microscopy and Nanoanalysis," Synchr. Rad. News 29,21-26 (2016)) используют составные линзы - состоящие из большого числа одинаковых элементов (~10-500). Также, обычно, составная линза имеет одну или более апертур, нужные для того, чтобы отсечь нежелательное рассеяние излучения на материале линзы в области вне параболического профиля. При изготовлении таких линз неизбежны малые отклонения от правильного профиля (10-500 нм) а ввиду большого их числа в составной линзе отклонения умножаются соответственно их числу. Для корректировки таких отклонений было предложено использовать дополнительную корректирующую пластину. Данную пластину изготавливают на основе изученного профиля отклонений (аббераций) составной линзы методом птайхографии (А. Schropp, P. Boye, J. М. Feldkamp, R. Норре, J. Patommel, D. Samberg, S. Stephan, K. Giewekemeyer, R. N.Wilke, T. Salditt, J. Gulden, A.P. Mancuso, I.A. Vartanyants, E. Weckert, S.

Figure 00000011
M. Burghammer, and C.G.Schroer, "Hard x-ray nanobeam characterization by coherent diffraction microscopy," Appl. Phys. Lett. 96, 091102). Для корректного использования данной пластины она должна быть соответствующим образом помещена в пучок до/после/внутри составной линзы по ходу пучка. Точность позиционирования пластины относительно апекса параболического профиля должна быть тем лучше, чем больше элементов имеет составная линза, а также радиус кривизны ее профиля и может достигать нескольких сот нанометров.Due to the fact that the refractive index of all materials in the energy range of 500 eV - 500 keV is of the order of 10 -6 or less, refractive lenses for x-ray radiation have a very small radius of curvature (~ 50 μm) of the parabolic profile, as well as a large focal length. In practice (M. Lyubomirskiy and C. G. Schroer, "Refractive Lenses for Microscopy and Nanoanalysis," Synchr. Rad. News 29,21-26 (2016)) use compound lenses - consisting of a large number of identical elements (~ 10- 500). Also, typically, a composite lens has one or more apertures needed to cut off unwanted scattering of radiation on the lens material in an area outside the parabolic profile. In the manufacture of such lenses, small deviations from the correct profile (10-500 nm) are inevitable, and due to their large number in the composite lens, the deviations are multiplied according to their number. To correct such deviations, it was proposed to use an additional correction plate. This plate is made on the basis of the studied profile of deviations (aberrations) of a composite lens by the method of typography (A. Schropp, P. Boye, J. M. Feldkamp, R. Norre, J. Patommel, D. Samberg, S. Stephan, K. Giewekemeyer, RNWilke, T. Salditt, J. Gulden, AP Mancuso, IA Vartanyants, E. Weckert, S.
Figure 00000011
M. Burghammer, and CGSchroer, "Hard x-ray nanobeam characterization by coherent diffraction microscopy," Appl. Phys. Lett. 96, 091102). For the correct use of this plate, it must be appropriately placed in the beam before / after / inside the composite lens along the beam. The accuracy of positioning the plate relative to the apex of the parabolic profile should be the better, the more elements a composite lens has, as well as the radius of curvature of its profile and can reach several hundred nanometers.

Недостатком этого метода следует признать длительность и сложность технологии изготовления корректирующей пластины, а также необходимость ее последующей настройки относительно составной линзы.The disadvantage of this method is the duration and complexity of the manufacturing technology of the correcting plate, as well as the need for its subsequent adjustment relative to the composite lens.

Техническая проблема, решаемая с использованием разработанного способа, состоит в решении проблем изготовления рефракционной линзы.The technical problem solved using the developed method consists in solving the problems of manufacturing a refractive lens.

Технический результат, достигаемый при реализации разработанного способа, состоит в упрощении и ускорении процесса настройки/позиционирования корректирующей пластины относительно апекса параболического профиля линзы.The technical result achieved by the implementation of the developed method consists in simplifying and accelerating the process of adjusting / positioning the correction plate relative to the apex of the parabolic profile of the lens.

Для достижения указанного технического результата предложено использовать разработанный способ пассивной настройки корректирующей пластины составной рефракционной линзы для рентгеновского излучения. Согласно разработанному способу в составную рефракционную линзу для рентгеновского излучения вставляют по ходу движения пучка рентгеновского излучения заготовку пластины, пропускают через составную рефракционную линзу пучок рентгеновского излучения, отмечают место прохождения пучка рентгеновского излучения через заготовку пластины и изготавливают пластину с учетом места прохождения пучка.To achieve the specified technical result, it is proposed to use the developed method for passively adjusting the correction plate of a composite refractive lens for x-ray radiation. According to the developed method, a plate blank is inserted into the composite refractive lens for x-ray along the direction of the x-ray beam, the x-ray beam is passed through the composite refractive lens, the passage of the x-ray beam through the plate blank is noted, and the plate is made taking into account the beam passage.

Заготовку пластины могут помещать в составную линзу во время/до/после изучения отклонений профиля составной линзы.The plate blank can be placed in the composite lens during / before / after studying the deviations of the composite lens profile.

В некоторых вариантах реализации разработанного способа предварительно поверхность заготовки покрывают материалами, чувствительными к действию рентгеновского излучения. В других вариантах реализации предварительно на поверхность заготовки наносят маркирующую сетку. Возможно использование и других способов указанием точки попадания рентгеновского луча на поверхность заготовки.In some embodiments of the developed method, the preform surface is preliminarily coated with materials sensitive to the action of x-ray radiation. In other embodiments, a marking grid is previously applied to the surface of the workpiece. You can use other methods by indicating the point of impact of the x-ray on the surface of the workpiece.

Первый вариант - это нанесение на поверхность заготовки светочувствительного слоя, который меняет свою структуру под воздействием пучка. Заготовку вставляют внутрь/до/после набора линз, но всегда после апертуры по ходу пучка. Пучок, попадающий на поверхность, имеющую светочувствительный слой, меняет структуру поверхностного слоя, позволяя впоследствии однозначно определить облученную область и изготовить корректирующую пластину в области, отмеченной пучком.The first option is to apply a photosensitive layer to the surface of the workpiece, which changes its structure under the influence of the beam. The workpiece is inserted inside / before / after a set of lenses, but always after the aperture along the beam. A beam falling onto a surface having a photosensitive layer changes the structure of the surface layer, subsequently allowing unambiguous determination of the irradiated region and the production of a correction plate in the region marked by the beam.

Второй вариант - это нанесение на поверхность заготовки маркирующей сетки. Пучок, проходящий через сетку, будет замедлен по фазе и/или ослаблен. Далее производят измерение аберраций линзы методом птайхографии (https://en.wikipedia.org/wiki/Ptychography) или иным методом. Изменения волнового фронта, обусловленные влиянием маркирующей сетки, однозначно укажут на область, облученную рентгеновским излучением. Иными словами область сетки, облученная пучком, будет закодирована в волновом фронте, выходящем из линзы, что впоследствии позволит однозначно определить область, на которой необходимо изготавливать корректирующую пластину. Далее на данной области производят изготовление корректирующей пластины.The second option is to apply a marking grid to the surface of the workpiece. The beam passing through the grid will be slowed down in phase and / or weakened. Next, the aberrations of the lens are measured by the PTX method (https://en.wikipedia.org/wiki/Ptychography) or by another method. Changes in the wavefront due to the influence of the marking grid will unambiguously indicate the region irradiated with x-ray radiation. In other words, the area of the grid irradiated by the beam will be encoded in the wavefront emerging from the lens, which subsequently will uniquely determine the area on which it is necessary to produce a correction plate. Further, in this area, the manufacture of a correction plate is performed.

Также возможно разделение стадий измерения аберраций и маркировки области облученной пучком на заготовке пластины. Также визуализация области с маркирующей сеткой, облученной пучком может быть произведена посредством регистрации изображения пучка на расстоянии 2F от линзы при облучении линзы параллельным пучком, в случае не параллельного пучка расстояние должно быть скорректировано соответственно формуле тонкой линзы и углового спектра пучка.It is also possible to separate the stages of measuring aberrations and marking the area of the irradiated beam on the plate blank. Also, visualization of the area with a marking grid irradiated by the beam can be done by recording the image of the beam at a distance of 2F from the lens when the lens is irradiated with a parallel beam, in the case of a non-parallel beam, the distance should be adjusted according to the formula of a thin lens and the angular spectrum of the beam.

Claims (4)

1. Способ пассивной настройки корректирующей пластины составной рефракционной линзы для рентгеновского излучения, характеризующийся тем, что в составную рефракционную линзу для рентгеновского излучения вставляют по ходу движения пучка рентгеновского излучения заготовку пластины, пропускают через составную рефракционную линзу пучок рентгеновского излучения, отмечают место прохождения пучка рентгеновского излучения через заготовку пластины и изготавливают пластину с учетом места прохождения пучка.1. The method of passive adjustment of the correction plate of a composite refractive lens for x-ray, characterized in that a blank of the plate is inserted into the composite refractive lens for x-ray radiation, a beam of x-ray is passed through the composite refractive lens, the passage of the x-ray beam is noted through the plate blank and make the plate taking into account the place of passage of the beam. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что заготовку пластины помещают в составную линзу во время, или до, или после изучения отклонений составной линзы.2. The method according to p. 1, characterized in that the plate blank is placed in the composite lens during, or before, or after studying the deviations of the composite lens. 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что предварительно поверхность заготовки покрывают материалом, чувствительным к действию рентгеновского излучения.3. The method according to p. 1, characterized in that the pre-surface of the workpiece is coated with a material sensitive to the action of x-ray radiation. 4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что предварительно на поверхность заготовки наносят маркирующую сетку.4. The method according to p. 1, characterized in that previously marking the grid is applied to the surface of the workpiece.
RU2019111656A 2019-04-18 2019-04-18 Method of passive adjustment of a correcting plate of a composite refractive lens for x-ray radiation RU2709472C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019111656A RU2709472C1 (en) 2019-04-18 2019-04-18 Method of passive adjustment of a correcting plate of a composite refractive lens for x-ray radiation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019111656A RU2709472C1 (en) 2019-04-18 2019-04-18 Method of passive adjustment of a correcting plate of a composite refractive lens for x-ray radiation

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2709472C1 true RU2709472C1 (en) 2019-12-18

Family

ID=69007006

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019111656A RU2709472C1 (en) 2019-04-18 2019-04-18 Method of passive adjustment of a correcting plate of a composite refractive lens for x-ray radiation

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2709472C1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5594773A (en) * 1994-02-18 1997-01-14 Agency Of Industrial Science & Technology, Ministry Of International Trade & Industry X-ray lens
RU2003130023A (en) * 2003-10-10 2005-04-27 Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН) (RU) METHOD FOR PRODUCING X-RAY REFRACTIVE LENS WITH ROTATION PROFILE
RU2366015C1 (en) * 2008-03-25 2009-08-27 Учреждение Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук Method for manufacturing of x-ray refractory lens with minimised absorption, having rotation profile

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5594773A (en) * 1994-02-18 1997-01-14 Agency Of Industrial Science & Technology, Ministry Of International Trade & Industry X-ray lens
US5684852A (en) * 1994-02-18 1997-11-04 Agency Of Industrial Science & Technology, Ministry Of International Trade & Industry X-ray lens
RU2003130023A (en) * 2003-10-10 2005-04-27 Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН) (RU) METHOD FOR PRODUCING X-RAY REFRACTIVE LENS WITH ROTATION PROFILE
RU2366015C1 (en) * 2008-03-25 2009-08-27 Учреждение Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук Method for manufacturing of x-ray refractory lens with minimised absorption, having rotation profile

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2366015C1 (en) Method for manufacturing of x-ray refractory lens with minimised absorption, having rotation profile
Petrov et al. Polymer X-ray refractive nano-lenses fabricated by additive technology
RU2298852C1 (en) Method for manufacturing refracting x-ray lenses
JP6964651B2 (en) A method for generatively manufacturing 3D components based on lithography
EP3537216B1 (en) Method for producing an xuv and x-ray diffractive optic
Yabashi et al. Optics for coherent X-ray applications
US9360603B2 (en) Method and apparatus for producing a Fresnel zone plate
CN109791873A (en) The manufacturing method of stamper, transfer object and stamper
US9640291B2 (en) Stacked zone plates for pitch frequency multiplication
Poleshchuk et al. Laser technologies in micro-optics. Part 2. Fabrication of elements with a three-dimensional profile
JP2003001599A (en) Manufacture method of three-dimensional minute structure and apparatus thereof
RU2709472C1 (en) Method of passive adjustment of a correcting plate of a composite refractive lens for x-ray radiation
Snigireva et al. Diamond X-ray refractive optics
Nazmov et al. LIGA fabrication of X-ray Nickel lenses
Tamura et al. Development of a multilayer Fresnel zone plate for high-energy synchrotron radiation X-rays by DC sputtering deposition
US20220299685A1 (en) Fabrication of blazed diffractive optics by through-mask oxidation
RU2297681C2 (en) Method for manufacturing roentgen refracting lens with rotation profile
Tawara et al. Development of a multilayer supermirror for hard x-ray telescopes
CN110914758A (en) Method for manufacturing articles made of polymeric material
Pavlov et al. Refractive X‐ray shape memory polymer 3D lenses with axial symmetry
Xu et al. Kinoform and saw-tooth X-ray refractive lenses development at SSRF
RU2793078C1 (en) Method for manufacturing zone plates
CN112297422B (en) One shot forming&#39;s 3D printing device
RU2756103C1 (en) Method for producing pyrolyzed lenses for x-ray radiation
DE102012201497A1 (en) Mirror shell for e.g. collector unit used in microlithography projection system, sets angle between axis of symmetry of cylindrical surface and grids to specific value