RU2705818C1 - Вакуумная камера - Google Patents
Вакуумная камера Download PDFInfo
- Publication number
- RU2705818C1 RU2705818C1 RU2018120035A RU2018120035A RU2705818C1 RU 2705818 C1 RU2705818 C1 RU 2705818C1 RU 2018120035 A RU2018120035 A RU 2018120035A RU 2018120035 A RU2018120035 A RU 2018120035A RU 2705818 C1 RU2705818 C1 RU 2705818C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- covers
- chamber
- cylindrical body
- axis
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
Abstract
Изобретение относится к вакуумной камере. Вакуумная камера содержит цилиндрический корпус с двумя крышками с обеих сторон цилиндра и стационарно установленную конструкцию в виде консоли наверху упомянутого цилиндрического корпуса для отведения крышек от корпуса камеры и поворота ее вокруг оси диаметра на угол. Консоль выполнена раздвижной с возможностью после выдвижения крышек цилиндрического корпуса произвести разворот крышки на 90 и 180 градусов вокруг оси, смещенной относительно центра цилиндрического корпуса на расстояние, равное 0,5 диаметра его внутреннего размера. В результате улучшаются эксплуатационные свойства камеры. 5 ил.
Description
Изобретение относится к конструкциям вакуумных камер и может быть использовано в вакуумных камерах магнитронно-импульсных, плазменных и ионных установок.
Известна вакуумная камера по авторскому свидетельству №1744229 содержащая створку с установленными на ней опорными роликами, закрепленные на камере направляющие, уплотнительные элементы и фиксатор створки.
В данной камере крышка камеры (называемая створкой) перемещается в сторону по направляющей от корпуса параллельно плоскости отверстия камеры.
В наших устройствах это не возможно из-за того, что на крышке камеры размещены рабочие узлы необходимые для процесса напыления.
Наиболее близким аналогом и прототипом является автоматизированная установка вакуумного напыления УВН-74П-3М-1. Опубликованная на сайте htt:||ао-Kvartz.ru.
Вакуумная камера содержит цилиндрический корпус с двумя крышками с обоих сторон цилиндра и стационарно установленное устройство в виде консоли на верху цилиндрического корпуса камеры для отведения крышек от корпуса камеры и поворота их вокруг центральной оси диаметра крышки на необходимый для обслуживания угол.
Недостатком данного устройства заключается в том, что установка имеет большие габаритные размеры из-за консоли и это влияет на занимаемую площадь в цеху, а также установка неудобна при перевозке.
Заявляемое техническое решение решает задачу улучшение эксплуатационных качеств устройства.
Сущность изобретения состоит в том, что вакуумная камера содержит цилиндрический корпус с двумя крышками с обеих сторон цилиндра и стационарно установленное устройство в виде консоли на верху цилиндрического корпуса для отведения крышек от корпуса камеры и поворота ее вокруг вертикальной оси на необходимый угол, причем устройство выполнено в виде раздвижной компактной системы имеющей возможность после выдвижения крышек цилиндрического корпуса произвести разворот крышки на 90 и 180 градусов вокруг оси смещенной относительно центра цилиндрического корпуса на расстоянии равном 0,5 диаметра его внутреннего размера.
Сопоставительный анализ с аналогами и прототипом позволяет сделать вывод, что заявленное техническое решение отличается тем, что устройство выполнено в виде раздвижной компактной системы имеющей возможность после выдвижения крышек цилиндрического корпуса произвести разворот крышки на 90 и 180 вокруг оси смещенной относительно центра цилиндрического корпуса на расстоянии равном 0,5 диаметра его внутреннего размера.
Таким образом, заявленное техническое решение соответствует критерию «новизна».
Предлагаемые чертежи поясняют сущность предлагаемого технического решения.
Фиг. 1 - вид вакуумной камеры со стороны крышки.
Фиг. 2 - общий вид вакуумной камеры сбоку.
Фиг. 3 - вид сверху на вакуумную камеру, где одна из крышек выдвинута и развернута на 180 градусов.
Фиг. 4 - сечение по А-А.
Вакуумная камера содержит цилиндрический корпус 1 с двумя крышками 2 с обеих сторон цилиндра. На верху цилиндра на четырех платиках, приваренных к корпусу крепится болтами раздвижная компактная система 3 выполненная в виде корпуса состоящая из двух параллельно друг к другу поставленных швеллеров 4 и 5 полками во внутрь и скрепленных между собой осями 6, на которых через распорные втулки 7 и 8 установлены ролики 9 с буртиками 10 по краям и вращающиеся на шарикоподшипниках 11. Ролики 9 на осях 6 установлены попарно рядом друг с другом симметрично по обе стороны, от центра длины осей, образуя опоры для внутренних 12 и наружных 13 направляющих пластин. Направляющие пластины 12 и 13 передвигаются внутри по верхним и нижним роликам 9 между буртиков 10 роликов.
На одном из швеллеров 5 сделаны вырезы для расположения квадратных труб 14. Направляющие пластины жестко закреплены в квадратной трубе 14. В отстоящей консоли трубы 14 выполнено сквозное отверстие 15 с центром, на расстоянии 0,5 от вертикальной оси внутреннего диаметра цилиндрического корпуса, в котором закреплена ось 16 гайками 17.
Ниже трубы 14 параллельно ей расположена вторая квадратная труба 18, которая одним концом установлена на оси 16 и имеет возможность поворота на подшипниках 19.
На другом конце трубы 18 закреплена крышка 2 вакуумной камеры, таким образом труба 18 с крышкой 2 может поворачиваться вокруг оси 16 на 180 градусов относительно трубы 14.
Для ограничения выхода внутренних 12 и наружных 13 направляющих пластин за пределы раздвижной компактной системы установлены упоры. Для внутренней направляющей ограничителями хода служат упоры 20 и 21, а для наружной направляющей ограничителями хода служат упоры 22 и 23. Упоры 20 и 22 встроены во внутреннюю и наружную направляющие, а упоры 21 и 23 установлены на швеллерах 4 и 5. Фиксация крышек 2 при их повороте осуществляется запором 24 который состоит из стакана 25, пружины 26 и штока 27 с шаровой ручкой 28 на конце.
Устройство работает следующим образом.
Для открытия освобождают крышку 2 от запоров и выдвигают ее из камеры на расстояние соответствующее глубины размещения на крышке рабочих узлов для напыления, что соответствует соприкосновению упоров 20 и 21 или 22 и 23 в зависимости от того какую крышку открывают. Затем оттягивают запор за шариковую ручку 28 вниз и поворачивают крышку 2 на необходимый угол 90 или 180 градусов. Запор фиксируется автоматически за счет пружины 26 шток 27 попадает в отверстие на фланце 29.
Таким образом данное устройство позволяет сократить площадь под оборудование и улучшает эксплуатационные качества вакуумной установки.
Заявителем изготовлен опытный образец и проведенные испытания показали его преимущества по сравнению с прототипом.
Claims (1)
- Вакуумная камера, содержащая цилиндрический корпус с двумя крышками с обеих сторон цилиндра и стационарно установленную конструкцию в виде консоли наверху упомянутого цилиндрического корпуса для отведения крышек от корпуса камеры и поворота ее вокруг оси диаметра на угол, отличающаяся тем, что упомянутая консоль выполнена раздвижной с возможностью после выдвижения крышек цилиндрического корпуса осуществления разворота крышки на 90 и 180 градусов вокруг оси, смещенной относительно центра цилиндрического корпуса на расстояние, равное 0,5 диаметра его внутреннего размера.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2018120035A RU2705818C1 (ru) | 2018-05-30 | 2018-05-30 | Вакуумная камера |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2018120035A RU2705818C1 (ru) | 2018-05-30 | 2018-05-30 | Вакуумная камера |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2705818C1 true RU2705818C1 (ru) | 2019-11-12 |
Family
ID=68579804
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2018120035A RU2705818C1 (ru) | 2018-05-30 | 2018-05-30 | Вакуумная камера |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2705818C1 (ru) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4848419A (en) * | 1986-12-12 | 1989-07-18 | Calumatic B. V. | Device for evacuating oxygen from a container |
SU1744229A1 (ru) * | 1990-01-08 | 1992-06-30 | Сибирский химический комбинат | Вакуумна камера |
RU2287610C2 (ru) * | 2005-05-03 | 2006-11-20 | Открытое акционерное общество "Национальный институт авиационных технологий" (ОАО "НИАТ") | Установка для вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий |
-
2018
- 2018-05-30 RU RU2018120035A patent/RU2705818C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4848419A (en) * | 1986-12-12 | 1989-07-18 | Calumatic B. V. | Device for evacuating oxygen from a container |
SU1744229A1 (ru) * | 1990-01-08 | 1992-06-30 | Сибирский химический комбинат | Вакуумна камера |
RU2287610C2 (ru) * | 2005-05-03 | 2006-11-20 | Открытое акционерное общество "Национальный институт авиационных технологий" (ОАО "НИАТ") | Установка для вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN207076592U (zh) | 一种金属管件喷漆装置 | |
RU2705818C1 (ru) | Вакуумная камера | |
US10504632B2 (en) | Canister movement assembly for transfer, rotation, and/or inspection | |
CN104531248B (zh) | 一种用于油气分离净化的卧式分离器 | |
CN207265622U (zh) | 一种电缆地井侧定电缆导向装置 | |
CN105715940A (zh) | 圆筒型气柜改建的一段式橡胶膜密封气柜 | |
KR20160148744A (ko) | 폭발성 배기가스 입자의 정전 제거 장치 및 이를 이용한 폭발성 배기가스 입자의 정전 제거 방법 | |
RU2009132024A (ru) | Двигатель гидравлический радиальный | |
CN109630689A (zh) | 一种新型助力截止装置阀 | |
CN105165793A (zh) | 一种驱鸟器 | |
CN210602903U (zh) | 一种方便拆卸的碳钢管冷凝器 | |
CN112798435A (zh) | 电缆塑料管抗形变测试系统 | |
CN109335604B (zh) | 用于工字轮顶升的被动旋转装置 | |
CN202892982U (zh) | 仰角式三相分离器 | |
CN202066019U (zh) | 用于火炬排放系统中的分子密封器 | |
CN219002219U (zh) | 一种用于市政的排水过滤装置 | |
CN202352356U (zh) | 燃料组件的翻转装置 | |
CN203842408U (zh) | 缓流过滤器 | |
RU118875U1 (ru) | Фильтр топливного газа | |
CN204051945U (zh) | 一种旋流分离器 | |
RU2044837C1 (ru) | Люк смотрового колодца | |
CN216217198U (zh) | 一种铁塔钢桩防腐监测装置及铁塔 | |
CN208563387U (zh) | 一种省力市政井盖及拆卸工具 | |
CN107394740A (zh) | 一种电缆地井侧定电缆导向装置 | |
CN208753507U (zh) | 一种便于安装防盗的车载通讯天线 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200531 |