RU2703831C1 - Method of electrical and mechanical connection of boards and interposers in 3d electronic assemblies - Google Patents
Method of electrical and mechanical connection of boards and interposers in 3d electronic assemblies Download PDFInfo
- Publication number
- RU2703831C1 RU2703831C1 RU2019105880A RU2019105880A RU2703831C1 RU 2703831 C1 RU2703831 C1 RU 2703831C1 RU 2019105880 A RU2019105880 A RU 2019105880A RU 2019105880 A RU2019105880 A RU 2019105880A RU 2703831 C1 RU2703831 C1 RU 2703831C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- boards
- vertical
- contact pads
- electronic components
- mechanical connection
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/16—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
Abstract
Description
Область техники, к которой относится изобретениеFIELD OF THE INVENTION
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении 3D сборок с гибридными электронными компонентами.The invention relates to electronic equipment and can be used in the manufacture of 3D assemblies with hybrid electronic components.
Предшествующий уровень техникиState of the art
При формировании 3D сборок с гибридными электронными компонентами, среди которых могут быть корпусированные и некорпусированные приборные чипы полупроводниковой микроэлектроники, пьзоэлектроники, микроэлектромеханических систем (МЭМС) и другие, конструкционно используют многоуровневое построение, когда все схемотехническое решение делится на части и каждая часть реализуется в плоскости на плате. Затем эти платы с электронными компонентами собирают в вертикальный пакет, с использованием вертикальных разделительных стенок, создающих пространство для электронных компонентов в каждом уровне, и с использованием элементов вертикальной коммутации, восстанавливающих единое схемотехническое решение. При необходимости пространство в каждом или в некоторых уровнях вокруг электронных компонентов заливают компаундом.In the formation of 3D assemblies with hybrid electronic components, which may include enclosed and non-housing instrument chips of semiconductor microelectronics, piezoelectronics, microelectromechanical systems (MEMS) and others, structurally use a multi-level construction, when the entire circuitry solution is divided into parts and each part is realized in a plane on circuit board. Then, these boards with electronic components are assembled in a vertical package, using vertical dividing walls, creating space for electronic components at each level, and using vertical switching elements that restore a single circuit design solution. If necessary, the space at each or at some levels around the electronic components is poured with a compound.
В решении [1] (фиг. 1) элемент вертикальной коммутации 1 между горизонтальными платами 2 с электронными компонентами 3 включает сквозное металлизированное отверстие 4, контактные площадки 5, гальванически связанные с металлизацией этого отверстия. Контактные площадки 5 с металлизированными отверстиями 4 расположены на периферии платы 2 в виде одного или нескольких контуров. Контактные площадки 5 выполнены одна над другой с обеих сторон платы 2. Вертикальные разделительные стенки 7 между платами 2 с электронными компонентами 3 сформированы из рамок интерпозеров 8, выполняющих роль промежуточных плат и, имеющих аналогичные элементы вертикальной коммутации 1. Платы и рамки интерпозеры собирают в вертикальный пакет механически и электрически соединяя их через припойные, как правило, свинцово-оловянные, реже золотые, шарики - бампы 6, которые можно отнести в состав элемента вертикальной коммутации 1. При необходимости увеличить высоту пространства для размещения электронных компонент может быть использовано несколько промежуточных рамок интерпозеров или могут быть использованы более толстые рамки интерпозеры 8. Сквозные металлизированные отверстия выполняются различными технологиями в зависимости от материала, из которого изготовлены платы 2 и рамки интерпозеры 8. В любом случае такие платы и рамки интерпозеры из-за наличия в них сквозных металлизированных отверстий - это самые критичные, трудоемкие и дорогостоящие конструкционные элементы сборки. Причем технические трудности и стоимость кратно возрастают при уменьшении диаметра металлизированных отверстий и контактных площадок вокруг них. Диаметр металлизированных отверстий определяет минимально допустимый шаг и число контактных площадок в сборке и, следовательно, допустимую сложность электронной компонентной базы (ЭКБ) и схемотехнического решения, которые могут быть использованы в сборке. Кроме того, при заданном технологией аспектном соотношении (отношение глубины отверстия к его диаметру), при уменьшении диаметра отверстий должна уменьшаться толщина плат и рамок интерпозеров и, следовательно, уменьшаться прочность плат с электронными компонентами. Следует также отметить, что с уменьшением диаметра металлизированных отверстий растет переходное сопротивление линий вертикальной коммутации, а вместе с ним и RC задержки в схеме.In the solution [1] (Fig. 1), the
Попытка увеличить число контактных площадок 5 за счет увеличения рядности в их контуре, как это сделано в [2] (фиг. 2) приводит к уширению рамок интерпозеров 8, к уменьшению полезной площади плат 2, на которой размещают электронные компоненты 3, к увеличению габаритов сборки в целом. Таким образом, выполнение вертикальных линий коммутации с помощью сквозных металлизированных отверстий приводит к комплексу взаимопротиворечивых следствий.An attempt to increase the number of
Краткое описание чертежейBrief Description of the Drawings
Фиг. 1. Иллюстрация к электрическому и механическому соединению плат в 3D сборках по способу [1].FIG. 1. Illustration of the electrical and mechanical connection of boards in 3D assemblies by the method [1].
Фиг. 2. Иллюстрация к электрическому и механическому соединению плат в 3D сборках по способу [2].FIG. 2. Illustration of the electrical and mechanical connection of boards in 3D assemblies according to the method [2].
Фиг. 3. Общий вид сборки и элемент вертикальной коммутации по предлагаемому способу.FIG. 3. General view of the assembly and the element of vertical switching according to the proposed method.
Фиг. 4. Поперечное сечение и вид сверху сборки по предлагаемому способу.FIG. 4. The cross section and top view of the assembly by the proposed method.
Термины и определенияTerms and Definitions
3D сборка - электронный узел в виде трехмерной сборки монтажных плат с электронными компонентами, реализующий схемотехническое решение.3D assembly - an electronic unit in the form of a three-dimensional assembly of circuit boards with electronic components, which implements a circuitry solution.
МЭМС - микроэлектромеханическая система.MEMS - microelectromechanical system.
TSV технология - технология изготовления тонких сквозных металлизированных отверстий в пластинах монокристаллического кремния (Through-Silicon Vias).TSV technology - the technology for manufacturing thin through metallized holes in single-crystal silicon wafers (Through-Silicon Vias).
Интерпозер - промежуточная плата между платой с электронными компонентами и каким-либо элементом конструкции, в том числе другой платой с компонентами.Interposer - an intermediate board between a board with electronic components and any structural element, including another board with components.
Задача изобретения и краткое изложение его сущностиThe objective of the invention and a summary of its essence
Задача изобретения состоит в достижении заявляемого технического результата в виде увеличения доли полезной площади монтажных плат для установки ЭКБ, увеличении числа внешних выводов сборки.The objective of the invention is to achieve the claimed technical result in the form of increasing the share of usable area of circuit boards for installing electronic components, increasing the number of external conclusions of the assembly.
В предлагаемом решении (фиг. 3) элемент вертикальной коммутации 1' реализован с помощью прорези 9 на торце платы 2, на глубину до касания или проникновения в контактные площадки 5 периферийного контура. Контактные площадки 5 в предлагаемом решении в сквозном металлизированном отверстии не нуждаются. Для организации аналога вертикальных стенок 7 (фиг. 1) используется тонкая лента 10 (фиг. 3 и 4) из гибкого диэлектрического материала, ширина которой выбирается исходя из высоты пространства, необходимого для размещения электронных компонентов, причем вертикальные стенки 10 устанавливают с внутренней стороны по отношению к контуру контактных площадок 5 так, что металлизированные прорези 9 оказываются снаружи от вертикальных стенок 10 и доступны для организации их вертикальной коммутации. При этом вертикальную коммутацию выполняют не путем последовательного соединения соседних контактных площадок, а групповым методом - сразу для всех контактных площадок на одной вертикали для всех плат сборки. Для этого электрическую коммутацию всех прорезей на одной вертикали выполняют путем вложения в них механически напряженной натянутой проволоки 11 диаметром меньше ширины прорезей 9 и пайки проволоки 11 ко всем контактным площадкам 5, с которыми она соприкасается по всей вертикали. Для удобства совмещения плат 2 и организации вертикальных стенок 10 сборку плат 2 и вертикальных стенок 10 осуществляют с использованием нескольких вертикальных штырей 12, на которые продевают платы 2 через направляющие отверстия в них и вокруг которых организуют вертикальные стенки 10. Прорези в торце плат также выполняют групповым методом, например, с помощью тонкого диска с алмазной режущей кромкой, предварительно пакетировав платы. Пайка луженой проволоки, организующей сквозной вертикальный коммутационный канал, с лужеными контактными площадками выполняется одним из методов групповой пайки, например, с помощью специализированного фена.In the proposed solution (Fig. 3), the vertical switching element 1 'is implemented using a
Объем пространства вокруг электронных компонентов 3 может быть залит компаундом в процессе монтажа сборки или после пайки вертикальных линий коммутации 11 через отверстия в вертикальных стенках 10. Перфорация ленты для вертикальных стенок выполняется заранее - до их монтажа в составе сборки. В качестве одной из завершающих операций, выполняют заливку защитным компаундом внешних объемов 13 между платами 2 и вертикальными стенками 10 вместе с вертикальными линиями проволок 11, проходящих через эти объемы. На фиг. 4 представлено поперечное сечение и вид А-А (см. фиг. 4) сборки по предлагаемому способу.The amount of space around the
Благодаря описанному способу электрического и механического соединения плат и интерпозеров в 3D электронных сборках удается выполнить сборку без трудоемкого изготовления сквозных металлизированных отверстий малого диаметра (порядка 50-100 мкм) в платах. Отметим, что для плат на основе стеклотекстолита, нитрида алюминия отверстия такого диаметра на сегодня вообще недостижимы, а для плат из монокристаллического кремния, требуют привлечения высокотехнологичных операций технологии TSV. Выполнение же относительно мелких прорезей шириной 50-100 мкм доступно вне зависимости от материала плат. Это означает, что уменьшение шага во внешнем контуре контактных площадок и, следовательно, число внешних выводов, практически до уровня кремниевых интерпозеров может быть достигнуто и в подложках на основе других, в том числе менее хрупких материалов. Дополнительно прочность сборки и, следовательно, надежность всего электронного изделия, возрастает при использовании натянутой проволоки, которая помимо коммутационных функций выполняет роль напряженной арматуры во внешней оболочке защитного компаунда. Кроме того, контур вертикальных стенок из тонкой ленты оставляет площадь платы для электронных компонентов, чем внутренний контур рамки в способах-аналогах, особенно если она содержит несколько рядов контактных площадок как это показано на фиг. 2. Таким образом, предлагаемый способ обеспечивает достижение всех заявленных технических результатов.Thanks to the described method for the electrical and mechanical connection of boards and interposers in 3D electronic assemblies, it is possible to complete the assembly without the laborious manufacture of through metallized holes of small diameter (of the order of 50-100 microns) in the boards. Note that for boards based on fiberglass, aluminum nitride, openings of this diameter are generally unattainable today, and for boards made of single-crystal silicon, they require the use of high-tech operations using TSV technology. The execution of relatively small slots with a width of 50-100 microns is available regardless of the board material. This means that a decrease in the step in the external contour of the contact pads and, consequently, the number of external leads, almost to the level of silicon interposers, can be achieved in substrates based on other, including less brittle materials. Additionally, the strength of the assembly and, consequently, the reliability of the entire electronic product, increases when using a stretched wire, which, in addition to switching functions, plays the role of tensile reinforcement in the outer shell of the protective compound. In addition, the contour of the vertical walls of thin tape leaves the area of the board for electronic components than the internal contour of the frame in analogous methods, especially if it contains several rows of contact pads as shown in FIG. 2. Thus, the proposed method ensures the achievement of all the claimed technical results.
Подробное описание чертежейDetailed Description of Drawings
Фиг. 1. Иллюстрация к электрическому и механическому соединению плат в 3D сборках по способу [1], в котором элемент вертикальной коммутации 1 между горизонтальными платами 2 с электронными компонентами 3 включает сквозное металлизированное отверстие 4, контактные площадки 5, гальванически связанные с металлизацией этого отверстия, припойные насадки (бампы) 6 на контактных площадках, а разделительные стенки 7 сформированы одной или несколькими рамками интерпозерами 8 с аналогичными элементами вертикальной коммутации.FIG. 1. Illustration of the electrical and mechanical connection of boards in 3D assemblies according to the method [1], in which the
Фиг. 2. Иллюстрация к электрическому и механическому соединению плат в 3D сборках по способу [2], в котором платы 2 с электронными компонентами 3 и рамки интерпозеры 8 ценой уменьшения рабочего поля плат 2 для монтажа компонентов 3 содержат несколько рядов контактных площадок 5.FIG. 2. An illustration of the electrical and mechanical connection of boards in 3D assemblies according to the method [2], in which
Фиг. 3. Общий вид сборки и элемент вертикальной коммутации 1' к предлагаемому способу, в котором элемент вертикальной коммутации реализован с помощью прорези 9 на торце платы 2 до касания или проникновения в контактные площадки 5 и натянутой проволоки 11, припаянной групповым методом ко всем контактным площадкам на одной вертикали, а вертикальные стенки 10 выполнены из тонкой гибкой диэлектрической ленты вокруг вспомогательных вертикальных штырей 12. Объем снаружи вертикальных стенок 10 вместе с коммутационными проволочными линиями 11 залит компаундом 13 и образует дополнительный механический и защитный каркас сборки.FIG. 3. General view of the assembly and the vertical switching element 1 'to the proposed method, in which the vertical switching element is implemented using a
Фиг. 4. Поперечное сечение и вид сверху сборки по предлагаемому способу, на котором представлены платы 2 с электронными компонентами 3, контактные площадки 5 без сквозных металлизированных отверстий, тонкие вертикальные стенки 10 практически не уменьшающие полезную площадь платы 2, организованные вокруг вспомогательных вертикальных стоек 12, а также вертикальные проволочные линии коммутаций 11 и дополнительный внешний каркас на основе компаунда 13.FIG. 4. The cross section and top view of the assembly according to the proposed method, on which
Пример выполненияExecution example
В качестве примера реализации предлагаемого способа выполнена многоуровневая сборка в виде трехуровневого модуля на основе плат с планарными размерами 17,3×17,3 мм. Платы выполнены из высокотемпературного стеклотекстолита марки FR-4HiTg. Вертикальные стенки выполнены с использованием тонких (100 мкм) гибких полиимидных полосок, которые замкнуты в контур с помощью пайки, имеющихся на них участков металлизации. Заготовки вертикальных стенок в виде полиимидных полосок перфорированы отверстиями диаметром 1,2 мм, для последующей заливки через них компаунда. Двухсторонний контур внешних контактных площадок плат выполнен без сквозных металлизированных отверстий. Благодаря этому ширина контактной площадки составляет 150 мкм (вместо 400 мкм с металлизированным отверстием), а шаг их следования в контуре 300 мкм (вместо шага 800 мкм для контактных площадок с отверстием). Длина контактной площадки 300 мкм. В соответствии с нормами проектирования печатных плат, контур контактных площадок выполнен на расстоянии 0,25 мм от физического края платы. В связи с этим торцевые прорези выполнены на глубину 350 мкм. Прорези шириной 80-90 мкм выполнены с помощью дисков с внешней алмазной кромкой, используемых для разделения полупроводниковых пластин с приборами микроэлектроники на чипы. Сборка произведена с использованием технологической оснастки, имеющей четыре вертикальных стальных штыря диаметром 0,5 мм, на которые нанизывали платы и вокруг которых формировались вертикальные стенки. Механическое соединение плат в пакете осуществляли путем пайки металлизированных площадок вокруг направляющих отверстий в плате с вертикальными штырями. Контактные площадки на одной вертикали гальванически объединяли путем пайки к ним сквозной проволоки диаметром 60 мкм, пропущенной через все прорези на этой вертикали. Пайку проводили групповым методом с помощью специализированного фена. Монолитизация уровней и пространства с проволоками во вне контура вертикальных стенок проведена в едином цикле путем заливки конструкции в «опалубке» приспособления жидким компаундом.As an example of the implementation of the proposed method, a multilevel assembly is made in the form of a three-level module based on boards with planar dimensions 17.3 × 17.3 mm. The boards are made of high-temperature fiberglass brand FR-4HiTg. The vertical walls are made using thin (100 μm) flexible polyimide strips, which are closed into the circuit by soldering the metallization sections present on them. The blanks of the vertical walls in the form of polyimide strips are perforated with holes with a diameter of 1.2 mm, for subsequent filling of the compound through them. The two-sided circuit of the external contact pads of the boards is made without through metallized holes. Due to this, the width of the contact pad is 150 μm (instead of 400 μm with a metallized hole), and the step of their movement in the circuit is 300 μm (instead of the step of 800 μm for contact pads with a hole). The length of the contact pad is 300 microns. In accordance with the design standards of printed circuit boards, the contour of the contact pads is made at a distance of 0.25 mm from the physical edge of the board. In this regard, the end slots are made to a depth of 350 microns. Slots with a width of 80-90 μm are made using disks with an external diamond edge, used to separate semiconductor wafers with microelectronics devices into chips. The assembly was carried out using technological equipment having four vertical steel pins with a diameter of 0.5 mm, on which boards were strung and around which vertical walls were formed. The mechanical connection of the boards in the package was carried out by soldering metallized areas around the guide holes in the board with vertical pins. Contact pads on one vertical were galvanically combined by soldering to them a through wire with a diameter of 60 μm, passed through all the slots on this vertical. Soldering was carried out by a group method using a specialized hair dryer. The monolithization of levels and spaces with wires outside the vertical walls is carried out in a single cycle by pouring the structure into the formwork of the device with a liquid compound.
Цитируемая литератураCited literature
[1] Патент на изобретение US 6,618,267 В1 09 сентября, 2003.[1] Patent for the invention of US 6,618,267 B1 September 09, 2003.
[2] Патент на изобретение US 8,199,510 В2 12 июня, 2012.[2] Patent for the invention of US 8,199,510 B2 June 12, 2012.
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019105880A RU2703831C1 (en) | 2019-03-01 | 2019-03-01 | Method of electrical and mechanical connection of boards and interposers in 3d electronic assemblies |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019105880A RU2703831C1 (en) | 2019-03-01 | 2019-03-01 | Method of electrical and mechanical connection of boards and interposers in 3d electronic assemblies |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2703831C1 true RU2703831C1 (en) | 2019-10-22 |
Family
ID=68318208
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2019105880A RU2703831C1 (en) | 2019-03-01 | 2019-03-01 | Method of electrical and mechanical connection of boards and interposers in 3d electronic assemblies |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2703831C1 (en) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6991966B2 (en) * | 2002-01-31 | 2006-01-31 | Imbera Electronics Oy | Method for embedding a component in a base and forming a contact |
US20060249829A1 (en) * | 2005-04-08 | 2006-11-09 | Mitsuaki Katagiri | Stacked type semiconductor device |
RU2497320C1 (en) * | 2012-02-13 | 2013-10-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Тегас Электрик" | Composite printed-circuit board |
RU2584575C1 (en) * | 2014-12-25 | 2016-05-20 | Общество с ограниченной ответственностью "ЗЕЛНАС" | Interposer and method of making same |
US9418906B2 (en) * | 2009-04-06 | 2016-08-16 | Intel Corporation | Space and cost efficient incorporation of specialized input-output pins on integrated circuit substrates |
RU2645151C1 (en) * | 2016-10-31 | 2018-02-16 | Акционерное общество "Авиаавтоматика" имени В.В. Тарасова" | Method of manufacturing microelectronic unit |
RU2654302C2 (en) * | 2014-05-06 | 2018-05-17 | Интел Корпорейшн | Multi-layer body assembly with the built-in antenna |
US20180288876A1 (en) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | Dell Products, L.P. | Information handling system interposer enabling specialty processor integrated circuit in standard sockets |
-
2019
- 2019-03-01 RU RU2019105880A patent/RU2703831C1/en active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6991966B2 (en) * | 2002-01-31 | 2006-01-31 | Imbera Electronics Oy | Method for embedding a component in a base and forming a contact |
US20060249829A1 (en) * | 2005-04-08 | 2006-11-09 | Mitsuaki Katagiri | Stacked type semiconductor device |
US9418906B2 (en) * | 2009-04-06 | 2016-08-16 | Intel Corporation | Space and cost efficient incorporation of specialized input-output pins on integrated circuit substrates |
RU2497320C1 (en) * | 2012-02-13 | 2013-10-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Тегас Электрик" | Composite printed-circuit board |
RU2654302C2 (en) * | 2014-05-06 | 2018-05-17 | Интел Корпорейшн | Multi-layer body assembly with the built-in antenna |
RU2584575C1 (en) * | 2014-12-25 | 2016-05-20 | Общество с ограниченной ответственностью "ЗЕЛНАС" | Interposer and method of making same |
RU2645151C1 (en) * | 2016-10-31 | 2018-02-16 | Акционерное общество "Авиаавтоматика" имени В.В. Тарасова" | Method of manufacturing microelectronic unit |
US20180288876A1 (en) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | Dell Products, L.P. | Information handling system interposer enabling specialty processor integrated circuit in standard sockets |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6291894B1 (en) | Method and apparatus for a semiconductor package for vertical surface mounting | |
US5448511A (en) | Memory stack with an integrated interconnect and mounting structure | |
KR101233751B1 (en) | Micropede stacked die component assembly | |
KR100626618B1 (en) | Semiconductor chip stack package and related fabrication method | |
US8513789B2 (en) | Edge connect wafer level stacking with leads extending along edges | |
US6714418B2 (en) | Method for producing an electronic component having a plurality of chips that are stacked one above the other and contact-connected to one another | |
CN104769714B (en) | The semiconductor devices that semiconductor bare chip including being alternatively formed step stacks | |
US7829438B2 (en) | Edge connect wafer level stacking | |
US10403599B2 (en) | Embedded organic interposers for high bandwidth | |
TWI549254B (en) | Microelectronic package with consolidated chip structures | |
US20020015340A1 (en) | Method and apparatus for memory module circuit interconnection | |
KR101479440B1 (en) | Stacked microelectronic packages | |
KR960008970A (en) | Method of forming monolithic electronic module by stacking planar array of integrated circuit chips | |
JP6073529B2 (en) | Bond wire off-board kink formation | |
WO2008085391A2 (en) | Stacked packages | |
CN103811428B (en) | Method and apparatus for having the flip-chip substrate of protection ring | |
KR20100137344A (en) | Side stacking apparatus and method | |
JP2002305284A (en) | Semiconductor-device stacked structure | |
US7372130B2 (en) | Semiconductor device including a semiconductor chip formed on an insulating element such as a tape, and including an improved insulating arrangement | |
US20240321757A1 (en) | Semiconductor package structure comprising rigid-flexible substrate and manufacturing method thereof | |
CN100433321C (en) | Circuit board and circuit apparatus using the same | |
WO2014022485A1 (en) | Reconstituted wafer-level microelectronic package | |
RU2703831C1 (en) | Method of electrical and mechanical connection of boards and interposers in 3d electronic assemblies | |
EP3038150A1 (en) | Chip scale package with flexible interconnect | |
KR20120026380A (en) | Semiconductor chip and stack chip semiconductor package and the method of the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
QB4A | Licence on use of patent |
Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20210330 Effective date: 20210330 |