RU2702449C1 - Device for performing reciprocating movement of working member - Google Patents
Device for performing reciprocating movement of working member Download PDFInfo
- Publication number
- RU2702449C1 RU2702449C1 RU2018131337A RU2018131337A RU2702449C1 RU 2702449 C1 RU2702449 C1 RU 2702449C1 RU 2018131337 A RU2018131337 A RU 2018131337A RU 2018131337 A RU2018131337 A RU 2018131337A RU 2702449 C1 RU2702449 C1 RU 2702449C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- working
- electric current
- piston
- movement
- reciprocating movement
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/02—Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области точного приборостроения, к приводам микроманипуляторов и может быть использовано для малого регулируемого перемещения (и микро-перемещения, нано-перемещения) рабочего органа, различных объектов, например, держателей, при разработке микро- и нано-инструментов, для создания малошумящих микромоторов.The invention relates to the field of precision instrumentation, to drives of micromanipulators and can be used for small adjustable movement (and micro-movement, nano-movement) of the working body, various objects, for example, holders, when developing micro- and nano-tools, to create low-noise micromotors.
Известно устройство для малых прямолинейных перемещений рабочих органов, содержащее гидродвигатель с поршнем, соединенный с рабочим органом и с нерегулируемым насосом, снабженным предохранительным клапаном через регулятор расхода. На поршне гидродвигателя выполнена кольцевая канавка, связанная каналами в штоке с насосом через дросселирующую щель дифференциального золотника, торцевые полости которого соединены, соответственно, с рабочей полостью гидродвигателя и с кольцевой канавкой на поршне гидродвигателя. Устройство обеспечивает малое равномерное перемещение рабочего органа со скоростью порядка 0,5 см/мин. (RU 2537334).A device for small rectilinear movements of the working bodies, containing a hydraulic motor with a piston connected to the working body and with an unregulated pump equipped with a safety valve through the flow regulator. An annular groove is made on the hydraulic piston, connected by channels in the rod to the pump through a throttling slot of the differential valve, the end cavities of which are connected, respectively, with the hydraulic cavity and with the annular groove on the hydraulic piston. The device provides small uniform movement of the working body with a speed of about 0.5 cm / min. (RU 2537334).
Недостатками данного устройства являются невозможность осуществления микроперемещений рабочего органа, малая точность перемещений рабочего органа, малая скорость перемещения рабочего органа, необходимость использования сложной громоздкой системы, включающей, в том числе, насос и гидродвигатель для создания переменного давления и осуществления движения рабочего органа, узкая область применения устройства.The disadvantages of this device are the impossibility of micromotion of the working body, the low accuracy of movement of the working body, the low speed of movement of the working body, the need to use a complex bulky system, including, including, a pump and a hydraulic motor to create variable pressure and implement movement of the working body, a narrow scope devices.
Известно устройство для точного позиционирования (малых перемещений рабочего органа - поршня), которое содержит два сообщающихся сосуда различного сечения, заполненные упругой средой (жидкостью) и закрытые подвижными поршнями, и привод, создающий усилие на одном из поршней. По крайней мере, один из сосудов снабжен одним средством изменения его подпоршневого объема, выполненным в виде перемещаемого внутрь его сильфона или в виде размещенной в его стенке или поршне мембраны малого диаметра. В данном устройстве возвратно-поступательного движения рабочего органа реализуется перемещение рабочего органа - поршня - за счет изменения давления упругой среды при помощи мембраны, при этом требуется внешний источник переменного управляемого давления (RU 2475354).A device for accurate positioning (small movements of the working body - the piston) is known, which contains two communicating vessels of different sections, filled with an elastic medium (liquid) and closed by movable pistons, and a drive that creates a force on one of the pistons. At least one of the vessels is equipped with one means of changing its piston volume, made in the form of a small-diameter membrane placed inside its bellows or in the form of a membrane of small diameter placed in its wall or piston. In this device, the reciprocating movement of the working body, the movement of the working body - the piston - is realized due to a change in the pressure of the elastic medium with the help of a membrane, and an external source of variable controlled pressure is required (RU 2475354).
Недостатками данного устройства являются недостаточная точность малых перемещений при движении рабочего органа, необходимость использования внешнего источника переменного управляемого давления, способного обеспечить возвратно-поступательного движение рабочего органа, узкая область применения способа и устройства малых перемещений рабочего органа.The disadvantages of this device are the lack of accuracy of small displacements during movement of the working body, the need to use an external source of variable controlled pressure that can provide reciprocating movement of the working body, a narrow scope of the method and device of small displacements of the working body.
Известно устройство для осуществления возвратно-поступательного движения рабочего органа, содержащее корпус, установленный в корпусе с возможностью возвратно-поступательного перемещения рабочий орган, в частности, поршень, разделяющий корпус на две рабочие камеры, подключенные через систему клапанов к источнику с рабочим телом, и узел изменения давления рабочего тела, выполненный в виде пар неподвижных электродов, подключенных к источнику электрической энергии через выключатели, которые соединены с блоком управления, к входу которого подключены датчики положения рабочего органа (Дудышев В.Д., Завьялов С.Ю. Способ преобразования электрогидравлического удара. RU 2157893 F01B 29/10, F03C 5/00, F04F 1/16, опубл. 20.10.2000).A device for implementing the reciprocating movement of the working body, comprising a housing mounted in the housing with the possibility of reciprocating movement of the working body, in particular, a piston dividing the housing into two working chambers connected through a valve system to a source with a working fluid, and a node changes in the pressure of the working fluid, made in the form of pairs of stationary electrodes connected to a source of electrical energy through switches that are connected to the control unit, to the input of which about connected position sensors of the working body (Dudyshev V.D., Zavyalov S.Yu. Method for converting electro-hydraulic shock. RU 2157893 F01B 29/10,
Недостаток этого устройства состоит в том, что в нем в результате электрических импульсов с образованием парогазовой смеси в системе накапливается тепловая энергия, рассеяние которой устройством не предусмотрено. В результате нагрева конструкции может произойти выход из строя данного устройства. Выходом для обеспечения охлаждения является снижение частоты перемещения поршня. Полезная механическая работа при этом становится существенно меньше, производительность устройства падает. В данном устройстве не обеспечивается надежная защита от перегрева. Кроме того, для данного устройства характерны следующие недостатки - повышенный шум при его работе, низкая точность перемещений рабочего органа, включая невозможность гарантировать точность малых перемещений рабочего органа, узкая область применения устройства.The disadvantage of this device is that as a result of electrical impulses with the formation of a gas-vapor mixture, thermal energy is accumulated in the system, the scattering of which is not provided by the device. As a result of heating the structure, this device may fail. The way to ensure cooling is to reduce the frequency of movement of the piston. In this case, useful mechanical work becomes significantly less, and device performance decreases. This device does not provide reliable protection against overheating. In addition, this device is characterized by the following disadvantages - increased noise during its operation, low accuracy of movement of the working body, including the inability to guarantee the accuracy of small movements of the working body, the narrow scope of the device.
Известно устройство для осуществления возвратно-поступательного движения рабочего органа, содержащее корпус, установленный в корпусе с возможностью возвратно-поступательного перемещения рабочий орган, в частности, поршень, рабочую камеру, подключенную к источнику с рабочим телом, и узел изменения давления рабочего тела, выполненный в виде неподвижных электродов, подключенных к источнику электрической энергии через выключатели, которые соединены с блоком управления, к входу которого подключены датчики положения рабочего органа, а внутри рабочей камеры между парами электродов установлены нагревательные элементы. (RU 2230934).A device for implementing the reciprocating movement of the working body, comprising a housing mounted in the housing with the possibility of reciprocating movement of the working body, in particular, a piston, a working chamber connected to a source with a working fluid, and a node for changing the pressure of the working fluid, made in in the form of stationary electrodes connected to a source of electrical energy through switches that are connected to the control unit, to the input of which the position sensors of the working body are connected, and inside three working chambers between pairs of electrodes installed heating elements. (RU 2230934).
Недостатком данного устройства является то, что в нем в результате электрических импульсов с образованием парогазовой смеси в системе накапливается тепловая энергия, рассеяние которой устройством не предусмотрено. В результате нагрева конструкции может произойти выход из строя данного устройства, в данном устройстве не обеспечивается надежная защита от перегрева. Кроме того, для данного устройства характерны следующие недостатки - повышенный шум при его работе, низкая точность перемещений рабочего органа, включая невозможность гарантировать точность малых перемещений рабочего органа, узкая область применения устройства.The disadvantage of this device is that as a result of electrical impulses with the formation of a gas-vapor mixture, thermal energy is accumulated in the system, the dispersion of which is not provided by the device. As a result of heating the structure, this device may fail, this device does not provide reliable protection against overheating. In addition, this device is characterized by the following disadvantages - increased noise during its operation, low accuracy of movement of the working body, including the inability to guarantee the accuracy of small movements of the working body, the narrow scope of the device.
Наиболее близким по технической сущности и принятым за прототип техническим решением является устройство для осуществления возвратно-поступательного движения рабочего органа, содержащее корпус, рабочую камеру, заполненную газом, выполненную с отводом в виде трубки, проводник электрического тока, расположенный в рабочей камере с возможностью соединения с генератором импульсов электрического тока (RU 2616678).The closest in technical essence and adopted as a prototype technical solution is a device for reciprocating movement of the working body, comprising a housing, a working chamber filled with gas, made with a tap in the form of a tube, an electric current conductor located in the working chamber with the possibility of connection with an electric current pulse generator (RU 2616678).
Недостатком данного устройства является неэффективное преобразование энергии источника электрического поля в энергию возвратно-поступательного движения рабочего органа, связанную с тем, что это преобразование происходит за счет движения упругой мембраны, амплитуда возможных колебаний которой мала.The disadvantage of this device is the inefficient conversion of the energy of the source of the electric field into the energy of the reciprocating movement of the working body, due to the fact that this conversion occurs due to the movement of the elastic membrane, the amplitude of the possible oscillations of which is small.
В предлагаемом устройстве для осуществления возвратно-поступательного движения рабочего органа изменение давления газа в рабочей камере осуществляется за счет пропускания импульсов электрического тока в проводнике, размещенном в рабочей камере. Устройство снабжено подвижным элементом (рабочим органом) - поршнем (на котором может быть укреплен шток). Повышение давления газа, обусловленное протеканием электрического тока в проводнике внутри рабочей камеры, быстро приводит в движение поршень (и укрепленный на нем шток). Понижение давления газа, обусловленное прекращением действия импульса электрического тока в проводнике внутри рабочей камеры, также быстро приводит в движение поршень.In the proposed device for the implementation of the reciprocating movement of the working body, the gas pressure in the working chamber is changed due to the transmission of electric current pulses in the conductor located in the working chamber. The device is equipped with a movable element (working body) - a piston (on which the rod can be mounted). The increase in gas pressure, due to the flow of electric current in the conductor inside the working chamber, quickly drives the piston (and the rod mounted on it). The decrease in gas pressure due to the cessation of the action of an electric current pulse in the conductor inside the working chamber also quickly drives the piston.
Задачей предполагаемого изобретения является осуществление, в том числе и малых перемещений рабочего органа, контролируемого возвратно-поступательного движения рабочего органа, повышение точности перемещения рабочего органа, существенное снижение уровня шума при работе, повышение эффективности использования устройства для осуществления возвратно-поступательного движения рабочего органа, расширение области применения устройства.The objective of the proposed invention is the implementation, including small movements of the working body, controlled by the reciprocating movement of the working body, improving the accuracy of movement of the working body, significantly reducing the noise level during operation, increasing the efficiency of using the device for the reciprocating movement of the working body scope of the device.
Технически задача решается за счет того, что в устройстве, содержащем корпус, рабочую камеру, заполненную газом, выполненную с отводом в виде трубки, проводник электрического тока, расположенный в рабочей камере с возможностью соединения с генератором импульсов электрического тока, в отводе размещен рабочий орган в виде поршня (выполненного с возможностью закрепления на нем штока) с возможностью осуществления возвратно-поступательного движения. Техническим результатом данного технического решения является повышение точности перемещения рабочего органа, повышение эффективности возвратно-поступательного движения, расширение области применения устройства, существенное снижение уровня шума.Technically, the problem is solved due to the fact that in a device containing a housing, a working chamber filled with gas, made with a tap in the form of a tube, an electric current conductor located in the working chamber with the possibility of connection with an electric current pulse generator, the working body is located in the tap in the form of a piston (made with the possibility of fixing the rod on it) with the possibility of reciprocating motion. The technical result of this technical solution is to increase the accuracy of movement of the working body, increase the efficiency of the reciprocating movement, expand the scope of the device, a significant reduction in noise.
Сущность изобретения поясняется фиг. 1 и фиг. 2.The invention is illustrated in FIG. 1 and FIG. 2.
На фиг. 1 представлена схема устройства.In FIG. 1 shows a diagram of a device.
На фиг. 2 представлена типичная экспериментальная зависимость давления газа Р в рабочей камере от времени t (в наших экспериментах использовался воздух) для проводника из сплава никеля при воздействии импульса тока длительностью τ=5,7 сек и амплитудой I=0,5 А.In FIG. Figure 2 shows a typical experimental dependence of the gas pressure P in the working chamber on time t (air was used in our experiments) for a nickel alloy conductor under the influence of a current pulse of duration τ = 5.7 sec and amplitude I = 0.5 A.
Устройство включает (фиг. 1) корпус 1; отвод 2, поршень 3 (со штоком); проводник тока 4; источник (генератор) электрического тока (импульсного тока) 5. Внутренний объем корпуса 1 и отвода 2, сообщающегося с внутренним объемом корпуса, образуют рабочую камеру устройства.The device includes (Fig. 1)
В предлагаемом устройстве изменение давления газа в рабочей камере, перемещающее поршень, осуществляется за счет пропускания импульсов электрического тока в проводнике, размещенном в рабочей камере. Перемещение поршня возможно регулировать изменением амплитуды электрического тока в проводнике внутри рабочей камеры, вызывающем соответствующее изменение давления газа.In the proposed device, the change in gas pressure in the working chamber, moving the piston, is due to the transmission of electric current pulses in a conductor located in the working chamber. The movement of the piston can be controlled by changing the amplitude of the electric current in the conductor inside the working chamber, causing a corresponding change in gas pressure.
При быстром включении определенной величины электрического тока в проводнике график зависимости изменения давления газа в рабочей камере устройства от времени имеет два характерных участка. На начальном участке давление резко увеличивается, имеется скачок давления. Затем давление нарастает значительно медленнее. При выключении тока (при прекращении действия электрического импульса) давление резко падает.When you quickly turn on a certain amount of electric current in the conductor, the graph of the dependence of the gas pressure in the working chamber of the device on time has two characteristic sections. In the initial section, the pressure increases sharply, there is a pressure jump. Then the pressure rises much more slowly. When the current is turned off (when the electric pulse ceases), the pressure drops sharply.
Для реализации работы предлагаемого устройства нами был создан работающий макет. Устройство представляло собой рабочую камеру с отводом, содержащим тефлоновый поршень диаметром около 8 мм. Боковая поверхность поршня покрывалась смазкой для уменьшения трения и предотвращения просачивания воздуха внутрь рабочей камеры. Для реализации работы предлагаемого устройства в рабочую камеру устройства (образованную внутренней полостью корпуса 1 - запаянной стеклянной трубки диаметром 8 мм - и внутренним объемом отвода 2) помещался металлический проводник 4 с возможностью соединения с источником электрического тока 5. В качестве проводников от источника тока использовались провода меди. Внутри рабочей камеры использовался провод сплава никеля диаметром 100 мкм. В качестве источника электрического тока использовался генератор импульсов электрического тока с регулируемой амплитудой и длительностью импульса электрического тока.To implement the work of the proposed device, we have created a working layout. The device was a working chamber with a tap containing a Teflon piston with a diameter of about 8 mm. The side surface of the piston was coated with grease to reduce friction and prevent air from seeping into the working chamber. To implement the work of the proposed device in the working chamber of the device (formed by the internal cavity of the housing 1 - a sealed glass tube with a diameter of 8 mm - and the internal volume of the outlet 2) was placed a
В начале эксперимента в стеклянной трубке устанавливалось атмосферное давление воздуха. Пропускание импульса электрического тока по проводнику 4 приводило к изменению давления газа в рабочей камере. При подаче импульса тока в проводник давление резко увеличивается и заставляет поршень двигаться поступательно. При окончании действия импульса резко уменьшающееся давление заставляет двигаться поршень в обратном направлении. При подаче импульсов тока амплитудой 300 мА и длительностью 1,5 с поршень массой 2 г совершал возвратно-поступательное движение с амплитудой 9 мм. Движение поршня может происходить и в течение всего времени изменения давления, и только в течение начального и конечного времени при наиболее резком изменении давления. Изменяя, например укорачивая, длительность токового импульса, можно добиваться максимального коэффициента полезного действия устройства.At the beginning of the experiment, atmospheric air pressure was established in the glass tube. Passing an electric current pulse through
Предлагаемое устройство для осуществления возвратно-поступательного движения рабочего органа возможно применить для создания двигателя (микродвигателя). Движения поршня возможно преобразовать во вращательное движения вала двигателя при помощи известных способов, например, с помощью кривошипно-шатунного механизма или шотландского (с треугольным шатуном) механизма. При этом основные параметры такого двигателя определяются амплитудой, длительностью и частотой следования генерируемых электрических импульсов. Другими словами, использование параметров электрических импульсов открывают широкие возможности для регулировки мощности, частоты вращения вала, крутящего момента такого двигателя, и, как следствие - его коэффициента полезного действия.The proposed device for the implementation of the reciprocating movement of the working body can be used to create an engine (micromotor). Piston movements can be converted into rotational movements of the engine shaft using known methods, for example, using a crank mechanism or a Scottish (with a triangular connecting rod) mechanism. In this case, the main parameters of such an engine are determined by the amplitude, duration and repetition rate of the generated electrical pulses. In other words, the use of electrical impulse parameters opens up wide possibilities for adjusting the power, shaft speed, torque of such an engine, and, as a result, its efficiency.
Устройство возможно использовать для создания малошумящих двигателей, в том числе поршневых микро- и наномоторов, с удобным, простым и эффективным управлением.The device can be used to create low-noise engines, including piston micro- and nanomotors, with convenient, simple and effective control.
ЛитератураLiterature
1. Патент РФ №2537334 B23Q 5/06. Устройство для малых прямолинейных перемещений гидрофицированных рабочих органов / Бундур М.С., Пересадько Ю.В., Щербак А.П. Опубликован 10.01.2015. Бюл. №1.1. RF patent No. 2537334
2. Патент РФ №2475354 B25J 7/00, F01B 25/02, H02N 2/02. Устройство для точного позиционирования / Аганин В.А., Ицексон Е.Л., Хайкин Р.З. и др. Опубликован 20.02.2013. Бюл. №5.2. RF patent No. 2475354 B25J 7/00,
3. Патент РФ №2157893 F01B 29/10, F03C 5/00, F04F 1/16. Способ преобразования электрогидравлического удара / Дудышев В.Д., Завьялов С.Ю. Опубликован 20.10.2000.3. RF patent No. 2157893 F01B 29/10,
4. Патент РФ №2230934, F04B 9/00, 2004. Устройство для осуществления возвратно-поступательного движения рабочего органа / Прангишвили И.В., Пащенко Ф.Ф., Круковский Л.Е., Бусыгин Б.П. Опубликован 20.06.2004.4. RF patent No. 2230934, F04B 9/00, 2004. A device for reciprocating movement of a working body / Prangishvili IV, Pashchenko F.F., Krukovsky L.E., Busygin B.P. Published 06/20/2004.
5. Патент РФ №2616678, F15B 15/02. Способ малых перемещений рабочего органа устройства мембранного типа и устройство для его осуществления / Куницын В.Е., Усманов Н.Н., Салецкий A.M., Зимин А.И. Опубликован 10.04.2017. Прототип.5. RF patent No. 2616678,
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2018131337A RU2702449C1 (en) | 2018-08-31 | 2018-08-31 | Device for performing reciprocating movement of working member |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2018131337A RU2702449C1 (en) | 2018-08-31 | 2018-08-31 | Device for performing reciprocating movement of working member |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2702449C1 true RU2702449C1 (en) | 2019-10-08 |
Family
ID=68170765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2018131337A RU2702449C1 (en) | 2018-08-31 | 2018-08-31 | Device for performing reciprocating movement of working member |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2702449C1 (en) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2157893C2 (en) * | 1997-10-14 | 2000-10-20 | Дудышев Валерий Дмитриевич | Electrohydraulic shock energy conversion process |
RU2230934C2 (en) * | 2002-07-22 | 2004-06-20 | Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН | Device to provide reciprocation of working member |
US9289777B2 (en) * | 2011-02-24 | 2016-03-22 | Carbon Reduction Solutions As | Pulsed induction system for fluids to a combustion chamber |
RU2616678C2 (en) * | 2015-06-25 | 2017-04-18 | Вячеслав Евгеньевич Куницын | Actuating body small displacements method in the membrane type devices and device for its implementation |
US20170314582A1 (en) * | 2014-10-22 | 2017-11-02 | Peter Lell | Pyrotechnic drive device |
-
2018
- 2018-08-31 RU RU2018131337A patent/RU2702449C1/en active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2157893C2 (en) * | 1997-10-14 | 2000-10-20 | Дудышев Валерий Дмитриевич | Electrohydraulic shock energy conversion process |
RU2230934C2 (en) * | 2002-07-22 | 2004-06-20 | Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН | Device to provide reciprocation of working member |
US9289777B2 (en) * | 2011-02-24 | 2016-03-22 | Carbon Reduction Solutions As | Pulsed induction system for fluids to a combustion chamber |
US20170314582A1 (en) * | 2014-10-22 | 2017-11-02 | Peter Lell | Pyrotechnic drive device |
RU2616678C2 (en) * | 2015-06-25 | 2017-04-18 | Вячеслав Евгеньевич Куницын | Actuating body small displacements method in the membrane type devices and device for its implementation |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2702449C1 (en) | Device for performing reciprocating movement of working member | |
CN103032289A (en) | Plunger pump and hematology analyzer with plunger pump | |
CN104033348A (en) | Digital quantitative continuous liquid injection pump | |
Dereshgi et al. | Numerical study of novel MEMS-based valveless piezoelectric micropumps in the range of low voltages and frequencies | |
RU2616678C2 (en) | Actuating body small displacements method in the membrane type devices and device for its implementation | |
Cheng et al. | Piezoelectric pump used in bionic underwater propulsion unit | |
Yamaguchi et al. | An in-pipe mobile robot using electro-conjugate fluid | |
Heng et al. | Development of a diffuser/nozzle-type micropump based on magnetohydrodynamic (MHD) principle | |
RU2475354C2 (en) | High-precision positioner | |
CN109883639B (en) | Three-degree-of-freedom electro-hydraulic control type micro-excitation system | |
RU2782876C1 (en) | Valveless diaphragm microfluidic pump | |
RU2668307C1 (en) | Membrane drive | |
Vasuki et al. | A new piezoelectric laminated cantilever resonance based hydraulic pump | |
CN106662085B (en) | Linear actuator and method for operating such a linear actuator | |
Ashouri et al. | A ferrofluidic piston micropump | |
JP2023019507A (en) | Fluid pressure drive device | |
RU2804986C1 (en) | Impact assembly | |
RU2757427C2 (en) | Method for moving vehicle and device for its implementation | |
RU2337256C2 (en) | Method of converting control electric signal power into mechanical force driving fluid-operated actuator piston and device to this effect | |
Wolff | Closed loop controlled ER-actuator | |
RU2266808C1 (en) | Piezoelectric drive of micro-manipulator | |
Li et al. | Theoretical research and design of a new piezoelectric/electrorheological hybrid hydraulic step actuator | |
US11837974B2 (en) | Stroke transmitter for an actuator device | |
Park et al. | Micro fluid control system using homogeneous ER fluids (proposition of micro ER valve and basic experiments) | |
Kurniawan et al. | A Design Analysis of High Flow Rate Serial Connection Multi-Chamber Piezoelectric Micropump for Drug Delivery System |